JPH01257342A - 自動テスト装置用のテストヘッドマニュピレータ装置 - Google Patents

自動テスト装置用のテストヘッドマニュピレータ装置

Info

Publication number
JPH01257342A
JPH01257342A JP63231509A JP23150988A JPH01257342A JP H01257342 A JPH01257342 A JP H01257342A JP 63231509 A JP63231509 A JP 63231509A JP 23150988 A JP23150988 A JP 23150988A JP H01257342 A JPH01257342 A JP H01257342A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test head
block
axis
orienting
horizontal axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63231509A
Other languages
English (en)
Inventor
Louis Beaucoup
ルイ　ボクー
Jean Boncompain
ジャン　ボンコンペイ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schlumberger SA
Original Assignee
Schlumberger SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from FR8713099A external-priority patent/FR2620826B1/fr
Priority claimed from FR8713098A external-priority patent/FR2620825B1/fr
Application filed by Schlumberger SA filed Critical Schlumberger SA
Publication of JPH01257342A publication Critical patent/JPH01257342A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
    • G—PHYSICS
    • G12—INSTRUMENT DETAILS
    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B9/00—Housing or supporting of instruments or other apparatus
    • G12B9/08—Supports; Devices for carrying

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技監分立 本発明は、テストヘッドにテストすべき電子回路を供給
する装置取扱器とテストヘッドとの間に接続を与える為
に自動テスト装置のテストヘッドを支持し且つ配向させ
るべく構成されたマニュピレータ装置に関するものであ
る。この様なマニュピレータ装置は、テストヘッドが高
精度で装置取扱器と係合し且つそれにドツキングするこ
とが可能である様に、高重量のテストヘッドの昇降、方
位角、及び配向（オリエンテーション）における位置を
調節することを可能とさせることを意図したものである
。
鴛」ｑ［４ 電子的テストヘッドは、接続用ケーブルによって自動テ
スト装置に接続された多数のドライバ及びコンパレータ
回路を支持し且つ保護する構成体を有する高重量の組立
体である。テストされるべき各集積回路は、該ヘッドが
ドツキングされる装置取扱器からテストヘッド上に逐次
的に位置される。−船釣に、この様なヘッドは、ヘッド
のウェイト即ち重量がスタブ車軸に関して対称的に分布
されるので、バランスした状態でケースの２つの反対側
に固定した２つのスタブ車軸を介して担持することの可
能な略矩形状のケースの形状で構成されている。
ここにおいて非対称的ヘッドと呼称するその他の電子的
テストヘッドは、電子的接続用ケーブル及び冷却用ホー
スを収容する半径方向に延在する剛性アームを具備する
円筒状ケースを持っている。
米国特許用４，５２７，９４２号（Ｓｍｉｔｈ）に記載
されている如き公知のマニュピレータ装置は、ヘッドを
装置取扱器にドツキングさせることの可能な任意の位置
にヘッドを手動的に移動させることが可能である様にバ
ランスした重量条件で対称的なテストヘッドを支持すべ
く構成されているＵ形状型支持部材乃至はクレードルを
有している。
第１に、非対称的ヘッドの円筒状ケースの対向側部上に
配設したスタブ車軸は、ヘッドをバランスした状態に支
持することはない。第２に、接続用ケーブルを収容する
半径方向に延在するアームの長さに起因して、この様な
スタブ車軸と係合するＵ形状支持体の場合には、１８０
°の回転は可能ではない。
換言すると、既知のマニュピレータ装置は、所要数の自
由度で上述したタイプの非対称的テストヘッドを取り扱
うのには不適切である。
重要な要件は、その下側側部へのアクセスを持つ為に、
テストヘッドを１８０’回転させることが可能であるこ
とである。別の重要な要件は、２つの実質的に直交する
軸の周りに手動的にヘッドを回転させることが可能であ
ることである。３番目の重要な要件は、ヘッドを自動テ
スト装置から離脱すること無しにテストヘッドをマニュ
ピレータ上に容易に据付るか又はそれから脱離させるこ
とである。上述した要件は、公知のマニュピレータを非
対称的なテストヘッドと共に使用する場合に得ることは
不可能である６ 且−眞 本発明は、以上の点に鑑みなされたものであって、上述
した如き従来技術の欠点を解消し、非対称的なタイプの
テストヘッドに使用するのに適したマニュピレータ装置
を提供することを目的とする。
遭−」叉 本発明においては、水平方向及び垂直方向の任意の与え
られた位置に手動的操作によってテストヘッドを移動さ
せることが可能であることに加えて、本発明のマニュピ
レータ装置は、２つの軸の周りに非対称的テストヘッド
を回転させることを可能とするものであり、これらの回
転の１つは自由で且つ大きなく約１８０’）の回転であ
り且つ他方の回転は拘束され且つより限定された（約１
００）ものである。
本発明の別の重要な特徴は、自動テスト装置から電気的
接続用ワイヤを取り除くこと無しに、非対称的テストヘ
ッドをマニュピレータ上に据付又はそれから取り除くこ
とを可能とすることである。
本発明によれば、半径方向に延在するアームを具備する
ケースを持ったテストヘッドを支持し且つ配向させる為
のマニュピレータ装置が提供され、該装置が、第１支持
部材と第１垂直軸に関して垂直運動及び回転自在に前記
第１支持部材を装着すると共に前記第１支持部材に接続
されたテストヘッドの状料を支持する手段とを具備する
支柱手段、第２支持部材と前記第１支持部材と相対的に
横水平方向に移動自在に前記第２支持部材を装着する手
段と前記第２支持部材上に第２垂直軸（θｚ）の周りに
回転自在に装着されたブロックとを具備する位置決め手
段、水平軸（θｘ）の周りに前記ブロック上に回転自在
に装着されており且つ前記水平軸（θｘ）に直交する付
加的な軸（θｙ）の周りに前記テストヘッドの半径方向
に延在するアームを回転自在に装着する手段を具備する
配向手段、前記テストヘッドのアンバランスな重量の下
で前記水平軸の周りに前記配向手段が傾斜することを防
止する為に前記ブロックと相対的に前記水平軸（θｘ）
の周りの安全な調節可能角度位置に前記配向手段を維持
する調節手段、を有することを特徴とする。
前記配向手段は、好適には、フレームと、前記付加的な
軸から等間隔離隔すべく前記フレーム上に配設した心合
せ手段と、前記付加的な軸（θｙ）の周りに回転自在に
前記心合せ手段を係合する周辺部分を持ったディスク部
材とを有しており、前記テストヘッドの半径方向に延在
するアームは前記ディスク部材を介して固定されている
。
環状フレームは、前記水平軸（θｘ）の周りに前記ブロ
ック上に回転自在に装着した第１円弧状部分と、前記デ
ィスク部材が前記環状フレーム内に前記心合せ手段によ
って維持される閉止位置から前記ディスク部材を取付け
たテストヘッドと共に前記環状フレームから取り出すこ
とが可能な開放位置へ前記第１円弧状部分と相対的に回
動自在に装着した第２円弧状部分とを有している。
尖凰透 以下、添付の図面を参考に、本発明の具体的実施の態様
に付いて詳細に説明する６ 装置１０の如き装置は、大略、ベースプレート１３を有
しており、その上には支柱組立体１４が立脚されており
且つＸ＋３’＋Ｚの３次元方向にヘッド配向手段１６を
変位させることの可能な位置決め手段１５を具備してい
る。位置決め手段１５は、テストヘッド１１に対して３
つの方向の移動。
即ち支柱１４の周りの回転運動（ｙ）、水平軸（ｘ）に
沿っての直線運動、及び垂直軸θｚの周りの回転運動を
与える。支柱組立体１４によって与えられる垂直運動と
共に、これらの運動は、テストヘッド１１を支柱組立体
１４の周りに位置する全ての複数個の位置に位置決めさ
せる可能性を与えている。配向手段１６は、テストヘッ
ドに２つの付加的な運動、即ち水平軸θｘの周りの回転
運動及び軸θｙの周りの回転運動を与える。
支柱組立体１４は、ベース１３に固定した第１支柱部材
乃至は垂直筒状シャフト２０を有している。第２図及び
第３図に最も良く示される如く、ベース１３は、任意の
適宜の幾何学的形状をしており垂直蝶番軸２３の周りに
回転可能な脚部２２と関連するベースプレート２１を有
している。脚部２２は、第１図及び第３図には部分的に
のみ示されている。それらは、任意の態様で形成するこ
とが可能であり、且つそれらの長さは固定的であっても
調節可能であっても良い。
第２図に示される如く、筒状シャフト２０は任意の適宜
の手段によってベースプレート２１に固着されている。
好適には、シャフト２０は、ボルト２５によってベース
プレート２０に固定されている底部フランジ２４を持っ
ている。
支柱組立体１４は、更に、シャフト２０に同心的に嵌合
されており且つ第４図に更に詳細に示した案内手段２７
及び心合せ手段２８によってシャフト２０に関して垂直
移動自在に装着されている第２支柱部材乃至は筒状シー
ス２６を有している。
案内手段は、筒状シース２６が筒状シャフト２００周り
を回転することを防止する。案内手段２７は、固定した
筒状シャフト２０の周囲に固定した軸方向ブレード３０
、及びシース２６によって担持された少なくとも２対の
ホイール（車輪）３１を有しており、各対のホイール３
１は軸方向ブレード３０の反対側面に係合している。該
２対のホイール３１は、筒状シース２６の低端部から垂
直方向に離隔されており、且つブレード３０の長さの主
要部分と協働して、その垂直方向運動の間に該シースの
いずれの位置に対してもシャフト２０に関してシース２
６の回転を防止する。シャフト２０と相対的なシース２
６の完全に延出した位置は、上側対のホイール３１のそ
れ以上の変位を防止する為にブレード３０の上端に取付
けた当接部材（第５図）によって決定される。第２図に
示した完全に後退した位置は、支持及び衝撃吸収の目的
の為に例えばエラストマーから構成された中間ライニン
グ３３を介するか又は直接的のいずれかによって、シー
ス２６の低端部をベースプレート２１に当接させること
によって決定される。
心合せ手段２８は、シース２６によって担持されている
フォーク３５上に装着されているホイール３４を有して
おり、従って該ホイールはシャフト２０の外側表面上を
軸方向に転動することが可能である。ホイール３４は１
例えば２対のホイール３１の間の距離に対応する量だけ
、互いに軸方向に離隔された２つのシリーズの形態で配
列されている。各シリーズの中において、ホイール３４
は等距離角度間隔で配設されている。第４図は、好適な
態様において、各シリーズが直径方向に対向する対の形
態で配列された４個のホイール３４を有している。フォ
ーク３５を構成することが可能な種々の異なった態様が
ある。１つの好適な構成は、シース２６の外側表面に固
定したフランジを有するものであり、フォーク３５及び
ホイール３４は該シースの壁を介して外部から装着され
るものである。
従って、シース２６は、軸方向のみならず回転方向にお
いても案内され、その場合にシャフト２０に関して心合
せされた状態を維持し、該シャフト２ｏに沿って、シー
ス２６はホイール３１及び３４によって最小の摩擦で変
位することが可能である。従って、第２図に示した如く
、支柱組立体１４の最小高さに対応する後退位置に位置
させることが可能である。然し乍ら、シース２６は、当
接部材３２と上側対のホイール３１との間の当接によっ
て規定される位置に来る迄伸縮自在に摺動運動すること
によって、完全に延出した位置に容易に上昇させること
も可能である。滑らかな摺動運動を得る為に、ホイール
３１及び３４の少なくとも幾つかの位置はそれらの車軸
を調節自在な偏心リング上に装着させることによって調
節することが可能である。
本マニュピレータ装置は、位置決め手段の及びその上に
装着されているテストヘッドのウェイトをカウンターバ
ランスさせる為の手段を有している。シース２６は、可
撓性伝達部材４ｏによって、ベースプレート４によって
担持された調節自在の牽引手段４１へ接続されている。
該可撓性伝達部材は、シース２６の低端部近傍でシース
２６内側に固定手段４３に固定した端部アイレット４２
を持ったケーブル４０を有している。ケーブル４０は、
シース２６とシャフト２ｏとの間の環状間隙内を上方に
走行し、次いでシャフト２ｏの頂部において水平車軸４
５の周りに回転自在に装着されているプーリー４４を通
過している。プーリー４４を越えて、該ケーブルはシャ
フト２ｏ内を軸方向に延在し且つシャフト２ｏの底部に
固定した水平方向車軸４７の周りに回転自在に装着され
ている底部プーリー４６を通過する。底部プーリー４６
を越えて、該ケーブル４ｏはシャフト２０におけるスロ
ット４７を介して実質的に水平方向に延在し且つ牽引手
段４１によって巻き取られる。
牽引手段４１は、調節可能なバイアス牽引力をケーブル
４０に付与する、牽引手段４１は、ベース１３に固定さ
れており且つケーブル４ｏを巻き取る漸進的に螺旋直径
が増加するへりカル溝を持ったドラム５１を具備するハ
ウジング５ｏを有している。シース２６が完全に上昇さ
れると、ケーブル４１はドラム５１のヘリカル溝の全長
に渡って巻き取られる。ハウジング５ｏにおいて、牽引
装置４１は、更に、一端をドラム５１に取付けた螺旋ス
プリング５２を有している。螺旋スプリング５２の他端
の角度位置は、外部制御レバーによって、該ハウジング
に関して手動的に調節することが可能である。テストヘ
ッドの重量に依存して、牽引手段４１は調節されるが、
その態様は、例えば、該スプリングの牽引力が該テスト
ヘッドを垂直方向に所望の中立点へ移動させ、その個所
においてケーブル４０に付与される力はテストヘッド及
び位置決め手段の重量を補償し、この重量は矢印ｆ１及
びｆ２の方向にケーブル４０に付与されるものである。
ドラム５１は、ケーブル４０がドラム５１に巻き取られ
るか又はそれから巻き戻される場合に、ヘリカルスプリ
ング５２によって付与される力の変動を補償すべく構成
されている。従って、牽引手段４１によって付与される
力は、中立点の上下においてシース２６の垂直位置の制
限された範囲に対して実質的に一定である。テストヘッ
ドは、この垂直位置の制限された範囲内において手動的
に移動させることが可能であり、該テストヘッドを正確
に所望の垂直位置に位置させる。
その頂端部からの成る距離において、シース２６は上方
向に指向された肩部５３を有しており、該肩部５３上に
２個のボール又はローラ軸受５５によって支持リング５
４が回転自在に装着されている。従って、リング５４は
、３６ｏ°の角度を介してシース２６と相対的に最小の
摩擦で自由に回転することが可能である。任意の適宜の
タイプの角度ロック機構５６（第６図）が、シース２６
を上に該リングをロックさせる為にリング５４内に装着
されている０機構５６は、好適には、リング５４の壁を
介して固定されている円筒状スリーブ５８を有している
。２個のナツト５７がスリーブ５８内に軸方向運動自在
に装着されており、且つ回転制御ノブ６１を具備した制
御ロンドロｏの反対に螺設した部分上に螺合されている
。スリーブ５８は、その中間部分に開口を持っており、
従ってシース２６の一部がスリーブ５８内に突出して、
ナツト５７がロッド６０の適宜の回転によってスリーブ
５８内側において相互に軸方向に付勢される場合に、シ
ース２６と係合することを可能とする。
機構５６は、シース２６の周りの任意の角度位置に非常
に正確にリング５４をロックさせる為に使用することが
可能である。
リング５４は、横方向に延在する部分６２を有しており
、それは好適にはロック機構５６とは半径方向に対向し
ており且つそれは電子的テストヘッドを支持する水平ア
ーム６４を案内する為の物体６３を担持している。案内
物体６３は、少なくとも１つ、好適には２つの水平方向
の摺動路６５を有しており、それらの摺動路は並設され
且つ支柱組立体の軸から互いに一方が他方の上方にオフ
セットされている。摺動路６５は、アーム６４を形成す
る２つの摺動バー６６を支持し且つ案内している。それ
らの端部の１つにおいて、摺動バー６６はＵ形状支持物
体７０によって相互接続されており、該物体７０の上に
配向手段１６が蝶番接続されて設けられており電子的テ
ストヘッドを支持している。案内物体６３には、軸方向
にアーム６４をロックする少なくとも１つの機構７２（
第６図）が設けられている。機構７２は、螺子型クラン
プ部材７４と連動し且つそれを貫通する摺動バー６６の
少なくとも１つを持ったスプリットフランジ７３によっ
て構成することが可能である。
螺子７４を締め付けると、スプリットフランジ７３は閉
じられ、その際に摺動バー６６をクランプし且つそれを
物体６３と相対的に軸方向にロックする。
上述した支柱組立体１４は、固定した筒状シャフト２０
及びその上に伸縮自在に装着したシース２６を有してい
るという事実に起因して、比較的小さな垂直に延在した
長さを持っている。シース２６の垂直運動は、支持リン
グ５４を、第２図に示した如き下側位置から任意の中間
的位置を介してシース２６がシャフト２ｏと相対的に延
出されて当接部材３２と当接する上側位置への間の任意
の位置に位置させることを可能とする。
リング５４は、支柱組立体１４の垂直軸の周りに３６０
°の範囲に渡り任意の角度位置にアーム６４を位置させ
ることを可能とする。
リング５４の回転の垂直軸からオフセットされた案内物
体６３の横方向配置は、アーム６４を容易に変位させる
ことを可能とし、その際にテストヘッドの取扱を容易と
させる。
好適には共通垂直面内に位置された２つの摺動バーによ
って構成される片持梁型アーム６４を使用することによ
り、比較的短く且つ剛性の構成を与えらえ、オペレータ
の努力を殆ど要すること無しに高重量のヘッドを取り扱
うことを可能としている。
テストヘッドのウェイトを支持する為に調節自在に補償
した牽引力を付与することの可能な比較的小型の牽引装
置４１は、やっかいで重たいカウンタウェイトを取り扱
うことを必要とせずにテストヘッドの重量の関数として
、ユーザが容易に且つ連続的に調節を行なうことを可能
とする。
第７図及び第８図を参照すると、摺動バー６６に取付け
たＵ形状支持物体７０は、上側及び下側技部８０を有し
ており、それらの各々はブロック８１を回転自在に受は
取る為に円筒状の開口を持っている。ブロック８１は、
２つのスタブ車軸８２を有しており、それらは枝部８０
の開口内にボール又はニードル軸受によって回転自在に
装着されており、支柱組立体１４の軸と酩平行な垂直回
転軸θｚを画定している。支持物体７０及びブロック８
１の間の回転は、手動的に制御することの可能な環状ロ
ック手段８３によってロックすることが可能である。例
えば、ロック手段８３は、頂部スタブ車軸８２の延長部
８５を囲繞する為に物体７０の上側技部８０上に固定さ
れたスプリットフランジ８４を有している。フラング８
４は、ブロック８１に固定されるか又はその一部である
スタブ車軸８２の延長部８５を角度的に解放させるか又
は角度的にロックする為に該フランジを開閉させること
が可能なりランプ部材８６と連動している。
配向手段１６は、環状フレーム９０を有しており、それ
はその外側に円筒状テール部９１が設けられており、該
テール部９１は半径方向に延在し且つ軸θｚと交差し且
つ実質的に水平方向に延在する回転軸θｘの周りにブロ
ック８１内のボア９３内に玉軸受９２を介して回転自在
に装着されている。ブロック８１は、後述する軸θｘの
周りに環状フレーム９０の角度位置を調節し且つ維持す
る為の手段９４を担持している。
環状フレーム９０は、２つの平行なリング９５及び９６
（第９図）を有しており、それらの間に心合せ手段９７
が設けられており、それらはスペーサ９８上に自由に回
転すべく装着されたローラによって構成されている。心
合せ手段９７は、環状フレーム９０の幾何学的軸である
軸Ｏｙの周りに回転自在な円形状ディスク１００を支持
し且つ心合せすべく設けられている。ローラ９７は、好
適には、ディスク１００の相補的な周辺端部上に嵌合す
る括れをいれた（ネック形状とした）シリンダの形状で
ある。例えば、電子的テストへラド１１を支持すること
を意図したディスク１００は、テストヘッド１１から来
る電気的コネクタを通過し及び／又は収容する為の窓部
１０２と共に、テストヘッドの半径方向に延在するアー
ム１２を受納し且つ固定する為の手段１０１をその中心
に有している。
ディスク１００の組み立て及び／又は交換を容易とする
為に、環状フレーム９０は、好適には、テール部９１に
固定したフォーク１０３から延在する第１円弧状部分９
０ａを有している。フォーク１０３には、回転軸θｙに
平行に配設された回動軸１０４が設けられている。軸１
０４は、ディスク１００を環状フレーム９０から取り出
すのに十分な開放空間を与える円弧状部分９０ａと相対
的な開放位置と１円弧状部分９０ａに関連して完全な円
を構築する閉止位置との間で、第７図の面内に回動自在
に装着された第２円弧状部分９０ｂを支持している０円
弧状部分９０ａ及び９０ｂは、接続手段１０５（第９図
参照）によって接続されており、それは１例えば、円弧
状部分９０ａ＆構成する２つの半リングの間に回転自在
に装着されたビン１０６と１円弧状部分９０ｂに取付け
られたフォーク１０８と係合する為にピン１０６から延
在する半径方向螺設ロッド１０７と、円弧状部分９０ａ
に対して円弧状部分９０ｂを押圧させる為にロッド１０
７上に螺合させたクランプナツト１０９とを有している
。
円弧状部分９０ａ及び９０ｂの各々は、上述した如くに
、２つの相互に組み立てた半リングによって構成されて
、円弧状部分が接続手段１０５によって互いにロックさ
れた時に環状フレーム９０を形成する。
環状フレーム９０には１回転軸θｙの周りにディスク１
００の角度位置をロックする為のロック手段１１０が設
けられている。ロック手段１１０は１例えば、ディスク
１００の周辺端部に対して半径方向に担持する為に、リ
ング９０によって担持された固定ナツト１１２を介して
通過する圧力螺子１１１を有することが可能である。当
然に。
実質的に同一の機能を与える為にその他の技術的手段を
使用することも可能である。
前述した如く、本装置は、ブロック８１における軸θｘ
の周りに環状フレーム９０の角度位置を調節し且つ維持
する為に調節手段９４を有している。
調節手段９４は、スプリットフランジ１１５を有してお
り、それはボア９３の軸θｘの周りに同心円的にブロッ
ク８１上に形成した円筒状担持表面１１６上に固着され
ているスプリットフランジ１１５を有している。スプリ
ットフランジ１１５は、前記フランジの間隙の両側にお
ける前記フランジの２つの分岐部を介して通過する螺子
１１７によって担持表面１１６上にロックされる。
螺子１１７に対して反対端部において、フランジ１１５
は、シャフト１１８を担持しており、その上に偏心カム
部材１１９が回転自在に装着されている。偏心部材１１
９は操作ハンドル１２０によって延在されており、且つ
環状フレーム９０のフォーク１０３に固定したプレート
１２１と係合する周辺カム表面を持っている。
第１０図及び第１１図に示した調節手段の第２実施例に
おいて、フランジ１１５は、螺子１２４が自由に通過す
る開口を持ったし形状当接部材１２３を担持する下方向
に延在する部分１２２を有している。螺子１２４の一端
は、内部キャップ１２６を持ったナツト１２５に固定さ
れており、球状担持表面が当接部材１２３上に担持する
相補的着座部１２７内に受納されている。当接部材１２
３の前方には、螺子１２４が、プレート１２１へ又はフ
ォーク１０３によって担持された別の部材へ固定された
フォーク１３０上のボア９３の軸ＯＸに対して平行に走
行するスタブ軸１２９によって回動自在に装着されたナ
ツト１２８内に螺合されている。
これらの実施例のいずれの場合においても、ユーザは、
テストヘッドのアンバランスな重量の効果の下で水平軸
θｘの周りに環状フレーム９ｏが傾斜することを防止す
る一方、テストヘッドをつけたままで環状フレーム９０
の軸θｘ周りの位置の角度調節を行なうことを可能とし
ている。
この調節は、軸θｘの周りの環状フレーム９０の位置の
与えられた範囲に制限されている。上述した実施例にお
いて、調節手段９４は、軸θｙの水平位置から一５°か
ら＋５°の軸θｘ周りの軸θｙの回転を与えるべく構成
されている。
上述した説明から理解される如く、本装置は、ディスク
１００によって受納される半径方向に延在するアームを
具備する非対称的な電子的テストヘッドを支持するのに
特に適した配向手段１６を有している。この様なヘッド
（第１図に示される如く）は、容易に片持梁位置に固定
させることが可能であり、従ってその半径方向アーム１
２は回転軸Ｏｙと整合し、ディスク１００を回転させる
ことによって簡単且つ容易な方法で該軸の周りにヘッド
１１を少なくとも１８０６配向させることが可能である
。ディスク１００は、ロック手段１１０を使用すること
によって角度的にロックさせることが可能である。
ヘッド１１も、回転軸θｘの周りに、即ち調節手段９４
によってテイル部９１の周りに、フレーム９０を回転さ
せることによって制限された移動量に渡り回転軸θｘの
周りに調節し且つ配向させることが可能である。
本発明に基づく本マニュピレータ装置は、実際的で、迅
速で、且つ効果的な態様で、ヘッドを所要の自由度で手
動的に移動させることを可能な状態に確保する一方、片
持梁構成で半径方向に延在するアームを持った非対称的
はヘッドを支持することを可能としている。
注意すべきことであるが、調節手段９４を除いて、全て
のロック機構５６，７２，８３，１１０は、ヘッド１１
を手動的に位置決めし且つそれを装置取扱器とドツキン
グさせる為に解除状態とさせることが可能である。ロッ
ク機構は、ヘッドを装置取扱器にドツキングさせた後に
解除状態とさせることも可能である。次いで、ヘッドは
マニュピレータからの応力に露呈されること無しに所定
の位置に維持される。
以上、本発明の具体的実施の態様に付いて詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
では無く、本発明の技術的範囲を逸脱すること無しに種
々の変形が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に基づく電子的テストヘッドを支持し且
つ配向させるマニュピレータ装置を示した概略図、第２
図は第１図のマニュピレータ装置のカウンターバランス
手段及び支柱組立体を示した概略図、第３図乃至第６図
は夫々第２図のＩＩＩ−ＩＩＩ、ＩＶ−ＩＶ、Ｖ−Ｖ、
ＶＩ−ＶＩ線に沿って取った支柱組立体の各概略部分断
面図、第７図は本発明に基づくマニュピレータ装置の配
向装置の概略部分断面図、第８図は第７図のＶＩＩＩ−
ＶＩＩＩ円に沿って取った概略部分断面図、第９図は第
７図のＩＸ−ＩＸ線に沿って取った概略断面図、第１０
図は本マニュピレータ装置の調節手段の第２実施例を示
した概略拡大部分断面図、第１１図は第１０図のＸＩ−
ＸＩ線に沿って取った概略断面図、である。 （符号の説明） １０：マニュピレータ装置 １１：テストヘッド １２：アーム １３：ベースプレート １４：支柱組立体 １５：位置決め手段 １６：配向手段 特許出願人　　　　シュルンベルジェ　アンデュストリ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、半径方向に延在するアームを具備するケースを持っ
    たテストヘッドを支持し且つ配向させるマニュピレータ
    装置において、第１支持部材と第１垂直軸に関し垂直に
    移動自在且つ回転自在に前記第１支持部材を装着し且つ
    前記第１支持部材に接続したテストヘッドの重量を支持
    する為の手段とを具備する支柱手段、第２支持部材と前
    記第１支持部材と相対的に横水平方向運動自在に前記第
    ２支持部材を装着する手段と前記第２支持部材上に第２
    垂直軸（θｚ）周りに回転自在に装着したブロックとを
    具備する位置決め手段、水平軸（θｘ）の周りに前記ブ
    ロック上に回転自在に装着されており且つ前記水平軸（
    θｘ）に対して直交する付加的な軸（θｙ）の周りに前
    記テストヘッドの半径方向に延在するアームを回転自在
    に装着する手段を具備する配向手段、前記テストヘッド
    のアンバランスな重量の下で前記水平軸の周りに前記配
    向手段が傾斜することを防止する為に前記ブロックの相
    対的に前記水平軸（θｘ）の周りに安定な調節可能な角
    度位置に前記配向手段を維持する調節手段、を有するこ
    とを特徴とする装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記配向手段は、
    前記水平軸（θｘ）の周りに前記ブロック上に回転自在
    に装着されたフレームと、前記付加的な軸（θｙ）から
    等間隔離隔して前記フレーム上に配設された心合せ手段
    、前記付加的な軸（θｙ）の周りに回転自在に前記心合
    せ手段と係合する周辺部分を持ったディスク部材とを有
    しており、前記テストヘッドの半径方向に延在するアー
    ムは前記ディスク部材を介して固定されていることを特
    徴とする装置。 ３、特許請求の範囲第２項において、前記フレームは、
    前記水平軸（θｘ）の周りに前記ブロック上に回転自在
    に装着されており且つ前記ディスク部材を部分的に取り
    囲む第１円弧状部分と、前記フレーム内に前記心合せ手
    段によって前記ディスク部材が維持される閉止位置から
    前記取付けたテストヘッドと共に前記ディスク部材を前
    記フレームから除去することの可能な開放位置へ前記第
    １円弧状部分と相対的に回動自在に装着された第２円弧
    状部分とを有することを特徴とする装置。 ４、特許請求の範囲第３項において、前記心合せ手段は
    、前記フレーム上に回転自在に装着した相互に離隔させ
    たローラを有することを特徴とする装置。 ５、特許請求の範囲第２項において、前記フレーム上に
    可動的に装着された手動的に操作可能なロック手段を有
    しており、前記ロック手段は、それが前記ディスク部材
    と係合してその際にそれを前記付加的な軸（θｙ）の周
    りに回転することを防止するロック位置と、前記ディス
    ク部材が前記付加的な軸の周りに回転自在であるアンロ
    ック位置との間を移動自在であることを特徴とする装置
    。 ６、特許請求の範囲第１項において、前記配向手段に関
    して前記付加的な軸（θｙ）の周りの前記テストヘッド
    の回転を防止する為の手動的に操作可能なロック手段を
    有することを特徴とする装置。 ７、特許請求の範囲第１項において、前記調節手段が、
    前記水平軸（θｘ）の周りの制限された角度位置範囲に
    前記配向手段を回転させる為の前記配向手段と前記ブロ
    ックとの間に配設された手動的に操作可能な接続手段を
    有することを特徴とする装置。 ８、特許請求の範囲第７項において、前記調節手段は、
    前記ブロックと前記配向手段とを連結させる調節可能螺
    子を有しており、前記螺子を手動的に回転させると前記
    配向手段が前記ブロックに関して前記水平軸（θｘ）の
    周りに回転することを特徴とする装置。 ９、特許請求の範囲第７項において、前記調節手段は、
    前記ブロックと配向手段の一方に回転自在に装着され前
    記ブロックと配向手段の他方と係合するカム部材を有し
    ており、前記カム部材の回転が前記ブロックに関して前
    記水平軸（θｘ）の周りに前記配向手段を回転させるこ
    とを特徴とする装置。
JP63231509A 1987-09-17 1988-09-17 自動テスト装置用のテストヘッドマニュピレータ装置 Pending JPH01257342A (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8713099A FR2620826B1 (fr) 1987-09-17 1987-09-17 Dispositif adaptable sur un appareil manipulateur pour le support et l'orientation d'une tete d'equipement de test electronique
FR8713098A FR2620825B1 (fr) 1987-09-17 1987-09-17 Colonne de support pour appareil manipulateur d'une tete d'equipement de test automatique
FR87.13099 1987-09-17
FR87.13098 1987-09-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01257342A true JPH01257342A (ja) 1989-10-13

Family

ID=26226224

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63231509A Pending JPH01257342A (ja) 1987-09-17 1988-09-17 自動テスト装置用のテストヘッドマニュピレータ装置
JP63231508A Pending JPH021567A (ja) 1987-09-17 1988-09-17 改良型カウンターバランス装置を有するテストヘッドマニピュレータ装置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63231508A Pending JPH021567A (ja) 1987-09-17 1988-09-17 改良型カウンターバランス装置を有するテストヘッドマニピュレータ装置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US4973015A (ja)
EP (1) EP0308347B1 (ja)
JP (2) JPH01257342A (ja)
DE (2) DE3878364T2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8731712B2 (en) 2009-05-15 2014-05-20 Gen-Probe Incorporated Method and apparatus for effecting transfer of reaction receptacles in an instrument for multi-step analytical procedures
CN116802024A (zh) * 2021-01-08 2023-09-22 泰瑞达公司 被配置为解决不受控制的测试头旋转的测试头操纵器

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5149029A (en) * 1982-08-25 1992-09-22 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
EP0390009A1 (en) * 1989-03-29 1990-10-03 Asea Brown Boveri Ab Manipulator for transducers (Detectors)
US5135196A (en) * 1990-03-30 1992-08-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multi-axis positional gimbal
US5163649A (en) * 1990-03-30 1992-11-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multi-axis positional gimbal
US5037162A (en) * 1990-10-30 1991-08-06 Jeffrey Ransom Truck utility tray
US5241183A (en) * 1991-03-22 1993-08-31 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Vertical xy stage
DE9304255U1 (de) * 1993-03-22 1993-06-09 Siemens Nixdorf Informationssysteme AG, 33106 Paderborn Kippsicherung für ein Gerätegehäuse
US5982182A (en) * 1994-09-01 1999-11-09 Chiu; Michael A. Interface apparatus for automatic test equipment with positioning modules incorporating kinematic surfaces
JP3869465B2 (ja) * 1995-02-23 2007-01-17 テラダイン・インコーポレーテッド 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ
US5606262A (en) * 1995-06-07 1997-02-25 Teradyne, Inc. Manipulator for automatic test equipment test head
US5765273A (en) * 1995-09-22 1998-06-16 Black & Decker Inc. Drill press having pivotable table
US6166552A (en) * 1996-06-10 2000-12-26 Motorola Inc. Method and apparatus for testing a semiconductor wafer
FR2762682B1 (fr) * 1997-04-24 1999-07-16 Sgs Thomson Microelectronics Anneaux de serrage pour tetes de testeur de circuit integre
US6023173A (en) * 1997-04-30 2000-02-08 Credence Systems Corporation Manipulator with expanded range of motion
US6888343B1 (en) * 1999-01-13 2005-05-03 Intest Ip Corporation Test head manipulator
AU2964400A (en) * 1999-01-13 2000-08-01 Intest Ip Corp. Test head manipulator
MY144519A (en) 2000-03-01 2011-09-30 Intest Corp Vertical counter balanced test head manipulator
DE10025355C2 (de) * 2000-05-23 2002-12-12 Deckel Maho Geretsried Gmbh Vorrichtung zum Gewichtsausgleich
US6741072B2 (en) * 2000-09-15 2004-05-25 James E. Orsillo Docking system for connecting a tester to a probe station using an A-type docking configuration
WO2002024400A2 (en) * 2000-09-20 2002-03-28 Intest Ip Corp. Electronic test head positioner
US20020145431A1 (en) * 2001-04-09 2002-10-10 Brady Glenn M. Positionable electrostatic discharge plate holder assembly
DE10132489B4 (de) * 2001-07-05 2004-12-09 Heigl, Cornelia Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung
WO2003005045A1 (de) 2001-07-05 2003-01-16 Heigl, Cornelia Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum positionieren eines testkopfs an einer prüfeinrichtung
US6766996B1 (en) 2001-07-16 2004-07-27 Reid-Ashman Manufacturing, Inc. Manipulator
US6646431B1 (en) 2002-01-22 2003-11-11 Elite E/M, Inc. Test head manipulator
US6828774B2 (en) * 2002-02-27 2004-12-07 Teradyne, Inc. Rear-mounted gimbal for supporting test head
DE20317541U1 (de) * 2003-10-08 2005-02-17 Rotwerk Elektrowerkzeuge Und Handelsmarketing Beteiligungsgesellschaft Mbh Klemmer
CN100414057C (zh) * 2003-10-27 2008-08-27 邱则有 一种永久模壳构件
US7172105B2 (en) * 2004-04-01 2007-02-06 Amaesing Tools Mfg. Inc. Apparatus for positioning pipe and tubing
FR2875831B1 (fr) 2004-09-28 2006-12-08 Norsk Hydro As Dispositif de liaison entre un garde-corps et une structure de support
ES2582187T3 (es) 2004-12-17 2016-09-09 Steelcase Inc. Mesa de altura ajustable
US7312604B2 (en) * 2005-07-29 2007-12-25 Nextest Systems Corporation Portable manipulator for stackable semiconductor test system
US20070137535A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Steelcase Development Corporation Load compensator for height adjustable table
US8607935B2 (en) 2005-12-20 2013-12-17 Intuitive Surgical Operations, Inc. Guide systems for laminated spring assemblies
EP2114634A4 (en) * 2007-02-23 2010-11-17 Intest Corp TESTING HEAD MANIPULATOR
US7685885B2 (en) * 2007-12-10 2010-03-30 Teradyne, Inc. Manipulator constant force spring counterbalance
KR20100030867A (ko) * 2008-09-11 2010-03-19 삼성전자주식회사 태양 전지 검사 장치 및 그것을 이용한 검사 방법
KR101343910B1 (ko) 2013-07-31 2013-12-20 테스토피아 주식회사 시험헤드의 하중제어 구조를 갖는 매니퓰레이터
WO2015142786A1 (en) 2014-03-17 2015-09-24 Intuitive Surgical Operations, Inc. Constant force spring with active bias
CN104014758B (zh) * 2014-05-27 2017-02-22 广州大正新材料科技有限公司 一种压力机自动生产线
CN103963071B (zh) * 2014-05-27 2017-01-04 广州大正新材料科技有限公司 一种机械手
PL3053710T3 (pl) * 2015-02-03 2017-11-30 Comau S.P.A. Paleta do przenoszenia elementów luh części składowych na linii montażowej
US10094854B2 (en) * 2015-10-23 2018-10-09 Teradyne, Inc. Manipulator in automatic test equipment
US10845000B2 (en) * 2016-10-21 2020-11-24 Colebrook Bosson Saunders (Products) Limited Display support system
CN107253642B (zh) * 2017-06-07 2019-04-12 袁静 一种便于组装的纺织尼龙用支撑装置
ES2870507T3 (es) 2017-11-28 2021-10-27 Comau Spa Dispositivo modular accesorio para AGV
CN108518563B (zh) * 2018-06-13 2021-05-28 华东交通大学 低频力学谱仪试样夹持测量调整装置及方法
CN114113846A (zh) * 2021-11-23 2022-03-01 上海创远仪器技术股份有限公司 实现针对压控振荡器进行自动化测试的系统、方法、装置、处理器及其计算机可读存储介质

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2092336A (en) * 1935-06-15 1937-09-07 Cincinnati Bickford Tool Co Revolving multiple spindle head
US2168209A (en) * 1937-07-16 1939-08-01 Kelley Koett Mfg Company Inc Spring counterbalance
US2811781A (en) * 1951-10-17 1957-11-05 Gleason Works Checking device
US3478436A (en) * 1967-08-22 1969-11-18 Clair E Barnes Jig master
US3575368A (en) * 1969-01-27 1971-04-20 Westinghouse Electric Corp Vertically adjustable counterbalancing x-ray tube head suspension support apparatus
DE2225408A1 (de) * 1972-05-25 1973-10-11 Georg Hahn Modellbau Mess- und anreissgeraet
US3805629A (en) * 1972-06-01 1974-04-23 Usm Corp Devices for linear and rotational movements
US4132318A (en) * 1976-12-30 1979-01-02 International Business Machines Corporation Asymmetric six-degree-of-freedom force-transducer system for a computer-controlled manipulator system
US4270721A (en) * 1978-09-22 1981-06-02 Mainor Jr Ross F Instrument support
DE2909980A1 (de) * 1979-03-14 1980-09-25 Alfred Chetelat Mechanik & Opt Stativ
US4229136A (en) * 1979-03-19 1980-10-21 International Business Machines Corporation Programmable air pressure counterbalance system for a manipulator
US4383455A (en) * 1980-10-21 1983-05-17 Kobe Steel, Limited Arm with gravity-balancing function
EP0102217B1 (en) * 1982-08-25 1988-06-01 InTest Corporation Electronic test head positioner for test systems
CA1192921A (en) * 1982-10-27 1985-09-03 Her Majesty The Queen, In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence Adjustable jig assembly
US4548373A (en) * 1983-03-22 1985-10-22 Tokyo Kogaku Kikai Kabushiki Kaisha Medical equipment supporting device
US4695024A (en) * 1986-05-09 1987-09-22 Attain, Inc. Test system manipulator arm

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8731712B2 (en) 2009-05-15 2014-05-20 Gen-Probe Incorporated Method and apparatus for effecting transfer of reaction receptacles in an instrument for multi-step analytical procedures
US9446911B2 (en) 2009-05-15 2016-09-20 Gen-Probe Incorporated Apparatus for transferring reaction receptacles between a plurality of receptacle-receiving structures
CN116802024A (zh) * 2021-01-08 2023-09-22 泰瑞达公司 被配置为解决不受控制的测试头旋转的测试头操纵器
JP2024502411A (ja) * 2021-01-08 2024-01-19 テラダイン、 インコーポレイテッド 制御されない試験ヘッドの回転に対処するように構成された試験ヘッドマニピュレータ

Also Published As

Publication number Publication date
US4973015A (en) 1990-11-27
DE3885832D1 (de) 1994-01-05
EP0308347B1 (fr) 1993-11-24
DE3878364T2 (de) 1993-06-03
EP0308347A1 (fr) 1989-03-22
JPH021567A (ja) 1990-01-05
DE3885832T2 (de) 1994-06-01
US4943020A (en) 1990-07-24
DE3878364D1 (de) 1993-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH01257342A (ja) 自動テスト装置用のテストヘッドマニュピレータ装置
US5606262A (en) Manipulator for automatic test equipment test head
EP0286959B1 (en) Adjustable support
CN103097978A (zh) 显示器支撑装置
CA2699293C (en) Gimbal assembly for tool support
US3955241A (en) Cam operated spring biased counterbalance hinge mechanism for cabinet lid or the like
US10228608B2 (en) Camera slider with flywheel
US7891888B2 (en) Camera slider system
US5703317A (en) Portable equipment for immobilizing personal firearms
US9011027B2 (en) Camera support device including jib arm
US4199123A (en) Tripod leveling mechanization
US4411395A (en) Downrigger swivel base
EP2499416A1 (en) Extendable camera support and stablization apparatus
US20250028023A1 (en) Vehicle adas calibration device
JP2582426Y2 (ja) 三脚用中央固定装置
US5060533A (en) Arm fitting structure of horizontal articulated robot
EP0308348A1 (fr) Appareil manipulateur de tête de test pour équipement de test automatique
EP1051661A2 (en) Steady camera mount system
CN222416842U (zh) 一种多自由度连杆支撑装置
EP0277304A1 (de) Haltevorrichtung für einen Messkryostaten
JP3533140B2 (ja) パイプレ−ザの回転支持装置
CN119734284B (zh) 一种并联机器人校准装置和系统
CN221121462U (zh) 管道定位测量装置
CA2687177A1 (en) Camera slider system
CN115326426B (zh) 一种管道验证试验装置