JPH01250902A - マイクロ・フレネル・レンズ - Google Patents

マイクロ・フレネル・レンズ

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Publication number
JPH01250902A
JPH01250902A JP7642288A JP7642288A JPH01250902A JP H01250902 A JPH01250902 A JP H01250902A JP 7642288 A JP7642288 A JP 7642288A JP 7642288 A JP7642288 A JP 7642288A JP H01250902 A JPH01250902 A JP H01250902A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
zone
height
fresnel
phase shift
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7642288A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Aoyama
茂 青山
Maki Yamashita
山下 牧
Shiro Ogata
司郎 緒方
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Tateisi Electronics Co
Priority to JP7642288A priority Critical patent/JPH01250902A/ja
Publication of JPH01250902A publication Critical patent/JPH01250902A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1876Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の要約 マイクロ・フレネル・レンズのレンズ高さを位相差か2
nπ(n・2以上の正の整数)となるように作製するこ
とにより周期がn倍となり作製が容易になる、作製精度
の向上によりレンズ効率か高くなる、使用波長変化によ
る色収差が小さくなる、といった効果か得られる。
発明の背景 この発明はマイクロ・フレネル・レンズに関する。
平板状マイクロ・フレネル・レンズは光の回折現象を利
用して集光作用を行うもので、同心円状の周期的構造(
外側にいくほと周期は小さくなる)をもつ。すなわち、
フレネル・レンズは複数の同心円状のフレネル・ゾーン
を備え、各ゾーン内の各点において2πの位相シフトを
与える高さの凹凸か形成されている。これらの凹凸パタ
ーンは非常に微細なものであり、電子ビーム描画法によ
り作製されることか多い。
従来のマイクロ・フレネル・レンズには次のような問題
点かあった。
作成するフレネル・レンズの開口数か大きくなると、数
μmオーダの周Jυjのゾーンの数か増加し、イ′1製
か困莫任になる。たとえば、NA=0.5の場合には、
周期か5 lt m以下の部分かフレネル・レンズの面
積の90%以上を占める。
数μmオーダの周期構造の作製誤差により、フレネル・
レンズの効率か低下する。
光の回折を利用したレンズであるため、使用波長変化に
対して、色収差が生じる。
発明の概要 この発明は、作製が比較的容易で色収差の少ないマイク
ロ・フレネル・レンズを提供することを目的とする。
この発明によるマイクロ・フレネル会レンズは、各フレ
ネル・ゾーンにおける凹凸パターンの高さを2nπ(n
は2以上の正の整数)の位相シフトを与える値に設定し
たことを特徴とする。
このような構造であっても、レンズ作用(たとえば集光
、コリメート作用等)を行うのはいうまでもない。各ゾ
ーンにおける凹凸パターンの高さ(レンズの厚さ)を2
nπの位相シフトを与える値とすることにより、各ゾー
ンの周期(幅)は、高さが2πの移送シフトを−りえる
値をもつ従来のフレネル・レンズに比べてn倍になる。
以上のように、この発明によると、同じNAでも、レン
ズの高さをn倍とすることにより各ゾーンの周期はn倍
となり、従来と比較して作製が容易になる。
また、このために、作製精度が良くなり、レンズ効率が
高くなる。
さらに、フレネル・ゾーンの周期が長くなることにより
、回折効果よりもむしろ屈折により光が曲がることにな
り、使用波長変化による色収差が小さくなる。
フレネル・レンズの波長依存性が小さくなることにより
、LEDなとの波長分散がある光源に対しても充分なレ
ンズ機能を持たせることができる。
この発明は円形パターンのフレネル・ゾーンをもつフレ
ネル・レンズのみならず、楕円形パターンのフレネル・
ゾーンをもつ2点点のフレネル・レンズ、その他のタイ
プのフレネル・レンズにも適用可能であるのはいうまで
もない。
実施例の説明 第1図はフレネル・レンズにおける光の位相シフトを検
討するために用いる光路を示している。
一般に光が光路長(を伝搬したときの振幅をAとすると
、この振幅Aは A = (1/、e) Aosin  [(j!/λ)
2π〕で表される。
ここでA。は初期振幅、λは波長である。
第1図において、0点を通ってQ点に達する第1の光波
のQ点における振幅A OQは次式で与えられる。
AOQ= (1/ f)Ao sin  [(f/λ)
2π〕ここでfはフレネル・レンズの焦点距離である。
同様にP点を通ってQ点に達する第2の光波のQ点にお
ける振幅A PQは次式で与えられる。
APQ−(1/(δ、g+f)] Aosin(((δ、6+f)/λ〕2π)振幅A の
第1の光波と振幅A PQの第2の光波Q とかQ点において重ね合わされたときに、この重ね合わ
されて合成された光波の振幅が最大になる条件は、第1
の光波と第2の光波とがQ点で同位相となることである
。このためには、第2の光波にP点で φ(r)=−(δ(/λ)2π+2mπ  (4)(m
は正の整数) の位相シフトを与えればよい。
これにより第2光波を現す第(3)式のsinの項は次
のようになる。
5inf((δ、g+f)/λ〕 2π−(δ(/λ)
2π+2mπ) −sinf(f/λ)2π+2myr)=sin((f
/λ)2πl          (5)したがって、
第1の光波を第2の光波とのQ点における合成波は次式
で与えられ、最大振幅をもつ。
AoQ+APQ=(2/f) AosLn[(f/λ)2π〕 したがって、第2の光波にP点においてφ(r)の位相
シフトを与えることによって、Q点に集光するレンズ作
用か実現できる。
フレネル・レンズは第(4)式で表される位相シフトを
与える凹凸パターンをもつものである。
第(4)式のδでは半径方向の距離rの関数であるから
、第(4)式をrの関数として表現すると近似的に次の
ようになる。
φ(r)−πr2/λf(7) λ これは一般に、波長穴で焦点距離fをもつレンズの位相
シフト関数といわれるものである。
この位相シフト関数φ(r)が第2図に示されている。
従来のフレネル・レンズにおいては、実現できる位相シ
フトは0〜2πの範囲であるからという理由で、この関
数φ(r)が2πごとに分割され、分割された各ゾーン
における関数φ(r)の値によって定められる第2図の
右半分に斜線で示された形状に対応した凹凸パターンを
もつフレネル・レンズか作製されていた。
しかしなから、位相シフト関数φ(r)を2nπ(nは
2以上の正の整数)で分割しても、全く同じように第(
5)式が成立し、レンズ作用をもっことになる。この発
明は位相シフト関数φ(r)を2nπで分割し、分割さ
れた各ゾーンにおける関数φ(rlの値によって定めら
れる形状に応じた凹凸パターンをもつフレネル・レンズ
を提供する。たとえは第2図の左半分に斜線で示された
形状は関数φ(r)を4πで分割したものである。
第2図の右半分(従来例)と左半分(本発明)の凹凸パ
ターンを比較することにより明らかなように、この発明
によるフレネル・レンズにおいては各ゾーンの周期(幅
)A  は従来の周期4 π Δ2□よりも大きくなっている。
このようなフレネル・レンズは電子ビーム描画法を用い
て作製することかできる。またこの方法により作製した
フレネル・レンズを原型として型を作製し、この型を用
いた成形法によって同じ形の多数のフレネル・レンズを
量産することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はフレネル・レンズにおける光の位相シフトを検
討するための図、第2図は移送シフト関数とその分割パ
ターンを示す図である。 以  上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  複数の同心円状のフレネル・ゾーンを備え、各ゾーン
    ごとに所定の位相シフトを与える凹凸パターンが形成さ
    れているものにおいて、各ゾーンの凹凸パターンの高さ
    を2nπ(nは2以上の正の整数)の位相シフトを与え
    る値に設定したことを特徴とするマイクロ・フレネル・
    レンズ。
JP7642288A 1988-03-31 1988-03-31 マイクロ・フレネル・レンズ Pending JPH01250902A (ja)

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JP7642288A JPH01250902A (ja) 1988-03-31 1988-03-31 マイクロ・フレネル・レンズ

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JPH01250902A true JPH01250902A (ja) 1989-10-05

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JP7642288A Pending JPH01250902A (ja) 1988-03-31 1988-03-31 マイクロ・フレネル・レンズ

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