JPH01254884A - 超音波距離計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業、Ｊ−の利用分りｔ〉 本発明は、超音波を空中に送受信して距離を測定する超
音波距離計に関するものである。

更に詳述すれば、本発明は、超音波距離計の送受波器の
構造の改善に関するものである。

〈従来の技術〉 第１１図は従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。

図において、１ａはセラミックス系よりなる円筒状の圧
電振動子である。２ａは音響マツチング層を兼ねたプラ
スチックス製のケースである。３ａは圧Ｔｈ振動子１ａ
の制動のためのダンピング材である。４ａは圧電振動子
１ａよりの超音波の送・受信音の方向変換を行い指向性
を持たずための反射傘である。

以上の構成において、 （１）超音波の送信の場合 圧電振動子１ａに電気パルスを印加すると、圧電振動子
１ａは半径方向に呼吸振動を起こし、外周部の法線方向
の空気中に向かって超音波を発生ずる。この超音波は、
反射＊４ａにより進行方向を変換され第１２図に示すよ
うなドーナツ状のビームとなって第１１図の下方に進行
する。

（２）超音波の受信の場合 第１１図の下方から入射してきた超音波は、反射傘４ａ
により収束されて、ゲース２ａを通過して、圧電振動子
１ａの外周部に応力を与える。圧電振動子１ａは、加え
られた応力に応じて、電極感に電界を発生ずる。

〈発明が解決しようとする課題〉 この様な原理にもとすく超音波距離計においては、以下
の特性が要求される。

（１）高ダンピング特性 超音波距離計は対象に向かって超音波を放射し、反射し
て帰ってくるまでの時間ｔを測定することにより対象ま
での距ＭＬを求める計器である。

ここに、 Ｌ＝（１／２）Ｃｔ　　　　　　　　　（１）Ｃ；伝搬
媒体中の音速 しかし、セラミックス系の圧電振動子１ａは、一般に大
きな慣性を持つため、第１３図（Ａ）にしめず電気１ｉ
Ｒ動パルスがなくなったあとにら、第１３図（Ｄ）に示
すように、減衰性の振動すが続く、これを、残留振動す
と言うことにすると、測定対象までの距離が短い場合に
は、第１３図（Ｃ）に示すごとく、残留振動すが残って
いる間に、反射波Ｃが到達してしまい、両者の分離・判
別が不可能になることがある。すなわち、至近距離の測
定が固化となる。

逆に、測定対象までの距離が長い場合には、第１３図（
Ｄ＞に示すごとく、反射波振幅が、極めて小さくなるの
で、受信電圧を電気的に大きく増幅する必要が生ずる。

この際、同時に残留振動すによる起電力も増幅するため
、残留振動すの方を間違って検出しないためには、残留
振動すの振幅が反射波Ｃの振幅よりも小さくなる時点ま
で、反射波Ｃの検出禁止領域（不感帯）ｅを、第１３図
（Ｅ）に示すごとく、設けておく必要がある。

以上の事から、遠距＾ｔを測定しようとすれば、近距離
の測定が不可能となり、一方、近距離まで測定できるよ
うにするく不感帯を短くする。）と、反射の小いさい遠
距離の測定が困難になるという問題か生ずる。

この事態を避けるために、一般には、第１１図にしめず
ダンピング材３ａにより、圧電振動子１ａに制動を掛け
る方法がとられているが、この方法には、次の２つの問
題が存在している。

■　広い温度範囲において、満足すべき、あるいは、適
切な制動効果を有するダンピング材の連室が極めて難し
い。すなわち、多くの粘性物質は、温度によりその物性
が大きく変化するため、現実には、低温から高温まで必
要充分な制動特性の得られるダンピング材がなかなか見
出せない。

■　ダンピング材により制動を加えることは、振動を抑
制する事を意味し、送信時の発生音圧の減少につながる
。

（２）高い効率の送受信特性 省エネルギー、安全性等の面から低電力で音の送受信を
行える事が望ましい。

しかし、第１１図従来例に示す送受波器は、以下の２つ
の問題を有する。

■　ダンピング材３ａにより制動を加えている為、所望
の振動子振動振幅を得るためには、圧電振動子１ａ単体
の場合よりかなり大きな駆動電力、例えば１０倍、電圧
で表現するとＩＫＶ稈度を与える必要がある。

■　圧電振動子１ａの音響インピーダンス（ρＣ５；密
度、Ｃ：音速）は、空気の音響インピーダンスより約５
桁大きいため、圧電振動子１ａが振動しても、空気中に
伝わるエネルギーは極めて僅かである。これを改善する
ために、音響マツチング層として、圧電振動子１ａより
音響的に柔かい（音響インピーダンスρＣの小いさい）
プラスチックよりなるゲース２ａを介して、空気中に音
を放出することが行なわれている。また、このプラスチ
ック層２ａの厚さは１／４波長のときが、エネルギーの
伝搬効率が最大となる。しかし、温度変化によりプラス
チックの音速が変化すると、等価的なプラスチック層厚
さが１／４波長からずれる２１ｆになり、音の伝搬効率
が悪化する。結局、マッチチング層２ａの存在は、送受
信特性の温度変化となって現れる。

（３）シンプルな構造 以上のべたように、第１１図従来例の送受波器は、その
特性を理想的なものに近ずけるために、圧電振動子１ａ
以外に、ダンピング材３ａ、青春マツチング７ｍ２ａと
いうような附随する要素を必要とし、その結果、逆に、
温度変化等に対して、これらの要素により特性が大きく
影響を受ける結果となっている。

理想的には、これらの余分な要素は無いことが望ましい
。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、シンプルな構造で、高ダンピング特性
を有し、効率が良く、水没時の防水が良好な超音波距離
計を提供するにある。

く課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、円柱状の保持体
と、該保持体の周面の両端部を残してリング状に設けら
れた凹部と、前記保持体の周面の前記凹部以外の部分に
固定され該凹部と室を構成する円筒状の高分子圧電膜と
、該高分子圧電膜の外周面と内周面とにそれぞれ設けら
れた電極板と、前記保持体の一端に頭部側が取付けられ
送受信する超音波に前記保持体の軸方向の指向性を付与
する円錐状の反射傘と、前記保持体に設けられ前記室と
外部とを連通ずる均圧孔と、該均圧孔の外部開口部に対
向して設けられ水圧により該均圧孔の外部開口部を封止
する板状の封止蓋とを備える送受波器を具備してなる超
音波距離計を構成したものである。

く作用〉 以上の構成において、高分子圧電膜に電気パルスを印加
すると、高分子圧電膜は半径方向に呼吸振動を起こす、
この呼吸振動によって発生された超音波は、反射傘によ
り進行方向を変換され、ドーナツ状のビームとなって進
行する。

一方、高分子圧電膜に外部から圧力が加われば、高分子
圧電膜の伸縮が生じ、電極間に電圧を発生ずる。

しかして、送受波器が水没した場合には、水圧により、
均圧孔の外部開口部は封止蓋により封止される。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図である。

図において、１は円筒状の高分子圧電膜である。

高分子圧’ｒ４Ｍ１は、第２図に示す如く、円周方向α
に延伸した後、第３図に示す如く、円筒状に形成される
。この場合は、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）が用
いられている。

１１．１２は高分子圧電膜１の両面に設けられた電極で
ある。１１１．１１２は電極１１．１２に、それぞれ一
端が取付けられたリード線である。

２は高分子圧電膜１を、その呼吸振動を阻害しないよう
に、上下端面において、保持する円柱状の保持体である
。保持体２は、耐候性等に勝れたプラスチック、例えば
、テフロン、塩化ビニール等が用いられている。

２１は保持体２の周面に設けられ、高分子圧電膜１と室
、３を構成する凹部である。

４は高分子圧電膜１の一端に頭部側が取付けられ、送受
信する超音波に指向性を付与する円錐状の反射傘である
。

５は保持体２に設けられ室３と外部とを連通する均圧孔
である。

６は均圧孔５の外部開口部に対向して設けられ水圧によ
り均圧孔５の外部開口部を封止する板状の封止蓋である
。封止蓋６は、一端を保持体２に固定され、この場合は
、弾性体よりなる０通常は封止蓋６と保持体２との間に
は隙間６１が存在する。

以上の構成において、高分子圧電膜１に電気パルスを印
加すると、高分子圧電１１！Ａ１は延伸方向αに伸縮す
るが、高分子圧電膜１は円筒状に形成されているので、
半径方向の呼吸振動に変換される。

この呼吸振動によって発生された超音波は、反射中４に
より進行方向を変換され、ドーナツ状のビームとなって
第１図の下方に進行する。

一方、高分子圧電膜１に外部から圧力が加われば、高分
子圧電膜１の伸縮が生じ、電極１１．１２間に電圧を発
生する。

すなわち、第１図に示した送受波器は、第１１図従来例
と同様の動作を行う。

しかして、送受波器が水没した場合には、水圧により、
均圧孔の外部開口部は封止蓋により封止される。

高分子圧電膜１は、 （１）音響インピーダンスが小さく、水、空気等とのマ
ツチングがとりやすい。

（２）内部でのエネルギー減衰が大きく、継続時間の短
いパルスの送受信ができる。

（３）可撓性があるため薄膜への製造・加工が容易であ
る。

という特徴を有する。

これらの特徴を生かし、第１図に示したように、膜の長
さ方向の振動を半径方向の振動に変換して使用する。

このときの膜の共振周波数ｆｏは、膜の曲率半半径をＲ
２弾性率をＥ、密度をρで示せば、　（２）式となる。

ｆｏ　＝　（１／　（２πＲ）　ｌ　　（Ｅ／ρ）１１
２・・・・・・（２） よって、今、仮に、■シー１１．３ｘｌＯ’　　（Ｎ／
ｍ２）、ρ＝１．８ｘｌＯ”　８Ｋｇ／ｍ）とすれば、
第１図において、保持体２の半径を１０ｍｍとすること
により、約４０　Ｋ　Ｈ７，の超音波の送受信が可能と
なる。

以下、高分子圧電膜１利用による利点を、セラミックス
系の圧電振動子との比較において具体的に説明する。

（１）送信の場合 ■　空気中に放射される音圧の絶対値は、振動源の周波
数および放射面積が同一なら振動源の速度Ｖに比例する
。この速度Ｖは、周波数一定なら振動源の変位Ｘに比例
するから、高分子圧電膜１に加える電圧Ｖと変位Ｘの変
換効率について考えてみる。

高分子圧電膜１の両側に設けられた電極１１゜１２間に
Ｖなる電圧を加えたとすると、高分子圧電膜１の延伸方
向すなわち円筒の外周の伸びΔ！は次式により算出出来
る。

１Δ１．／１ｌ＝ＩｓＩ＝ｄ３　＋　Ｅ＝ｄ３１　・Ｖ
／ｌ　　　　　　　　　　　　　　　・・・・・・（３
）ここに、ｌは高分子圧電ｆ＆１１の長さ（＝２πｒ、
ｒ＝半径）、ｔは高分子圧電膜１の厚さ、ｄ３１は圧電
歪定数である。

（３）式より、Δ！は、圧電歪定数ｄ３１が大きいほど
、厚さもが小いさいほど、大きな値となる事が分る。が
大きいほど、高分子圧電膜１の呼吸振動の振幅Ｘも大き
くなる。

高分子圧電１＆！１の圧な歪定数ｄ３１の値は、−般に
、セラミックス系の圧電振動子１ａ、たとえば、ｐ　ｚ
　ｔ、の圧電歪定数ｄ３１より一桁小さいが、逆に板厚
ｔは、極めて小いさいものを作る事が可能である。結局
、総合的にＰ　Ｚ　’Ｔ’よりも数ｆ＆効率良く、大き
なΔｌ／ｌを得る事が出来る。

−例をあげると、高分子圧電膜１の圧電歪定数ｄｚ＋＝
１０Ｘ１０°”（Ｃ／Ｎ）、厚さｔ　＝　４μｍ、ＰＺ
’Ｔ’の圧電歪定数ｄ３＋＝１００Ｘ１０−１２　（Ｃ
／Ｎ）、厚さｔ　＝　２　ｌｔ　ｍとすると、Δ！／ｌ
の値は（圧電膜／ＰＺＴ）＝５となる。

すなわち、セラミックス系の圧電振動子は、衝撃に弱い
所から１０μｍオーダーの厚さの円筒膜を作るのは不Ｔ
ｉ１能であるのにたいして、高分子圧電膜１は、極めて
薄くすることができるので、圧電歪定数ｄ３１が小さい
ことを補償することができる。

■　高分子圧電膜ｌは、高分子であるために、内部にお
けるエネルギーの減衰が大きい。これは振動の高ダンピ
ング効果となって現れ、従来例の超音波送受波器の様に
、特別なダンピング材３ａにより制動を加える必要がな
い。

■　このことは、さらに、ダンピング材３ａによる振動
振幅の減少（従来例では、例えば、約１／１０以下に減
少していた。ンを避けることができる。前記０項におけ
る効率の差を考え合せると、同じ電圧ＶをｔＩ］加した
場合に得られる振幅Ｘの値は、従来例の数１０倍〜数１
００倍もの大きさに達する。

■　一方、振動子から空気中へのエネルギーの透過率′
ｒは Ｔ＝４７＋２２／（Ｚ＋＋Ｚ２）２　　（４）ｚｌ　；
振動子の音響インピーダンス Ｚ２　：空気の音響インピーダンス でしめされる。

高分子圧電膜１のＺ、ｘ３ｘｌｏ’　　（ＮＳ／ｍコ）
　、ＰＺ’ｌ’ｆ）Ｚ１４３０　Ｘ　１０″（ＮＳ／ｍ
’）、空気の２２〜４００（ＮＳ／ｍ３）をあてはめる
と、 ’Ｉ’ｔ　／’Ｉ”２　＝　（０，５３Ｘ１０−”　）
／　（０゜０５３Ｘ１０°”）＝１０ ’ｌ’ｌ；高分子圧電膜１と空気との透過率Ｔ２；Ｐｚ
Ｔと空気との透過率 ｐ　ｚ　’ｒを使用する従来例では、この透過率の低さ
を改善するために、音響マツチング層２ａを使用してい
るが、高分子圧電膜１では、とくにその様な手段を用い
なくても、比教的良い効率で伝搬がＩＩｒ能となる。

（２）受信の場合 ■　受信時に外部から加わった力Ｆ（方向は高分子圧電
膜１の延伸方向）により、高分子圧電膜１の両面間に発
生する開放端電圧Ｖは、次式により示される。

ｌ　Ｅ　Ｉ　＝　ｌ　Ｖ　／　ｔ　Ｉ　＝　ｇ　３　＋
　　・ρ＝ｇ３．・Ｆ／１・ｔ 、°、ｌｖｌ＝ｇｚ＋　　・Ｆ　／　ｌ　　　　　　　
　（５）ρ；応力 ｇ３．；電圧出力定数 高分子圧電膜１の電圧出力定数ｇｚ＋の値は、セラミッ
クス系、例えば、ＰＺＴの電圧出力定数ｇｘ＋の約１０
〜２０倍の値を持つから、同じ力Ｆでも、大きなＩＶＩ
が得られる。

■　送信の場合の項で述べたダンピング材有無の効果は
、受信時にも成立するから、総合的に受信時にも数１０
〜２００倍以上の効率アップが可能となる。

以上の結果、本発明によれば、従来のセラミックス系振
動子を使用した方法と同等以十、の機能および送受信効
率を、１／１０００以下の消費パワーで実現出来る。

次に、試作した送受波器の特性を、具体例をあげて説明
する。

保持体２の半径を１０ｍｍ、高さ３０ｍｍとして、５０
μｍの厚さの高分子圧電膜１が、上端下端部をそれぞれ
２ｍｍ幅で保持体２に張りあわせ支持された装置におい
て、反射傘４の全面８００ｍｍの距離における送信およ
び受信感度は以下の値が得られた。

送信；　１２０ｄＢ　（ＯｄＢ＝２Ｘ１０’、ｕｂａｒ
）受信；−３０ｄＢ　（ＯｄＢ＝ＩＶ／μｂａｒ）これ
は、第１１図従来例の送受波器と比較して、送受信合計
で５００〜１０００倍の特性向上を示すものである。

なお、送受信感度の測定においては、駆動回路の駆動電
圧を１ｏｖｐ−ｐとし、高分子圧電膜１のキャパシタン
ス成分による無効成分を消すために、適切なインダクタ
ンスで、両者の整合をとっている。

また、高分子圧電Ｍｌの厚さは、上記具体例では、５０
μｍとしたが、この厚さが余り薄いと、円筒状にした場
合、送受信に必要な自己の張力を維持出来ない、また、
製作も困難になる等の問題が生じる。

一方、あまり厚いと、前記（３）式により、送受信感度
が減少するという問題が生じる。

使用可能な現実的な値としては、２５〜１０μｍが適切
である。

第５図は、第１図の構成において、均圧孔５の有無によ
る、送受信総合感度の比較を行ったグラフである。■は
均圧孔５が無い場合、■は均圧孔５がある場合を示す。

周囲圧力の変化により、圧力が増大した場合に、均圧孔
５がない場合には、圧力の増加にともなって、感度が急
激に減少するのに対し、均圧孔５がある場合には、感度
の減少は生じていない。

第６図は、送受波器の前方３ｍにおける、反射傘４から
の反射音の大きさを示した指向性をあられず。

反射傘４の効果により、半減角４以内の鋭い指向性が得
られ、距離計、あるいは、レベル計として理想的な特性
を実現出来る。

この結果、 （１）高分子圧電膜１自身の内部減衰が大きいため、ダ
ンピング材を使用しなくても、高ダンピンク特性の超ｎ
・波の送受信が可能となる。

（２）ダンピング材を使用しないため、それによるエネ
ルギー損失がなく、高い効率の送受信が可能となる。

（３）高分子圧電膜１の音響インビータンスは、セラミ
ックス系振動子の’Ｆｆ　ｇインピーダンスより一桁小
いさいので、空気中への音の送受信効率が良い。

（４）高分子圧電ｖ１の厚さは、薄くすることが出来る
ので、送信時には電界強度を大きくでき、送信効率（高
分子圧電膜１の変位量）が増大出来る。

また、受信時には、この薄さは、出力に影響を及ぼさな
い、一方、高分子圧電膜１自身の有する高い圧電出力定
数ｇｚ＋によって、高い開放端電圧が得られる。すなわ
ち、送受信効率とも、大きな向上が可能となる。

（５）ダンピング材、音響マツチング層等を用いる必要
かｇいなめ、これらの物性変化に基因する温度特性の変
化を避ける事が出来る。

（６）したがって、第１１図従来例に比して、高性能を
極めて低消費パワーで実現可能である。

（７）高分子圧電膜１の固定を上下端面のみに限定した
ため、束縛のない、自由な呼吸振動が得られ、その結果
、大きな送受信感度が得られる。

（８）均圧孔５を有することにより、感度が周囲圧力の
影響を受けない送受波器を実現出来る。

（９）反射傘４を使用することにより、距離計用として
最適な、良好な指向性を持った送受波器を実現出来る。

（１０）送受波器が水没した場合には、水没時の水圧に
よって、封止蓋が自動的に均圧孔の外部器［１部を塞ぐ
ために、均圧孔への水の侵入を防止し、水没後の送受波
器感度の減少を防止することが出来る。

第７図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

本実施例においては、保持体２の均圧孔５の周りに切れ
目のない突起２２を設けたものである。

均圧孔５と封止蓋６とのシールがより完全ならのか得ら
れる。

第８図は本発明の別の実施例の要部構成説明図である。

本実施例においては、封止蓋６に浮力の大きな浮力体６
２を付け、封止蓋６の浮力によるシール圧力を上げるよ
うににしたものである。

第９図は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

本実施例においては、封止蓋６は弾性材でなく、均圧孔
５とのシール面にシール体６３を設け、封止蓋６の保持
体２への取付けに蝶番６４を用いたものである。６５は
封止器押えである。

第１０図は本発明の別の実施例の要部構成説明図である
。

本実施例においては、保持体２にガイド棒６５を設け、
封止蓋６がガイド棒６６に沿って、移動出来るようにし
たものである。

なお、前述の実施例においては、保持体２はプラスチッ
ク材よりなると説明したが、ステンレス等の金属とし、
これを高分子圧電膜１の内側電極からの電極引出し部（
リード部）として兼用しても良いことは勿論である。

また、保持体２の材質を、アルミナ等のセラミックスと
すれば、複雑な形状を一体焼成することが可能で追加工
を最小限に押えることができて、製造原価を下げること
ができる。

また、セラミックスは、耐候、１（薬品性に勝れている
という特徴も有している。

また、セラミックス表面に金属コーティング（メタライ
ジング）を施せば、これを内ＩＩＩ　＄　ｆｆｉの引出
し部として利用できるという利点を付加できる。

なお、前述の実施例においては、高分子圧電膜１はポリ
フッ化ビニリデン（ＰＶＤＥ）からなると説明したが、
これに限ることはなく、例えば、フッ化ビニリデンとト
リフルオロエチレンの共重合体（Ｐ　（ＶＤＦ−’ｒ’
ｒＦＥ））　、フッ化ビニリデンとテトラフルオロエチ
レンの共重合体（Ｐ（ＶＤＦ−ＴｅＦＥ））、または、
シアノビニリデンと酢酸ビニルとの交互共重合体（Ｐ　
（ＶＣＮ−ＶＡＣ））でもよく、要するに、良好な圧電
性を示すものであれば良い、これらの材料においては、
延伸操作は必ずしも必要ではなく、高電圧印加による分
極操作のみでもよい。

また、前述の説明においては、封止蓋６は、−端を保持
体２に固定されていると説明したが、隙間６１が形成さ
れればよく、封止蓋６により均圧孔５が密閉されない程
度、封止蓋６の大部分が保持体２に固定されても良いこ
とは勿論である。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、円柱状の保持体と、該
保持体の周面の両端部を残してリング状に設けられた凹
部と、前記保持体の周面の前記凹部以外の部分に固定さ
れ該凹部と室を構成する円筒状の高分子圧電膜と、該高
分子圧電膜の外周面と内周面とにそれぞれ設けられた電
極板と、前記保持体に設りられ前記室と外部とを連通ず
る均圧孔と、該均圧孔の外部開口部に対向して設けられ
水圧により該均圧孔の外部開口部を封止する板状の封止
蓋とを備える送受波器を具備してなる超音波距離計を構
成した。

この結果、 （１）高分子圧電膜自身の内部減衰が大きいため、ダン
ピング材を使用しなくても、高ダンピング特性の超音波
の送受信が可能となる。

（２）ダンピング材を使用しないため、それによるエネ
ルギー損失がなく、高い効率の送受信が可能となる。

（３）高分子圧電膜の音響インピーダンスは、セラミッ
クス系振動子の音響インピーダンスより一桁小いさいめ
で、空気中への音の送受信効率が良い。

（４）高分子圧電膜の厚さは、薄くすることが出来るの
で、送信時には電界強度を大きくでき、送信効率（高分
子圧電膜の変位量）が増大出来る。

また、受信時には、この薄さは、出力に影響を及ぼさな
い、一方、高分子圧電膜自身の有する高い圧電出力定数
によって、高い開放端電圧が得られる。すなわち、送受
信効率とも、大きな向上が可能となる。

（５）ダンピング材、音響マツチング層等を用いる必要
が無いため、これらの物性変化に基因する温度特性の変
化を避ける事が出来る。

（６）したがって、従来例に比して、高性能を極めて低
消費パワーで実現可能である。

（７）高分子圧電膜の固定を上下端面のみに限定したた
め、束縛のない、自由な呼吸振動が得られ、その結果、
大きな送受信感度が得られる。

（８）均圧孔を有することにより、感度が周囲圧力の影
響を受けない送受波器を実現出来る。

（９）反射傘を使用することにより、距離計用として最
適な、良好な指向性を持った送受波器を実現出来る。

（１０）送受波器が水没した場合には、水没時の水圧に
よって、封止蓋が自動的に均圧孔の外部開口部を塞ぐた
めに、均圧孔への水の侵入を防止し、水没後の送受波器
感度の減少を防止することが出来る。

従って、本発明によれば、シンプルなＭｍで、高ダンピ
ング特性を有し、効率が良く、水没時の防水が良好な超
音波距離計を実現することか出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図は
第１図の部品説明図、第３図から第６図は第１図の動作
説明図、第７図から第１０図はそれぞれ本発明の他の実
施例の要部構成説明図、第１゛１図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図、第１２図、第１３図
は第１１図の動作説明図である。 １・・・高分子圧電膜、１１．１２・・・ｔｉＳ［ｉ、
１１１゜１２１・・・リード線、２・・・保持体、２１
・・・凹部、３・・・室、４・・・反射傘、５・・・均
圧孔、６・・・封止惹、６１・・・隙間、６２・・・浮
力体、６３・・・シール体、６４・・・蝶番、６５・・
・封止益押え、６６・・・カイト棒。 第４図 第　　Ｓ　図　　　　　　　　　　　　　　　＠　ｂ　
図＝１ 第７図 ・１．５８　図 痕９−０ 第１Ｏ図 牙　／／　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 円柱状の保持体と、 該保持体の周面の両端部を残してリング状に設けられた
   凹部と、 前記保持体の周面の前記凹部以外の部分に固定され該凹
   部と室を構成する円筒状の高分子圧電膜と、 該高分子圧電膜の外周面と内周面とにそれぞれ設けられ
   た電極板と、 前記保持体の一端に頭部側が取付けられ送受信する超音
   波に前記保持体の軸方向の指向性を付与する円錐状の反
   射傘と、 前記保持体に設けられ前記室と外部とを連通する均圧孔
   と、 該均圧孔の外部開口部に対向して設けられ水圧により該
   均圧孔の外部開口部を封止する板状の封止蓋とを備える
   送受波器を具備してなる超音波距離計。