JPH01263573A - Lsi試験回路 - Google Patents
Lsi試験回路Info
- Publication number
- JPH01263573A JPH01263573A JP63091381A JP9138188A JPH01263573A JP H01263573 A JPH01263573 A JP H01263573A JP 63091381 A JP63091381 A JP 63091381A JP 9138188 A JP9138188 A JP 9138188A JP H01263573 A JPH01263573 A JP H01263573A
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- JP
- Japan
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- test
- circuit
- address
- data
- signal
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はリニア回路を中心圧した集積回路の回路動作を
試験する九めの試験装置に適用されるLSI試験回路に
係り、特に信号ピン数が多くかつ試験項目が多い場合に
試験に要する時間を短縮すると共に試験装置の回路規模
を大幅に縮減しかつ低価格化するに好適なLSI試験回
路に関する。
試験する九めの試験装置に適用されるLSI試験回路に
係り、特に信号ピン数が多くかつ試験項目が多い場合に
試験に要する時間を短縮すると共に試験装置の回路規模
を大幅に縮減しかつ低価格化するに好適なLSI試験回
路に関する。
従来よりリニア回路を中心にしたLSIの試験は各信号
ピンにおける直流特性の測定によって行なうのが一般的
であるが、LSIの回路規模の増大により機能が複雑化
して信号ピン数が増加するに伴9試験に必要な測定回数
が著しく増大し、全体の試験時間が長大化する傾向にあ
る。これを解決するため例えば特開昭60−18780
号に記載のよりに、1つの試験項目の測定時間を迅速化
できるようにする謂ゆるパーピンメジャ一方式の試験装
置が抛案されている。
ピンにおける直流特性の測定によって行なうのが一般的
であるが、LSIの回路規模の増大により機能が複雑化
して信号ピン数が増加するに伴9試験に必要な測定回数
が著しく増大し、全体の試験時間が長大化する傾向にあ
る。これを解決するため例えば特開昭60−18780
号に記載のよりに、1つの試験項目の測定時間を迅速化
できるようにする謂ゆるパーピンメジャ一方式の試験装
置が抛案されている。
第4図は従来のパーピンメジャ一方式のLSI試験回路
を例示する構成図である。第4図において、1は制御用
CPU、2は試験データ格納メモリ、3は試験信号発生
回路、4は測定判定回路、5は信号切換回路、6は被試
験デバイス、7は実装基板である。このLSI試験回路
は被試験デバイス6の各信号ピン毎に独立にDA変換器
を備え九拭験信号発生回路5および同じ(AD変換器を
備えた測定判定回路4と、それらの信号切換回路5とを
備え、かつ多項目に渉る試験に必要な試験信号発生およ
び制御用のデータと測定結果とを記憶する試験データ格
納メモリ2を実装基板7上に備え、そのメモリ2の読み
書きの制御を制御用CPU 1で行なうことにより、多
数の試験項目の試験を迅速に実行しようとするものであ
る。
を例示する構成図である。第4図において、1は制御用
CPU、2は試験データ格納メモリ、3は試験信号発生
回路、4は測定判定回路、5は信号切換回路、6は被試
験デバイス、7は実装基板である。このLSI試験回路
は被試験デバイス6の各信号ピン毎に独立にDA変換器
を備え九拭験信号発生回路5および同じ(AD変換器を
備えた測定判定回路4と、それらの信号切換回路5とを
備え、かつ多項目に渉る試験に必要な試験信号発生およ
び制御用のデータと測定結果とを記憶する試験データ格
納メモリ2を実装基板7上に備え、そのメモリ2の読み
書きの制御を制御用CPU 1で行なうことにより、多
数の試験項目の試験を迅速に実行しようとするものであ
る。
上記従来技術は被試験デバイス6の測定の迅速化は可能
であるが、1信号ピン当りの回路の規模が大きくなるた
め、LSIの規模が更に大きくなった場合に試験装置が
大型化してコスト高となる問題がある。この原因は試験
データを格納するメモリ2を1信号ピンに割り当てられ
九試験信号発生器3および測定判定回路4を含む試験回
路の各部分試験回路毎に独立に複数個だけ備え、その複
数個のメモリ2のデータの読み書きの制御を制御用CP
υ1からのアドレス信号により並列的に行なう方法によ
るため、使用するメモリ2およびその周辺回路の数が増
大するところにある。
であるが、1信号ピン当りの回路の規模が大きくなるた
め、LSIの規模が更に大きくなった場合に試験装置が
大型化してコスト高となる問題がある。この原因は試験
データを格納するメモリ2を1信号ピンに割り当てられ
九試験信号発生器3および測定判定回路4を含む試験回
路の各部分試験回路毎に独立に複数個だけ備え、その複
数個のメモリ2のデータの読み書きの制御を制御用CP
υ1からのアドレス信号により並列的に行なう方法によ
るため、使用するメモリ2およびその周辺回路の数が増
大するところにある。
本発明の目的は試験データを格納するメモリの数を減少
して試験回路全体を小型かつ低コスト化できるLSI試
験回路を提供するにある。
して試験回路全体を小型かつ低コスト化できるLSI試
験回路を提供するにある。
上記目的は、少なくとも1信号ピンで使用する試験デー
タの全てをアドレスの奥行きの深い1つのメモリに格納
し、もしアドレスの深さに余裕かめれば更に多数の信号
ピンの試験データをも格納できるような構成にし、その
メモリからのデータの読み書きの制御においては試験回
路で使用する1つの試験項目に対応するデータ群の格納
され九代表アドレスのみを外部のCPU1.らのアドレ
ス信号により指定し、1信号ビンあるいは定められた複
数の信号ピンに割り当てられた試験回路の個々の部分試
験回路の電圧および電流発生回路と電圧および電流測定
回路と試験回路の試験モード制御回路で使用するデータ
の格納アドレスを試験回路基板上に設けられるサブアド
レス信号発生回路(アドレスカウンタ)で発生させたア
ドレス信号により指定するように構成したLSI試験回
路により達成される。
タの全てをアドレスの奥行きの深い1つのメモリに格納
し、もしアドレスの深さに余裕かめれば更に多数の信号
ピンの試験データをも格納できるような構成にし、その
メモリからのデータの読み書きの制御においては試験回
路で使用する1つの試験項目に対応するデータ群の格納
され九代表アドレスのみを外部のCPU1.らのアドレ
ス信号により指定し、1信号ビンあるいは定められた複
数の信号ピンに割り当てられた試験回路の個々の部分試
験回路の電圧および電流発生回路と電圧および電流測定
回路と試験回路の試験モード制御回路で使用するデータ
の格納アドレスを試験回路基板上に設けられるサブアド
レス信号発生回路(アドレスカウンタ)で発生させたア
ドレス信号により指定するように構成したLSI試験回
路により達成される。
上記LSI試験回路は、CPUかものアドレス信号によ
り所定の試験項目に対応するデータ群の格納されるアド
レスがアクセスされ、それと同時にサブアドレス信号発
生回路で発生されるアドレス信号により試験回路内の個
々の部分試験回路の電圧および電流発生回路と電圧およ
び電流測定回路とこれらの回路の接続関係を制御して試
験モードを設定する制御回路に対応するデータのアドレ
スが順次アクセスされることにより、1信号ビンあるい
は複数ピンに割り当てられた試験回路の個々の部分試験
回路で必要とするデータの読出し書込みが高速で直列的
に行なわれる。
り所定の試験項目に対応するデータ群の格納されるアド
レスがアクセスされ、それと同時にサブアドレス信号発
生回路で発生されるアドレス信号により試験回路内の個
々の部分試験回路の電圧および電流発生回路と電圧およ
び電流測定回路とこれらの回路の接続関係を制御して試
験モードを設定する制御回路に対応するデータのアドレ
スが順次アクセスされることにより、1信号ビンあるい
は複数ピンに割り当てられた試験回路の個々の部分試験
回路で必要とするデータの読出し書込みが高速で直列的
に行なわれる。
以下に本発明の一実施例を第1図から第3図により説明
する。
する。
第1図は本発明によるLf31試験回路の一実施例を示
す構成図である。第1図において、1は制御用CPU、
2は試験データ格納メモリ(データメモリ)、3は試験
信号発生回路(電圧および電流発生回路)、4は測定判
定回路(電圧および電流測定回路)、5は信号切換回路
、6は被試験デバイス(リニアLSI)、7は試験回路
の実装基板、8はアドレスカウンタ(サブアドレス信号
発生回路)、9はデコーダ(セレクタ)、10は試験モ
ード制御レジスタ(試験モード制御回路)、11はセレ
クト線、12はデータバス、13は化アドレス(代表ア
ドレス)!tC線)、14はスタート(コマンド)信号
(線)、15はサブアドレス信号(線)、16は出力信
号(線)である。
す構成図である。第1図において、1は制御用CPU、
2は試験データ格納メモリ(データメモリ)、3は試験
信号発生回路(電圧および電流発生回路)、4は測定判
定回路(電圧および電流測定回路)、5は信号切換回路
、6は被試験デバイス(リニアLSI)、7は試験回路
の実装基板、8はアドレスカウンタ(サブアドレス信号
発生回路)、9はデコーダ(セレクタ)、10は試験モ
ード制御レジスタ(試験モード制御回路)、11はセレ
クト線、12はデータバス、13は化アドレス(代表ア
ドレス)!tC線)、14はスタート(コマンド)信号
(線)、15はサブアドレス信号(線)、16は出力信
号(線)である。
第1図の回路は被試験デバイス6の複数8個の信号ピン
に対する試験回路のりち1番目とN番目の信号ピンに対
する部分試験回路の試験信号発生回路3と測定判定回路
4と信号切換回路5が図示され、その間の信号ピンに対
する部分試験回路は省略されている。試験データ格納メ
モリ2は複数の試験項目に渉る各信号ピンに対する部分
試験回路用の試験データを格納し、試験回路外部の制御
用CPU1からの生アドレス信号13と試験回路実装基
板7上に設けられ九アドレスカウンタ8からのサブアド
レス信号15によりアクセスされる。
に対する試験回路のりち1番目とN番目の信号ピンに対
する部分試験回路の試験信号発生回路3と測定判定回路
4と信号切換回路5が図示され、その間の信号ピンに対
する部分試験回路は省略されている。試験データ格納メ
モリ2は複数の試験項目に渉る各信号ピンに対する部分
試験回路用の試験データを格納し、試験回路外部の制御
用CPU1からの生アドレス信号13と試験回路実装基
板7上に設けられ九アドレスカウンタ8からのサブアド
レス信号15によりアクセスされる。
このデータメモリ2と試験モード制御レジスタ10およ
び各部分試験回路の試験信号発生回路3および測定判定
回路4との間のデータの授受はデータバス12を介して
行なわれる。デコーダ(セレクタ)9はサブアドレス信
号15によりデータメモリ2とデータの授受を行なうべ
き部分試験回路を選択し、試験モード制御レジスタ10
の出力信号(線)16を通して試験信号発生回路5の信
号発生および測定判定回路4の測定レンジやモード切換
えおよび信号切換回路5の信号線切換えなどが行なわれ
る。
び各部分試験回路の試験信号発生回路3および測定判定
回路4との間のデータの授受はデータバス12を介して
行なわれる。デコーダ(セレクタ)9はサブアドレス信
号15によりデータメモリ2とデータの授受を行なうべ
き部分試験回路を選択し、試験モード制御レジスタ10
の出力信号(線)16を通して試験信号発生回路5の信
号発生および測定判定回路4の測定レンジやモード切換
えおよび信号切換回路5の信号線切換えなどが行なわれ
る。
上記の構成において、全体の動作を説明すると、まず制
御用CPU 1からの生アドレス(代表アドレス)信号
13により所定の試験項目に対する試験データ群が格納
されるデータメモリ2の生アドレスがアクセスされ、そ
れと同時にスタート信号14により起動するアドレスカ
ウンタ8からのサブアドレス信号15により試験回路内
の各信号ピン対応の部分試験回路に対する試験データが
格納されるアドレスが順次にアクセスされ、これに同期
してデコーダ(セレクタ)9によりに験モード制御レジ
スタ10および各部分試験回路が順次に選択される。こ
れによりデータメモリ2と各回路との間でデータの授受
が行なわれるとともに、試験モード制御レジスタ10の
出力信号16により各部分試験回路の試験信号発生回路
5と測定判定回路4と信号切換回路5の制御が行なわれ
、所定の試験項目における被試験デバイス6の各信号ピ
ンに対する試験が実行される。かくしてデータメモリ2
と試験回路の各回路との間でデータの授受が終ればアド
レスカウンタ8は停止し、当該試験項目の試験は終了し
て必要ならば適宜の待ち時間をおい尺のち次の試験項目
の試験に移行する。
御用CPU 1からの生アドレス(代表アドレス)信号
13により所定の試験項目に対する試験データ群が格納
されるデータメモリ2の生アドレスがアクセスされ、そ
れと同時にスタート信号14により起動するアドレスカ
ウンタ8からのサブアドレス信号15により試験回路内
の各信号ピン対応の部分試験回路に対する試験データが
格納されるアドレスが順次にアクセスされ、これに同期
してデコーダ(セレクタ)9によりに験モード制御レジ
スタ10および各部分試験回路が順次に選択される。こ
れによりデータメモリ2と各回路との間でデータの授受
が行なわれるとともに、試験モード制御レジスタ10の
出力信号16により各部分試験回路の試験信号発生回路
5と測定判定回路4と信号切換回路5の制御が行なわれ
、所定の試験項目における被試験デバイス6の各信号ピ
ンに対する試験が実行される。かくしてデータメモリ2
と試験回路の各回路との間でデータの授受が終ればアド
レスカウンタ8は停止し、当該試験項目の試験は終了し
て必要ならば適宜の待ち時間をおい尺のち次の試験項目
の試験に移行する。
上記の動作において、データメモリ2としてはアクセス
時間が100naから200nsのものが市販されてい
るので、このようなメモリ素子を利用すれば例えばデー
タの授受を必要とする各回路が10回路めったとしても
、少なくとも5μs以内で全回路とのデータの授受を完
了させることができる。し九がってCPU 1によるメ
モリアクセス周期を10μ8程度とすれば、CPU1に
よる各試験項目に対するアクセス周期の間にすべての回
路とメモリ2とのデータの授受を余裕を持って完了させ
ることが可能である。
時間が100naから200nsのものが市販されてい
るので、このようなメモリ素子を利用すれば例えばデー
タの授受を必要とする各回路が10回路めったとしても
、少なくとも5μs以内で全回路とのデータの授受を完
了させることができる。し九がってCPU 1によるメ
モリアクセス周期を10μ8程度とすれば、CPU1に
よる各試験項目に対するアクセス周期の間にすべての回
路とメモリ2とのデータの授受を余裕を持って完了させ
ることが可能である。
第2図は第1図の制御回路部分詳Mi図である。
第2図において、第1図と同一符号は同一部分を示し、
17はRSフリップ70ッグ、18はNANDゲート、
19.20は遅延回路1,2.17aはスリップフロッ
プ出力、teaは発振器出力、21μ力ウントアツプ信
号(線)でbる。第5図は第2図の各部動作波形図であ
る。第3図において、第2図と同一符号は同一部分波形
を示す。
17はRSフリップ70ッグ、18はNANDゲート、
19.20は遅延回路1,2.17aはスリップフロッ
プ出力、teaは発振器出力、21μ力ウントアツプ信
号(線)でbる。第5図は第2図の各部動作波形図であ
る。第3図において、第2図と同一符号は同一部分波形
を示す。
第2図の動作を第5図により説明すると、まず制御用C
PU 1よp生アドレス信号線13上に生アドレス信号
13(第3図)を受け、同時にスターンコマンド線(制
御線)14上にスタート信号14(第3図)を受ける。
PU 1よp生アドレス信号線13上に生アドレス信号
13(第3図)を受け、同時にスターンコマンド線(制
御線)14上にスタート信号14(第3図)を受ける。
このスタート信号14にエジアドレスカクンタ8がプリ
ロードされ、同時にR37リツグ70ツブ17がセット
される。
ロードされ、同時にR37リツグ70ツブ17がセット
される。
このクリップ70ツブ出力17a(第5図)によυNA
NDゲート18が開路状態になり、このゲート18と遅
延回路19かうなる発振器の帰還ループが形成されるこ
とにより、このループの巡回遅延時間の2倍の周期の発
振を開始して、発振器出力18a(第3図)がえられる
。この発振器出刃18aをアドレスカウンタ8で計数す
れば5例えば16準のカウンタ8を使用し次場合には発
振器出力1B、の発振周期と同期して0から16迄のア
ドレスカウンタ出力信号(サブアドレス信号)15(第
3図)が順次に生成される。上記のCPU1かもの生ア
ドレス信号15とアドレスカウンタ8たものサブアドレ
ス信号15を合成して試験データ格納メモリ(データメ
モリ)2にアクセスし、同時にサブアドレス信号15を
デコーダ(セレクタ)9でデコードすることにより、そ
のアドレスに対応する試験モード制御レジスタ10およ
び各部分試験回路の試験信号発生回路5および測定判定
回路4を作動させるストローブ信号(セレクト信号)1
1を遅延回路20を介し発振器出力18aと同期して発
生させ、そのストローブ信号11により上記のアクセス
されたデータメモリ2とそれに対応する各回路との間で
データの授受を行なわせることができる。なおアドレス
カウンタ8がフルカウントになると、全ての部分試験回
路とデータメモリ2との間のデータの授受が完了し、そ
こでカウンタ8からカウントアツプ信号(線)21が送
出されて7リツプ70ツブ17をリセットすることによ
り発振器出力18aが発振停止する。
NDゲート18が開路状態になり、このゲート18と遅
延回路19かうなる発振器の帰還ループが形成されるこ
とにより、このループの巡回遅延時間の2倍の周期の発
振を開始して、発振器出力18a(第3図)がえられる
。この発振器出刃18aをアドレスカウンタ8で計数す
れば5例えば16準のカウンタ8を使用し次場合には発
振器出力1B、の発振周期と同期して0から16迄のア
ドレスカウンタ出力信号(サブアドレス信号)15(第
3図)が順次に生成される。上記のCPU1かもの生ア
ドレス信号15とアドレスカウンタ8たものサブアドレ
ス信号15を合成して試験データ格納メモリ(データメ
モリ)2にアクセスし、同時にサブアドレス信号15を
デコーダ(セレクタ)9でデコードすることにより、そ
のアドレスに対応する試験モード制御レジスタ10およ
び各部分試験回路の試験信号発生回路5および測定判定
回路4を作動させるストローブ信号(セレクト信号)1
1を遅延回路20を介し発振器出力18aと同期して発
生させ、そのストローブ信号11により上記のアクセス
されたデータメモリ2とそれに対応する各回路との間で
データの授受を行なわせることができる。なおアドレス
カウンタ8がフルカウントになると、全ての部分試験回
路とデータメモリ2との間のデータの授受が完了し、そ
こでカウンタ8からカウントアツプ信号(線)21が送
出されて7リツプ70ツブ17をリセットすることによ
り発振器出力18aが発振停止する。
このような動作を行なうことにより1つの試験項目で必
要な各信号ビン対応のデータの授受がすべて完了する。
要な各信号ビン対応のデータの授受がすべて完了する。
本発明によれば、従来技術でLSIの各信号ビン対応の
部分試験回路毎に使用する試験データをそれぞれ格納す
る多数のメモリを必要としてい次のを1つのメモリに代
えることが可能となるので。
部分試験回路毎に使用する試験データをそれぞれ格納す
る多数のメモリを必要としてい次のを1つのメモリに代
えることが可能となるので。
これにより回路の実装面積を大幅に削減してLSI試験
回路全体を小型η為つ低コスト化できることから実用上
の大きな経済的効果がえられる。
回路全体を小型η為つ低コスト化できることから実用上
の大きな経済的効果がえられる。
第1図は本発明によるLSI試験回路の一実施例を示す
構成図、第2図は第1図の部分詳細図、第5図は第2図
の各部動作波形図、第4因は従来のLSI試験回路を例
示する構成図である。 1・・・制御用CP0. 2・・・試験データ格納メモ
リ、 3・・・試験信号発生回路(電圧および電流発生
回路)、 4・・・測定判定回路(電圧および電流測定
回路)、 5・・・信号切換回路、 6・・・被試験デ
バイス、 7・・・実装基板、 8・・・アドレスカ
ウンタ(サブアドレス信号発生回路)、9・・・デコー
ダ(セレクタ)、 1O−iii(験モード制御レジ
スタ(試験モード制御回路)第 10
構成図、第2図は第1図の部分詳細図、第5図は第2図
の各部動作波形図、第4因は従来のLSI試験回路を例
示する構成図である。 1・・・制御用CP0. 2・・・試験データ格納メモ
リ、 3・・・試験信号発生回路(電圧および電流発生
回路)、 4・・・測定判定回路(電圧および電流測定
回路)、 5・・・信号切換回路、 6・・・被試験デ
バイス、 7・・・実装基板、 8・・・アドレスカ
ウンタ(サブアドレス信号発生回路)、9・・・デコー
ダ(セレクタ)、 1O−iii(験モード制御レジ
スタ(試験モード制御回路)第 10
Claims (1)
- 1、デジタル信号によって試験用出力値を設定可能な複
数の電圧および電流発生回路および測定用レンジを設定
可能な複数の電圧および電流測定回路と、これらの各回
路の接続関係を制御して試験モードを設定する制御回路
と、上記各回路が必要とする試験データを格納するメモ
リとを具備する試験回路を同一基板上に構成し、かつ1
つの試験項目で使用される試験データが複数のデータで
構成される該試験データの複数の試験項目分をそれぞれ
異なるメモリ領域に格納し、該メモリの試験データの読
出し書込みのためのアドレス指定において試験項目を指
定するアドレス信号を試験回路の外部から供給し、該指
定された試験項目内のそれぞれのデータのアドレス指定
を試験回路と同一基板上に設けられるアドレスカウンタ
の出力により行なうように構成したことを特徴とするL
SI試験回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63091381A JPH01263573A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | Lsi試験回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63091381A JPH01263573A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | Lsi試験回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01263573A true JPH01263573A (ja) | 1989-10-20 |
Family
ID=14024793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63091381A Pending JPH01263573A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | Lsi試験回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01263573A (ja) |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP63091381A patent/JPH01263573A/ja active Pending
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