JPH01274349A - 電子銃用高圧電源 - Google Patents
電子銃用高圧電源Info
- Publication number
- JPH01274349A JPH01274349A JP63101569A JP10156988A JPH01274349A JP H01274349 A JPH01274349 A JP H01274349A JP 63101569 A JP63101569 A JP 63101569A JP 10156988 A JP10156988 A JP 10156988A JP H01274349 A JPH01274349 A JP H01274349A
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- JP
- Japan
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- voltage
- power source
- filament
- electron gun
- extraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本願発明は、走査電子顕微鏡の電子銃において使用され
る高圧電源に関する。
る高圧電源に関する。
熱電子銃は、熱電子を放出するために加熱されるフィラ
メントと、発散しようとする電子を集束し制御するため
のウェーネルト、集束された電子線を加速するためのア
ノードの３極により構成され、アノードとフィラメント
との間には加速電圧が印加され、更にウェーネルトとフ
ィラメントとの間には、バイアス抵抗を利用してバイア
ス電圧が印加されるものである。またこのように構成す
ることにより、フィラメントから放出された熱電子は、
ウェーネルト電極により集束され、さらに加速電圧によ
り形成される電界によりアノードに向かって加速される
。加速電圧が数百ボルトから数十キロボルトの範囲で使
用される場合、低加速電圧時にはフィラメント近傍、で
の電界強度が不足し、空間電荷の影響で電子放出が抑制
され、電子源の輝度が低下する。この電子源の輝度の低
下を防止するために、４極タイプの電子銃が提案されて
いる（「電子顕微鏡ＪＶｏ１．１６、Ｎｏｌ、ｐ３２
（１９８１））、第２図にこの４極タイプの電子銃の回
路図を示す０図中１は加速電源、２はバイアス抵抗、３
はウェーネルト、４は引き出し電極、５はアノード、６
は検出抵抗、７は加熱電源、８はフィラメント、９は電
子線、１４は引き出し電源を示す。
メントと、発散しようとする電子を集束し制御するため
のウェーネルト、集束された電子線を加速するためのア
ノードの３極により構成され、アノードとフィラメント
との間には加速電圧が印加され、更にウェーネルトとフ
ィラメントとの間には、バイアス抵抗を利用してバイア
ス電圧が印加されるものである。またこのように構成す
ることにより、フィラメントから放出された熱電子は、
ウェーネルト電極により集束され、さらに加速電圧によ
り形成される電界によりアノードに向かって加速される
。加速電圧が数百ボルトから数十キロボルトの範囲で使
用される場合、低加速電圧時にはフィラメント近傍、で
の電界強度が不足し、空間電荷の影響で電子放出が抑制
され、電子源の輝度が低下する。この電子源の輝度の低
下を防止するために、４極タイプの電子銃が提案されて
いる（「電子顕微鏡ＪＶｏ１．１６、Ｎｏｌ、ｐ３２
（１９８１））、第２図にこの４極タイプの電子銃の回
路図を示す０図中１は加速電源、２はバイアス抵抗、３
はウェーネルト、４は引き出し電極、５はアノード、６
は検出抵抗、７は加熱電源、８はフィラメント、９は電
子線、１４は引き出し電源を示す。
この４極タイプの電子銃は、フィラメント８とアノード
５との間に電子線９を加速するための加速電源１、ウェ
ーネルト３とフィラメント８間にバイアスを印加するた
めのバイアス抵抗２、フィラメント８に対向して設けら
れる引き出し電極４とアノード５、検出抵抗６、フィラ
メントを加熱するための加熱電源７、引き出し電極４と
フィラメント８の間に引き出し電圧を印加する引き出し
電源１４から構成されている。即ち加速電圧を低電圧で
のみ使用する場合は、引き出し電源１４は低圧側から発
生させればよいが、高加速電圧でも使用しようとすると
引き出し電圧も高圧とする必要があり、この場合も含め
れば低圧側からでな（加速電源による高圧に浮かして引
き出し電圧を発生させる方が効率的である。
５との間に電子線９を加速するための加速電源１、ウェ
ーネルト３とフィラメント８間にバイアスを印加するた
めのバイアス抵抗２、フィラメント８に対向して設けら
れる引き出し電極４とアノード５、検出抵抗６、フィラ
メントを加熱するための加熱電源７、引き出し電極４と
フィラメント８の間に引き出し電圧を印加する引き出し
電源１４から構成されている。即ち加速電圧を低電圧で
のみ使用する場合は、引き出し電源１４は低圧側から発
生させればよいが、高加速電圧でも使用しようとすると
引き出し電圧も高圧とする必要があり、この場合も含め
れば低圧側からでな（加速電源による高圧に浮かして引
き出し電圧を発生させる方が効率的である。
しかしながら、電子銃に引き出し電源１４を配置するこ
とは、高圧に浮かすために絶縁構造とする必要があり電
ｆ１１４を配置するためのコストも高価なものとなると
いう問題点がある。
とは、高圧に浮かすために絶縁構造とする必要があり電
ｆ１１４を配置するためのコストも高価なものとなると
いう問題点がある。
そのため本願発明は４極電子銃における加速電圧、引き
出し電圧を容易に得ることができる高圧電源の提供を課
題とする。
出し電圧を容易に得ることができる高圧電源の提供を課
題とする。
本願発明の電子銃用高圧電源は、フィラメントとアノー
ド間に加速電位を印加する加速電源を配置すると共に、
フィラメントと引き出し電極との間に、ツェナーダイオ
ードと高圧電源とを切り換え可能に取り付けたことを特
徴とする。
ド間に加速電位を印加する加速電源を配置すると共に、
フィラメントと引き出し電極との間に、ツェナーダイオ
ードと高圧電源とを切り換え可能に取り付けたことを特
徴とする。
フィラメントとアノード間に加速電位を印加する加速電
源を配置すると共に、フィラメントと引き出し電極との
間に、ツェナーダイオードと高圧電源とを切り換え可能
に取り付けることにより、電子銃を高加速電圧で使用す
る場合にはツェナーダイオードの電圧降下作用を利用し
てフィラメントと引き出し電極間に電圧を発生させ、引
き出し電圧として利用することができるものであり、ま
た低加速電圧で利用する場合には、ツェナーダイオード
では高電圧を発生させることができないので、別途用意
された低圧側から電圧を発生する高電圧源により、引き
出し電極をプラスとして引き出し電極に電圧を印加する
ことができるものである。
源を配置すると共に、フィラメントと引き出し電極との
間に、ツェナーダイオードと高圧電源とを切り換え可能
に取り付けることにより、電子銃を高加速電圧で使用す
る場合にはツェナーダイオードの電圧降下作用を利用し
てフィラメントと引き出し電極間に電圧を発生させ、引
き出し電圧として利用することができるものであり、ま
た低加速電圧で利用する場合には、ツェナーダイオード
では高電圧を発生させることができないので、別途用意
された低圧側から電圧を発生する高電圧源により、引き
出し電極をプラスとして引き出し電極に電圧を印加する
ことができるものである。
以下、図面を用いて実施例を説明する。
第１図は本願発明の高圧電源回路図であり、図中１は加
速電源、２はバイアス抵抗、３はウェーネルト、４は引
き出し電極、５はアノード、６は検出抵抗、７は加熱電
源、８はフィラメント、９は電子線、１０はツェナーダ
イオード、１１は抵抗、１２は高圧電源、１３はスイッ
チ、１４は引き出し電源である。
速電源、２はバイアス抵抗、３はウェーネルト、４は引
き出し電極、５はアノード、６は検出抵抗、７は加熱電
源、８はフィラメント、９は電子線、１０はツェナーダ
イオード、１１は抵抗、１２は高圧電源、１３はスイッ
チ、１４は引き出し電源である。
第１図に示すように、従来の４極電子銃における引き出
し電源１４に代えて、ツェナーダイオード１０と高抵抗
１１、または高圧電源１２をスイッチ１３により切り換
え可能に配置する。
し電源１４に代えて、ツェナーダイオード１０と高抵抗
１１、または高圧電源１２をスイッチ１３により切り換
え可能に配置する。
このように配置することにより電子銃を高加速電圧で使
用する時には、スイッチ１３によりツェナーダイオード
ｌ〇−抵抗１１側に引き出し電極４を結線し、例えば加
速電圧が一２０ＫＶＯ時、引き出し電圧を一１７ＫＶと
なるようにすると、＋３ＫＶの引き出し電圧を引き出し
電極４に供給することができる。
用する時には、スイッチ１３によりツェナーダイオード
ｌ〇−抵抗１１側に引き出し電極４を結線し、例えば加
速電圧が一２０ＫＶＯ時、引き出し電圧を一１７ＫＶと
なるようにすると、＋３ＫＶの引き出し電圧を引き出し
電極４に供給することができる。
一方低加速電圧の場合には、引き出し電極はグランドに
対してプラス電圧となるのでツェナーダイオードでは電
圧を発生することができず、この場合にはスイッチ１３
により別途用意した高圧電源１２に引き出し電極４を結
線し、低圧側から電圧を発生して引き出し電極に電圧を
供給する。
対してプラス電圧となるのでツェナーダイオードでは電
圧を発生することができず、この場合にはスイッチ１３
により別途用意した高圧電源１２に引き出し電極４を結
線し、低圧側から電圧を発生して引き出し電極に電圧を
供給する。
電子顕微鏡における引き出し電極の電圧を、電子銃を高
加速電圧で使用する場合には、ツェナーダイオードで発
生させ、低加速電圧で使用する場合には低圧側から発生
させた高圧電源を使用することにより、従来の引き出し
電源を使用する場合に比較して同様の効果を少量の簡単
な部品を取り付けるだけで達成することができ、しかも
従来の引き出し電源のごとく高圧に浮かす必要がないの
で４極電子銃の製作を簡略化することができるものであ
る。
加速電圧で使用する場合には、ツェナーダイオードで発
生させ、低加速電圧で使用する場合には低圧側から発生
させた高圧電源を使用することにより、従来の引き出し
電源を使用する場合に比較して同様の効果を少量の簡単
な部品を取り付けるだけで達成することができ、しかも
従来の引き出し電源のごとく高圧に浮かす必要がないの
で４極電子銃の製作を簡略化することができるものであ
る。
第１図は、本願発明の高圧電源回路図、第２図は従来の
高圧電源回路図を示す。 図中、１は加速電源、２はバイアス抵抗、３はウェーネ
ルト、４は引き出し電極、５はアノード、６は検出抵抗
、７は加熱電源、８はフィラメント、９は電子線、１０
はツェナーダイオード、１１は抵抗、１２は高圧電源、
１３はスイッチ、１４は引き出し電源である。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 内１）亘彦（外４名）第１図 第２図
高圧電源回路図を示す。 図中、１は加速電源、２はバイアス抵抗、３はウェーネ
ルト、４は引き出し電極、５はアノード、６は検出抵抗
、７は加熱電源、８はフィラメント、９は電子線、１０
はツェナーダイオード、１１は抵抗、１２は高圧電源、
１３はスイッチ、１４は引き出し電源である。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 内１）亘彦（外４名）第１図 第２図
Claims (1)
- （１）フィラメントとアノード間に加速電位を印加する
加速電源を配置すると共に、フィラメントと引き出し電
極との間に、ツェナーダイオードと高圧電源とを切り換
え可能に取り付けたことを特徴とする電子銃用高圧電源
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63101569A JPH01274349A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 電子銃用高圧電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63101569A JPH01274349A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 電子銃用高圧電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01274349A true JPH01274349A (ja) | 1989-11-02 |
Family
ID=14304038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63101569A Pending JPH01274349A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 電子銃用高圧電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01274349A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9269520B2 (en) | 2014-02-14 | 2016-02-23 | Jeol Ltd. | Electron gun, method of controlling same, and electron beam additive manufacturing machine |
| WO2016110996A1 (ja) | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 技術研究組合次世代３Ｄ積層造形技術総合開発機構 | 電子銃、電子銃の制御方法および制御プログラム並びに３次元造形装置 |
-
1988
- 1988-04-25 JP JP63101569A patent/JPH01274349A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9269520B2 (en) | 2014-02-14 | 2016-02-23 | Jeol Ltd. | Electron gun, method of controlling same, and electron beam additive manufacturing machine |
| WO2016110996A1 (ja) | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 技術研究組合次世代３Ｄ積層造形技術総合開発機構 | 電子銃、電子銃の制御方法および制御プログラム並びに３次元造形装置 |
| US10217599B2 (en) | 2015-01-09 | 2019-02-26 | Technology Research Association For Future Additive Manufacturing | Electron gun, control method and control program thereof, and three-dimensional shaping apparatus |
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