JPH01266506A - 光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば、原画を光電操作して得た画像信号に
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目版複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割方法及び光
ビーム分割変調方法に関する。

［従来技術］ 従来、−列に並ぶ多数本の光ビームを画像信号に基いて
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一本のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、変調器によってそれぞれ独立に変調される。

このために、変調器として多チャンネル形超音波変調器
を使用する場合でも、音波電極の間隔に対応して光ビー
ムの間隔が１〜２■離される。

こうして、光ビームのピッチが１〜２■とされるが、多
チャンネル形超音波変調器に入射する多数本の光ビーム
は、隣り合う光ビームのガウスビームのビーム径（記録
材料の露光に有効な強度分布のビーム径）が接触状態に
限りなく近く状態に離れていることが要求される。その
理由は、一本の光ビームの変調が両隣りの光ビームに対
しても作用しないようにするためである。すなわち、ク
コストーク現象を生じないようにするためである。

こうして、間隔を変調器の音波電極の間隔に対応して　
１〜２■離された一列に並ぶ多数本の光ビームは、隣り
合う光ビーム同士が若干型なるように光ファイバー等を
用いて間隔を接近され結晶光学系によって小さく絞られ
て、記録材料上に照射される。この場合、光ビームの強
度分布はガウス分布であるから、もしも、前記−列に並
ぶ多数本の光ビームが、隣り合う光ビーム同士が所要型
なるように配列して、ガウスビームのビーム径が接触状
態に近い状態に重ならないと、−列に並ぶ多数本の光ビ
ームが記録材料上に作るドツトの列がつながらないもの
となり、これでは、多数本の光ビームを画像信号に基い
て独立変調しても記録材料上に種々の大きさの網目画像
の形成が不可能となる。

従来、−枚のガラス板の一方の面に全反射膜、他方の面
に非全反射膜をそれぞれコーティングした光ビーム分割
器を使用し、一本の光ビームを内部反射させて一列に並
ぶ多数本の光ビームに分割する発明として、日本特許公
開昭和５２年第１２２１３５号と日本特許公開昭和５８
年第１０７１３号が存在する。

両者はともに、ガラス等の光伝達材料の一方の面に全反
射膜、他方の面に非全反射膜をコーティングしてなり一
本の光ビームを該光伝達材料内に入射して内部反射させ
、該非全反射膜より複数本の平行な光ビームを分割出射
するものであり、前記非全反射膜は、分割出射する複数
本の光ビームの強度が均一となるよう、領域に応じて反
射率が異なるようにコーティングされていることにおい
て共通している。相違点は、前者が光伝達材料の両面が
平行であるのに対し、後者は光伝達材料の両面が平行し
ていないことである。この相違は、前者が複数本の光ビ
ームが平行して分割出射されるのに対し、後者は、複数
本の光ビームが光ビーム分割器から離れるに従いビーム
間隔を漸次接近するように分割出射されるという相違と
して現れる。

［発明が解決しようとする課題］ このため、日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の
光ビーム分割器を使用する場合には、該光ビーム分割器
によって一列平行に分割される光ビームの各ビーム間に
所要隙間が確保される必要がある。該隙間が確保されな
いと、後置き設置される多チャンネル形超音波変調器で
各ビーム毎の独立変調に際してクロストーク現象が生じ
る。すなわち、音波電極が、それぞれ対応する光ビーム
をドライブするだけでなく、両隣りの光ビームもドライ
ブしてしまうことになる。そうして、該光ビーム分割器
によって一列平行に分割された後、多チャンネル形超音
波変調器で各ビーム毎の独立変調される光ビームは、直
ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶材料に露光するこ
とはできず、互いに隣接する光ビームのガウス径の円が
若干の重なりをもって連鎖するように光ファイバーまた
はミラー群を用いてビーム間隔を狭める必要があり、そ
の後に、結晶光学系で小さく絞り、記録材料上に照射さ
せていた。

したがって、多チャンネル形超音波変調器と結晶光学系
との間は、ミラー群の配置や光ファイバーを配室するた
めの広いスペースが必要であるとともに、これらの調整
に高度な技量と多くの時間を必要としているとともに大
変面倒であった。

これに対し、日本特許公開昭和５８年第１０７１３号の
光ビーム分割器を使用する場合には、該光ビーム分割器
によって間隔を開けて分割された一列状に多数本の光ビ
ームを、多チャンネル形超音波変調器で各ビーム毎に独
立変調した後、直ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶
材料に露光することができるので、日本特許公開昭和５
２年第１２２１３５号に比べて優れている。これは、前
述したように、複数本の光ビームが光ビーム分割器から
離れるに従いビーム間隔を漸次接近していくようになっ
ているからである。しかしながら。

多数本の光ビームを多チャンネル形超音波変調器で各ビ
ーム毎に独立変調する際に問題点が残されている。すな
わち、多数本の光ビームは、平行でないために、変調器
の変調効率２が低下するとともに、漏れ光が生ずる場合
があり、さらに変調器の音波電極の形成も難しい、また
、該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚さを所定の数
値に超高精度に保つことは難かしく、該変調器の製作は
、困難を極めることとなる。該光ビーム分割器の両面の
交差角及び厚さが僅かでも異なれば、多数本の光ビーム
の集光距離は大きく異なることになり。

該光ビーム分割器と変調器との設置間隔、及び変調器と
結晶光学系ＸメＸとの設置間隔は、装置毎に異なること
が避けられない。

さらにまた、日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号
の光ビーム分割器と、日本特許公開昭和５８年第１０７
１３号の光ビーム分割器は、いずれも、１本の光ビーム
を２０木前後に分割するのが実用的な限界とされている
。それ以上分割数を大きくして解像度を上げることはで
きない０分割数を２０前後よりも大きくすると、変調器
結晶内に熱が造り耐熱性、耐久性を欠く虞れが出てくる
。また、日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の光
ビーム分割器では、分割数を大きくすると、光学結晶系
を大きくしなければならない。

本発明は、ビーム分割数を従来の二倍にすることができ
て高解像度となり、かつ、多チャンネル超音波変調器に
おいてクロストーク現象が生ずることなく各光ビームを
独立変調させることができ、しかも、光ビーム分割器に
対して後置きされる多チャンネル超音波変調器及び光学
結晶系を従来より大きくする必要はなく、また多チャン
ネル超音波変調器と光学結晶系との間にミラー群や光フ
ァイバー酸けなくて済む小型で簡素、組付調整が簡単な
光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法を提供する
ことを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本願第一発明の光ビーム分割方法は、 光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティングさ
れた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分的に帯
状にコーティングされた５０％反射膜を有する光ビーム
分割器内に、強度が均一な複数本の、かつ、互いに隣接
する光ビームのガウス径同士が重ならないように離れた
所要ピッチの一列平面状に平行に配列された光ビームを
所要角度で入射して、該５０％反射膜よりそれぞれ５０
％の強度の光ビームを一列状に平行に出射させるととも
に、該５０％反射膜に対し内部反射する残りの５０％の
強度の光ビームを全反射膜で反射させて、再び該５０％
反射膜がコーティングされた光伝達材料の一方の面のコ
ーティングされていない部分より一列状に平行に出射さ
せ、該コーティングされていない部分より出射する５０
％の強度の光ビームの列が、前記５０％反射膜より出射
する５０％の強度の光ビームの列に対して所要間隔離れ
、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにして、複数本の光ビ
ームを千鳥状配列に倍の本数に分割することを特徴とす
るものである。

本願第二発明の光ビーム分割方法は。

光伝達材料の互いに平行な両面の一方の面に全反射膜、
他方の面に領域に応じて反射率が異なるように非全反射
膜をコーティングしてなる第一の光ビーム分割器内に、
一本の光ビームを入射して内部反射させ、該非全反射膜
より、一列平面状に平行な強度が均一な複数本の、かつ
、互いに隣接する光ビームのガウス径同士が重ならない
ように離れた所要ピッチの光ビームを分割出射させ、次
いで、該分割出射した一列状かつ複数本の光ビームを、
光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティングさ
れた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分的に帯
状にコーティングされた５０％反射膜を有する第二の光
ビーム分割器内に、所要角度で入射して、該５０％反射
膜よりそれぞれ５０％の強度の光ビームを一列状に平行
に出射させるとともに、該５０％反射膜に対し内部反射
する残りの５０％の強度の光ビームを全反射膜で反射さ
せて、再び該５０％反射膜がコーティングされた光伝達
材料の一方の面のコーティングされていない部分より一
列状に平行に出射させ、該コーティングされていない部
分より出射する５０％の強度の光ビームの列が、前記５
０％反射膜より出射する５０％の強度の光ビームの列に
対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるように
して、複数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割
することを特徴とするものである。

本願第三発明の光ビーム分割方法は。

光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティングさ
れた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分的に帯
状にコーティングされた５０％反射膜を有する光ビーム
分割器内に、強度が均一な複数本の、かつ、互いに隣接
する光ビームのガウス径同士が重ならないように離れた
所要ピッチの一列平面状に平行に配列された光ビームを
所要角度で入射して、核５０％反射膜よりそれぞれ５０
％の強度の光ビームを一列状に平行に出射させるととも
に、該５０％反射膜に対し内部反射する残りの５０％の
強度の光ビームを全反射膜で反射させて、再び該５０％
反射膜がコーティングされた光伝達材料の一方の面のコ
ーティングされていない部分より一列状に平行に出射さ
せ、該コー゛　　ティングされていない部分より出射す
る５０％の強度の光ビームの列が、前記５０％反射膜よ
り出射する５０％の強度の光ビームの列に対して所要間
隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにして、前記複
数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割し、 次いで、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
方の超音波変調器に、前記５０％反射膜より出射する５
０％の強度の光ビームの列を通過させるとともに、他方
の多チャンネル超音波変調器に、前記コーティングされ
ていない部分より出射する５０％の強度の光ビームの列
を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビームの一本一
本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは遅延処理
をかけて変調することを特徴とするものである。

本願第四発明の光ビーム分割方法は。

光伝達材料の互いに平行な両面の一方の面に全反射膜、
他方の面に領域に応じて反射率が異なるように非全反射
膜をコーティングしてなる第一の光ビーム分割器内に、
一本の光ビームを入射して内部反射させ、該非全反射膜
より、一列平面状に平行な強度が均一な複数本の、かつ
、互いに隣接する光ビームのガウス径同士が重ならない
ように離れた所要ピッチの光ビームを分割出射させ、次
いで、該分割出射した一列状かつ複数本の光ビームを、
光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティングさ
れた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分的に帯
状にコーティングされた５０％反射膜を有する第二の半
ビーム分割器内に所要角度で入射して、該５０％反射膜
よりそれぞれ５０％の強度の光ビームを一列状に平行に
出射させるとともに、該５０％反射膜に対し内部反射す
る残りの５０％の強度の光ビームを全反射膜で反射させ
て、再び該５０％反射膜がコーティングされた光伝達材
料の一方の面のコーティングされていない部分より一列
状に平行に出射させ、該コーティングされていない部分
より出射する５０％の強度の光ビームの列が、前記５０
％反射膜より出射する５０％の強度の光ビームの列に対
して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにし
て、複数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割し
、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
方の超音波変調器に、前記５０％反射膜より出射する５
０％の強度の光ビームの列を通過させるとともに、他方
の多チャンネル超音波変調器に、前記コーティングされ
ていない部分より出射する５０％の強度の光ビームの列
を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビームの一本一
本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは遅延処理
をかけて変調することを特徴とするものである。

［実施例・・・第１図ないし第４図］ この実施例は、本願第一ないし第四発明に共通するもの
で、感光膜を塗布したグラビア製版ロールに、アルゴン
レーザを一列八木に分割しさらに二列十六木に分割した
光ビームとし、これら光ビームを網目版画像信号に基い
てそれぞれ独立に変調してかつ一方の光ビーム列は位相
ずれに対応した遅延をかけて信号を送り、結晶光学系で
ビームを絞り、回転する感光膜を塗布したグラビア製版
ロールに対して露光し、かつ面長方向に走査移動するダ
イレクト露光装置を示す。

符合１は製版ロールであり、一対の回転チャックによっ
て両端チャックされて高速回転される・。

符合２はＸテーブルであり、製版ロールｌの面長方向に
該製版ロール１の回転に対応して移動自在である。符合
３はＹテーブルであり、Ｘテーブル２上に設けられ制御
モータ４によって製版ロールｌに対して接近及び離隔移
動自在である。

この装置は、図示されていない固定設置されたアルゴン
レーザの光ビーム（レーザ光線）を、Ｘテーブル２上に
設けられた全反射ミラー５と、Ｙテーブル３上に設けら
れた全反射ミラー６．７によって屈曲し、Ｙテーブル３
上に設けられた第一の光ビーム分割器８に導き、該第−
の光ビーム分割器８により水平面上に平行に並ぶ八本の
光ビームに分割し、さらに、Ｙテーブル３上に設けられ
た第二の光ビーム分割器９により一列が八木で、互いに
半ピッチずれた二列状の十六木の光ビームに分割し、次
いで、上下二段重ねのハチャンネル形超音波変調器１０
．１１において網目版画像信号に基いてそれぞれ独立し
て変調制御し、結晶光学系１２で小さなビーム径に絞り
、かつオートフォーカスレンズ１２ａで感光膜がコーテ
ィングされた製版ロール１に焦点を合わせ、Ｘテーブル
２の移動に従い走査露光するものである。

本願第一発明の光ビーム分割方法は、光ビーム分割器９
を用いて一列状の複数本の光ビームを各党ビームが二本
に分かれるようにして互いに半ピッチずれた二列状に分
割することを特定したものであり、 本願第二発明の光ビーム分割方法は、光ビーム分割器８
を用いて一本の光ビームを複数本となるように分割した
後、光ビーム分割器９を用いて各光ビームが二本に分か
れるようにして互いに半ピッチずれた二列状に分割する
ことを特定したものであり、 本願第三発明の光ビーム分割変調方法は、光ビーム分割
器９を用いて一列状の複数本の光ビームを各党ビームが
二本に分かれるようにして互いに半ピッチずれた二列状
に分割した後、列を分けて多チャンネル形超音波変調器
１０．１１に導き、各光ビームを独立して変調制御する
ことについて発明として特定したものであり、 本願第四発明の光ビーム分割変調方法は、光ビーム分割
器８を用いて一本の光ビームを複数本となるように分割
した後、光ビーム分割器９を用いて各光ビームが二本に
分かれるようにして互いに半ピンチずれた二列状に分割
した後、列を分けて多チャンネル形超音波変調器ｔｏ、
ｔｔに導き、各光ビームを独立して変調制御することに
ついて発明として特定したものである。

光ビーム分割器８は、日本特許公開昭和５２年第１２２
１３５号の光ビーム分割器と同等品である。すなわち、
光ビーム分割器８は、光伝達材料８ａの互いに平行な両
面の一方の面に全反射膜８ｂ、他方の面に領域に応じて
反射率が異なるように非全反射膜８Ｃがコーティングさ
れてなる。

該光ビーム分割器８は、全反射ミラー７より反射されて
くる光ビームに対して角度αだけ傾いて設けられる。該
角度αは、非全反射膜８Ｃより分割出射する光ビームの
間隔が、多チャンネル形超音波変調器１０．１１の音波
電極（例えば１．０＋ａｍφ）のピッチ（例えば１．５
ｍｍ）と一致するように調整される。しかして、該光ビ
ーム分割器８は、全反射ミラー７より反射されてくる一
本の光ビームを、分割器入射側の面の該全反射膜８ｂが
コーティングされていない端部８Ｃより入射し、非全反
射膜８Ｃと全反射膜８ｂとの間で内部反射を繰替させ、
非全反射膜８Ｃがコーティングされた出射形の面より、
八木の均等な光量の光ビームを分割出射させるようにな
っている。非全反射膜８Ｃは、最初の出射領域は入射光
の１／８の、次は内部反射光の１／７の、次は内部反射
光の１／８の、次は内部反射光の１７５の、次は内部反
射光の１／４の、次は内部反射光の１７３の、次は内部
反射光の１／２の光量をそれぞれ通過するように七つの
出射領域に応じて反射率が異なる反射膜とされており、
最後に出射領域は、内部反射する光ビームが最初の入射
光の１／８の光量となり全量を出射させる必要があるの
で、反射膜光がコーティングされていない。

光ビーム分割器８を分割出射する八木の均等な光量の光
ビームは、光ビーム分割器９に入射しそれぞれ一本が互
いに科目配置の二本に分かれるようにして十六木の均等
な光量の光ビームとなり分割出射する。

該光ビーム分割器９は、第２図に示すように、入射する
八木の光ビームと直交する面に関して比較的大きな角度
β（例えば、４５°）傾いて設けられている。そして、
該光ビーム分割器９は、光伝達材料９ａの一方の面に部
分的に帯状にコーティングされた全反射膜９ｂがあり、
光ビーム分割器８により分割された八木の光ビームは、
それぞれ全反射膜９ｂの下側に入射するようになってお
り、また光伝達材料９ａの他方の面は、全反射膜９ｂが
コーティングされた面と平行していて部分的に帯状にコ
ーティングされた５０％反射膜９Ｃがあり、該５０％反
射膜９Ｃが、光伝達材料９ａに対して前記全反射膜９ｂ
の下側に入射し内部を進んでくる八本の光の半分の光量
を透過させるととも残り半分の光量を前記全反射膜９ｂ
へ向うように反射させる。光伝達材料９ａの内部を全反
射膜９ｂへ向う光ビームは、該全反射膜９ｂにより反射
され１反対側の面の５０％反射膜９Ｃの上側を透過する
。

しかして、光ビーム分割器９は、八本の光ビームを全反
射膜９ｂの下側に入射させてそれぞれ各ビームを光量が
５０％ずつとなるように上下に二分割して５０％反射膜
９Ｃより八木の光ビームを出射させるとともに、５０％
反射膜９Ｃの上より八木の光ビームを出射させる。

光ビーム分割器９は、第１図に示すように、入射する八
本の光ビームの列に沿った方向に小さな角度γを有して
傾斜設置される。このため、光ビーム分割器９より出射
する上段列の（５０％反射膜９Ｃの上より出射する）八
本の光ビームの出射位置は、内部反射を経るので、下段
列の（５０％反射膜９Ｃより出射する）八木の光ビーム
よりも大きく横方向へずれる。そこで、前記角度γを微
調整して、光ビーム分割器９より出射する上段列の八木
の光ビームの出射位置を、下段列の八本の光ビームの出
射位置に対して半ピッチ大きく横方向へずらす。

光ビーム分割器９で十六木に分割された均等な光量の光
ビームは、例えば、１．０ｍｍの隙間を開けて上下二段
重ねとしたハチャンネル形超音波変調器１０．１１に入
射する。上側の変調器１０は、光ビーム分割器９より出
射する上段列の八本の光ビームを入射し、下側の変調器
１１は、下段列の八木の光ビームを入射する。変調器１
０の上面に、各党ビームを独立に変調するための超音波
を発振する音波電極１０ａ〜１０にが設けられ、また、
変調器１１の下面に、各党ビームを独立に変調するため
の超音波を発振する音波電極１１ａ〜１１ｈが設けられ
ている。これら音波電極１０ａ〜１０１ｔ、ｌｌａ　〜
１１）１は、変調器を透過する光ビームに対して直角方
向の側面に、各党ビームに垂直に位置して設けられ、画
像信号に基いて各党ビームを独立に変調する。光ビーム
のビーム径と音波電極の大きさと電極間隔の相対的関係
は、例えば、ビーム径は０．８番騰、音波電極の大きさ
は１．０ｍｍ　、電極間隔は１．５ｍｍである。

上側の変調器１０を透過する八木の光ビームと、下側の
変調器１１を透過する八木の光ビームは、記録材料であ
るグラビア製版ロール１に対して位相がずれている。こ
のため、グラビア製版ロールｌが矢印の方向に回転する
場合には、下側の変調器１１の音波電極１１ａ〜１１ｈ
：に必要な遅延処理をかけた変調信号を送る。これによ
り、第４図に示すように、上側の変調器１０により先に
変調制御された八木の光ビームにより、グラビア製版ロ
ール１に一列状に間隔が開いた八個のドラ）１３ａ〜１
３にを先に露光し、次いで、グラビア製版ロール１が位
相ずれ分だけ回転した超瞬間に、下側の変調器ｌＯによ
り変調制御された八木の光ビームにより、グラビア製版
ロール１に一列状に間隔が開いた八個のドラ）１４ａ−
１４にを露光すると、これらドツト１４　ａ　−１４に
は、先に露光されたドラ）　１３ａ〜１３にに対して半
ピッチずつずれて一列に重なることになる。

そこで、これら音波電極１０ａ　〜１０）Ｌ、ｌｌａ〜
ｔｔｈに、画像信号に基いた変調信号を送るようにし、
かつ、音波電極１１ａ〜１１Ｋには位相ずれに対応して
変調信号を送るタイミングを遅延させるようにすれば、
グラビア製版ロール１には網画像を露光できる。

［発明の効果］ 以上説明してきたように、本願発明の光ビーム分割方法
及び光ビーム分割変調方法によれば以下の効果を有する
。

■ビーム分割数を従来の二倍にすることができ、高解像
度の露光ができる。

■多チャンネル超音波変調器においてクロストーク現象
が生ずることなく各光ビームを独立変調させることがで
きる。

■ビーム分割数を従来の二倍であるのに、多チャンネル
超音波変調器及び光学結晶系を従来より大きくする必要
はない、友旙器は二役重ねにできる。

■多チャンネル超音波変調器と光学結晶系との間にミラ
ー群や光ファイバー設けなくて済み、小型で簡素、組付
調整が簡単である。

【図面の簡単な説明】

図面は、本願第一ないし第四発明の光ビーム分割方法及
び光ビーム分割変調方法に共通する実施例として示す、
グラビア製版ロール用ダイレクトレーザー露光装置に係
り、第１図は平面図、第２図は第１図中の矢印■より見
た矢視図、第３図は第１図中の矢印■−■より見た矢視
図である。第４図は、二列十六本の光ビームが記録材料
上に一列状に露光される状態を示す記録面の光ビームド
ツトの配列状態図である。 １ｍｍ・製版ロール、 ２番・・Ｘテーブル、 ３・拳・Ｙテーブル、 ４・１１＊制御モータ、 ５．６，７・・・全反射ミラー、 ８・・・光ビーム分割器、 ８ａ・・−光伝達材料。 ８ｂ・・・全反射膜。 ８０・・・非全反射膜、 ９・拳・光ビーム分割器、 ９ａ一番・光伝達材料、 ９ｂ−・・全反射膜、 ９Ｃ・・・５０％反射膜、 １０．１１・・会へチャンネル形超音波変調器、１０’
ａ−１０ｈ：、ｌｌａ　〜１ｔｈ＊会音波電極、１２・
や・結晶光学系、 １２ａａＩＩ・オートフォーカスレンズ。 １３ａ−１３）１．１４ａ　〜１４ｈ争・・光ビームの
記録面上の露光ドツト、 出願人　株式会社シンク参ラボラトリ−第２図 β 第３図 第４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティ
   ングされた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分
   的に帯状にコーティングされた５０％反射膜を有する光
   ビーム分割器内に、強度が均一な複数本の、かつ、互い
   に隣接する光ビームのガウス径同士が重ならないように
   離れた所要ピッチの一列平面状に平行に配列された光ビ
   ームを所要角度で入射して、該５０％反射膜よりそれぞ
   れ５０％の強度の光ビームを一列状に平行に出射させる
   とともに、該５０％反射膜に対し内部反射する残りの５
   ０％の強度の光ビームを全反射膜で反射させて、再び該
   ５０％反射膜がコーティングされた光伝達材料の一方の
   面のコーティングされていない部分より一列状に平行に
   出射させ、該コーティングされていない部分より出射す
   る５０％の強度の光ビームの列が、前記５０％反射膜よ
   り出射する５０％の強度の光ビームの列に対して所要間
   隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにして、複数本
   の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割することを特
   徴とする光ビーム分割方法。
2. （２）光伝達材料の互いに平行な両面の一方の面に全反
   射膜、他方の面に領域に応じて反射率が異なるように非
   全反射膜をコーティングしてなる第一の光ビーム分割器
   内に、一本の光ビームを入射して内部反射させ、該非全
   反射膜より、一列平面状に平行な強度が均一な複数本の
   、かつ、互いに隣接する光ビームのガウス径同士が重な
   らないように離れた所要ピッチの光ビームを分割出射さ
   せ、次いで、該分割出射した一列状かつ複数本の光ビー
   ムを、光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティ
   ングされた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分
   的に帯状にコーティングされた５０％反射膜を有する第
   二の光ビーム分割器内に、所要角度で入射して、該５０
   ％反射膜よりそれぞれ５０％の強度の光ビームを一列状
   に平行に出射させるとともに、該５０％反射膜に対し内
   部反射する残りの５０％の強度の光ビームを全反射膜で
   反射させて、再び該５０％反射膜がコーティングされた
   光伝達材料の一方の面のコーティングされていない部分
   より一列状に平行に出射させ、該コーティングされてい
   ない部分より出射する５０％の強度の光ビームの列が、
   前記５０％反射膜より出射する５０％の強度の光ビーム
   の列に対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれる
   ようにして、複数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数
   に分割することを特徴とする光ビーム分割方法。
3. （３）光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティ
   ングされた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分
   的に帯状にコーティングされた５０％反射膜を有する光
   ビーム分割器内に、強度が均一な複数本の、かつ、互い
   に隣接する光ビームのガウス径同士が重ならないように
   離れた所要ピッチの一列平面状に平行に配列された光ビ
   ームを所要角度で入射して、該５０％反射膜よりそれぞ
   れ５０％の強度の光ビームを一列状に平行に出射させる
   とともに、該５０％反射膜に対し内部反射する残りの５
   ０％の強度の光ビームを全反射膜で反射させて、再び該
   ５０％反射膜がコーティングされた光伝達材料の一方の
   面のコーティングされていない部分より一列状に平行に
   出射させ、該コーティングされていない部分より出射す
   る５０％の強度の光ビームの列が、前記５０％反射膜よ
   り出射する５０％の強度の光ビームの列に対して所要間
   隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにして、前記複
   数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割し、 次いで、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
   独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
   対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
   、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
   方の超音波変調器に、前記５０％反射膜より出射する５
   ０％の強度の光ビームの列を通過させるとともに、他方
   の多チャンネル超音波変調器に、前記コーティングされ
   ていない部分より出射する５０％の強度の光ビームの列
   を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビームの一本一
   本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは遅延処理
   をかけて変調することを特徴とする光ビーム分割変調方
   法。
4. （４）光伝達材料の互いに平行な両面の一方の面に全反
   射膜、他方の面に領域に応じて反射率が異なるように非
   全反射膜をコーティングしてなる第一の光ビーム分割器
   内に、一本の光ビームを入射して内部反射させ、該非全
   反射膜より、一列平面状に平行な強度が均一な複数本の
   、かつ、互いに隣接する光ビームのガウス径同士が重な
   らないように離れた所要ピッチの光ビームを分割出射さ
   せ、次いで、該分割出射した一列状かつ複数本の光ビー
   ムを、光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティ
   ングされた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分
   的に帯状にコーティングされた５０％反射膜を有する第
   二の光ビーム分割器内に所要角度で入射して、該５０％
   反射膜よりそれぞれ５０％の強度の光ビームを一列状に
   平行に出射させるとともに、該５０％反射膜に対し内部
   反射する残りの５０％の強度の光ビームを全反射膜で反
   射させて、再び該５０％反射膜がコーティングされた光
   伝達材料の一方の面のコーティングされていない部分よ
   り一列状に平行に出射させ、該コーティングされていな
   い部分より出射する５０％の強度の光ビームの列が、前
   記５０％反射膜より出射する５０％の強度の光ビームの
   列に対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるよ
   うにして、複数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に
   分割し、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
   独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
   対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
   、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
   方の超音波変調器に、前記５０％反射膜より出射する５
   ０％の強度の光ビームの列を通過させるとともに、他方
   の多チャンネル超音波変調器に、前記コーティングされ
   ていない部分より出射する５０％の強度の光ビームの列
   を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビームの一本一
   本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは遅延処理
   をかけて変調することを特徴とする光ビーム分割変調方
   法。