JPH01255148A - Ｍｓ／ｍｓ装置 - Google Patents
Ｍｓ／ｍｓ装置Info
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- JPH01255148A JPH01255148A JP63081010A JP8101088A JPH01255148A JP H01255148 A JPH01255148 A JP H01255148A JP 63081010 A JP63081010 A JP 63081010A JP 8101088 A JP8101088 A JP 8101088A JP H01255148 A JPH01255148 A JP H01255148A
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- mass
- ion
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、２つの質量分析装置を縦続接続した所謂Ｍ
Ｓ ／Ｍ Ｓ装置に関する。
Ｓ ／Ｍ Ｓ装置に関する。
［従来技術］
ＭＳ／ＭＳ装置は、複雑な構造を持つ物質の分子構造解
析を行う上で極めて有用な装置である。
析を行う上で極めて有用な装置である。
このＭＳ／ＭＳ装置では、第１の質量分析装置（ＭＳ−
１）において特定の質量を持つイオンのみを選択的に取
出し、取出した親イオンをガス分子と衝突させて解離さ
せ、派生した娘イオンを第２の質量分析装置（ＭＳ−２
）に導入して質量分析し、娘イオンのマススペクトルを
得ている。
１）において特定の質量を持つイオンのみを選択的に取
出し、取出した親イオンをガス分子と衝突させて解離さ
せ、派生した娘イオンを第２の質量分析装置（ＭＳ−２
）に導入して質量分析し、娘イオンのマススペクトルを
得ている。
この娘イオンスペクトルの分解能を向上させるためには
、ＭＳ−２として二重収束質量分析装置を用いることが
必要１であり、現在、扇形電場と扇形磁場を組み合わせ
た二重収束質量分析装置をＭＳ−１及びＭＳ−２として
使用する大型のＭＳ／ＭＳ装置が実用化されている。
、ＭＳ−２として二重収束質量分析装置を用いることが
必要１であり、現在、扇形電場と扇形磁場を組み合わせ
た二重収束質量分析装置をＭＳ−１及びＭＳ−２として
使用する大型のＭＳ／ＭＳ装置が実用化されている。
この実用化されているＭＳ／ＭＳ装置では、ＭＳ−２と
して掃引型の二重収束質量分析装置が用いられている。
して掃引型の二重収束質量分析装置が用いられている。
しかしながら掃引型の質量分析装置では、イオン検出器
が１つで、検出器に入射していないイオンは全て捨てら
れるため感度の面ては不利で、感度が要求される場合に
は、乾板等の空間分解能を持つイオン検出器を用いる同
時検出型の質量分析装置をＭＳ−２として使用する方が
好ましい。
が１つで、検出器に入射していないイオンは全て捨てら
れるため感度の面ては不利で、感度が要求される場合に
は、乾板等の空間分解能を持つイオン検出器を用いる同
時検出型の質量分析装置をＭＳ−２として使用する方が
好ましい。
［発明が解決しようとする課題］
ところで、親イオンから派生する娘イオンは、全て親イ
オンとほぼ同じ速度ｖｏで飛行すると考えられており、
各娘イオンはその質ｆｆ１ｍに比例したエネルギー（ｍ
ｖｏ２／２）を持つ。
オンとほぼ同じ速度ｖｏで飛行すると考えられており、
各娘イオンはその質ｆｆ１ｍに比例したエネルギー（ｍ
ｖｏ２／２）を持つ。
従って、ＭＳ−２にはその質量に比例した広い範囲にわ
たるエネルギーを持った娘イオンが入射することになる
。ところが、円筒電場と一様磁場を組み合わせ、空間分
解能を持つイオン検出器を設けた同時検出型二重収束質
量分析装置をＭＳ−２として使用した場合、円筒電場を
通過できる娘イオンは、エネルギーが所定値の±５％程
度（エネルギー幅で１０％程度）のものに限られるため
、広いエネルギー範囲（即ち広い質量範囲）の娘イオン
を質量分析することができない。
たるエネルギーを持った娘イオンが入射することになる
。ところが、円筒電場と一様磁場を組み合わせ、空間分
解能を持つイオン検出器を設けた同時検出型二重収束質
量分析装置をＭＳ−２として使用した場合、円筒電場を
通過できる娘イオンは、エネルギーが所定値の±５％程
度（エネルギー幅で１０％程度）のものに限られるため
、広いエネルギー範囲（即ち広い質量範囲）の娘イオン
を質量分析することができない。
以上のような理由により、Ｍ Ｓ ／Ｍ Ｓ装置におい
て、広い質量範囲の娘イオンを同時検出型質量分析装置
により感度良く質量分析することは従来不可能であった
。
て、広い質量範囲の娘イオンを同時検出型質量分析装置
により感度良く質量分析することは従来不可能であった
。
本発明は、広い質量範囲の娘イオンスペクトルを感度良
く取得することのできるＭＳ／ＭＳ装置を提供すること
を目的としている。
く取得することのできるＭＳ／ＭＳ装置を提供すること
を目的としている。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明のＭＳ／ＭＳ装置は、
イオン源と、該イオン源からの被分析イオンが導入され
る第１の質量分析装置と、該第１の質量分析装置で選択
されたイオンを解離させる手段と、解離により生成され
たイオンが導入される電場と磁場を備えた二重収束質量
分析系と、該二重収束質量分析系を出射したイオンが質
量電荷比に応じて展開収束される収束面に沿って配置さ
れる空間分解能を何するイオン検出器と、前記二重収束
質量分析系を構成する磁場の強度Ｂと電場の強度Ｅを、
Ｂ２ ／Ｅ比を一定値に保持しつつ同時に掃引する掃引
手段とから構成されることを特徴としている。
イオン源と、該イオン源からの被分析イオンが導入され
る第１の質量分析装置と、該第１の質量分析装置で選択
されたイオンを解離させる手段と、解離により生成され
たイオンが導入される電場と磁場を備えた二重収束質量
分析系と、該二重収束質量分析系を出射したイオンが質
量電荷比に応じて展開収束される収束面に沿って配置さ
れる空間分解能を何するイオン検出器と、前記二重収束
質量分析系を構成する磁場の強度Ｂと電場の強度Ｅを、
Ｂ２ ／Ｅ比を一定値に保持しつつ同時に掃引する掃引
手段とから構成されることを特徴としている。
条用］
本発明のＭ Ｓ ／Ｍ Ｓ装置においては、Ｍ Ｓ −
２として用いられる同時検出型二重収束質量分析系の電
場と磁場の強度Ｅ、Ｂが、Ｂ２／Ｅ比を一定値に保持し
つつ同時に掃引される。電場が掃引されるにつれて、異
なったエネルギーを有する（換言すれば異なった質量を
有する）娘イオンが順次電場を通過して磁場に入射する
。
２として用いられる同時検出型二重収束質量分析系の電
場と磁場の強度Ｅ、Ｂが、Ｂ２／Ｅ比を一定値に保持し
つつ同時に掃引される。電場が掃引されるにつれて、異
なったエネルギーを有する（換言すれば異なった質量を
有する）娘イオンが順次電場を通過して磁場に入射する
。
このとき磁場強度を一定に保持しておくと、イオン検出
器上で娘イオンの位置がずれてしまい、同じ質量の娘イ
オンが常に同じ位置に到達しなくなる。そこで本発明で
は、磁場強度を、Ｂ２ ／Ｅ比を一定値に保持しつつ電
場と同時に掃引することにより、イオン検出器上での娘
イオンの位置ずれを打ち消し、同じ質量の娘イオンが常
に同じ位置に到達して検出されるようにしている。
器上で娘イオンの位置がずれてしまい、同じ質量の娘イ
オンが常に同じ位置に到達しなくなる。そこで本発明で
は、磁場強度を、Ｂ２ ／Ｅ比を一定値に保持しつつ電
場と同時に掃引することにより、イオン検出器上での娘
イオンの位置ずれを打ち消し、同じ質量の娘イオンが常
に同じ位置に到達して検出されるようにしている。
以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳説する。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例を示すイオン光学図である。
第１図において第１の質量分析装置ＭＳ−１としては、
イオン源１、主スリット２、円筒電場３、扇形磁場４、
コレクタスリット５から構成される通常の掃引型二重収
束質量分析装置が用いられ、その後方に衝突室６及び第
２の質量分析装置ＭＳ−２が配置される。ＭＳ−２とし
ては、スリット７、円筒電場８．スリット９．扇形磁場
１０．２次元イオン検出器１１から構成される同時検出
型二重収束質量分析装置が用いられる。１２は掃引信号
を発生する掃引回路で゛、掃引信号は、演算回路１３を
介して電場電源１４及び磁場電源１５へそれぞれ供給さ
れる。
イオン源１、主スリット２、円筒電場３、扇形磁場４、
コレクタスリット５から構成される通常の掃引型二重収
束質量分析装置が用いられ、その後方に衝突室６及び第
２の質量分析装置ＭＳ−２が配置される。ＭＳ−２とし
ては、スリット７、円筒電場８．スリット９．扇形磁場
１０．２次元イオン検出器１１から構成される同時検出
型二重収束質量分析装置が用いられる。１２は掃引信号
を発生する掃引回路で゛、掃引信号は、演算回路１３を
介して電場電源１４及び磁場電源１５へそれぞれ供給さ
れる。
上記構成において、イオン源１で生成され等しいエネル
ギーが与えられたイオンは、円筒電場３及び扇形磁場４
を通過しコレクタスリット５上にマススペクトルとして
展開収束される。磁場強度を変更することによりこのマ
ススペクトルがコレクタスリット上を移動するため、磁
場強度を適宜選ぶことにより、スペクトル中の所望のイ
オンがコレクタスリットを通過するように設定すること
ができる。
ギーが与えられたイオンは、円筒電場３及び扇形磁場４
を通過しコレクタスリット５上にマススペクトルとして
展開収束される。磁場強度を変更することによりこのマ
ススペクトルがコレクタスリット上を移動するため、磁
場強度を適宜選ぶことにより、スペクトル中の所望のイ
オンがコレクタスリットを通過するように設定すること
ができる。
このようにしてＭＳ−１で選ばれた特定イオンすなわち
親イオンは、衝突室６へ入射し、衝突室内のガス分子と
衝突する。このガス分子との衝突解離により発生した娘
イオンは、スリット９を介してＭＳ−２へ導入され、Ｍ
Ｓ−２の２次元イオン検出器１１上の、質量に応じて定
まった位置へ到達する。このように、娘イオンをイオン
検出器上の質】に応じて定まった位置へ到達させるため
の電場強度及び磁場強度の条件について以下に検討する
。
親イオンは、衝突室６へ入射し、衝突室内のガス分子と
衝突する。このガス分子との衝突解離により発生した娘
イオンは、スリット９を介してＭＳ−２へ導入され、Ｍ
Ｓ−２の２次元イオン検出器１１上の、質量に応じて定
まった位置へ到達する。このように、娘イオンをイオン
検出器上の質】に応じて定まった位置へ到達させるため
の電場強度及び磁場強度の条件について以下に検討する
。
今、親イオンの質量と運動エネルギーをそれぞれｍＱ
、ＵＯ、娘イオンの質量と運動エネルギーをそれぞれｍ
Ｘ、ＵＸとすれば、（１）式が成立する。
、ＵＯ、娘イオンの質量と運動エネルギーをそれぞれｍ
Ｘ、ＵＸとすれば、（１）式が成立する。
Ｕｘ ” （ｍｘ ／ｍｏ ）Ｕｏ −（１）
また、一般に、二重収束質量分析装置においては、質量
ｍ、運動エネルギーＵのイオンが中心軌道を通って二重
収束点に達するためには、（２）。
また、一般に、二重収束質量分析装置においては、質量
ｍ、運動エネルギーＵのイオンが中心軌道を通って二重
収束点に達するためには、（２）。
（３）式が成立することが必要であり、ＭＳ−２につい
ても当然（２）、（３）式が成立する。
ても当然（２）、（３）式が成立する。
Ｅ−βＵ ・・・（２）Ｂ−αＪ ｍ
Ｕ ・・・（３）（２）、（３）式に
おいて、Ｅ、Ｂは二重収束質量分析装置を構成する円筒
電場と扇形磁場の強−度であり、α、βは装置固有の定
数である。
Ｕ ・・・（３）（２）、（３）式に
おいて、Ｅ、Ｂは二重収束質量分析装置を構成する円筒
電場と扇形磁場の強−度であり、α、βは装置固有の定
数である。
ここで、親イオンから質ｍｍｘ及びｍ＆の娘イオンが生
成するとする。この時、質ｉｍａの娘イオンが二重収束
点に来て、しかも質ｆｆｉｍＸの娘イオンが電場の中心
軌道を通るような電場及び磁場の強度をＥＸ及びＢＸと
する。
成するとする。この時、質ｉｍａの娘イオンが二重収束
点に来て、しかも質ｆｆｉｍＸの娘イオンが電場の中心
軌道を通るような電場及び磁場の強度をＥＸ及びＢＸと
する。
先ず、質ｆｆｉｍａの娘イオンが二重収束点に来る条件
を考える。
を考える。
（２）、（３）式よりＵを消去すると（４）式が得られ
る。
る。
Ｂ２／Ｅ−（α２／β）ｍ −（４）この（４）
式は、質ｆｆ１ｍのイオンが二重収束点に来るための条
件を表わしている。（４）式の左辺が比の形で表わされ
ていることから、Ｂ′ （≠Ｂ）、Ｅ’（≠Ｅ）なるＢ
’ 、Ｅ’を用いても、Ｂ’ ２ ／Ｅ’ −８２／Ｅ
が成り立てば、質ｆｆ１ｍのイオンは二重収束点に来る
ことになる。ただし、Ｂ’ 、Ｅ’の場合、（２）（３
）式は成立しないから、質Ｑｍのイオンは中心軌道から
外れる。しかし、外れても、電場及び磁場を通過しさえ
すれば、質ｆｆ１ｍのイオンは必ず二重収束点へ到達す
るし、もし電場又は磁場を通過できないほど外れても、
他の質量のイオンが二重収束点へ到達することはない。
式は、質ｆｆ１ｍのイオンが二重収束点に来るための条
件を表わしている。（４）式の左辺が比の形で表わされ
ていることから、Ｂ′ （≠Ｂ）、Ｅ’（≠Ｅ）なるＢ
’ 、Ｅ’を用いても、Ｂ’ ２ ／Ｅ’ −８２／Ｅ
が成り立てば、質ｆｆ１ｍのイオンは二重収束点に来る
ことになる。ただし、Ｂ’ 、Ｅ’の場合、（２）（３
）式は成立しないから、質Ｑｍのイオンは中心軌道から
外れる。しかし、外れても、電場及び磁場を通過しさえ
すれば、質ｆｆ１ｍのイオンは必ず二重収束点へ到達す
るし、もし電場又は磁場を通過できないほど外れても、
他の質量のイオンが二重収束点へ到達することはない。
したがって、電場強度Ｅ３．磁場強度ＢＸで質ｍ ｍ
ａのイオンが常に二重収束点に来る条件は、（５）式と
なる。
ａのイオンが常に二重収束点に来る条件は、（５）式と
なる。
ＢＸ２ ／ＥＸ−（α２／β）ｍａ ”・（５）
次に、質Ｅｌ ｍ Ｘの娘イオンがＭＳ−２の電場の中
心軌道を通る条件は、（２）式をｍＸについて適用した
（６）式が成立することである。
次に、質Ｅｌ ｍ Ｘの娘イオンがＭＳ−２の電場の中
心軌道を通る条件は、（２）式をｍＸについて適用した
（６）式が成立することである。
ＥＸ−βＵｘ ・・・（６）質量
ｍの娘イオンのエネルギーＵ３は（１）式で表わされる
から、（１）式を（６）式に代入すると（７）式が得ら
れる。
ｍの娘イオンのエネルギーＵ３は（１）式で表わされる
から、（１）式を（６）式に代入すると（７）式が得ら
れる。
Ｅ８−β （ｍｘ ／ ｍｏ ） Ｕｏ
−（７）ここで、親イオンが二重収束点にくる
時の電場及び磁場強度をＥＯ及びＢｏとすると、（２）
。
−（７）ここで、親イオンが二重収束点にくる
時の電場及び磁場強度をＥＯ及びＢｏとすると、（２）
。
（３）式より、（８）、（９）式が得られる。
Ｅｏ−βＵｏ ・・・（８）
Ｂｏ −（ＺＪｍ□ Ｕｏ ・”
（９）（８）、（９）式を用いて（５）、（７）式から
α、β、ＵＯを消去すると（５’）、（７’）式が得ら
れる。
Ｂｏ −（ＺＪｍ□ Ｕｏ ・”
（９）（８）、（９）式を用いて（５）、（７）式から
α、β、ＵＯを消去すると（５’）、（７’）式が得ら
れる。
ＢＸ２／ＥＸ−（ｍａ ／ｍｏ ）（Ｂｏ ２／Ｅｏ
）・・・（５′） Ｅｘ ” （ｍｘ ／ｍｏ ）Ｅｏ ・・・（
７’ ）（５′）式は質ｉｍａのイオンが常に二重収束
点に来る条件式で、（７′）式は質量ｍ３の娘イオンが
ＭＳ−２の電場の中心軌道を通る条件式である。両式が
同時に成立することが求める条件であるから、（７’）
式を（５′）式に代入して整理すると（５′）式が得ら
れる。
）・・・（５′） Ｅｘ ” （ｍｘ ／ｍｏ ）Ｅｏ ・・・（
７’ ）（５′）式は質ｉｍａのイオンが常に二重収束
点に来る条件式で、（７′）式は質量ｍ３の娘イオンが
ＭＳ−２の電場の中心軌道を通る条件式である。両式が
同時に成立することが求める条件であるから、（７’）
式を（５′）式に代入して整理すると（５′）式が得ら
れる。
Ｂｘ −Ｂｏ Ｊｍｘ ｍａ ／ｍｏ ２ ・” （
５’ ）従って、電場強度Ｅ３を（７′）式にしたがっ
てｍＸをパラメータとして掃引すると同時に、磁場強度
Ｂ、を（５′）式にしたがって同じ＜ ｍ ｘをパラメ
ータとして掃引すれば、電場の掃引により、電場の中心
軌道を通る娘イオンの質ＱｍＸが掃引され、次々と異な
る質量の娘イオンｍＸが電場を通過して、磁場へ入射し
質量に応じてイオン検出器上に展開されると共に、その
際、質ｆｆ１ｍ＆の娘イオンは常に二重収束点に来るこ
とになり、イオン検出器上の位置は変化しない。このよ
うに、特定の質量の娘イオンがイオン検出器上の特定位
置に必ず来るということは、イオン検出器上に展開され
るマススペクトルが、電場及び磁場の掃引にかかわらず
移動しないことを意味している。
５’ ）従って、電場強度Ｅ３を（７′）式にしたがっ
てｍＸをパラメータとして掃引すると同時に、磁場強度
Ｂ、を（５′）式にしたがって同じ＜ ｍ ｘをパラメ
ータとして掃引すれば、電場の掃引により、電場の中心
軌道を通る娘イオンの質ＱｍＸが掃引され、次々と異な
る質量の娘イオンｍＸが電場を通過して、磁場へ入射し
質量に応じてイオン検出器上に展開されると共に、その
際、質ｆｆ１ｍ＆の娘イオンは常に二重収束点に来るこ
とになり、イオン検出器上の位置は変化しない。このよ
うに、特定の質量の娘イオンがイオン検出器上の特定位
置に必ず来るということは、イオン検出器上に展開され
るマススペクトルが、電場及び磁場の掃引にかかわらず
移動しないことを意味している。
上記２つの式に基づく実際の掃引を行うのは演算回路１
３である。掃引回路１２から送られる鋸歯状掃引信号を
変数ｍＸとして、演算回路１３は、オペレータから入力
された親イオンの質量ｍＱ及び二重収束点の質ｆｆｉｍ
ａに関するデータと、その親イオンについて予め求めで
あるＥ Ｏ＊ Ｂ Ｏの値に基づき、（７′）式及び
（５′）式からＥＸ＋Ｂｘを求め、ＥＸ信号を電場電源
１４へ、Ｂつ信号を磁場電源１５へそれぞれ送るため、
電場及び磁場強度は（７′）式及び（５′）式にそれぞ
れ基づいて同時に掃引される。
３である。掃引回路１２から送られる鋸歯状掃引信号を
変数ｍＸとして、演算回路１３は、オペレータから入力
された親イオンの質量ｍＱ及び二重収束点の質ｆｆｉｍ
ａに関するデータと、その親イオンについて予め求めで
あるＥ Ｏ＊ Ｂ Ｏの値に基づき、（７′）式及び
（５′）式からＥＸ＋Ｂｘを求め、ＥＸ信号を電場電源
１４へ、Ｂつ信号を磁場電源１５へそれぞれ送るため、
電場及び磁場強度は（７′）式及び（５′）式にそれぞ
れ基づいて同時に掃引される。
このような電場及び磁場の掃引により、イオン検出器１
１上へ娘イオンがどのように到達して行くかを第２図を
用いて説明する。
１上へ娘イオンがどのように到達して行くかを第２図を
用いて説明する。
ｍｘが、ｍｘ−ｍＱ’からスタートしてｍＸ−０へ向け
て掃引されるとする。第２図においてＩ。
て掃引されるとする。第２図においてＩ。
はスタート時のイオン軌道で、質ｍ ｍ ｏの親イオン
が電場中心軌道を通り、その親イオンから派生し電場を
通過し得る範囲のエネルギー（質量）を有する娘イオン
と共にイオン検出器１１の右端へ到達する。
が電場中心軌道を通り、その親イオンから派生し電場を
通過し得る範囲のエネルギー（質量）を有する娘イオン
と共にイオン検出器１１の右端へ到達する。
そして、ｍｘの掃引につれてイオン軌道は徐々に左へ移
動し、ｍｘ−ｍａの時■６の位置に来る。
動し、ｍｘ−ｍａの時■６の位置に来る。
この時点では質量ｍ、の娘イオンが電場中心軌道を通り
、該娘イオンと共に電場を通過し得るエネルギーにして
±５％程度のエネルギー（質量）を持つ娘イオンが、二
重収束点Ｐを中心にＩｌｌとしてイオン検出器上に到達
する。
、該娘イオンと共に電場を通過し得るエネルギーにして
±５％程度のエネルギー（質量）を持つ娘イオンが、二
重収束点Ｐを中心にＩｌｌとしてイオン検出器上に到達
する。
以下、全く同様にして、ｍｘの掃引につれてイオン軌道
は左へ移動し、イオン検出器の左端へ到達したＩ２の時
点で掃引が終了する。イオン検出器１１として例えば乾
板が使用されているとすれば、掃引終了時点では、乾板
には質ｍ ｍ ｏの親イオンから始まるマススペクトル
が記録されている。
は左へ移動し、イオン検出器の左端へ到達したＩ２の時
点で掃引が終了する。イオン検出器１１として例えば乾
板が使用されているとすれば、掃引終了時点では、乾板
には質ｍ ｍ ｏの親イオンから始まるマススペクトル
が記録されている。
このスペクトルは、電場を通過したあるエネルギー幅の
イオンを同時にとらえており、掃引がそのエネルギー幅
進む期間にわたり積分されるため、空間分解能を持たな
い単一のイオン検出器を用いる通常の掃引型二重収束質
量分析装置をＭＳ−２として使用する場合に比べ、桁違
いに感度の向上したものとなる。
イオンを同時にとらえており、掃引がそのエネルギー幅
進む期間にわたり積分されるため、空間分解能を持たな
い単一のイオン検出器を用いる通常の掃引型二重収束質
量分析装置をＭＳ−２として使用する場合に比べ、桁違
いに感度の向上したものとなる。
また、空間分解能を持つイオン検出器を用いるが掃引は
行わない従来の同時検出型二重収束質量分析装置をＭＳ
−２として使用する場合に比べ、上述したように特殊な
掃引を行う本発明では、広い質量範囲にわたる娘イオン
スペクトルを得ることができる。
行わない従来の同時検出型二重収束質量分析装置をＭＳ
−２として使用する場合に比べ、上述したように特殊な
掃引を行う本発明では、広い質量範囲にわたる娘イオン
スペクトルを得ることができる。
尚、本発明は上述した実施例に限定されることなく幾多
の変形が可能である。例えば、上記説明では、簡単のた
め、親イオンが解裂して娘イオンを生成する場所（第１
図の実施例では衝突室）は接地電位として取り扱ってい
るが、必ずしもその必要はない。接地電位でない場合は
、（１）式が成立せず、（５′）式及び（７′）式に相
当する式が若干具なることになるが、ＭＳ−２の磁場の
強度Ｂと電場の強度Ｅを、Ｂ２ ／Ｅ比を一定値に保持
しつつ同時に掃引すること自体に変わりはない。
の変形が可能である。例えば、上記説明では、簡単のた
め、親イオンが解裂して娘イオンを生成する場所（第１
図の実施例では衝突室）は接地電位として取り扱ってい
るが、必ずしもその必要はない。接地電位でない場合は
、（１）式が成立せず、（５′）式及び（７′）式に相
当する式が若干具なることになるが、ＭＳ−２の磁場の
強度Ｂと電場の強度Ｅを、Ｂ２ ／Ｅ比を一定値に保持
しつつ同時に掃引すること自体に変わりはない。
掃引にあたり、上記実施例では、ｍＸに対して電場強度
をリニアに、磁場強度を１／２乗の関数で掃引したが、
ｍ８に対して磁場強度をリニアに、そして電場強度を２
乗の関数で掃引するようにしても、Ｂ２ ／Ｅ比を一定
値に保持した掃引を行うことが可能である。
をリニアに、磁場強度を１／２乗の関数で掃引したが、
ｍ８に対して磁場強度をリニアに、そして電場強度を２
乗の関数で掃引するようにしても、Ｂ２ ／Ｅ比を一定
値に保持した掃引を行うことが可能である。
また、２次元イオン検出器として、乾板ではなく、半導
体技術により微小検出器を数多く並べた２次元検出器を
用いれば、電気的な検出が可能となる。その場合には、
各微小検出器毎にその出力を電気的に積分あるいは積算
する手段を設ける必要がある。
体技術により微小検出器を数多く並べた２次元検出器を
用いれば、電気的な検出が可能となる。その場合には、
各微小検出器毎にその出力を電気的に積分あるいは積算
する手段を設ける必要がある。
また、Ｍ Ｓ −２の同時検出型二重収束質量分析装置
として、例えばＭ ａｔｔａｕｃｈ Ｈｅｒｚｏｇ型質
量分析装置も採用でき、そうすれば、更に広い質量範囲
にわたる娘イオンスペクトルを取得することが可能であ
る。このＭ ａｔｔａｕｃｈ Ｈｅｒｚｏｇ型質量分析
装置においても、二重収束質量分析系を構成する電場と
磁場の強度を既に述べた関係で同時に掃引すれば良いこ
とは言うまでもない。
として、例えばＭ ａｔｔａｕｃｈ Ｈｅｒｚｏｇ型質
量分析装置も採用でき、そうすれば、更に広い質量範囲
にわたる娘イオンスペクトルを取得することが可能であ
る。このＭ ａｔｔａｕｃｈ Ｈｅｒｚｏｇ型質量分析
装置においても、二重収束質量分析系を構成する電場と
磁場の強度を既に述べた関係で同時に掃引すれば良いこ
とは言うまでもない。
以上詳述した如く、本発明によれば、空間分解能を有す
るイオン検出器を備えた同時検出型二重収束質量分析装
置をＭＳ−２として用い、その二重収束質量分析系を構
成する磁場の強度Ｂと電場の強度Ｅを、Ｂ２ ／Ｅ比を
一定値に保持しつつ同時に掃引するようにしたため、広
い質量範囲にわたる娘イオンスペクトルを高い感度で取
得することのできるＭ Ｓ ／Ｍ Ｓ装置が実現される
。
るイオン検出器を備えた同時検出型二重収束質量分析装
置をＭＳ−２として用い、その二重収束質量分析系を構
成する磁場の強度Ｂと電場の強度Ｅを、Ｂ２ ／Ｅ比を
一定値に保持しつつ同時に掃引するようにしたため、広
い質量範囲にわたる娘イオンスペクトルを高い感度で取
得することのできるＭ Ｓ ／Ｍ Ｓ装置が実現される
。
第１図は本発明の一実施例を示すイオン光学図であり、
第２図はその動作を説明するための図である。 〕：イオン源 ２：主スリット ５：コレクタスリット ６：衝突室 ７．９ニスリット ８：円筒電場 １０：扇形磁場 １１：２次元イオン検出器 １２：掃引回路 １３：演算回路 １４：電場電源 １５：磁場ｍ源
第２図はその動作を説明するための図である。 〕：イオン源 ２：主スリット ５：コレクタスリット ６：衝突室 ７．９ニスリット ８：円筒電場 １０：扇形磁場 １１：２次元イオン検出器 １２：掃引回路 １３：演算回路 １４：電場電源 １５：磁場ｍ源
Claims (1)
- （１）イオン源と、該イオン源からの被分析イオンが導
入される第１の質量分析装置と、該第１の質量分析装置
で選択されたイオンを解離させる手段と、解離により生
成されたイオンが導入される電場と磁場を備えた二重収
束質量分析系と、該二重収束質量分析系を出射したイオ
ンが質量電荷比に応じて展開収束される収束面に沿って
配置される空間分解能を有するイオン検出器と、前記二
重収束質量分析系を構成する磁場の強度Ｂと電場の強度
Ｅを、Ｂ＾２／Ｅ比を一定値に保持しつつ同時に掃引す
る掃引手段とから構成されることを特徴とするＭＳ／Ｍ
Ｓ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63081010A JPH07118297B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63081010A JPH07118297B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01255148A true JPH01255148A (ja) | 1989-10-12 |
| JPH07118297B2 JPH07118297B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=13734535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63081010A Expired - Fee Related JPH07118297B2 (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118297B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56143649A (en) * | 1980-04-10 | 1981-11-09 | Jeol Ltd | Mass spectrograph |
| JPS6132344A (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-15 | Jeol Ltd | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
| JPS62140354A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-23 | Jeol Ltd | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP63081010A patent/JPH07118297B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56143649A (en) * | 1980-04-10 | 1981-11-09 | Jeol Ltd | Mass spectrograph |
| JPS6132344A (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-15 | Jeol Ltd | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
| JPS62140354A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-23 | Jeol Ltd | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07118297B2 (ja) | 1995-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |