JPH0125319Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0125319Y2 JPH0125319Y2 JP19992482U JP19992482U JPH0125319Y2 JP H0125319 Y2 JPH0125319 Y2 JP H0125319Y2 JP 19992482 U JP19992482 U JP 19992482U JP 19992482 U JP19992482 U JP 19992482U JP H0125319 Y2 JPH0125319 Y2 JP H0125319Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- background
- detector
- electrons
- spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001941 electron spectroscopy Methods 0.000 claims description 10
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 7
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
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- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はオージエ電子とか光電子等のエネルギ
ー分析を行う場合のように大きなバツクグラウン
ドが存在する場合に適した電子分光装置に関す
る。
ー分析を行う場合のように大きなバツクグラウン
ドが存在する場合に適した電子分光装置に関す
る。
オージエ電子分光分析では２次電子、散乱電子
等によつて形成される大きなバツクグラウンドに
乗つている小さなオージエ電子のピークを検出す
る必要があり、オージエ電子を感度良く検出する
にはバツクグラウンドの除去が必要である。従来
はこのバツクグラウンドの除去はバツクグラウン
ドの形を表わす関数発生器の出力によつてバツク
グラウンドを引算消去するとか電位変調法等の電
子回路的な工夫によつて行われていたが、バツク
グラウンドの形を仮定して消去すると云う方法な
のでバツクグラウンド除去は完全とは云えなかつ
た。
等によつて形成される大きなバツクグラウンドに
乗つている小さなオージエ電子のピークを検出す
る必要があり、オージエ電子を感度良く検出する
にはバツクグラウンドの除去が必要である。従来
はこのバツクグラウンドの除去はバツクグラウン
ドの形を表わす関数発生器の出力によつてバツク
グラウンドを引算消去するとか電位変調法等の電
子回路的な工夫によつて行われていたが、バツク
グラウンドの形を仮定して消去すると云う方法な
のでバツクグラウンド除去は完全とは云えなかつ
た。
本考案は上述したような従来方法とは全く異る
方法で、簡単かつ略完全なバツクグラウドの消去
が行われる電子分光装置を得ることを目的とする
ものである。
方法で、簡単かつ略完全なバツクグラウドの消去
が行われる電子分光装置を得ることを目的とする
ものである。
本考案は電子分光器の入口の後方に電子分光器
の入口を通過した電子のうち電子分光装置の出口
に到達しない電子の一部を検出するバツクグラウ
ンド検出器を配置し、電子分光器の出口に設けら
れた電子検出器によつて得られる電子分光スペク
トル信号から上記バツクグラウンド検出器によつ
て得られる信号に適当な係数を掛けた信号を引算
することによりバツクグラウンドを除去した電子
分光装置を提供するものである。
の入口を通過した電子のうち電子分光装置の出口
に到達しない電子の一部を検出するバツクグラウ
ンド検出器を配置し、電子分光器の出口に設けら
れた電子検出器によつて得られる電子分光スペク
トル信号から上記バツクグラウンド検出器によつ
て得られる信号に適当な係数を掛けた信号を引算
することによりバツクグラウンドを除去した電子
分光装置を提供するものである。
本考案によるときは、電子分光装置に入射した
電子のうち、出口スリツトに到達しない電子の一
部を検出しているが、これは電子分光装置の出口
を通つて検出される電子に比し、高側或は低側で
又は高低両方にまたがつた或るエネルギー幅内の
電子（出口スリツトを通過したものを除く）を検
出することになるため、この検出信号は細かいピ
ークが平均化されて電子分光スペクトルのバツク
グラウンド信号となるのであつて、電子分光スペ
クトルを測定するプロセスでバツクグラウンドを
実測して、バツクグラウンド補正を行つているの
で、バツクグラウンドの形を予め設定して補正す
るのと、異り試料毎にまた試料の励起条件毎にそ
れに応じたバツクグラウンド補正が行われること
になり、正確なバツクグラウンド補正が実現され
る。以下実施例によつて本考案を説明する。第１
図は二重半球型の電子エネルギー分析値を用いた
電子分光装置で本考案を実施した例である。１，
１′は二重半球電子エネルギー分析器で、Ｓ１は
入口スリツト、Ｓ２は出口スリツトで、Ｄは電子
分光用電子検出器でチヤンネルトロンが用いられ
ており、同検出器の出力信号が電子分光スペクト
ル信号である。２は試料でＸ線或は電子等の一次
励起線Ｅで照射され試料から放出されるオージエ
電子、光電子等はレンズ系３で分光器の入口スリ
ツトＳ１に収束せしめられ、入口スリツトＳ１か
ら分光器内へ入射した電子のうち特定のエネルギ
ーを有するものが出力スリツトＳ２上に収束し、
検出器Ｄによつて検出される。二重半球の電極
１，１′間の電圧を変えることで出口スリツトＳ
２に収束せられる電子のエネルギーの走査が行わ
れる。入口スリツトＳ１の後方で半球１の一部を
穿つて窓とし電子検出器BDが臨ませてある。窓
には分光器内の電界を乱さないように金網４が張
設してある。検出器BDに入射する電子は出口ス
リツトＳ２に収束している電子より高エネルギー
の電子である。第２図は電子分光スペクトルの一
例を示す。点線がバツクグラウンドである。第３
図は電子エネルギーの走査を行つたときのバツク
グラウンド電子検出器の出力信号を示す。バツク
グラウンド電子検出器BDは出口スリツトＳ２に
収束している電子より高エネルギーであるから、
第３図のカーブは第２図のカーブを左にずらせた
形であるが、検出器BDは電子を収束させていな
いので、かなり広いエネルギー幅の電子が同時に
入射しており、第２図のカーブを少しずつずらせ
て多数重ねたものに相当しており、オージエ電子
等のピークは平均化されて消えており、バツクグ
ラウンド信号そのものになつている。従つて検出
器BDの出力信号を適当に減衰させ、更に適当に
遅延させ、検出器Ｄの信号から上のBDの出力を
減衰させ遅延させた信号を引算することによつて
バツクグラウンドを消去できる。この場合、検出
器BDの出力を減衰させる減衰率及び検出器Ｄの
出力の遅延量は試料とか励起方法によらず分光装
置の個性であるから、予め実験的に適当値を求め
て、それに固定しておけばよい。この実施例では
検出器Ｄの出力をAD変換してメモリＭ１に記憶
させ、検出器BDの出力を減衰用ポテンシヨメー
タ５で分圧した後AD変換してメモリＭ２に記憶
させ、引算の際メモリＭ１のアドレスｎのデータ
に対してメモリＭ２のアドレスｎ−ｘのデータを
引算するようにし、ｘの値を実験で定めることに
より遅延量を設定する。こゝでは説明の便宜上メ
モリＭ１，Ｍ２の同じアドレス番号の所には同時
採取されたデータが入力されるものとした（実際
はメモリＭ１，Ｍ２は別々でなく、一つのRAM
の異るエリヤを使うからＭ１，Ｍ２に同じアドレ
スはない）。CPUは上の演算処理を行うコンピユ
ータである。
電子のうち、出口スリツトに到達しない電子の一
部を検出しているが、これは電子分光装置の出口
を通つて検出される電子に比し、高側或は低側で
又は高低両方にまたがつた或るエネルギー幅内の
電子（出口スリツトを通過したものを除く）を検
出することになるため、この検出信号は細かいピ
ークが平均化されて電子分光スペクトルのバツク
グラウンド信号となるのであつて、電子分光スペ
クトルを測定するプロセスでバツクグラウンドを
実測して、バツクグラウンド補正を行つているの
で、バツクグラウンドの形を予め設定して補正す
るのと、異り試料毎にまた試料の励起条件毎にそ
れに応じたバツクグラウンド補正が行われること
になり、正確なバツクグラウンド補正が実現され
る。以下実施例によつて本考案を説明する。第１
図は二重半球型の電子エネルギー分析値を用いた
電子分光装置で本考案を実施した例である。１，
１′は二重半球電子エネルギー分析器で、Ｓ１は
入口スリツト、Ｓ２は出口スリツトで、Ｄは電子
分光用電子検出器でチヤンネルトロンが用いられ
ており、同検出器の出力信号が電子分光スペクト
ル信号である。２は試料でＸ線或は電子等の一次
励起線Ｅで照射され試料から放出されるオージエ
電子、光電子等はレンズ系３で分光器の入口スリ
ツトＳ１に収束せしめられ、入口スリツトＳ１か
ら分光器内へ入射した電子のうち特定のエネルギ
ーを有するものが出力スリツトＳ２上に収束し、
検出器Ｄによつて検出される。二重半球の電極
１，１′間の電圧を変えることで出口スリツトＳ
２に収束せられる電子のエネルギーの走査が行わ
れる。入口スリツトＳ１の後方で半球１の一部を
穿つて窓とし電子検出器BDが臨ませてある。窓
には分光器内の電界を乱さないように金網４が張
設してある。検出器BDに入射する電子は出口ス
リツトＳ２に収束している電子より高エネルギー
の電子である。第２図は電子分光スペクトルの一
例を示す。点線がバツクグラウンドである。第３
図は電子エネルギーの走査を行つたときのバツク
グラウンド電子検出器の出力信号を示す。バツク
グラウンド電子検出器BDは出口スリツトＳ２に
収束している電子より高エネルギーであるから、
第３図のカーブは第２図のカーブを左にずらせた
形であるが、検出器BDは電子を収束させていな
いので、かなり広いエネルギー幅の電子が同時に
入射しており、第２図のカーブを少しずつずらせ
て多数重ねたものに相当しており、オージエ電子
等のピークは平均化されて消えており、バツクグ
ラウンド信号そのものになつている。従つて検出
器BDの出力信号を適当に減衰させ、更に適当に
遅延させ、検出器Ｄの信号から上のBDの出力を
減衰させ遅延させた信号を引算することによつて
バツクグラウンドを消去できる。この場合、検出
器BDの出力を減衰させる減衰率及び検出器Ｄの
出力の遅延量は試料とか励起方法によらず分光装
置の個性であるから、予め実験的に適当値を求め
て、それに固定しておけばよい。この実施例では
検出器Ｄの出力をAD変換してメモリＭ１に記憶
させ、検出器BDの出力を減衰用ポテンシヨメー
タ５で分圧した後AD変換してメモリＭ２に記憶
させ、引算の際メモリＭ１のアドレスｎのデータ
に対してメモリＭ２のアドレスｎ−ｘのデータを
引算するようにし、ｘの値を実験で定めることに
より遅延量を設定する。こゝでは説明の便宜上メ
モリＭ１，Ｍ２の同じアドレス番号の所には同時
採取されたデータが入力されるものとした（実際
はメモリＭ１，Ｍ２は別々でなく、一つのRAM
の異るエリヤを使うからＭ１，Ｍ２に同じアドレ
スはない）。CPUは上の演算処理を行うコンピユ
ータである。
第４図は二重円筒形の電子エネルギー分析器を
用いた例で、１，１′は円筒電極、ｇ１は入口グ
リツド、ｇ２は出口グリツドで、Ｄは電子分光用
電子検出器、BDはバツクグラウンド電子検出用
電子検出器、２は試料、６は励起線源である。こ
の実施例においても作用は上述実施例と全く同じ
である。
用いた例で、１，１′は円筒電極、ｇ１は入口グ
リツド、ｇ２は出口グリツドで、Ｄは電子分光用
電子検出器、BDはバツクグラウンド電子検出用
電子検出器、２は試料、６は励起線源である。こ
の実施例においても作用は上述実施例と全く同じ
である。
上の実施例では信号の遅延法も含めたデータ処
理をコンピユータで行つているが、これらのデー
タ処理の方法は任意である。
理をコンピユータで行つているが、これらのデー
タ処理の方法は任意である。
本考案によるときは第２図に示すようなデータ
から第３図に示すデータを適当に処理して引算す
ることにより、第５図に示すようなバツクグラウ
ンドを消去したデータが得られ、第３図に示すバ
ツクグラウンドのデータは試料の分析中に同時に
直接得られたものであり、仮定或は近似したもの
でないから試料、励起方法の如何を問わず常に正
確にバツクグラウンド消去が行なわれる。
から第３図に示すデータを適当に処理して引算す
ることにより、第５図に示すようなバツクグラウ
ンドを消去したデータが得られ、第３図に示すバ
ツクグラウンドのデータは試料の分析中に同時に
直接得られたものであり、仮定或は近似したもの
でないから試料、励起方法の如何を問わず常に正
確にバツクグラウンド消去が行なわれる。
第１図は本考案の一実施例装置の側面図、第２
図は電子検出器Ｄの出力の記録グラフ、第３図は
電子検出器BDの出力の記録グラフ、第４図は本
考案の他の実施例装置の側面図、第５図は本考案
の効果を説明するグラフである。 １，１′……電子エネルギー分析器、Ｄ……電
子分光用電子検出器、BD……バツクグラウンド
電子検出用電子検出器、Ｓ１……入口スリツト、
Ｓ２……出口スリツト、ｇ１……入口グリツド、
ｇ２……出口グリツド、２……試料、３……電子
レンズ系、５……減衰用ポテンシヨメータ、Ｍ
１，Ｍ２……メモリ、CPU……コンピユータ。
図は電子検出器Ｄの出力の記録グラフ、第３図は
電子検出器BDの出力の記録グラフ、第４図は本
考案の他の実施例装置の側面図、第５図は本考案
の効果を説明するグラフである。 １，１′……電子エネルギー分析器、Ｄ……電
子分光用電子検出器、BD……バツクグラウンド
電子検出用電子検出器、Ｓ１……入口スリツト、
Ｓ２……出口スリツト、ｇ１……入口グリツド、
ｇ２……出口グリツド、２……試料、３……電子
レンズ系、５……減衰用ポテンシヨメータ、Ｍ
１，Ｍ２……メモリ、CPU……コンピユータ。
Claims (1)
- 電子分光器の入口の後方に電子分光器の入口を
通過した電子のうち電子分光器の出口に到達しな
い電子の一部を検出するバツクグラウンド検出器
を配置し、電子分光器の出口に設けられた電子分
光スペクトル測定用電子検出器によつて得られる
電子分光スペクトル信号から、上記バツクグラウ
ンド検出器によつて得られる信号に所要係数を掛
けた信号を引算することによりバツクグラウンド
を除去するようにした電子分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19992482U JPS59106057U (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | 電子分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19992482U JPS59106057U (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | 電子分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59106057U JPS59106057U (ja) | 1984-07-17 |
| JPH0125319Y2 true JPH0125319Y2 (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=30425451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19992482U Granted JPS59106057U (ja) | 1982-12-30 | 1982-12-30 | 電子分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59106057U (ja) |
-
1982
- 1982-12-30 JP JP19992482U patent/JPS59106057U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59106057U (ja) | 1984-07-17 |
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