JPH01262443A - 露点測定装置 - Google Patents
露点測定装置Info
- Publication number
- JPH01262443A JPH01262443A JP9073188A JP9073188A JPH01262443A JP H01262443 A JPH01262443 A JP H01262443A JP 9073188 A JP9073188 A JP 9073188A JP 9073188 A JP9073188 A JP 9073188A JP H01262443 A JPH01262443 A JP H01262443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dew
- light
- temperature
- dew point
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 21
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract description 21
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
- -1 wire gauze Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は露点測定装置に関する。
従来、湿度を測定する代表的方法として、乾湿球式湿度
センサを用いる方法及び半導体式湿度センサを用いる方
法があり、更に、光学式露点計による方法がある。
センサを用いる方法及び半導体式湿度センサを用いる方
法があり、更に、光学式露点計による方法がある。
しかしながら、乾湿球式湿度センサは、湿球のガーゼ又
はウィックが汚れると正確な湿度を測定できず、また、
該ガーゼやウィックを交換する必要が生じるので、長期
連続使用ができないという問題がある。半導体式湿度セ
ンサは、例えば恒温恒温器内のような過酷な条件下で用
いられた場合、温湿度条件によっては経時変化が大きく
、また、湿度測定精度が低下する。光学式露点計の場合
、そこに使用されている電子冷却素子等の電子部品が耐
熱性に劣ることから高温で使用できず、高温高温時等で
はサンプリング中に結露が発生し易く、そのため正確な
計測が困難となる。また、寸法が大きく且つ高価である
。
はウィックが汚れると正確な湿度を測定できず、また、
該ガーゼやウィックを交換する必要が生じるので、長期
連続使用ができないという問題がある。半導体式湿度セ
ンサは、例えば恒温恒温器内のような過酷な条件下で用
いられた場合、温湿度条件によっては経時変化が大きく
、また、湿度測定精度が低下する。光学式露点計の場合
、そこに使用されている電子冷却素子等の電子部品が耐
熱性に劣ることから高温で使用できず、高温高温時等で
はサンプリング中に結露が発生し易く、そのため正確な
計測が困難となる。また、寸法が大きく且つ高価である
。
そこで本発明は、長期にわたり安定した状態で正確に露
点測定を行うことができ、また、部品材質を環境試験装
置等においても安心して使用できるように選択すること
ができ、比較的小形安価に製作できる露点測定装置を提
供することを目的とする。
点測定を行うことができ、また、部品材質を環境試験装
置等においても安心して使用できるように選択すること
ができ、比較的小形安価に製作できる露点測定装置を提
供することを目的とする。
本発明は前記目的にしたがい、着露部、前記着露部を冷
却するための冷媒循環路を有する冷却部、光源からの光
を前記着露部へ導く投光用光ファイバ、前記着露部に入
射されて該着露部から来る光を光センセへ導く受光用光
ファイバ、前記着露部温度制御用ヒータ、前記着露部の
温度を検出するｌ温度検出センサを備えたことを特徴と
する露点測定装置を提供するものである。
却するための冷媒循環路を有する冷却部、光源からの光
を前記着露部へ導く投光用光ファイバ、前記着露部に入
射されて該着露部から来る光を光センセへ導く受光用光
ファイバ、前記着露部温度制御用ヒータ、前記着露部の
温度を検出するｌ温度検出センサを備えたことを特徴と
する露点測定装置を提供するものである。
前記着露部に透光性部分を含んだものを採用したときに
は、前記両光ファイバを前記着露部の透光性部分を間に
して対峙させることができる。また、前記着露部に光反
射面を有するものを採用したときには、投光用光ファイ
バから前記光反射面に光を入射して該反射面からの反射
光を受光用光ファイバにて受けることができるように両
光ファイバを配置することができる。
は、前記両光ファイバを前記着露部の透光性部分を間に
して対峙させることができる。また、前記着露部に光反
射面を有するものを採用したときには、投光用光ファイ
バから前記光反射面に光を入射して該反射面からの反射
光を受光用光ファイバにて受けることができるように両
光ファイバを配置することができる。
前記着露部や光ファイバは合成樹脂製のものでもよいが
、耐熱性を与えるためにガラス製とすることができる。
、耐熱性を与えるためにガラス製とすることができる。
また、前記冷却部材質にはアルミ等の金属を例示するこ
とができる。
とができる。
本発明露点測定装置によると、着露部の温度は、冷却部
に冷媒が流されることにより冷却され、また、着露部の
温度が適宜温度制御用ヒータにて制御される。着露部の
温度が露点より高くて結露が生じていないときには、投
光用光ファイバによって着露部へ入射された光が該着露
部から受光用光ファイバを経て光センサへ導かれる。ヒ
ータによる加熱を零にして又は弱くして着露部の温度を
低下させると結露が生じ、この結露は光フアイバ間の光
の授受量を減少させる。この状態が光センサにより検出
され、それによって結露が検出される。
に冷媒が流されることにより冷却され、また、着露部の
温度が適宜温度制御用ヒータにて制御される。着露部の
温度が露点より高くて結露が生じていないときには、投
光用光ファイバによって着露部へ入射された光が該着露
部から受光用光ファイバを経て光センサへ導かれる。ヒ
ータによる加熱を零にして又は弱くして着露部の温度を
低下させると結露が生じ、この結露は光フアイバ間の光
の授受量を減少させる。この状態が光センサにより検出
され、それによって結露が検出される。
この結露検出とともに温度検出センサにより着露部の温
度が検出され、その温度から露点が求められる。
度が検出され、その温度から露点が求められる。
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。
第１図には環境試験装置である恒温恒温器７に適用され
た一実施例Ａが示されており、第２図には該実施例の断
面図が、また、第３図には該実施例の分解斜視図が示さ
れている。
た一実施例Ａが示されており、第２図には該実施例の断
面図が、また、第３図には該実施例の分解斜視図が示さ
れている。
この実施例Ａは、透明ガラス製の板状着露部１、該着露
部の温度を検出するための温度センサ２、該着露部の温
度制御用電気ヒータ３、アルミ製伝熱板に冷媒循環通路
４１を設けてなる冷却部４、及び一対のガラス製光ファ
イバ５．６を備えており、例えば焼結金属のメツシュの
粗いもの、金網、樹脂等からなる通気性ある保護カバー
ａにて保護されている。
部の温度を検出するための温度センサ２、該着露部の温
度制御用電気ヒータ３、アルミ製伝熱板に冷媒循環通路
４１を設けてなる冷却部４、及び一対のガラス製光ファ
イバ５．６を備えており、例えば焼結金属のメツシュの
粗いもの、金網、樹脂等からなる通気性ある保護カバー
ａにて保護されている。
第３図に示すように、ヒータ３は中央部に透孔３１を有
し、温度センサ２はその中央に配置されている。冷却部
４も中央部に透孔４２を有する。
し、温度センサ２はその中央に配置されている。冷却部
４も中央部に透孔４２を有する。
ヒータ３は該孔３１を冷却部４の孔４２に揃えて適当な
接着剤（例えばエポキシ系接着剤）にて該冷却部へ接着
されている。
接着剤（例えばエポキシ系接着剤）にて該冷却部へ接着
されている。
また、ガラス板１は同様な接着剤にてヒータ３の上から
冷却部４に接着されており、温度センサ２は同様な接着
剤にてガラス板１のヒータ孔３１に臨む部分に取りつけ
られている。
冷却部４に接着されており、温度センサ２は同様な接着
剤にてガラス板１のヒータ孔３１に臨む部分に取りつけ
られている。
光ファイバ５及び６はそれらの先端部５１．６１が、冷
却部孔４２及びヒータ孔３１を介して着露部１の両側に
配置され、対峙せしめられている。
却部孔４２及びヒータ孔３１を介して着露部１の両側に
配置され、対峙せしめられている。
ファイバ５．６は恒温恒湿器７外へ延び、ファイバ５は
例えば発光素子のような光源８に、ファイバ６は光セン
サ９に接続されている。
例えば発光素子のような光源８に、ファイバ６は光セン
サ９に接続されている。
冷却部４の冷媒通路４１の入口には管４３が接続され、
管４３の他端は恒温恒温器７の冷凍回路７０における膨
張機構７２と蒸発器７３との間へ接続されている。冷媒
通路４１の出口には管４４が接続され、管４４の他端は
冷凍回路７０の蒸発器７３から圧縮機７１への戻り管へ
接続されている。
管４３の他端は恒温恒温器７の冷凍回路７０における膨
張機構７２と蒸発器７３との間へ接続されている。冷媒
通路４１の出口には管４４が接続され、管４４の他端は
冷凍回路７０の蒸発器７３から圧縮機７１への戻り管へ
接続されている。
図示していないが、冷凍回路７０の凝縮器７４から膨張
機構７２へ到る冷媒の一部を別途設けた冷却部専用膨張
機構を介して冷却部４へ供給するようにしてもよい。
機構７２へ到る冷媒の一部を別途設けた冷却部専用膨張
機構を介して冷却部４へ供給するようにしてもよい。
なお、第１図中７５は加熱蒸発式加湿器、７６は加熱器
、７７は気体循環用ファンである。
、７７は気体循環用ファンである。
この実施例によると、恒温恒温器７に通常備わっている
冷凍回路７０の冷媒が利用され、膨張機構７２にて断熱
膨張した低温冷媒の一部が冷却部４に流されて着露部ｌ
が冷却される。また、着露部ｌはヒータ３にて適宜加熱
され温度制御される。
冷凍回路７０の冷媒が利用され、膨張機構７２にて断熱
膨張した低温冷媒の一部が冷却部４に流されて着露部ｌ
が冷却される。また、着露部ｌはヒータ３にて適宜加熱
され温度制御される。
ヒータ３を停止又は出力低下させて着露部ｌの温度を下
げていくと、該着露部上に結露が生じ始め、その結果、
投光用ファイバ５から投光されて受光用ファイバ６へ達
する光量が減少し、光センサ９がこれを検出することに
より結露が検出される。この時の着露部１の温度が温度
センサ２にて検出され、これが露点とされる。
げていくと、該着露部上に結露が生じ始め、その結果、
投光用ファイバ５から投光されて受光用ファイバ６へ達
する光量が減少し、光センサ９がこれを検出することに
より結露が検出される。この時の着露部１の温度が温度
センサ２にて検出され、これが露点とされる。
第４図及び第５図に示す実施例Ｂは着露部として金属製
鏡１０を採用したものである。この実施例で鏡１０は電
気ヒータ３０を介して接着剤（例えばエポキシ樹脂）に
より冷却部４０に接着されている。また、鏡１０には同
様な接着剤にて着露部温度検出用の温度センサ２０が取
りつけられている。冷却部４０は前記実施例と同様に冷
媒通路を備えており、それには冷媒供給管４３０．４４
０が接続されている。また、鏡面１０１にはガラス製の
投光用光ファイバ５０の先端部５０１と受光用光ファイ
バ６０の先端部６０１が臨んでいる。
鏡１０を採用したものである。この実施例で鏡１０は電
気ヒータ３０を介して接着剤（例えばエポキシ樹脂）に
より冷却部４０に接着されている。また、鏡１０には同
様な接着剤にて着露部温度検出用の温度センサ２０が取
りつけられている。冷却部４０は前記実施例と同様に冷
媒通路を備えており、それには冷媒供給管４３０．４４
０が接続されている。また、鏡面１０１にはガラス製の
投光用光ファイバ５０の先端部５０１と受光用光ファイ
バ６０の先端部６０１が臨んでいる。
これら着露部１０、冷却部４０及び光ファイバ５０．６
０の一部は前記実施例と同様に通気性良好な保護カバー
ｂにて覆われている。
０の一部は前記実施例と同様に通気性良好な保護カバー
ｂにて覆われている。
この第２実施例によると、冷媒が冷却部４０に流されて
鏡１０が冷却される。また、鏡１０はヒータ３０にて適
宜加熱され温度制御される。
鏡１０が冷却される。また、鏡１０はヒータ３０にて適
宜加熱され温度制御される。
ヒータ３０を停止又は出力低下させて鏡ＩＯの温度を下
げていくと、該鏡面１０１上に結露が生じ始め、その結
果、投光用ファイバ５０から投光され、鏡面１０１にて
反射されて受光用ファイバ６へ達する光量が減少し、光
センサ９がこれを検出することにより結露が検出される
。この時の鏡ＩＯの温度が温度センサ２０にて検出され
、これが露点とされる。
げていくと、該鏡面１０１上に結露が生じ始め、その結
果、投光用ファイバ５０から投光され、鏡面１０１にて
反射されて受光用ファイバ６へ達する光量が減少し、光
センサ９がこれを検出することにより結露が検出される
。この時の鏡ＩＯの温度が温度センサ２０にて検出され
、これが露点とされる。
前記各実施例によると、長期使用による劣化のおそれが
おおきい部品は採用されておらず、従って 長期にわた
り正確に露点測定を行うことができ、また、各部品は耐
熱性を有しているので、恒温恒温器７においても長期に
わたり安定した状態で使用される。更に、冷媒通路を備
えた簡単な構造の安価な冷却部４．４０を設けておくだ
けで、冷凍回路を有する恒温恒温器のような装置の該回
路の冷媒を着露部１．１０の温度制御に供することがで
きるので、それだけ全体を簡素化、小形化でき、また、
安価に製作できる。
おおきい部品は採用されておらず、従って 長期にわた
り正確に露点測定を行うことができ、また、各部品は耐
熱性を有しているので、恒温恒温器７においても長期に
わたり安定した状態で使用される。更に、冷媒通路を備
えた簡単な構造の安価な冷却部４．４０を設けておくだ
けで、冷凍回路を有する恒温恒温器のような装置の該回
路の冷媒を着露部１．１０の温度制御に供することがで
きるので、それだけ全体を簡素化、小形化でき、また、
安価に製作できる。
本発明によると、長期にわたり安定した状態で正確に露
点測定を行うことができ、また、部品材質を環境試験装
置等においても安心して使用できるように選択すること
ができ、比較的小形安価に製作できる露点測定装置を提
供することができる効果がある。
点測定を行うことができ、また、部品材質を環境試験装
置等においても安心して使用できるように選択すること
ができ、比較的小形安価に製作できる露点測定装置を提
供することができる効果がある。
第１図から第３図は本発明の一実施例を示すもので、第
１図は恒温恒温器に適用した状態の説明図、第２図は断
面図、第３図は要部の分解斜視図であり、第４図は他の
実施例の断面図、第５図は第４図に示す実施例の要部の
分解側面図である。 Ａ、Ｂ・・・露点測定装置、 １．１０・・・着露部、 ２．２０・・・温度センサ、 ３．３０・・・ヒータ、 ４．４０・・・冷却部、 ４１・・・冷媒通路、 ５．５０・・・投光用光ファイバ、 ６．６０・・・受光用光ファイバ、 ７・・・恒温恒温器。 出 願 人 タバイエスペンク株式会社第１図 第６図 ４１′ ９ど 第５図 Ａ、Ｂ・・・露点測定装置、 １．１０・・・着露部、 ２．２０・・・温度センサ、 ３．３０・・七−夕、 ４．４０・・・冷却部、 ７・・・恒温恒温器
１図は恒温恒温器に適用した状態の説明図、第２図は断
面図、第３図は要部の分解斜視図であり、第４図は他の
実施例の断面図、第５図は第４図に示す実施例の要部の
分解側面図である。 Ａ、Ｂ・・・露点測定装置、 １．１０・・・着露部、 ２．２０・・・温度センサ、 ３．３０・・・ヒータ、 ４．４０・・・冷却部、 ４１・・・冷媒通路、 ５．５０・・・投光用光ファイバ、 ６．６０・・・受光用光ファイバ、 ７・・・恒温恒温器。 出 願 人 タバイエスペンク株式会社第１図 第６図 ４１′ ９ど 第５図 Ａ、Ｂ・・・露点測定装置、 １．１０・・・着露部、 ２．２０・・・温度センサ、 ３．３０・・七−夕、 ４．４０・・・冷却部、 ７・・・恒温恒温器
Claims (3)
- （１）着露部、前記着露部を冷却するための冷媒循環路
を有する冷却部、光源からの光を前記着露部へ導く投光
用光ファイバ、前記着露部に入射されて該着露部から来
る光を光センサへ導く受光用光ファイバ、前記着露部温
度制御用ヒータ、前記着露部の温度を検出する温度検出
センサを備えたことを特徴とする露点測定装置。 - （２）前記着露部は透光性部分を含んでおり、前記両光
ファイバは前記着露部の透光性部分を間にして対峙して
いる請求項１記載の露点測定装置。 - （３）前記着露部は光反射面を有しており、前記両光フ
ァイバは、投光用光ファイバから前記光反射面へ光を入
射して該反射面からの反射光を受光用光ファイバにて受
けることができるように配置されている請求項１記載の
露点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9073188A JPH01262443A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 露点測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9073188A JPH01262443A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 露点測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01262443A true JPH01262443A (ja) | 1989-10-19 |
Family
ID=14006707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9073188A Pending JPH01262443A (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 | 露点測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01262443A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012047581A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Espec Corp | 湿球温度計 |
| JP2012083206A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Espec Corp | 露点計、湿度計、露点導出装置、湿度導出装置、露点測定方法、及び湿度測定方法 |
-
1988
- 1988-04-13 JP JP9073188A patent/JPH01262443A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012047581A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Espec Corp | 湿球温度計 |
| JP2012083206A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Espec Corp | 露点計、湿度計、露点導出装置、湿度導出装置、露点測定方法、及び湿度測定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9778216B2 (en) | Hygrometer and dew-point instrument | |
| CA1230497A (en) | Variable field of view heat scanner | |
| US4579462A (en) | Dew point measuring apparatus | |
| US4826327A (en) | Dewpoint meter | |
| US5460450A (en) | Cryogenic hygrometer | |
| CN109638637A (zh) | 激光装置 | |
| JP5685142B2 (ja) | 露点計、及び湿度計 | |
| RU2117278C1 (ru) | Гигрометр | |
| JPH05209827A (ja) | 湿度測定装置およびそれを備えた加湿機器 | |
| EP1398617A1 (en) | Exhaust gas sensor | |
| US6250134B1 (en) | Apparatus for determining the dew-point and/or the content of vapor in the air | |
| CN117647562A (zh) | 一种露点仪冷镜温度测控模块 | |
| US3611788A (en) | Dew-point hygrometer | |
| RU2117279C1 (ru) | Конденсационный гигрометр | |
| RU2213344C2 (ru) | Гигрометр точки росы (варианты) | |
| JP2003194756A (ja) | 鏡面冷却式露点計 | |
| SU1718064A1 (ru) | Влагомер | |
| RU2280249C1 (ru) | Гигрометр (варианты) | |
| RU2112963C1 (ru) | Конденсационный гигрометр | |
| SU1681218A1 (ru) | Конденсационный гигрометр | |
| SU1163238A1 (ru) | Конденсационный гигрометр | |
| RU1784893C (ru) | Конденсационный гигрометр | |
| CN120334285A (zh) | 一种基于纹影法的冷表面结霜可视化实验系统及运行方法 | |
| KR100246737B1 (ko) | 디지탈 습도계 | |
| Church et al. | Flight Testing of a Cryogenically Cooled Hygrometer |