JPH01267392A - ターボ真空ポンプ - Google Patents
ターボ真空ポンプInfo
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- JPH01267392A JPH01267392A JP63091444A JP9144488A JPH01267392A JP H01267392 A JPH01267392 A JP H01267392A JP 63091444 A JP63091444 A JP 63091444A JP 9144488 A JP9144488 A JP 9144488A JP H01267392 A JPH01267392 A JP H01267392A
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- Japan
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- bearing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/5806—Cooling the drive system
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C37/00—Cooling of bearings
- F16C37/005—Cooling of bearings of magnetic bearings
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0489—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of five degrees of freedom, e.g. two radial magnetic bearings combined with an axial bearing
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野」
本発明は、大気圧から排気可能なターボ真空ポンプに係
シ１％に清浄な真空を得るのに好適な真空ポンプに関す
る。
シ１％に清浄な真空を得るのに好適な真空ポンプに関す
る。
従来の大気圧から排気可能なターボ真空ポンプは、特開
昭６２−１５３５９７号に記載のように軸受としては玉
軸受が使用されていた。このため、軸受の潤滑に用いて
いる油が排気流路内に流れ込まないようにねじシールや
パージガス管用いる特殊な軸封機構が、排気流路とモー
タ呈の間に設けられていた。また、油による汚染を防ぐ
方法としては特開昭６１−２１０２９２号に記載のよう
に真空中に油潤滑の必要がない電磁軸受を配置する方法
も考えられているが、この方法はモータ負荷の小さいタ
ーボ分子ポンプ等にだけ用いられていた。
昭６２−１５３５９７号に記載のように軸受としては玉
軸受が使用されていた。このため、軸受の潤滑に用いて
いる油が排気流路内に流れ込まないようにねじシールや
パージガス管用いる特殊な軸封機構が、排気流路とモー
タ呈の間に設けられていた。また、油による汚染を防ぐ
方法としては特開昭６１−２１０２９２号に記載のよう
に真空中に油潤滑の必要がない電磁軸受を配置する方法
も考えられているが、この方法はモータ負荷の小さいタ
ーボ分子ポンプ等にだけ用いられていた。
上記の特殊な軸封機構を用いる従来技術は、パージガス
供給源の圧力低下等の異常時のことについて配慮されて
おらず、異常時に軸受の潤滑油により排気流路が汚染さ
れるおそれがあるという問題があった。また、ターボ分
子ポンプ等に用いられている電磁軸受を真空中に配置す
る方法は、潤滑油を用いていないので油汚染の心配は全
くないが、この方法を大気圧から排気可能なターボ真空
ポンプに用いるとモータ負荷や電磁軸受の負荷がターボ
分子ポンプに比べ大きいためにモータや電磁軸受から発
生する熱を真空中では十分に取シ除けないという問題が
めった。
供給源の圧力低下等の異常時のことについて配慮されて
おらず、異常時に軸受の潤滑油により排気流路が汚染さ
れるおそれがあるという問題があった。また、ターボ分
子ポンプ等に用いられている電磁軸受を真空中に配置す
る方法は、潤滑油を用いていないので油汚染の心配は全
くないが、この方法を大気圧から排気可能なターボ真空
ポンプに用いるとモータ負荷や電磁軸受の負荷がターボ
分子ポンプに比べ大きいためにモータや電磁軸受から発
生する熱を真空中では十分に取シ除けないという問題が
めった。
本発明の目的は、大気圧から排気可能なターボ真空ポン
プに電磁軸受の使用を可能にし、異常時も含めて完全に
清浄な大気圧から排気可能なターボ真空ポンプを提供す
ることにある。
プに電磁軸受の使用を可能にし、異常時も含めて完全に
清浄な大気圧から排気可能なターボ真空ポンプを提供す
ることにある。
上記目的は、多段翼車を備えるロータとロータが締結さ
れるシャフトと電磁軸受とモτりから構成される大気圧
から排気可能なターボ真空ポンプにおいて、電磁軸受と
モータを大気圧中に配置し。
れるシャフトと電磁軸受とモτりから構成される大気圧
から排気可能なターボ真空ポンプにおいて、電磁軸受と
モータを大気圧中に配置し。
さらに前記の電磁軸受とモータを空冷する手段を備える
ことにより、達成される。
ことにより、達成される。
電磁軸受とモータを大気圧中に配置し、ファン等の空冷
手段を備えると、電磁軸受とモータを特に、そのロータ
部分を効果的に冷却することができる。従って、大気圧
から排気可能なターボ真空ポンプに電磁軸受を適用する
ことができ、異常時も含めて完全に清浄な大気圧から排
気可能なターボ真空ポンプを得ることができる。
手段を備えると、電磁軸受とモータを特に、そのロータ
部分を効果的に冷却することができる。従って、大気圧
から排気可能なターボ真空ポンプに電磁軸受を適用する
ことができ、異常時も含めて完全に清浄な大気圧から排
気可能なターボ真空ポンプを得ることができる。
以下１本発明の実施例を図面によシ説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すもので、この第１図に
おいて、ロータ１は、ケーシング２内に配置され、シャ
ツ１ト３に焼きばめされている。ロータ１の外周には吸
気口側から軸流ロータ４．遠心ロータ５．渦流ロータ６
が備えられている。軸流ロータ４に対向してステータリ
ングアに支えられる細流ステータ８が備えられている。
おいて、ロータ１は、ケーシング２内に配置され、シャ
ツ１ト３に焼きばめされている。ロータ１の外周には吸
気口側から軸流ロータ４．遠心ロータ５．渦流ロータ６
が備えられている。軸流ロータ４に対向してステータリ
ングアに支えられる細流ステータ８が備えられている。
遠心ロータ５のリターン流路には遠心ステータ９が備え
られている。渦流ロータ６に対向して通風路１０が設け
られている。通風路１０内には渦の形成を容易にするた
めにコア１１が設けられている。また。
られている。渦流ロータ６に対向して通風路１０が設け
られている。通風路１０内には渦の形成を容易にするた
めにコア１１が設けられている。また。
通風路のまわシには水冷ジャケット１２が設けられてい
る。シャフト３の下部には、ケーシングエ３に支えられ
る制御型の２シアル軸受のステータ部１４ ａ、 １
４ ｂに対向して制御型のラジアル軸受のロータ部１４
ａ’、１４ｂ’が備えられている。ラジアル軸受の間に
はモータステータ１５゜モータロータ１５′が備えられ
ている。ラジアル−軸受１４ａ、１４ａ’の上部には、
差動トランス形のラジアルセンサのステータ部１６ａ、
ロータ部１６ａ′が配置されている。ラジアル軸受１４
ｂ。
る。シャフト３の下部には、ケーシングエ３に支えられ
る制御型の２シアル軸受のステータ部１４ ａ、 １
４ ｂに対向して制御型のラジアル軸受のロータ部１４
ａ’、１４ｂ’が備えられている。ラジアル軸受の間に
はモータステータ１５゜モータロータ１５′が備えられ
ている。ラジアル−軸受１４ａ、１４ａ’の上部には、
差動トランス形のラジアルセンサのステータ部１６ａ、
ロータ部１６ａ′が配置されている。ラジアル軸受１４
ｂ。
１４ｂ′の下部には差動トランス形のラジアルセンサの
ステータ部１６ｂ、ロータ部１６ｂ′が配置されている
。ラジアルセンサ１６ｂ、１６ｂ’の下部には、スラス
ト軸受のステータ部１７、ロータ部１７’及びタッチダ
ウン軸受１８が備えられている。スラストセンサ１９は
、キャップ２０の中央部にシャフト下端に対向して設け
られている。キャップには通風口２１が設けられている
。
ステータ部１６ｂ、ロータ部１６ｂ′が配置されている
。ラジアルセンサ１６ｂ、１６ｂ’の下部には、スラス
ト軸受のステータ部１７、ロータ部１７’及びタッチダ
ウン軸受１８が備えられている。スラストセンサ１９は
、キャップ２０の中央部にシャフト下端に対向して設け
られている。キャップには通風口２１が設けられている
。
シャフト下端部にはファン２２が設けられている。
ケーシング１３には、送風路２３が設けられている。ま
た、モータ、ラジアル軸受のステータ部の周囲に冷却水
路３０が設けられている。タッチダウン軸受２４を支え
ているペース２５には排気路２６が設けられている。以
上の構成において、ロータ１をモータ１５，１５’で高
速駆動すると気体分子を吸気口２７よシ大気圧の排気口
２８へと排気することができる。大気圧まで排気するの
に必要な駆動力は、一般的に数ＫＷでありターボ分子ポ
ンプの駆動に必要な駆動力のほぼ１０倍になる。このた
め、モータは負荷が太きいものとなる。
た、モータ、ラジアル軸受のステータ部の周囲に冷却水
路３０が設けられている。タッチダウン軸受２４を支え
ているペース２５には排気路２６が設けられている。以
上の構成において、ロータ１をモータ１５，１５’で高
速駆動すると気体分子を吸気口２７よシ大気圧の排気口
２８へと排気することができる。大気圧まで排気するの
に必要な駆動力は、一般的に数ＫＷでありターボ分子ポ
ンプの駆動に必要な駆動力のほぼ１０倍になる。このた
め、モータは負荷が太きいものとなる。
また、電磁軸受１４ａ、１４ａ’、１４ｂ、１４ｂ’。
１７．１７’もターボ分子ポンプの場合とは違ってロー
タの自重、ロータのアンバランス力の他にロータが受け
る流体力及びモータ負荷の増大に伴って大きくなるモー
タから外乱として発生する力も支えなければならないの
で負荷が大きいものとなる。以上の理由で、大気圧から
排気可能なターボ真空ポンプにおいては、ターボ分子ポ
ンプの場合に比べて電磁軸受、モータではるかに大きい
熱が発生する。従って、ターボ分子ポンプの場合のよう
に電磁軸受、モータを真空中に配置していると電磁軸受
及びモータのロータ部分の冷却は熱放射によるものしか
できず、電磁軸受、モータを１０００程度の使用限界温
度以下に保つのが困難である。本実施例では、電磁軸受
、モータのステータ部の周囲に冷却水路を設けるととも
に電磁軸受、モータを大気圧中に配置し、さらにシャフ
ト３の下端部にファン２２を設けているので、電磁軸受
、モータ特にそのロータ部を効果的に冷却することがで
きるので電磁軸受、モータの温度を使用限界温度以下に
保つことができる。従って、大気圧から排気可能なター
ボ真空ポンプに電磁軸受の適用が可能になり、その結果
として異常時も含めて完全に清浄な大気圧から排気可能
なターボ真空ポンプを得ることができる。なお１本実施
例ではファンをシャフト下端部に設けその駆動をモータ
１５，１５’で行っているのでファンを駆動する几めに
別の電源を設ける必要がないばかりか送風が翼車の流路
に向かってなされているので半導体製造装置等で用いる
腐食性ガスを排気する場曾には、流路内の腐食ガスが軸
受モータ等が納められているケーシング１３内に侵入し
ないという効果もある。また、ファンはフィン構造をし
ているので締結されているシャフト３よυ熱を取シ除く
効果もある。さらに、ファンの上下に生じる圧力差によ
υファンに下向きのスラスト力がかかるので、ロータ１
に吸気側と排気側の圧力差によりかかるスラスト力を軽
減するという効果もある。
タの自重、ロータのアンバランス力の他にロータが受け
る流体力及びモータ負荷の増大に伴って大きくなるモー
タから外乱として発生する力も支えなければならないの
で負荷が大きいものとなる。以上の理由で、大気圧から
排気可能なターボ真空ポンプにおいては、ターボ分子ポ
ンプの場合に比べて電磁軸受、モータではるかに大きい
熱が発生する。従って、ターボ分子ポンプの場合のよう
に電磁軸受、モータを真空中に配置していると電磁軸受
及びモータのロータ部分の冷却は熱放射によるものしか
できず、電磁軸受、モータを１０００程度の使用限界温
度以下に保つのが困難である。本実施例では、電磁軸受
、モータのステータ部の周囲に冷却水路を設けるととも
に電磁軸受、モータを大気圧中に配置し、さらにシャフ
ト３の下端部にファン２２を設けているので、電磁軸受
、モータ特にそのロータ部を効果的に冷却することがで
きるので電磁軸受、モータの温度を使用限界温度以下に
保つことができる。従って、大気圧から排気可能なター
ボ真空ポンプに電磁軸受の適用が可能になり、その結果
として異常時も含めて完全に清浄な大気圧から排気可能
なターボ真空ポンプを得ることができる。なお１本実施
例ではファンをシャフト下端部に設けその駆動をモータ
１５，１５’で行っているのでファンを駆動する几めに
別の電源を設ける必要がないばかりか送風が翼車の流路
に向かってなされているので半導体製造装置等で用いる
腐食性ガスを排気する場曾には、流路内の腐食ガスが軸
受モータ等が納められているケーシング１３内に侵入し
ないという効果もある。また、ファンはフィン構造をし
ているので締結されているシャフト３よυ熱を取シ除く
効果もある。さらに、ファンの上下に生じる圧力差によ
υファンに下向きのスラスト力がかかるので、ロータ１
に吸気側と排気側の圧力差によりかかるスラスト力を軽
減するという効果もある。
第２図は本発明の他の一実施例を示すものである。この
実施例では、シャフトに締結したファンの代わシにキャ
ップ２０′の下部に別電源のファン２２′を設けている
。。また、翼車の組み合せとしては、遠心翼の代わシに
ねじ＠２９を用い、軸流翼、ねじ溝、渦流翼の組み合せ
になっている。
実施例では、シャフトに締結したファンの代わシにキャ
ップ２０′の下部に別電源のファン２２′を設けている
。。また、翼車の組み合せとしては、遠心翼の代わシに
ねじ＠２９を用い、軸流翼、ねじ溝、渦流翼の組み合せ
になっている。
本実施例によれば、ファンの電源をロータ駆動のための
電源と別にしているのでロータが低速時でも十分に冷却
を行えるという効果がある。従って、ロータの急加速時
にモータ、電磁軸受で発生する熱を十分に取シ除けるの
で起動時間を短かくできるというメリットがある。
電源と別にしているのでロータが低速時でも十分に冷却
を行えるという効果がある。従って、ロータの急加速時
にモータ、電磁軸受で発生する熱を十分に取シ除けるの
で起動時間を短かくできるというメリットがある。
第３図は本発明のさらに他の実施例を示すものである。
この実施例では、シャフトに締結したファン２２をモー
タ１５，１５’とラジアル軸受１４ｂ、１４ｂ’の間に
配置するとともにポンプの駆動電源と別電源のファン２
２′を設けている。
タ１５，１５’とラジアル軸受１４ｂ、１４ｂ’の間に
配置するとともにポンプの駆動電源と別電源のファン２
２′を設けている。
また、冷却に使用するガスの回収配管３３ａ、熱交換器
３２．ガス供給配管３３ｂ、ガスのリザーバ一部３１を
設けている。
３２．ガス供給配管３３ｂ、ガスのリザーバ一部３１を
設けている。
以上の構成によシ冷却のために使用するガス、例えば、
窒素の使用量を多くすることなく冷却のためのガスの送
風量を大きくすることができるので軸受、モータをさら
に効果的に冷却することができる。
窒素の使用量を多くすることなく冷却のためのガスの送
風量を大きくすることができるので軸受、モータをさら
に効果的に冷却することができる。
以上の実施例では、翼車の組み合せとしては軸流翼を用
いたもので説明してきたが、軸流翼を用いない遠心翼、
渦流翼の組み合せ、或はねじ溝。
いたもので説明してきたが、軸流翼を用いない遠心翼、
渦流翼の組み合せ、或はねじ溝。
渦流翼の組み合せを用いてもよい。
本発明によれば、大気圧から排気可能なターボ真空ポン
プに電磁軸受の使用が可能になるので異常時も含めて完
全に清浄な大気圧から排気可能なターボ真空ポンプが提
供できるという効果がある。
プに電磁軸受の使用が可能になるので異常時も含めて完
全に清浄な大気圧から排気可能なターボ真空ポンプが提
供できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図および第
３図はそれぞれ本発明の他の実施例の縦断面図である。 １・・・ロータ、２・・・ケーシング％ ３・・・シャ
フト、４・・・軸流ロータ、５・・・遠心ロータ、６・
・・渦流ロータ。 ７・・・ステータリング、８・・・軸流ステータ、９・
・・遠心ステータ％１０・・・通風路、１１・・・コア
、１２・・・水冷ジャケット、１３・・・ケーシングｂ
１４ａｔ１４ｂ・・・ラジアル軸受ステータ部、１４ａ
’。 １４ｂ′・・・ラジアル軸受ロータ部、１５・・・モー
タステー１ １５’ ・％−タｃＩ−タ＆１６ａ、１６
ｂ・・・ラジアルセンサステータ部、１６ａ’、１６ｂ
’・・・ラジアルセンサロータ部、１７・・・スラスト
軸受ステータ部、１７′・・・スラスト軸受ロータ部。 １８・・・タッチダウン軸受、１９・・・スラストセン
サ。 ２０・・・キャップ、２１・・・通風０．２２・・・フ
ァン。 ２３・・・送風路、２４・・・タッチダウン軸受、２５
・・・ベース、２６・・・排気路、２７・・・吸気口、
２８・・・排第 １ 図 第２（２）
３図はそれぞれ本発明の他の実施例の縦断面図である。 １・・・ロータ、２・・・ケーシング％ ３・・・シャ
フト、４・・・軸流ロータ、５・・・遠心ロータ、６・
・・渦流ロータ。 ７・・・ステータリング、８・・・軸流ステータ、９・
・・遠心ステータ％１０・・・通風路、１１・・・コア
、１２・・・水冷ジャケット、１３・・・ケーシングｂ
１４ａｔ１４ｂ・・・ラジアル軸受ステータ部、１４ａ
’。 １４ｂ′・・・ラジアル軸受ロータ部、１５・・・モー
タステー１ １５’ ・％−タｃＩ−タ＆１６ａ、１６
ｂ・・・ラジアルセンサステータ部、１６ａ’、１６ｂ
’・・・ラジアルセンサロータ部、１７・・・スラスト
軸受ステータ部、１７′・・・スラスト軸受ロータ部。 １８・・・タッチダウン軸受、１９・・・スラストセン
サ。 ２０・・・キャップ、２１・・・通風０．２２・・・フ
ァン。 ２３・・・送風路、２４・・・タッチダウン軸受、２５
・・・ベース、２６・・・排気路、２７・・・吸気口、
２８・・・排第 １ 図 第２（２）
Claims (1)
- １、多段の翼車を備えるロータとロータが締結されるシ
ャフトとロータ部がシャフトに締結される電磁軸受とモ
ータから構成される大気圧から排気可能なターボ真空ポ
ンプにおいて電磁軸受とモータを大気圧中に配置し、さ
らに前記の電磁軸受とモータを空冷する手段を備えたこ
とを特徴とするターボ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63091444A JP2741863B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ターボ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63091444A JP2741863B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ターボ真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01267392A true JPH01267392A (ja) | 1989-10-25 |
| JP2741863B2 JP2741863B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=14026540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63091444A Expired - Lifetime JP2741863B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | ターボ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2741863B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5445494A (en) * | 1993-11-08 | 1995-08-29 | Bw/Ip International, Inc. | Multi-stage centrifugal pump with canned magnetic bearing |
| WO1996013667A1 (de) * | 1994-10-31 | 1996-05-09 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe mit kühlung |
| JP2002039092A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | ターボ形ドライポンプ |
| EP1247987A3 (en) * | 2001-03-19 | 2002-11-13 | Seiko Instruments Inc. | Turbo molecular pump |
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