JPH01253590A - 高真空ポンプ - Google Patents
高真空ポンプInfo
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- JPH01253590A JPH01253590A JP8092588A JP8092588A JPH01253590A JP H01253590 A JPH01253590 A JP H01253590A JP 8092588 A JP8092588 A JP 8092588A JP 8092588 A JP8092588 A JP 8092588A JP H01253590 A JPH01253590 A JP H01253590A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- cooling device
- intake port
- low
- blades
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、高真空ポンプに関するものであり、特に、分
子ポンプの形態の高真空ポンプに関するものである。
子ポンプの形態の高真空ポンプに関するものである。
（従来の技術）
高真空を生成するために、例えば三菱電機株式会社から
発行されている「三菱ターボ分子真空ポンプ」のカタロ
グに開示されているように、従来から分子ポンプが採用
されている。この分子ポンプは、気体の分子に大きな運
動量を付与して排気作用を行わしめるものである。
発行されている「三菱ターボ分子真空ポンプ」のカタロ
グに開示されているように、従来から分子ポンプが採用
されている。この分子ポンプは、気体の分子に大きな運
動量を付与して排気作用を行わしめるものである。
（発明が解決しようとする課Ｂ）
ところが、分子ポンプは、あらゆる気体を排気出来ると
いう長所があるも、排気速度が遅いという短所がある。
いう長所があるも、排気速度が遅いという短所がある。
従って、分子ポンプを真空装置に採用した場合、真空装
置で最も多量に排気する必要がある水蒸気の排気に時間
が掛かるという不具合があった。
置で最も多量に排気する必要がある水蒸気の排気に時間
が掛かるという不具合があった。
それ故に、本発明は、高真空ポンプの排気速度を高める
ことを、その技術的課題とする。
ことを、その技術的課題とする。
（課題を解決するための手段）
上記した技術的課題を解決するために本発明において講
じた技術的手段は、 ［吸気口および排気口を備えたケーシング、ケーシング
内に配設された翼および翼を回転させるモータを有し、
翼がモータにより回転されたときに吸気口からケーシン
グ内に吸い込まれた気体の分子が翼により運動量を与え
られて排気口から排出される高真空ポンプにおいて、ケ
ーシングの吸気口側に冷却装置と熱的に連結されて低温
パネルを配設した高真空ポンプ」 を構成したことである。
じた技術的手段は、 ［吸気口および排気口を備えたケーシング、ケーシング
内に配設された翼および翼を回転させるモータを有し、
翼がモータにより回転されたときに吸気口からケーシン
グ内に吸い込まれた気体の分子が翼により運動量を与え
られて排気口から排出される高真空ポンプにおいて、ケ
ーシングの吸気口側に冷却装置と熱的に連結されて低温
パネルを配設した高真空ポンプ」 を構成したことである。
（作用）
この構成においては、水蒸気・二酸化炭素等の凝縮温度
が比較的高い気体は低温パネルで凝縮・排気され、窒素
・酸素・水素・ネオン・ヘリウム等の凝縮温度が比較的
低い気体は分子ポンプで排気される。つまり分子ポンプ
では、凝縮温度が比較的高い気体の排気を担当しないの
で、全体として排気速度を高めることが出来る。
が比較的高い気体は低温パネルで凝縮・排気され、窒素
・酸素・水素・ネオン・ヘリウム等の凝縮温度が比較的
低い気体は分子ポンプで排気される。つまり分子ポンプ
では、凝縮温度が比較的高い気体の排気を担当しないの
で、全体として排気速度を高めることが出来る。
（実施例）
第１図および第２図において、ケーシング１０の上部お
よび下側側部には夫々吸気口１１および排気口１２が形
成される。ケーシング１０内には、モータ１３により回
転される翼１４を備えた分子ポンプＭが配設されている
。翼１４が回転されると、吸気口１１からケーシング１
０内に吸い込まれた気体の分子が翼１４により運動量を
与えられて排気口１２から排出されるようになっている
。
よび下側側部には夫々吸気口１１および排気口１２が形
成される。ケーシング１０内には、モータ１３により回
転される翼１４を備えた分子ポンプＭが配設されている
。翼１４が回転されると、吸気口１１からケーシング１
０内に吸い込まれた気体の分子が翼１４により運動量を
与えられて排気口１２から排出されるようになっている
。
翼１４の上流側、つまり吸気口１１と翼１４との間には
、冷却装置１５および冷却装置１５と熱的に一体の低温
パネル１６が配設される。即ち、ターボ膨張機の形態を
なす冷却装置】５は、ブラケット１７を介してケーシン
グ１０に固定されている。冷却装置１５のコールドヘッ
ド１５ｃは、低温パネル１６に固定されている。
、冷却装置１５および冷却装置１５と熱的に一体の低温
パネル１６が配設される。即ち、ターボ膨張機の形態を
なす冷却装置】５は、ブラケット１７を介してケーシン
グ１０に固定されている。冷却装置１５のコールドヘッ
ド１５ｃは、低温パネル１６に固定されている。
しかして冷却装置１５のインレットボート１５ａは、配
管１８、熱交換器１９の往道路１９ａおよび放熱器２０
を介して圧縮機２１の吐出口に連結されている。また、
冷却装置１５のアウトレットボー）１５ｂは、配管２２
および熱交換器１９の復通路１９ｂを介して圧縮機２１
の吸入口に連結されている。
管１８、熱交換器１９の往道路１９ａおよび放熱器２０
を介して圧縮機２１の吐出口に連結されている。また、
冷却装置１５のアウトレットボー）１５ｂは、配管２２
および熱交換器１９の復通路１９ｂを介して圧縮機２１
の吸入口に連結されている。
圧縮機２１で圧縮された作動ガスは、放熱器２０で冷却
された後、熱交換器１９の往道路１９ａおよび配管１８
を経て冷却装置１５に至る。そこで、作動ガスは膨張さ
れ、この膨張によりコールドヘッド１５ｃに寒冷を発生
する０作動ガスは、その後、配管２２および熱交換器１
９の復通路１９ｂを介して圧縮機２１に帰還する。作動
ガスは、熱交換器１９の復通路１９ｂを通過する際に、
熱交換器１９の往道路１９ａを通過する作動ガスを冷却
する。つまり、逆ブライトンサイクルにより、寒冷が発
生されるようになっている。
された後、熱交換器１９の往道路１９ａおよび配管１８
を経て冷却装置１５に至る。そこで、作動ガスは膨張さ
れ、この膨張によりコールドヘッド１５ｃに寒冷を発生
する０作動ガスは、その後、配管２２および熱交換器１
９の復通路１９ｂを介して圧縮機２１に帰還する。作動
ガスは、熱交換器１９の復通路１９ｂを通過する際に、
熱交換器１９の往道路１９ａを通過する作動ガスを冷却
する。つまり、逆ブライトンサイクルにより、寒冷が発
生されるようになっている。
コールドヘッド１５ｃと熱的に連結された低温パネル１
６は、水蒸気・二酸化炭素等の凝縮温度が比較的高い気
体を凝縮・排気し、窒素・酸素・水素・ネオン・ヘリウ
ム等の凝縮温度が比較的低い気体は分子ポンプＭで排気
される。かくして、高真空を生成することが出来る。
６は、水蒸気・二酸化炭素等の凝縮温度が比較的高い気
体を凝縮・排気し、窒素・酸素・水素・ネオン・ヘリウ
ム等の凝縮温度が比較的低い気体は分子ポンプＭで排気
される。かくして、高真空を生成することが出来る。
本発明においては、水蒸気・二酸化炭素等の凝縮温度が
比較的高い気体は低温パネルで凝縮・排気され、窒素・
酸素・水素・ネオン・ヘリウム等の凝縮温度が比較的低
い気体は分子ポンプで排気される。つまり分子ポンプで
は、凝縮温度が比較的高い気体の排気を担当しないので
、全体として排気速度を高めることが出来る。
比較的高い気体は低温パネルで凝縮・排気され、窒素・
酸素・水素・ネオン・ヘリウム等の凝縮温度が比較的低
い気体は分子ポンプで排気される。つまり分子ポンプで
は、凝縮温度が比較的高い気体の排気を担当しないので
、全体として排気速度を高めることが出来る。
第１図は本発明に係る高真空ポンプの一実施例の平面図
および第２図は第１図■−■線に沿う断面図である。 １０：ケーシング、１１：吸気口、１２：排気口、１３
：モータ、１４：翼、１５：冷却装置、１６：低温パネ
ル。
および第２図は第１図■−■線に沿う断面図である。 １０：ケーシング、１１：吸気口、１２：排気口、１３
：モータ、１４：翼、１５：冷却装置、１６：低温パネ
ル。
Claims (1)
- 吸気口および排気口を備えたケーシング、ケーシング内
に配設された翼および翼を回転させるモータを有し、翼
が前記モータにより回転されたときに吸気口から前記ケ
ーシング内に吸い込まれた気体の分子が翼により運動量
を与えられて排気口から排出される高真空ポンプにおい
て、ケーシングの吸気口側に冷却装置と熱的に連結され
て低温パネルを配設した高真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8092588A JPH01253590A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 高真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8092588A JPH01253590A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 高真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01253590A true JPH01253590A (ja) | 1989-10-09 |
Family
ID=13732008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8092588A Pending JPH01253590A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 高真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01253590A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02133401U (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-06 | ||
| EP0610666A1 (en) * | 1993-01-11 | 1994-08-17 | Applied Materials, Inc. | Turbomolecular pump |
| CN113266550A (zh) * | 2021-06-02 | 2021-08-17 | 华能榆社发电有限责任公司 | 一种真空泵入口冷却装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5990784A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-25 | Shimadzu Corp | 真空排気装置 |
| JPH0151795B2 (ja) * | 1982-01-18 | 1989-11-06 | Hitachi Ltd |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP8092588A patent/JPH01253590A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0151795B2 (ja) * | 1982-01-18 | 1989-11-06 | Hitachi Ltd | |
| JPS5990784A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-25 | Shimadzu Corp | 真空排気装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH02133401U (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-06 | ||
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| CN113266550A (zh) * | 2021-06-02 | 2021-08-17 | 华能榆社发电有限责任公司 | 一种真空泵入口冷却装置 |
| CN113266550B (zh) * | 2021-06-02 | 2022-09-06 | 华能榆社发电有限责任公司 | 一种真空泵入口冷却装置 |
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