JPH01261573A - 真空仕切弁 - Google Patents
真空仕切弁Info
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- JPH01261573A JPH01261573A JP8646888A JP8646888A JPH01261573A JP H01261573 A JPH01261573 A JP H01261573A JP 8646888 A JP8646888 A JP 8646888A JP 8646888 A JP8646888 A JP 8646888A JP H01261573 A JPH01261573 A JP H01261573A
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- Japan
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- valve
- container
- bellows
- passage
- opening
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Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空技術を応用した装置２例えば真空蒸着装置
、プラズマエツチング装置、プラズマＣＶＤ装置等に用
いて真空容器と大気、または真空容器間を気密に保ため
の真空仕切弁に関する。
、プラズマエツチング装置、プラズマＣＶＤ装置等に用
いて真空容器と大気、または真空容器間を気密に保ため
の真空仕切弁に関する。
第２図は従来の真空仕切弁の最も簡便なものの一例を示
す断面図である。
す断面図である。
この従来例は真空容器１の開口３Ｓこ、この開口３を開
閉する回動型弁体１７を駆動軸１８に取付け、この駆動
軸１８を時計方向に回動して弁体１７を同じ方向に回動
させ、開口３をＯリング１９を介して密閉することがで
き、また駆動軸１８を反時計方向に回動して弁体１７を
同じ方向に回動させ、開口３を開放することができるも
のであり、真空容器１内を密閉して真空にしたり、大気
に開放したりすることができる。
閉する回動型弁体１７を駆動軸１８に取付け、この駆動
軸１８を時計方向に回動して弁体１７を同じ方向に回動
させ、開口３をＯリング１９を介して密閉することがで
き、また駆動軸１８を反時計方向に回動して弁体１７を
同じ方向に回動させ、開口３を開放することができるも
のであり、真空容器１内を密閉して真空にしたり、大気
に開放したりすることができる。
また第２図の仮想線で示すように真空容器１の開口３に
真空容器２の開口４を対接し、回動型弁体１７を回動す
ることにより回動方向に応じて再真空容器１，２間を仕
切ったり、開放したりできるものである。
真空容器２の開口４を対接し、回動型弁体１７を回動す
ることにより回動方向に応じて再真空容器１，２間を仕
切ったり、開放したりできるものである。
このような従来例にあっては、弁体１７が開いた時、開
く方向に広いスペースが必要であり、また真空容器１を
大気圧に、真空容器２を真空にした場合は、気密に保つ
ために過大な駆動力を必要とする等の課題がある。
く方向に広いスペースが必要であり、また真空容器１を
大気圧に、真空容器２を真空にした場合は、気密に保つ
ために過大な駆動力を必要とする等の課題がある。
第３図は従来の真空仕切弁の他側を示す断面図で、本発
明に類似のものである。
明に類似のものである。
この従来例は真空容器１の開口３に、この開口３を開閉
する弁体５とこれに対向する弁体６を有する弁容器７を
配設し、これらの弁体５，６の両端部をリンク２０ 、
２１で連結せしめ、これらのリンク２０ 、２１の間に
バネ２２を連結すると共に、一方の弁体５に弁容器７よ
り突出する駆動軸１８を連結せしめ、この駆動軸１８を
第３図の矢印方向に動かすと、弁体５，６がリンク２０
、２１によりバネ２２に抗して真空容器１の開口３に
通じる弁容器７の開ロアａ及びこれに対向する開ロアｂ
に押（」けられて真空容器１内を密閉することができ、
また駆動軸１８を第３図の矢印方向とは逆の方向に動か
すと、弁体５．６がバネ２２によりリンク２０ 、２１
を介して真空容器１の開口３に通じる弁容器７の開ロア
ａとこれに対向する開ロアｂを大気に開放することがで
きるものであり、真空容器１内を密閉して真空にしたり
、また大気に開放したりすることができる。
する弁体５とこれに対向する弁体６を有する弁容器７を
配設し、これらの弁体５，６の両端部をリンク２０ 、
２１で連結せしめ、これらのリンク２０ 、２１の間に
バネ２２を連結すると共に、一方の弁体５に弁容器７よ
り突出する駆動軸１８を連結せしめ、この駆動軸１８を
第３図の矢印方向に動かすと、弁体５，６がリンク２０
、２１によりバネ２２に抗して真空容器１の開口３に
通じる弁容器７の開ロアａ及びこれに対向する開ロアｂ
に押（」けられて真空容器１内を密閉することができ、
また駆動軸１８を第３図の矢印方向とは逆の方向に動か
すと、弁体５．６がバネ２２によりリンク２０ 、２１
を介して真空容器１の開口３に通じる弁容器７の開ロア
ａとこれに対向する開ロアｂを大気に開放することがで
きるものであり、真空容器１内を密閉して真空にしたり
、また大気に開放したりすることができる。
また、第３図の仮想線で示すように真空容器２を追加し
、２つの真空容器１，２の開口３，４の間に、これらの
開口３．４をそれぞれ開閉する弁体５，６を有する弁容
器７を配設し、この場合には駆動軸１８を移動すること
により移動方向に応じて再真空容器１，２間を仕切った
り、開放したりすることができるものである。
、２つの真空容器１，２の開口３，４の間に、これらの
開口３．４をそれぞれ開閉する弁体５，６を有する弁容
器７を配設し、この場合には駆動軸１８を移動すること
により移動方向に応じて再真空容器１，２間を仕切った
り、開放したりすることができるものである。
このような従来例にあっては、第２図示の従来真空仕切
弁よりコンパクトにできるという利点はあるが、メカニ
ズムが複雑で動作時に塵埃を発生し易いという課題があ
る。
弁よりコンパクトにできるという利点はあるが、メカニ
ズムが複雑で動作時に塵埃を発生し易いという課題があ
る。
本発明の目的はコンパクトでメカニズムの単純化と動作
の信頼性の向上を図り、動作時の塵埃の発生を軽減しよ
うとするものである。
の信頼性の向上を図り、動作時の塵埃の発生を軽減しよ
うとするものである。
本発明の第１真空仕切弁は、上記の課題を解決し上記の
目的を達成するため、第１図示のように真空容器ｌの開
口３に、この開口３を開閉する弁体５とこれに対向する
弁体６を有する弁容器７を配設し、これらの弁体５，６
を弁側ベローズ８で連結せしめ、一方の弁体６に、弁側
ベローズ８内に連通ずる流路９を設け、この流路９に連
通ずるｉｍ路１０を有する作動ロッド１１を弁容器７よ
り突設し、この突設した作動コンド１１部分と弁容器７
との間に作動側ベローズＩ２を連結すると共に、作動ロ
ッド１１の通路１０に排気側１３と気体供給側１４を切
替えるバルブ１５をパイプ１６で連結せしめてなる構成
としたものである。
目的を達成するため、第１図示のように真空容器ｌの開
口３に、この開口３を開閉する弁体５とこれに対向する
弁体６を有する弁容器７を配設し、これらの弁体５，６
を弁側ベローズ８で連結せしめ、一方の弁体６に、弁側
ベローズ８内に連通ずる流路９を設け、この流路９に連
通ずるｉｍ路１０を有する作動ロッド１１を弁容器７よ
り突設し、この突設した作動コンド１１部分と弁容器７
との間に作動側ベローズＩ２を連結すると共に、作動ロ
ッド１１の通路１０に排気側１３と気体供給側１４を切
替えるバルブ１５をパイプ１６で連結せしめてなる構成
としたものである。
本発明の第２真空仕切弁は、同じ課題を解決し同じ目的
を達成するため、第１図示のように複数の真空容器１，
２の開口３，４の間に、これらの開口３，４をそれぞれ
開閉する弁体５，６を有する弁容器７を配設し、これら
の弁体５，６を弁側ベローズ８で連結せしめ、一方の弁
体６に、弁側ベローズ８内に連通ずる流路９を設け、こ
の流路９に連通する通路１０を有する作動ロッド１１を
弁容器７より突設し、この突設した作動コンド１１部分
と弁容器７との間に作動側ベローズ１２を連結すると共
に、作動ロッド１１の通路１０に排気側１３と気体供給
側１４を切替えるバルブ１５をパイプ１６で連結せしめ
てなる構成としたものである。
を達成するため、第１図示のように複数の真空容器１，
２の開口３，４の間に、これらの開口３，４をそれぞれ
開閉する弁体５，６を有する弁容器７を配設し、これら
の弁体５，６を弁側ベローズ８で連結せしめ、一方の弁
体６に、弁側ベローズ８内に連通ずる流路９を設け、こ
の流路９に連通する通路１０を有する作動ロッド１１を
弁容器７より突設し、この突設した作動コンド１１部分
と弁容器７との間に作動側ベローズ１２を連結すると共
に、作動ロッド１１の通路１０に排気側１３と気体供給
側１４を切替えるバルブ１５をパイプ１６で連結せしめ
てなる構成としたものである。
第１真空仕切弁において作動ロッド１１を移動させ第１
図示の位置まで弁体５，６を移動させた後、バルブ１５
を気体供給側１４に切替えて気体をパイプ１６、通路１
０及び流路９を経て弁側ベローズ８内に導入すると、弁
体５，６が移動し弁容器７の内面に押付けられて真空容
器１の開口３が密閉され、真空容器１内を気密に保つこ
とができる。
図示の位置まで弁体５，６を移動させた後、バルブ１５
を気体供給側１４に切替えて気体をパイプ１６、通路１
０及び流路９を経て弁側ベローズ８内に導入すると、弁
体５，６が移動し弁容器７の内面に押付けられて真空容
器１の開口３が密閉され、真空容器１内を気密に保つこ
とができる。
また、真空容器１内を大気に開放するときは、バルブ１
５を排気側１３に切替え、弁側ベローズ８内の気体を、
流路９９通路１０及びパイプ１６を経て排気し気密を解
いた後、作動ロッド１１を上記とは逆方向に移動させ、
弁体５，６を同じ方向に移動させることにより真空容器
１内を大気に開放することができる。
５を排気側１３に切替え、弁側ベローズ８内の気体を、
流路９９通路１０及びパイプ１６を経て排気し気密を解
いた後、作動ロッド１１を上記とは逆方向に移動させ、
弁体５，６を同じ方向に移動させることにより真空容器
１内を大気に開放することができる。
第２真空仕切弁においては作動ロッド１１を移動させ、
第１図示の位置まで弁体５，６を移動させた後、バルブ
１５を気体供給側１４に切替えて気体をパイプ１６１通
路１０及び流路９を経て弁側ベローズ８内に導入すると
、弁体５，６が移動し弁容器７の内面に押付けられて真
空容器１，２の開口３゜４が密閉され、真空容器１，２
内を気密に保つことができる。
第１図示の位置まで弁体５，６を移動させた後、バルブ
１５を気体供給側１４に切替えて気体をパイプ１６１通
路１０及び流路９を経て弁側ベローズ８内に導入すると
、弁体５，６が移動し弁容器７の内面に押付けられて真
空容器１，２の開口３゜４が密閉され、真空容器１，２
内を気密に保つことができる。
また、真空容器１，２内を開放するときは、バルブ１５
を排気側１３に切替え、弁側ベローズ８内の気体を流路
９９通路１０及びパイプ１６を経て排気し、気密を解い
た後、作動ロッド１１を上記とは逆方向に移動させ、弁
体５，６を同じ方向に移動させることにより真空容器１
，２内を連通ずることができる。
を排気側１３に切替え、弁側ベローズ８内の気体を流路
９９通路１０及びパイプ１６を経て排気し、気密を解い
た後、作動ロッド１１を上記とは逆方向に移動させ、弁
体５，６を同じ方向に移動させることにより真空容器１
，２内を連通ずることができる。
一方の真空容器１または２が大気圧で他方の真空容器２
または１が真空状態でも、気体の圧力で十分に気密を保
つことができる。
または１が真空状態でも、気体の圧力で十分に気密を保
つことができる。
以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明真空仕切弁の一実施例の構成を示す断面
図である。第１図において１，２は２つの真空容器、３
，４はそれぞれ真空容器１，２の開口、７はこれらの真
空容器１．２の開口３，４間に、これらの開口３，４を
開閉する弁体５，６を有する弁容器、７ａ 、 ７ｂは
それぞれ真空容器１゜２の開口３，４に連通ずる弁容器
７の開口である。
図である。第１図において１，２は２つの真空容器、３
，４はそれぞれ真空容器１，２の開口、７はこれらの真
空容器１．２の開口３，４間に、これらの開口３，４を
開閉する弁体５，６を有する弁容器、７ａ 、 ７ｂは
それぞれ真空容器１゜２の開口３，４に連通ずる弁容器
７の開口である。
弁体５，６は弁側ベローズ８で連結され、一方の弁体６
には弁側ベローズ８内に連通ずる流路９が設けられてお
り、この流路９に連通ずる通路１０を有する作動ロッド
１１が弁容器７より突設している。この突設した作動ロ
ッド１１１部分と弁容器７との間には作動側ベローズ１
２が連結され、作動ロッド１１の通路１０には排気側１
３と気体供給側１４を切り替えるバルブ１５がパイプ１
６で連結されている。２３は作動ロッド１１に連結され
たエアシリンダ等の駆動源、１９は各弁体５，６の周部
外面に装着された０リングである。
には弁側ベローズ８内に連通ずる流路９が設けられてお
り、この流路９に連通ずる通路１０を有する作動ロッド
１１が弁容器７より突設している。この突設した作動ロ
ッド１１１部分と弁容器７との間には作動側ベローズ１
２が連結され、作動ロッド１１の通路１０には排気側１
３と気体供給側１４を切り替えるバルブ１５がパイプ１
６で連結されている。２３は作動ロッド１１に連結され
たエアシリンダ等の駆動源、１９は各弁体５，６の周部
外面に装着された０リングである。
上記の構成において作動ロッド１１をエアシリンダ等の
駆動源２３により移動９図例では上動させ、第１図示の
位置まで弁体５，６を上動させた後、バルブ１５を気体
供給側１４に切替えて気体１例えばＮ２ガスまたは圧縮
空気をパイプ１６１通路１０及び流路９を経て弁側ベロ
ーズ８内に導入すると、弁体５．６が右、左方向に移動
し弁容器７の内面に押付けられて真空容器１，２の開口
３，４及び弁容器７の開ロアａ 、 ７ｂが密閉され、
真空容器１．２内を気密に保つことができる。
駆動源２３により移動９図例では上動させ、第１図示の
位置まで弁体５，６を上動させた後、バルブ１５を気体
供給側１４に切替えて気体１例えばＮ２ガスまたは圧縮
空気をパイプ１６１通路１０及び流路９を経て弁側ベロ
ーズ８内に導入すると、弁体５．６が右、左方向に移動
し弁容器７の内面に押付けられて真空容器１，２の開口
３，４及び弁容器７の開ロアａ 、 ７ｂが密閉され、
真空容器１．２内を気密に保つことができる。
また、真空容器１．２内を開放するときは、バルブ１５
を排気側１３に切替え、弁側ベローズ８内のＮ２ガスま
たは圧縮空気を流路９２通路１０及びパイプ１６を経て
排気し、気密を解いた後、作動ロッド１１を上記とは逆
方向に下動させ、弁体５，６を同じ方向に下動させるこ
とにより真空容器１．２内を連通ずることができる。
を排気側１３に切替え、弁側ベローズ８内のＮ２ガスま
たは圧縮空気を流路９２通路１０及びパイプ１６を経て
排気し、気密を解いた後、作動ロッド１１を上記とは逆
方向に下動させ、弁体５，６を同じ方向に下動させるこ
とにより真空容器１．２内を連通ずることができる。
一方の真空容器１または２が大気圧で他方の真空容器２
またはｌが真空状態でも、Ｎ２ガスまたは圧縮空気の圧
力が２ｋｇ ／ ｃｎｌ程度あれば十分に気密を保つこ
とができる。
またはｌが真空状態でも、Ｎ２ガスまたは圧縮空気の圧
力が２ｋｇ ／ ｃｎｌ程度あれば十分に気密を保つこ
とができる。
また、真空容器２を設けないときは、作動ロッド１１を
エアシリンダ等の駆動源２３により３図例では上動移動
させ、第１図示の位置まで弁体５，６を上動させた後、
バルブ１５を気体供給側１４に切替えてＮ２ガスまたは
圧縮空気をパイプ１６１通路１０及び流路９を経てベロ
ーズ８内に導入すると、弁体５．６が移動し弁容器７の
内面に押付けられて真空容器１の開口３と弁容器７の開
ロアａ 、 ７ｂが密閉され、真空容器１内を気密に保
つことができる。
エアシリンダ等の駆動源２３により３図例では上動移動
させ、第１図示の位置まで弁体５，６を上動させた後、
バルブ１５を気体供給側１４に切替えてＮ２ガスまたは
圧縮空気をパイプ１６１通路１０及び流路９を経てベロ
ーズ８内に導入すると、弁体５．６が移動し弁容器７の
内面に押付けられて真空容器１の開口３と弁容器７の開
ロアａ 、 ７ｂが密閉され、真空容器１内を気密に保
つことができる。
また、真空容器１内を大気に開放するときは、バルブ１
５を排気側１３に切替え、弁側ベローズ８内のＮ２ガス
または圧縮空気を、流路９３通路１０及びパイプ１６を
経て排気し気宇を解いた後、作動ロッド１１を上記とは
逆方向に下動させ、弁体５，６を同じ方向に下動させる
ことにより真空容器１内を大気に開放することができる
。
５を排気側１３に切替え、弁側ベローズ８内のＮ２ガス
または圧縮空気を、流路９３通路１０及びパイプ１６を
経て排気し気宇を解いた後、作動ロッド１１を上記とは
逆方向に下動させ、弁体５，６を同じ方向に下動させる
ことにより真空容器１内を大気に開放することができる
。
上述のように本発明第１真空仕切弁によれば、■、第２
図示のような従来弁より狭いスペースに設置可能である
。■４部品点数が非常に少なく単純な構造であるので、
動作の信頼性が高く、動作時の塵埃の発生も少ない。■
、他の方式の弁と違い気密を保つための力は弁体５，６
を移動させる駆動力に依らないので駆動源２３１例えば
エアシリンダ等も小さいもので良い。
図示のような従来弁より狭いスペースに設置可能である
。■４部品点数が非常に少なく単純な構造であるので、
動作の信頼性が高く、動作時の塵埃の発生も少ない。■
、他の方式の弁と違い気密を保つための力は弁体５，６
を移動させる駆動力に依らないので駆動源２３１例えば
エアシリンダ等も小さいもので良い。
また本発明第２真空仕切弁によれば、上記■〜■の効果
のみならず、■、真空容器１，２の一方が大気圧で、他
方が真空状態でも気体の圧力で十分気密を保つことがで
きる。
のみならず、■、真空容器１，２の一方が大気圧で、他
方が真空状態でも気体の圧力で十分気密を保つことがで
きる。
第１図は本発明真空仕切弁の一実施例の構成を示す断面
図、第２図は従来の真空仕切弁の最も節便なものの一例
を示す断面図、第３図は従来の真空仕切弁の他側を示す
断面図である。 １．２・・・・・・真空容器、３，４・・・・・・開口
、５，６・・・・・・弁体、７・・・・・・弁容器、７
ａ 、 ７ｂ・・・・・・開口、８・・・・・・弁側ベ
ローズ、９・・・・・・流路、１０・・・・・・通路、
１１・・・・・・作動ロッド、１２・・・・・・作動側
ベローズ、１３・・・・・・排気側、１４・・・・・・
気体供給側、１５・・・・・・バルブ、Ｉ６・・・・・
・パイプ。 算１遡 ４！νυ啄 箋２図 答３ソ
図、第２図は従来の真空仕切弁の最も節便なものの一例
を示す断面図、第３図は従来の真空仕切弁の他側を示す
断面図である。 １．２・・・・・・真空容器、３，４・・・・・・開口
、５，６・・・・・・弁体、７・・・・・・弁容器、７
ａ 、 ７ｂ・・・・・・開口、８・・・・・・弁側ベ
ローズ、９・・・・・・流路、１０・・・・・・通路、
１１・・・・・・作動ロッド、１２・・・・・・作動側
ベローズ、１３・・・・・・排気側、１４・・・・・・
気体供給側、１５・・・・・・バルブ、Ｉ６・・・・・
・パイプ。 算１遡 ４！νυ啄 箋２図 答３ソ
Claims (2)
- （１）真空容器１の開口３に、この開口３を開閉する弁
体５とこれに対向する弁体６を有する弁容器７を配設し
、これらの弁体５、６を弁側ベローズ８で連結せしめ、
一方の弁体６に、弁側ベローズ８内に連通する流路９を
設け、この流路９に連通する通路１０を有する作動ロッ
ド１１を弁容器７より突設し、この突設した作動ロッド
１１部分と弁容器７との間に作動側ベローズ１２を連結
すると共に、作動ロッド１１の通路１０に排気側１３と
気体供給側１４を切替えるバルブ１５をパイプ１６で連
結せしめてなる真空仕切弁。 - （２）複数の真空容器１，２の開口３，４の間に、これ
らの開口３，４をそれぞれ開閉する弁体５，６を有する
弁容器７を配設し、これらの弁体５，６を弁側ベローズ
８で連結せしめ、一方の弁体６に、弁側ベローズ８内に
連通する流路９を設け、この流路９に連通する通路１０
を有する作動ロッド１１を弁容器７より突設し、この突
設した作動ロッド１１部分と弁容器７との間に作動側ベ
ローズ１２を連結すると共に、作動ロッド１１の通路１
０に排気側１３と気体供給側１４を切替えるバルブ１５
をパイプ１６で連結せしめてなる真空仕切弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8646888A JPH01261573A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 真空仕切弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8646888A JPH01261573A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 真空仕切弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01261573A true JPH01261573A (ja) | 1989-10-18 |
Family
ID=13887790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8646888A Pending JPH01261573A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 真空仕切弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01261573A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0448481U (ja) * | 1990-08-29 | 1992-04-24 | ||
| US5271602A (en) * | 1992-04-13 | 1993-12-21 | The Japan Steel Works Ltd. | Vacuum gate valve |
| EP0589681A3 (en) * | 1992-09-22 | 1994-08-17 | Shiseido Co Ltd | Red pigment and manufacturing method for it |
| WO2004010035A1 (en) * | 2002-07-19 | 2004-01-29 | Woong-Ki Park | Vacuum gate valve |
| KR20040008877A (ko) * | 2002-07-19 | 2004-01-31 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
| KR100472118B1 (ko) * | 2000-12-04 | 2005-03-08 | 이리에 고켕 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
| KR100489250B1 (ko) * | 2002-10-17 | 2005-05-17 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
| KR100489553B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-05-23 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
| KR100492099B1 (ko) * | 2000-12-14 | 2005-06-02 | 이리에 고켕 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
| KR100808101B1 (ko) * | 2006-01-11 | 2008-02-29 | 박웅기 | 진공 게이트 밸브 |
| JP2010281446A (ja) * | 2003-05-13 | 2010-12-16 | Applied Materials Inc | 処理チャンバの開口を封止するための方法および装置 |
| JP2011505528A (ja) * | 2007-12-06 | 2011-02-24 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
| WO2011043189A1 (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-14 | 株式会社 アルバック | 逆圧対応仕切弁 |
| CN104235402A (zh) * | 2013-06-05 | 2014-12-24 | 入江工研株式会社 | 闸阀及腔室 |
-
1988
- 1988-04-08 JP JP8646888A patent/JPH01261573A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0448481U (ja) * | 1990-08-29 | 1992-04-24 | ||
| US5271602A (en) * | 1992-04-13 | 1993-12-21 | The Japan Steel Works Ltd. | Vacuum gate valve |
| EP0589681A3 (en) * | 1992-09-22 | 1994-08-17 | Shiseido Co Ltd | Red pigment and manufacturing method for it |
| US5522923A (en) * | 1992-09-22 | 1996-06-04 | Shiseido Co., Ltd. | Red pigment and manufacturing method thereof |
| KR100472118B1 (ko) * | 2000-12-04 | 2005-03-08 | 이리에 고켕 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
| KR100492099B1 (ko) * | 2000-12-14 | 2005-06-02 | 이리에 고켕 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
| KR100489553B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-05-23 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
| KR20040008877A (ko) * | 2002-07-19 | 2004-01-31 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
| WO2004010035A1 (en) * | 2002-07-19 | 2004-01-29 | Woong-Ki Park | Vacuum gate valve |
| KR100489250B1 (ko) * | 2002-10-17 | 2005-05-17 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
| JP2010281446A (ja) * | 2003-05-13 | 2010-12-16 | Applied Materials Inc | 処理チャンバの開口を封止するための方法および装置 |
| KR100808101B1 (ko) * | 2006-01-11 | 2008-02-29 | 박웅기 | 진공 게이트 밸브 |
| JP2011505528A (ja) * | 2007-12-06 | 2011-02-24 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
| WO2011043189A1 (ja) * | 2009-10-06 | 2011-04-14 | 株式会社 アルバック | 逆圧対応仕切弁 |
| JP5490813B2 (ja) * | 2009-10-06 | 2014-05-14 | 株式会社アルバック | 逆圧対応仕切弁 |
| CN104235402A (zh) * | 2013-06-05 | 2014-12-24 | 入江工研株式会社 | 闸阀及腔室 |
| CN104235402B (zh) * | 2013-06-05 | 2018-01-16 | 入江工研株式会社 | 闸阀及腔室 |
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