JPH01267385A - ベーン型真空ポンプ - Google Patents
ベーン型真空ポンプInfo
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- JPH01267385A JPH01267385A JP9180988A JP9180988A JPH01267385A JP H01267385 A JPH01267385 A JP H01267385A JP 9180988 A JP9180988 A JP 9180988A JP 9180988 A JP9180988 A JP 9180988A JP H01267385 A JPH01267385 A JP H01267385A
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- JP
- Japan
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- rotor
- vane
- chamber
- channel
- bearing
- Prior art date
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
- F01C21/08—Rotary pistons
- F01C21/0809—Construction of vanes or vane holders
- F01C21/0818—Vane tracking; control therefor
- F01C21/0854—Vane tracking; control therefor by fluid means
- F01C21/0863—Vane tracking; control therefor by fluid means the fluid being the working fluid
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ベーン型真空ポンプに関する。
一般に、この種の真空ポンプとしては、ローター室に対
し偏心してローターが配設されており、ローターに放射
状に設けられたベーンが該ローター室の内壁に接触しつ
つ回転してポンプ靴用を行うベーンポンプが使用されて
いる。
し偏心してローターが配設されており、ローターに放射
状に設けられたベーンが該ローター室の内壁に接触しつ
つ回転してポンプ靴用を行うベーンポンプが使用されて
いる。
このようなベーンポンプは揚水ポンプと接続されて、そ
の呼び水用に用いる場合がある。即ち、揚水ポンプのポ
ンプ室とベーンポンプを連通させ、ベーンポンプを作動
させてポンプ室内の気体を吸引し、ポンプ室内を負圧に
せしめて、揚水ポンプの揚水を可能ならしめるのである
。この場合ベーンポンプの作動室(ローター室)には当
初気体が流入するが、揚水ポンプの定常運転開始直後は
、揚水が不可避的にベーンポンプのローター室内にも流
入する。液体が急激にローター室内に流入すれば、所謂
リキッドパンチ現象により、ベーンに高負荷が作用して
ベーンを破壊したり、またローターに形成されたベーン
溝の半径方向外方端部近傍部が破壊される可能性がある
。
の呼び水用に用いる場合がある。即ち、揚水ポンプのポ
ンプ室とベーンポンプを連通させ、ベーンポンプを作動
させてポンプ室内の気体を吸引し、ポンプ室内を負圧に
せしめて、揚水ポンプの揚水を可能ならしめるのである
。この場合ベーンポンプの作動室(ローター室)には当
初気体が流入するが、揚水ポンプの定常運転開始直後は
、揚水が不可避的にベーンポンプのローター室内にも流
入する。液体が急激にローター室内に流入すれば、所謂
リキッドパンチ現象により、ベーンに高負荷が作用して
ベーンを破壊したり、またローターに形成されたベーン
溝の半径方向外方端部近傍部が破壊される可能性がある
。
このような問題を解決するため、実開昭62−1561
84号に開示された呼び水用真空ボン1では、ローター
室内が液体の流入により正圧となったときにのみ外気と
ローター室を連通させる逆止シール弁を設けている。詳
述すると第6図乃至第7図に示すように、この真空ポン
プは、センターハウジング2と、サイドハウジング3B
に軸受7を介して支承されたローター軸6に取り付けら
れてローター室S内に収納されたローター1と、ロータ
ー1にその軸芯に対して放射状をなすように径方向に形
成された複数のベーン溝8と、各溝8内に半径方向に摺
動自在に収納されてローター室Sの内周面2aを先端が
摺接するベーン9とを備える。ここでローター室をサイ
ドハウジングに形成された導通路100で外部と連通し
、この導通路100の途中にローター室内の正圧時に開
く逆止シール弁101を設けている。逆止シール弁10
1は軸受7を収容するベアリングゲースB空間内に配置
され、サイドハウジング3Bには、ベアリングケースB
と外部を常時連通させる導出路102が形成されている
。
84号に開示された呼び水用真空ボン1では、ローター
室内が液体の流入により正圧となったときにのみ外気と
ローター室を連通させる逆止シール弁を設けている。詳
述すると第6図乃至第7図に示すように、この真空ポン
プは、センターハウジング2と、サイドハウジング3B
に軸受7を介して支承されたローター軸6に取り付けら
れてローター室S内に収納されたローター1と、ロータ
ー1にその軸芯に対して放射状をなすように径方向に形
成された複数のベーン溝8と、各溝8内に半径方向に摺
動自在に収納されてローター室Sの内周面2aを先端が
摺接するベーン9とを備える。ここでローター室をサイ
ドハウジングに形成された導通路100で外部と連通し
、この導通路100の途中にローター室内の正圧時に開
く逆止シール弁101を設けている。逆止シール弁10
1は軸受7を収容するベアリングゲースB空間内に配置
され、サイドハウジング3Bには、ベアリングケースB
と外部を常時連通させる導出路102が形成されている
。
呼水をローター室S内に吸引した際に、その呼水が急激
にローター室Sに侵入してもその時のローター室Sの増
圧で該呼水が逆止シール弁101を通して導出路102
から外部に放出されることになり、水衝撃を緩和するこ
とができる。
にローター室Sに侵入してもその時のローター室Sの増
圧で該呼水が逆止シール弁101を通して導出路102
から外部に放出されることになり、水衝撃を緩和するこ
とができる。
仮に逆止シール弁101が設けられないとすれば、外気
が、導出路102、ベアリングケースB、導通路100
を通じてローター室Sに吸引されてしまうことになり、
ベーンポンプは所望の真空度を得ることができなくなる
ばかりか、かかる吸引により、軸受7のグリースもロー
ター室内に吸引されてしまい、軸受部の寿命を短めるこ
ととなる。
が、導出路102、ベアリングケースB、導通路100
を通じてローター室Sに吸引されてしまうことになり、
ベーンポンプは所望の真空度を得ることができなくなる
ばかりか、かかる吸引により、軸受7のグリースもロー
ター室内に吸引されてしまい、軸受部の寿命を短めるこ
ととなる。
よってリキッドパンチ現象を防止するための導通路には
、逆止シール弁101が必要となるのである。
、逆止シール弁101が必要となるのである。
上記した真空ポンプは、しかし以下のような欠点が認め
られる。
られる。
(1) 逆止弁101が必須の構成であるため装置が
複雑化し、また逆止弁101を設けるスペースが必要と
なるなめ、装置全体が大型化する。
複雑化し、また逆止弁101を設けるスペースが必要と
なるなめ、装置全体が大型化する。
(2) 導出路102を通じて液体が外部に流出する
ので、ポンプ設置箇所付近に液体が飛散し、また作業環
境を悪化させる。
ので、ポンプ設置箇所付近に液体が飛散し、また作業環
境を悪化させる。
(3) 逆止シール弁101が好適に作動しないとす
れば、ポンプ効率が悪化する。
れば、ポンプ効率が悪化する。
(4) ローター室Sと外部とを連通ずる導通路10
0の位置は、殊ら問題とされていないために、ベーン溝
8底部とベーン9の半径方向内方端部間の空間に非圧縮
性の液体が侵入したときは、ベーンの半径方向の摺動運
動に支承をきたし特に吐出行程域にあっては、ベーン9
の破損をもたらす可能性がある。
0の位置は、殊ら問題とされていないために、ベーン溝
8底部とベーン9の半径方向内方端部間の空間に非圧縮
性の液体が侵入したときは、ベーンの半径方向の摺動運
動に支承をきたし特に吐出行程域にあっては、ベーン9
の破損をもたらす可能性がある。
本発明は、かかる従来の真空ベーンポンプにおける欠点
を克服し、ベーン等の損傷を防止し、部品点数が少なく
、コンパクトであってかつ液体の外部への飛散がなく、
ポンプ効率の低下も生じずまた軸受のグリースの流出の
ないベーン型真空ポンプを提供することを目的とする。
を克服し、ベーン等の損傷を防止し、部品点数が少なく
、コンパクトであってかつ液体の外部への飛散がなく、
ポンプ効率の低下も生じずまた軸受のグリースの流出の
ないベーン型真空ポンプを提供することを目的とする。
そこで本発明によれば、センターハウジングと、センタ
ーハウジングの開口端に固定された一対のサイドハウジ
ングと、センターハウジングとサイドハウジングにて規
定されたロータ室内に収容されるローターと、ローター
と一体に設けられ、ローターを偏心回転させるとともに
、サイドハウジングの少くとも一方に支持されるロータ
ー軸と、ローター軸を回転支承するため、前記少くとも
一方のサイドハウジングに形成5されたベアリング室に
収容された軸受と、ローターに形成された複数のベーン
溝内に活動自在に設けられ、ローター室と摺接する複数
のベーンを有し、ローターの回転に伴うベーン作用によ
り流体の吸入圧縮吐出を行うベーン型真空ポンプにおい
て、前記少くとも一方のサイドハウジングのローター対
向面において、ベーン溝の底部空間と連通しかつロータ
ー室の吐出領域空間にも連通する溝を形成し、該消はベ
アリング室に連通ずる導通孔とも連通していることを特
徴とする。
ーハウジングの開口端に固定された一対のサイドハウジ
ングと、センターハウジングとサイドハウジングにて規
定されたロータ室内に収容されるローターと、ローター
と一体に設けられ、ローターを偏心回転させるとともに
、サイドハウジングの少くとも一方に支持されるロータ
ー軸と、ローター軸を回転支承するため、前記少くとも
一方のサイドハウジングに形成5されたベアリング室に
収容された軸受と、ローターに形成された複数のベーン
溝内に活動自在に設けられ、ローター室と摺接する複数
のベーンを有し、ローターの回転に伴うベーン作用によ
り流体の吸入圧縮吐出を行うベーン型真空ポンプにおい
て、前記少くとも一方のサイドハウジングのローター対
向面において、ベーン溝の底部空間と連通しかつロータ
ー室の吐出領域空間にも連通する溝を形成し、該消はベ
アリング室に連通ずる導通孔とも連通していることを特
徴とする。
ポンプが稼動することによりポンプ内に負圧が発生する
が、ベアリング室内は導通路によりローター室の吐出領
域空間と連通しているので、ベアリング室とローター室
の吐出領域空間は同圧となり、しかして軸受のグリース
の流出は生じない。
が、ベアリング室内は導通路によりローター室の吐出領
域空間と連通しているので、ベアリング室とローター室
の吐出領域空間は同圧となり、しかして軸受のグリース
の流出は生じない。
またローター室内に液体が吸引された場合には、ベアリ
ング室にも液体が侵入するが、導通路や流体排出通路を
介してローター室の吐出領域空間内に液体が排出される
。ポンプが停止した場合には、ベアリング室内の液体は
前記通路を介してローター室内に落下し、吐出口より排
出される。
ング室にも液体が侵入するが、導通路や流体排出通路を
介してローター室の吐出領域空間内に液体が排出される
。ポンプが停止した場合には、ベアリング室内の液体は
前記通路を介してローター室内に落下し、吐出口より排
出される。
本発明のベーン型真空ポンプについて第1図乃至第4図
にそって説明する。
にそって説明する。
ローター1を収容するロータチャンバーSは、センター
ハウジング2と一対のサイドハウジング3A、3Bとで
規定される。サイドハウジング3A、3Bは複数の固定
ボルト4にてセンターハウジング2に固定され、サイド
ハウジング3A。
ハウジング2と一対のサイドハウジング3A、3Bとで
規定される。サイドハウジング3A、3Bは複数の固定
ボルト4にてセンターハウジング2に固定され、サイド
ハウジング3A。
3Bとセンターハウジング2の間にはOリング5が介装
されローターチャンバーSを気密に保持する。ローター
1の軸心から偏心した位置にローター1と一体にロータ
ー軸6が延設され、b−ター軸は軸受7を介してサイド
ハウジング3A、3Bに対し回転自在に支承されている
。
されローターチャンバーSを気密に保持する。ローター
1の軸心から偏心した位置にローター1と一体にロータ
ー軸6が延設され、b−ター軸は軸受7を介してサイド
ハウジング3A、3Bに対し回転自在に支承されている
。
ローター1は、ローターの半径方向とオフセットした方
向にのびるベーン溝8が複数形成されている。ベーン溝
内には各々ベーン9が摺動自在に設けられ、ベーンのロ
ーター半径方向外端面9aは、センターハウジング2の
内周面2aに対し常時摺接する。
向にのびるベーン溝8が複数形成されている。ベーン溝
内には各々ベーン9が摺動自在に設けられ、ベーンのロ
ーター半径方向外端面9aは、センターハウジング2の
内周面2aに対し常時摺接する。
サイドハウジング3A、3Bは各々軸受7を収容するた
めのベアリング室Bが形成されており、ベアリング室の
開口部は、ボルト10によりベアリングカバー11にて
締結閉鎖される。またベアリング7の内輪7aと対応す
る位置にスペーサ12が設けられ、内輪7aのローター
軸軸方向のずれが防止される。
めのベアリング室Bが形成されており、ベアリング室の
開口部は、ボルト10によりベアリングカバー11にて
締結閉鎖される。またベアリング7の内輪7aと対応す
る位置にスペーサ12が設けられ、内輪7aのローター
軸軸方向のずれが防止される。
なお第2図において、吸入口13と吐出口14が示され
ている。
ている。
以上の構成は従来のベーン型真空ポンプと同様であるが
、本発明では軸受7を収容するサイドハウジング3A、
3Bであってローターの軸方向端面1aと対向する側に
、円弧状の溝14Aとそれに続く直線状の消14Bを形
成している0円弧状の渭14Aはベーン溝8の底とベー
ン9の半径方向内端9bとで画成されるベーン溝空間■
と対向する位置に設けられてそれと連通する。また円弧
状溝14Aはポンプの吐出行程領域に位置している。更
にこの円弧状溝14は直線状の溝14Bと接続されて、
吐出領域におけるローター室Sに連通している。またこ
の円弧状溝14Aと直線状溝14Bの交差部に導通孔1
5が形成され、導通孔15は、サイドハウジング7の厚
さ方向を貫通し、軸受11とベアリング室Bとの間に提
供される空間と接続されている。
、本発明では軸受7を収容するサイドハウジング3A、
3Bであってローターの軸方向端面1aと対向する側に
、円弧状の溝14Aとそれに続く直線状の消14Bを形
成している0円弧状の渭14Aはベーン溝8の底とベー
ン9の半径方向内端9bとで画成されるベーン溝空間■
と対向する位置に設けられてそれと連通する。また円弧
状溝14Aはポンプの吐出行程領域に位置している。更
にこの円弧状溝14は直線状の溝14Bと接続されて、
吐出領域におけるローター室Sに連通している。またこ
の円弧状溝14Aと直線状溝14Bの交差部に導通孔1
5が形成され、導通孔15は、サイドハウジング7の厚
さ方向を貫通し、軸受11とベアリング室Bとの間に提
供される空間と接続されている。
加えるに、ベアリング室Bの最下位置に対向する部分の
サイドハウジング3A(3B)には、流体排出通路16
が形成されている。この流体排出通路も、ポンプの吐出
行程領域内に位置しており、ベアリング室B内に留まっ
た液体をローター室S内部に排出させる機能を有する。
サイドハウジング3A(3B)には、流体排出通路16
が形成されている。この流体排出通路も、ポンプの吐出
行程領域内に位置しており、ベアリング室B内に留まっ
た液体をローター室S内部に排出させる機能を有する。
なお第3図、4図において、4a、6a。
10aはそれぞれ固定ボルト4、ローター軸6、ボルト
10を受は入れる貫通孔である。
10を受は入れる貫通孔である。
次に本発明のベーン型真空ポンプの動作について説明す
る。
る。
図示せぬ駆動手段によりローター軸6が回転すると、ロ
ーター1が回転し、隣接するベーン9゜9間で吸入口1
3からの流体を吸入圧縮し、吐出口14から吐出する。
ーター1が回転し、隣接するベーン9゜9間で吸入口1
3からの流体を吸入圧縮し、吐出口14から吐出する。
この時ベーン9はセンタハウジング2の内周面2aに追
従してベーン渭9内を摺動するが、吐出行程域において
はベーンがローター半径方向内方に駆動するのでベーン
溝底Vに不可避的に流入した流体は円弧状溝14内に流
出し、更に直線拭清14Bを介してローター室Sに還流
される。
従してベーン渭9内を摺動するが、吐出行程域において
はベーンがローター半径方向内方に駆動するのでベーン
溝底Vに不可避的に流入した流体は円弧状溝14内に流
出し、更に直線拭清14Bを介してローター室Sに還流
される。
また、ローター軸6とスペーサー12間の微細な隙間か
らベアリング室Bに流入した液体は、導通孔15と、流
体排出道路16を介して同様に吐出行程領域におけるロ
ーター室Sに還流される。
らベアリング室Bに流入した液体は、導通孔15と、流
体排出道路16を介して同様に吐出行程領域におけるロ
ーター室Sに還流される。
ポンプが停止した場合、ベアリング室B内の液体は、自
重により流体排出通路16を通ってローターチャンバ内
に排出される。
重により流体排出通路16を通ってローターチャンバ内
に排出される。
第5図は第3図に示される流体排出道路工6を省略した
第2の実施例を示す、この第2の実施例では、導通孔1
5′をベアリング室Bの最下位置近傍に位置せしめるよ
うに、円弧状溝14′と直線状溝15′を形成し、導出
孔15′が流体排出通路16の機能を併せ持つようにし
たものである。
第2の実施例を示す、この第2の実施例では、導通孔1
5′をベアリング室Bの最下位置近傍に位置せしめるよ
うに、円弧状溝14′と直線状溝15′を形成し、導出
孔15′が流体排出通路16の機能を併せ持つようにし
たものである。
なお以上の実施例は、ローター軸6を回転支承する軸受
7を両サイドハウジング3A、3B内に収容し、ロータ
ー軸7を両持ちとしている。この場合、両方のサイドハ
ウジング3A、3Bの内面に上述した円弧状溝、直線溝
、導通孔を形成する。
7を両サイドハウジング3A、3B内に収容し、ロータ
ー軸7を両持ちとしている。この場合、両方のサイドハ
ウジング3A、3Bの内面に上述した円弧状溝、直線溝
、導通孔を形成する。
しかし、ローター軸7を片持ち支持する場合には、軸受
を収容しているサイドハウジングのみにかかる構成を適
用すれば足りる。
を収容しているサイドハウジングのみにかかる構成を適
用すれば足りる。
(1) 従来の逆止シール弁を設ける必要がないので
、部品点数が減少でき、装置の簡素化を図ることができ
るとともに、装置全体をコンパクトにすることができる
。
、部品点数が減少でき、装置の簡素化を図ることができ
るとともに、装置全体をコンパクトにすることができる
。
(2) ベアリング室の液体は外部に流出することが
なくポンプ内に還流されるので液体の外部飛散が生ぜず
、作業環境を良好に保つことができる。
なくポンプ内に還流されるので液体の外部飛散が生ぜず
、作業環境を良好に保つことができる。
(3) 逆止シール弁を設ける必要がないので、それ
の不適切な作動によるポンプ性能の低下現象は生じない
。
の不適切な作動によるポンプ性能の低下現象は生じない
。
(4) 吐出領域にあるベーン溝空間は、円弧状溝、
直線溝を介してポンプ室に連通しているので、ベーン湧
空間内に流体が侵入しても、この流体は良好に排出され
、ベーン等の損傷は生じない。
直線溝を介してポンプ室に連通しているので、ベーン湧
空間内に流体が侵入しても、この流体は良好に排出され
、ベーン等の損傷は生じない。
(5) 真空ボン1の稼動によりポンプ内に負圧が発
生しても、ベアリング室Bは導通孔15によってロータ
ー室Sと連通しているので、両室内に圧力差は生ぜず、
したがってグリースの吸引作用は発生しない、そのなめ
、軸受の寿命を長期に保つことができる。
生しても、ベアリング室Bは導通孔15によってロータ
ー室Sと連通しているので、両室内に圧力差は生ぜず、
したがってグリースの吸引作用は発生しない、そのなめ
、軸受の寿命を長期に保つことができる。
(6) まな導通孔15や、ローター軸すとスペーサ
12間の隙間からベアリング室Bに液体が流入しなとし
ても、導通孔15と流体排出通路16から流体をロータ
ー室S内に排出することができるので、軸受7の錆の発
生を防止できる。
12間の隙間からベアリング室Bに液体が流入しなとし
ても、導通孔15と流体排出通路16から流体をロータ
ー室S内に排出することができるので、軸受7の錆の発
生を防止できる。
(7) ポンプ非作動時にも、ベアリング室B内にあ
る流体は自重により流体排出通路16や導出孔15′を
介して排出でき、ベアリング室B内に液体が長期に留る
ことがない。
る流体は自重により流体排出通路16や導出孔15′を
介して排出でき、ベアリング室B内に液体が長期に留る
ことがない。
第1図は本発明のベーン型真空ポンプの1実施例を示す
断面図、 第2図(a)は、第1図におけるII−II線に沿った
断面図、 第2図(b)は第1図の矢印A方向から見な側面図、 第3図は第1実施例におけるサイドハウジングを示す正
面図、 第4図は第3図IV−IV線に沿った断面図、第5図は
本発明の第2実施例におけるサイドハウジングを示す正
面図、 第6図は従来のベーンポンプを示す断面図、第7図は第
6図に示す従来のベーンポンプの要部断面図である。 1・・・ローター、2・・・センターハウジング、3A
。 3B・・・サイドハウジング、S・・・ローター室、6
・・・ローター軸、7・・・軸受、B・・・ベアリング
室、9・・・ベーン、14A・・・円弧状溝、14B・
・・直線状溝、15.15′・・・導通路、16・・・
流体排出通路。 出願人代理人 石 川 泰 男第 6 図 第 1 図 (a) (b) 第 2 図 ■ 第 3 図 第
4 図第 5 図
断面図、 第2図(a)は、第1図におけるII−II線に沿った
断面図、 第2図(b)は第1図の矢印A方向から見な側面図、 第3図は第1実施例におけるサイドハウジングを示す正
面図、 第4図は第3図IV−IV線に沿った断面図、第5図は
本発明の第2実施例におけるサイドハウジングを示す正
面図、 第6図は従来のベーンポンプを示す断面図、第7図は第
6図に示す従来のベーンポンプの要部断面図である。 1・・・ローター、2・・・センターハウジング、3A
。 3B・・・サイドハウジング、S・・・ローター室、6
・・・ローター軸、7・・・軸受、B・・・ベアリング
室、9・・・ベーン、14A・・・円弧状溝、14B・
・・直線状溝、15.15′・・・導通路、16・・・
流体排出通路。 出願人代理人 石 川 泰 男第 6 図 第 1 図 (a) (b) 第 2 図 ■ 第 3 図 第
4 図第 5 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、センターハウジングと、 センターハウジングの開口端に固定された一対のサイド
ハウジングと、 センターハウジングとサイドハウジングにて規定された
ロータ室内に収容されるローターと、ローターと一体に
設けられ、ローターを偏心回転させるとともに、サイド
ハウジングの少くとも一方に支持されるローター軸と、 ローター軸を回転支承するため、前記少くとも一方のサ
イドハウジングに形成されたベアリング室に収容された
軸受と、 ローターに形成された複数のベーン溝内に摺動自在に設
けられ、ローター室と摺接する複数のベーンを有し、ロ
ーターの回転に伴うベーン作用により流体の吸入圧縮吐
出を行うベーン型真空ポンプにおいて、 前記少くとも一方のサイドハウジングのローター対向面
において、ベーン溝の底部空間と連通しかつローター室
の吐出領域空間にも連通する溝を形成し、該溝はベアリ
ング室に連通する導通孔とも連通していることを特徴と
するベーン型真空ポンプ。 2、前記導通孔は前記ベアリング室の最下位置に対応し
た位置にて前記少なくとも一方のサイドハウジングに貫
通形成されていることを特徴とする請求項1記載のベー
ン型真空ポンプ。 3、前記少くとも一方のサイドハウジングには更に、前
記ベアリング室と連通する流体排出通路が貫通形成され
、該流体排出通路は、前記ベアリング室の最下位置に対
応した位置でかつ、吐出領域空間に位置していることを
特徴とする請求項1記載のベーン型真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9180988A JPH01267385A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ベーン型真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9180988A JPH01267385A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ベーン型真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01267385A true JPH01267385A (ja) | 1989-10-25 |
| JPH0428919B2 JPH0428919B2 (ja) | 1992-05-15 |
Family
ID=14036954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9180988A Granted JPH01267385A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ベーン型真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01267385A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100015001A1 (en) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Vane pump |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP9180988A patent/JPH01267385A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100015001A1 (en) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Vane pump |
| US8257071B2 (en) * | 2008-07-18 | 2012-09-04 | Panasonic Corporation | Vane pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0428919B2 (ja) | 1992-05-15 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |