JPH01253426A - 多段ホットプレス - Google Patents
多段ホットプレスInfo
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- JPH01253426A JPH01253426A JP7813788A JP7813788A JPH01253426A JP H01253426 A JPH01253426 A JP H01253426A JP 7813788 A JP7813788 A JP 7813788A JP 7813788 A JP7813788 A JP 7813788A JP H01253426 A JPH01253426 A JP H01253426A
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- Japan
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- vacuum
- packing
- plates
- hot plate
- hot
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/56—Compression moulding under special conditions, e.g. vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/56—Compression moulding under special conditions, e.g. vacuum
- B29C2043/561—Compression moulding under special conditions, e.g. vacuum under vacuum conditions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、多段ホットプレスに係り、特に、例えばコン
ピュータなど各種電子機器の高密度多層プリント配線板
を接着する際に好適な多段ホットプレスに関するもので
ある。
ピュータなど各種電子機器の高密度多層プリント配線板
を接着する際に好適な多段ホットプレスに関するもので
ある。
［従来の技術］
多層プリント配線板などの圧着用として使用される多段
ホットプレスは、例えば、特開昭６１−６９４２０号公
報記載のものが知られている。
ホットプレスは、例えば、特開昭６１−６９４２０号公
報記載のものが知られている。
当該多段ホットプレスは、複数の熱板間に被接着物の多
層プリント配線板を挿入し、各熱板間に加熱冷却装置に
より成形エネルギーを与えると同時に、ラムシリンダー
に油圧を供給することにより加熱加圧して接着するよう
に構成されている。
層プリント配線板を挿入し、各熱板間に加熱冷却装置に
より成形エネルギーを与えると同時に、ラムシリンダー
に油圧を供給することにより加熱加圧して接着するよう
に構成されている。
前記熱板には真空脱気用パツキン部材を設けることによ
り、熱板間を真空状態にしてプリント配線板を接着して
いる。このようにプリント配線板を真空状態で接着する
理由は、基板を接着する接着剤から発生する気泡を真空
脱気装置で除去するものである。
り、熱板間を真空状態にしてプリント配線板を接着して
いる。このようにプリント配線板を真空状態で接着する
理由は、基板を接着する接着剤から発生する気泡を真空
脱気装置で除去するものである。
［発明が解決しようとする課題］
上記従来技術のホットプレスは、真空脱気用パツキンを
外周に設けた複数の熱板間に被接着物を挿入後、主ラム
を上昇させ前記真空脱気用パッキン（以下真空パツキン
という）に接触した時点で真空脱気が開始され、数秒遅
れて被接着物は、大気圧と熱板間内真空度の差圧と、主
ラム圧力とで加圧され、同時に成形エネルギーで加熱さ
れるようになっていた。このため、真空パツキンは常に
高温の熱板面に接触しており、熱劣化することについて
十分に配慮されていなかった。
外周に設けた複数の熱板間に被接着物を挿入後、主ラム
を上昇させ前記真空脱気用パッキン（以下真空パツキン
という）に接触した時点で真空脱気が開始され、数秒遅
れて被接着物は、大気圧と熱板間内真空度の差圧と、主
ラム圧力とで加圧され、同時に成形エネルギーで加熱さ
れるようになっていた。このため、真空パツキンは常に
高温の熱板面に接触しており、熱劣化することについて
十分に配慮されていなかった。
また、被接着物の硬化温度が２００℃以上になると、そ
の温度に耐え、かつシール性があり、伸縮性のあるパツ
キン部材がないという問題かぁ−）だ。
の温度に耐え、かつシール性があり、伸縮性のあるパツ
キン部材がないという問題かぁ−）だ。
本発明は、上記従来技術における課題を解決するために
なされたもので、超高密度かつ高多層プリント板接着時
の接着基板間の気泡を抑制しうる多段ホットプレスの提
供を、その目的とするものである。
なされたもので、超高密度かつ高多層プリント板接着時
の接着基板間の気泡を抑制しうる多段ホットプレスの提
供を、その目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明に係る多段ホットプ
レスの構成は、被接着物を真空状態で加熱する複数の熱
板と、これら熱板を介して被接着物を加圧する加圧機構
とを備えた多段ホットプレスにおいて、前記複数の熱板
の外周を取り巻く複数の堰部材を設け、これら複数の堰
部材間を密封する複数のパツキン部材を取外し可能に設
けたものである。
レスの構成は、被接着物を真空状態で加熱する複数の熱
板と、これら熱板を介して被接着物を加圧する加圧機構
とを備えた多段ホットプレスにおいて、前記複数の熱板
の外周を取り巻く複数の堰部材を設け、これら複数の堰
部材間を密封する複数のパツキン部材を取外し可能に設
けたものである。
また、複数の熱板の外周面と複数の堰部材の内周面との
間に、密封手段を具備した可撓管を設けたものである。
間に、密封手段を具備した可撓管を設けたものである。
なお付記すると、上記目的は、加熱加圧中に。
パツキン部材（真空パツキン）を高温加熱部に接触させ
ず、かつ、小容量の真空室を形成させるために、熱板の
周囲に、パツキン部材を低温で接触させるための堰を設
けたものとし堰と熱板との間には、熱板に接続する熱媒
パイプやセンサーを通す通路として、真空シールおよび
断熱シールした可撓中空パイプを設けることにより、達
成される。
ず、かつ、小容量の真空室を形成させるために、熱板の
周囲に、パツキン部材を低温で接触させるための堰を設
けたものとし堰と熱板との間には、熱板に接続する熱媒
パイプやセンサーを通す通路として、真空シールおよび
断熱シールした可撓中空パイプを設けることにより、達
成される。
［作用］
上記の技術的手段による働きは下記のとおりである。
熱板加熱時の熱は、熱板下部の断熱板と、可撓中空パイ
プの熱板側取付部の断熱材とで、＠側への熱伝達を遮断
される。
プの熱板側取付部の断熱材とで、＠側への熱伝達を遮断
される。
また、堰と熱板との間は可撓中空パイプを挿入するスペ
ースのみであるため、パツキン部材（真空パツキン）に
より密封した内部は低温かつ低容積の真空接着室となる
ので、超高密度多層プリント配線板間に気泡を残存させ
ない接着作業が可能となる。
ースのみであるため、パツキン部材（真空パツキン）に
より密封した内部は低温かつ低容積の真空接着室となる
ので、超高密度多層プリント配線板間に気泡を残存させ
ない接着作業が可能となる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を第１図ないし第４図を参照し
て説明する。
て説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る多段ホラ（ヘプレス
の一部開被略示構成図、第２図は、第１図の堰および真
空パツキンの詳細を示す要部拡大図、第３図は、第２図
の１矢視図で、フックの正面図、第４図は、第２図のＩ
Ｉ矢視図で、堰の構成を示す一部開被平面図である。
の一部開被略示構成図、第２図は、第１図の堰および真
空パツキンの詳細を示す要部拡大図、第３図は、第２図
の１矢視図で、フックの正面図、第４図は、第２図のＩ
Ｉ矢視図で、堰の構成を示す一部開被平面図である。
まず、第１図を参照して、本実施例の多段ホットプレス
の全体構成を説明する。
の全体構成を説明する。
プレス下フレーム１に固定された主ラムシリンダー２の
ラム３上には、枕部材となる下ボルスタ−４が載置され
、この下ボルスタ−４上には、不断熱板５を介して下熱
板６が固定されている。そして、この下熱板６の外周を
取り巻いて堰部材に係る堰８がシートパツキン７を介し
て箭記下ボルスター４上に固定されている。
ラム３上には、枕部材となる下ボルスタ−４が載置され
、この下ボルスタ−４上には、不断熱板５を介して下熱
板６が固定されている。そして、この下熱板６の外周を
取り巻いて堰部材に係る堰８がシートパツキン７を介し
て箭記下ボルスター４上に固定されている。
また、上熱板１５は、上訴熱板１４を介して上ボルスタ
−１６に固定されている。そして、この上熱板１５の外
周を取り巻いて堰８がシートパツキン７を介して上ボル
スタ−１６に固定されている。ここで、上ボルスタ−１
６は、プレス下フレーム１と支柱１７で連結されている
ものである。
−１６に固定されている。そして、この上熱板１５の外
周を取り巻いて堰８がシートパツキン７を介して上ボル
スタ−１６に固定されている。ここで、上ボルスタ−１
６は、プレス下フレーム１と支柱１７で連結されている
ものである。
さらに、複数の中間ボルスタ−１９（第１図では中間ボ
ルスタ−が１組しか示していないが、−般には複数組あ
るものが多い）の両側に、中間断熱板〕２を介して中間
熱板１３が固定されている。
ルスタ−が１組しか示していないが、−般には複数組あ
るものが多い）の両側に、中間断熱板〕２を介して中間
熱板１３が固定されている。
そして、この中間熱板１３の外周を取り巻いて。
前述と同様に堰８がシートパツキン７を介して中間ボル
スタ−１９に固定されている。
スタ−１９に固定されている。
これら中間ボルスタ−１９は、カウンターシリンダー１
８にそれぞれ支持されている。
８にそれぞれ支持されている。
９は、前記堰８の全側面に沿って設けられ、各ボルスタ
−間を真空状態に保持する真空脱気用パツキン部材（以
下真空パツキンという）で、その詳細を第２図に示す。
−間を真空状態に保持する真空脱気用パツキン部材（以
下真空パツキンという）で、その詳細を第２図に示す。
第１図において、２５は加熱冷却制御装置、２８は油圧
装置、２９は、堰８に開口された真空脱気穴、３１は真
空脱気装置、３０は、真空脱気穴２９と真空脱気装置３
０とを結ぶ真空脱気用の配管である。
装置、２９は、堰８に開口された真空脱気穴、３１は真
空脱気装置、３０は、真空脱気穴２９と真空脱気装置３
０とを結ぶ真空脱気用の配管である。
次に、第２図ないし第４図を参照して堰８、真空パツキ
ン９等の詳細構成を説明する。
ン９等の詳細構成を説明する。
第２図および第４図では、ボルスタ−１熱板、堰、真空
パツキン等の構成を基本的な形で示している。すなわち
、第２図において、Ｂは、第１図に示した下ボルスタ−
４、上ボルスタ−１６、および中間ボルスタ−１９のい
ずれかのボルスタ−１Ａは、不断熱板５、上訴熱板１４
、および中間断熱板１２のいずれかの断熱板、Ｔは、下
熱板６、上熱板１５、および中間熱板１３のいずれかの
熱板を示す。
パツキン等の構成を基本的な形で示している。すなわち
、第２図において、Ｂは、第１図に示した下ボルスタ−
４、上ボルスタ−１６、および中間ボルスタ−１９のい
ずれかのボルスタ−１Ａは、不断熱板５、上訴熱板１４
、および中間断熱板１２のいずれかの断熱板、Ｔは、下
熱板６、上熱板１５、および中間熱板１３のいずれかの
熱板を示す。
第４図に示すように熱板′ｒは方形（第４図の例では正
方形）をなしており、堰８は、熱板Ｔの各辺と平行に熱
板Ｔの外周を取り巻くように配置されている。
方形）をなしており、堰８は、熱板Ｔの各辺と平行に熱
板Ｔの外周を取り巻くように配置されている。
堰８は、第１図に示したように多段に複数個設けられ、
複数個の冬服の間に第２図に示すように真空パツキン９
が着脱可能に取付けられる。
複数個の冬服の間に第２図に示すように真空パツキン９
が着脱可能に取付けられる。
真空パツキン９は、第２図に示したように、高剛性を有
する鉄心などの心枠１０と、この心枠１０の上、下面に
接合される高耐熱性の発砲シリコンなどのパツキン部材
９ａ、９ｂと、これらパツキン部材９ａ、９ｂの内側を
心枠１０を介して支持する内フランジ１１とから構成さ
れている。
する鉄心などの心枠１０と、この心枠１０の上、下面に
接合される高耐熱性の発砲シリコンなどのパツキン部材
９ａ、９ｂと、これらパツキン部材９ａ、９ｂの内側を
心枠１０を介して支持する内フランジ１１とから構成さ
れている。
２０は、前記真空パツキンを取外し可能に支持するフッ
クで、このフック２０は、第２，３図に示すように、ボ
ルスタ−已にボルト締結され、当該フックのガイド穴２
０ａに真空パツキン９の心枠１０が挿入されている。
クで、このフック２０は、第２，３図に示すように、ボ
ルスタ−已にボルト締結され、当該フックのガイド穴２
０ａに真空パツキン９の心枠１０が挿入されている。
２１は、熱板Ｔに熱媒体を通すパイプ、２３は、可撓管
に係る可撓中空パイプ、２２．２４はシートパツキンで
ある。パイプ２１は、熱板Ｔ側のシートパツキン２２と
堰８側のシートパツキン２４とで密封された可撓中空パ
イプ２３内を通り、堰８の貫通孔８ａを通り外部に取り
出されている。
に係る可撓中空パイプ、２２．２４はシートパツキンで
ある。パイプ２１は、熱板Ｔ側のシートパツキン２２と
堰８側のシートパツキン２４とで密封された可撓中空パ
イプ２３内を通り、堰８の貫通孔８ａを通り外部に取り
出されている。
これら熱媒体を通すパイプ２１は、第４図に示すように
堰８の一辺に複数個（図では２個）設けられている。
堰８の一辺に複数個（図では２個）設けられている。
２９は真空脱気穴、３０は真空脱気用の配管で、第４図
に示すように堰８の一辺に設けられ真空脱気装置３１に
接続する。
に示すように堰８の一辺に設けられ真空脱気装置３１に
接続する。
このような構成の多段ホットプレスの作用を次に述べる
。
。
各熱板Ｔには、加熱冷却制御装置２５からパイプ２１を
介して成形熱エネルギーが与えられる。
介して成形熱エネルギーが与えられる。
下側の熱板と上側の熱板との間に、下治具板２６ａおよ
び下治具板２６ｂで把持された被接着物のプリント配線
板２７を挿入する。
び下治具板２６ｂで把持された被接着物のプリント配線
板２７を挿入する。
主ラムシリンダー２およびカウンターシリダ−１８に、
油圧装置２８から油圧が供給され、加熱加圧が開始され
ると、同時に真空パツキン９が上下の堰８に接触し、堰
８に設けられた真空脱気穴２９に接続された配管３０を
介して真空脱気装置３１により各熱板間を真空脱気する
。
油圧装置２８から油圧が供給され、加熱加圧が開始され
ると、同時に真空パツキン９が上下の堰８に接触し、堰
８に設けられた真空脱気穴２９に接続された配管３０を
介して真空脱気装置３１により各熱板間を真空脱気する
。
ボルスタ−Ｂ上の熱板Ｔは、加熱開始と同時に熱膨張に
よりボルスタ−Ｂおよび堰８との相対位置が変るが、熱
板Ｔと堰８との間に設けられた真空シール用の可撓中空
パイプ２３が、その変位を吸収する。そのためには、可
撓中空パイプ２３は、熱板Ｔの最高使用温度によりボル
スタ−Ｂ上の変位量を吸収しうる可撓量が必要であるこ
とは言うまでもない。
よりボルスタ−Ｂおよび堰８との相対位置が変るが、熱
板Ｔと堰８との間に設けられた真空シール用の可撓中空
パイプ２３が、その変位を吸収する。そのためには、可
撓中空パイプ２３は、熱板Ｔの最高使用温度によりボル
スタ−Ｂ上の変位量を吸収しうる可撓量が必要であるこ
とは言うまでもない。
熱板Ｔを取り巻く堰８は、シートパツキン７、熱板Ｔ下
の断熱板Ａ、および可撓中空パイプ２３の熱板側シート
パツキン２２で断熱されているので、熱板Ｔのごく近傍
に設置されているにもかかわらず、熱板Ｔからの輻射熱
による昇温のみであるため、熱板Ｔを２５０℃以上に加
熱しても堰８の温度は１００°Ｃ以下に保持できる。し
たがって、真空パツキン９の熱劣化の恐れがない。
の断熱板Ａ、および可撓中空パイプ２３の熱板側シート
パツキン２２で断熱されているので、熱板Ｔのごく近傍
に設置されているにもかかわらず、熱板Ｔからの輻射熱
による昇温のみであるため、熱板Ｔを２５０℃以上に加
熱しても堰８の温度は１００°Ｃ以下に保持できる。し
たがって、真空パツキン９の熱劣化の恐れがない。
また、堰８によって熱板Ｔを取り巻き、各堰間に真空パ
ツキンを設けたため、低容積の真空接着室が構成される
ので、被接着物は、高速で高真空に達した状態で接着さ
れることになる。このため、高密度、高多層のプリント
板でも残存気泡を大幅に抑制して信頼性の高い接着を行
うことができる。
ツキンを設けたため、低容積の真空接着室が構成される
ので、被接着物は、高速で高真空に達した状態で接着さ
れることになる。このため、高密度、高多層のプリント
板でも残存気泡を大幅に抑制して信頼性の高い接着を行
うことができる。
本実施例によれば、真空パツキンが高温部に接触するこ
となく、低容積の真空接着室が得られるため、基板寸法
変化のばらつきを抑えるための低圧力接着操作が可能で
、かつ、高温硬化処理が要求される、格子間隔５ｏミル
以下で多層（２０層以上）の高密度、高多層のプリント
板の接着を、接着基板間に気泡を発生させることな〈実
施できる効果がある。
となく、低容積の真空接着室が得られるため、基板寸法
変化のばらつきを抑えるための低圧力接着操作が可能で
、かつ、高温硬化処理が要求される、格子間隔５ｏミル
以下で多層（２０層以上）の高密度、高多層のプリント
板の接着を、接着基板間に気泡を発生させることな〈実
施できる効果がある。
［発明の効果］
以上述べたように、本発明によれば、超高密度かつ高多
層プリント板接着時の接着基板間の気泡を抑制しうる多
段ホットプレスを提供することができる。
層プリント板接着時の接着基板間の気泡を抑制しうる多
段ホットプレスを提供することができる。
第１図は、本発明の一実施例に係る多段ホットプレスの
一部開被略示構成図、第２図は、第１図の堰および真空
パツキンの詳細を示す要部拡大図、第３図は、第２図の
工矢視図で、フックの正面図、第４図は、第２図の■矢
視図で、堰の構成を示す一部開被平面図である。 １・・・プレス下フレーム、２・・・主ラムシリンダー
、Ａ・・・断熱板、Ｂ・・・ボルスタ−１Ｔ・・・熱板
、６・・下熱板、８・・・堰、９・・・真空パツキン、
９ａ、９ｂ・・・パツキン部材、１３・・・中間熱板、
１５・・・上熱板、１８・・・カウンターシリンダー、
２０・・・フック、２１・・・パイプ、２２．２４・・
・シートパツキン、２３・・・可撓中空パイプ、２５・
・・加熱冷却制御装置、２７・・・プリント配線板、２
８・・・油圧装置、２９・・・真空脱気穴、３０・・・
配管、３１・・・真空脱気装置。
一部開被略示構成図、第２図は、第１図の堰および真空
パツキンの詳細を示す要部拡大図、第３図は、第２図の
工矢視図で、フックの正面図、第４図は、第２図の■矢
視図で、堰の構成を示す一部開被平面図である。 １・・・プレス下フレーム、２・・・主ラムシリンダー
、Ａ・・・断熱板、Ｂ・・・ボルスタ−１Ｔ・・・熱板
、６・・下熱板、８・・・堰、９・・・真空パツキン、
９ａ、９ｂ・・・パツキン部材、１３・・・中間熱板、
１５・・・上熱板、１８・・・カウンターシリンダー、
２０・・・フック、２１・・・パイプ、２２．２４・・
・シートパツキン、２３・・・可撓中空パイプ、２５・
・・加熱冷却制御装置、２７・・・プリント配線板、２
８・・・油圧装置、２９・・・真空脱気穴、３０・・・
配管、３１・・・真空脱気装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被接着物を真空状態で加熱する複数の熱板と、これ
ら熱板を介して被接着物を加圧する加圧機構とを備えた
多段ホットプレスにおいて、前記複数の熱板の外周を取
り巻く複数の堰部材を設け、これら複数の堰部材間を密
封する複数のパッキン部材を取外し可能に設けたことを
特徴とする多段ホットプレス。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、複数の
熱板の外周面と複数の堰部材の内周面との間に、密封手
段を具備した可撓管を設けたことを特徴とする多段ホッ
トプレス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63078137A JP2596585B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 多段ホットプレス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63078137A JP2596585B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 多段ホットプレス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01253426A true JPH01253426A (ja) | 1989-10-09 |
| JP2596585B2 JP2596585B2 (ja) | 1997-04-02 |
Family
ID=13653492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63078137A Expired - Fee Related JP2596585B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | 多段ホットプレス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2596585B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5297480A (en) * | 1991-05-09 | 1994-03-29 | Hitachi Techno Engineering Co., Ltd. | High vacuum hot press |
| US5555798A (en) * | 1992-11-09 | 1996-09-17 | Hitachi Techno Engineering Co., Ltd. | Hot press for producing a multilayered substrate |
| CN110789033A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-02-14 | 芜湖荣基密封系统有限公司 | 自动化多层硫化设备 |
| TWI702130B (zh) * | 2017-03-10 | 2020-08-21 | 日商Ｔｏｗａ股份有限公司 | 樹脂成型裝置、樹脂成型方法和樹脂成型品的製造方法 |
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| JPS5394960U (ja) * | 1976-12-30 | 1978-08-02 | ||
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| JPS6169420A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-10 | Hitachi Ltd | 多段ホツトプレス |
| JPS61143120A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-06-30 | Hitachi Ltd | 真空パツキング治具 |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP63078137A patent/JP2596585B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
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Also Published As
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