JPH01276033A - 微小変位検出装置 - Google Patents
微小変位検出装置Info
- Publication number
- JPH01276033A JPH01276033A JP10499788A JP10499788A JPH01276033A JP H01276033 A JPH01276033 A JP H01276033A JP 10499788 A JP10499788 A JP 10499788A JP 10499788 A JP10499788 A JP 10499788A JP H01276033 A JPH01276033 A JP H01276033A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- permanent magnets
- detection device
- magnetic
- minute
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、伝動軸の伝達トルクや相対位置変位等の測定
装置に関し、特に、微小値を精度良く検出することがで
きる微小変位検出装置に関するものである。
装置に関し、特に、微小値を精度良く検出することがで
きる微小変位検出装置に関するものである。
（従来の技術）
一般に１回転軸、固定軸を問わず、伝動軸にトルクを加
えた場合、該伝動軸には軸方向に対して４５′の方向に
歪が生じる。
えた場合、該伝動軸には軸方向に対して４５′の方向に
歪が生じる。
従来、前記伝動軸に作用するトルクを検出するには、第
５図に示すごとく、伝動軸２１の軸方向に所定間隔を有
して、歯車１２．１３を固定し、該歯車２２．２３の歯
の相対位置の変位を磁気センサ又はフォトマル２４．２
５にて検出することにより測定していた。
５図に示すごとく、伝動軸２１の軸方向に所定間隔を有
して、歯車１２．１３を固定し、該歯車２２．２３の歯
の相対位置の変位を磁気センサ又はフォトマル２４．２
５にて検出することにより測定していた。
（発明が解決しようとする課題）
前記従来の技術に於ては、二つの歯車の相対変位を測定
しているため、歯の加工精度がトルクの測定精度を決め
ることになるが、歯車の加工精度にはコスト的にも限度
があり、微小相対位置の変化、即ち微小トルクを測定す
ることができなかった。
しているため、歯の加工精度がトルクの測定精度を決め
ることになるが、歯車の加工精度にはコスト的にも限度
があり、微小相対位置の変化、即ち微小トルクを測定す
ることができなかった。
また、測定精度のために、歯車の加工精度を上げようと
すると、コスト的に高価な装置となる欠点があった。
すると、コスト的に高価な装置となる欠点があった。
（課題を解決するための手段）
本発明は前記従来の技術に於ける課題を解決するために
なされたもので、所定間隔を有する二個の永久磁石と、
該二個の永久磁石の磁気パルスを、各々検出する磁気セ
ンサから成り、各磁気パルスの位相の変化を検出するこ
とにより。
なされたもので、所定間隔を有する二個の永久磁石と、
該二個の永久磁石の磁気パルスを、各々検出する磁気セ
ンサから成り、各磁気パルスの位相の変化を検出するこ
とにより。
前記二個の永久磁石の相対位置変化を測定することを特
徴とする微小角変位検出装置に関する。
徴とする微小角変位検出装置に関する。
（作用）
前記構成による本発明の微小変位検出装置は。
所定間隔を有する二個の永久磁石の各々から発するパル
スを測定し１例えば軸に作用するトルク等、測定物の条
件変化による９前後の各パルスの位相差を検出すること
により、前記二個の永久磁石間の相対変位を測定するこ
とができる。
スを測定し１例えば軸に作用するトルク等、測定物の条
件変化による９前後の各パルスの位相差を検出すること
により、前記二個の永久磁石間の相対変位を測定するこ
とができる。
従って、二個の永久磁石間の相対変位と、測定物の条件
変化の関係を、予め測定しておけば。
変化の関係を、予め測定しておけば。
前記永久磁石の相対変位を測定することによって、測定
物の条件変化を測定することができる。
物の条件変化を測定することができる。
（実施例）
以下１本発明の実施例である。伝動軸のトルク検出装置
について、第１図〜第４図に基づいて詳述する。
について、第１図〜第４図に基づいて詳述する。
第１図は１本実施例のトルク検出装置であり。
１は材質Ｓ ４３ Ｃ，直径１０φの伝動軸、２及び３
は材質Ｆｅ−ＣｒＣｏを主成分とする。直径３０φの磁
性体で、外周に１２０パルスの着磁を行った永久磁石で
ある。
は材質Ｆｅ−ＣｒＣｏを主成分とする。直径３０φの磁
性体で、外周に１２０パルスの着磁を行った永久磁石で
ある。
４．５は前記永久磁石２及び３の磁気パルスを検出する
ためのＭＲ素子であり、６．７は該ＭＲ素子４及び５の
磁気パルスを計測器（図示せず）に導くためのリード線
である。
ためのＭＲ素子であり、６．７は該ＭＲ素子４及び５の
磁気パルスを計測器（図示せず）に導くためのリード線
である。
なお、４及び５のＭＲ素子は、ホール素子等。
磁気パルスを検出できれば、必ずしもＭＲ素子に限定さ
れない。
れない。
また、永久磁石２及び３．の着磁は、第２図に示すごと
く、純鉄の磁心材８に、スイッチ１１を介して電源１０
に接続されたコイル９を巻きつけ、永久磁石材料２ａ、
３ａを所定角ずつ回転して、コイルを発振させ、同期さ
せることで。
く、純鉄の磁心材８に、スイッチ１１を介して電源１０
に接続されたコイル９を巻きつけ、永久磁石材料２ａ、
３ａを所定角ずつ回転して、コイルを発振させ、同期さ
せることで。
表面から全周に３６０個の垂直着磁を行った。
次に作用について説明すると、第１図に於て。
永久磁石２及び３の着磁位置を円周方向で完全に一致す
るよう着磁しておくと、ＭＲ素子４及 ４び５によって
検出される磁気パルスは第３図に示されるように位相差
がなく完全に一致する。
るよう着磁しておくと、ＭＲ素子４及 ４び５によって
検出される磁気パルスは第３図に示されるように位相差
がなく完全に一致する。
伝動軸ｌにトルクを作用すると、伝動軸１が捩られ、永
久磁石２及び３の着磁位置にズレが生じ、ＭＲ素子４及
び５で検出される磁気パルスにも、第４図に示すように
位相差δがが生じる。前記位相差δは、永久磁石２及び
３上の着磁個数が３６０個であるため、（δ／ｌ波長）
度の角度変化となるので、伝動軸ｌの材料の剛性からト
ルクの値を算出することができる。
久磁石２及び３の着磁位置にズレが生じ、ＭＲ素子４及
び５で検出される磁気パルスにも、第４図に示すように
位相差δがが生じる。前記位相差δは、永久磁石２及び
３上の着磁個数が３６０個であるため、（δ／ｌ波長）
度の角度変化となるので、伝動軸ｌの材料の剛性からト
ルクの値を算出することができる。
（発明の効果）
以上の通りであるため１本発明は着磁の精度を簡単に上
げることができるので、低コストで且つ、測定精度を向
上することができると共に。
げることができるので、低コストで且つ、測定精度を向
上することができると共に。
微小角の検出も精度良く測定することができる。
また、装置がコンパクトになり、非接触式であることか
ら耐久性も向上すると云う長所がある。
ら耐久性も向上すると云う長所がある。
第１図は１本発明の実施例である伝動軸のトルク検出装
置、第２図は第１図に於ける永久磁石の着磁装置、第３
図は本発明の実施例に於て。 トルクが作用していないときの磁気パルス、第４図は第
３図に於て、トルクが作用したときの磁気パルス、第５
図は従来の技術を示す図である。 １・・・伝動軸 ２．３・・・永久磁石２ａ、
３ａ・・・永久磁石材料 ４．５・・・ＭＲ素子 ６．７・・・リード線８・・
・磁心材 ９・・・コイルｌＯ・・・電源
１１・・・スイッチ特許出願人 株式会社小松
製作所 代理人 （弁理士）岡 １）和 喜 第１図 第２図
置、第２図は第１図に於ける永久磁石の着磁装置、第３
図は本発明の実施例に於て。 トルクが作用していないときの磁気パルス、第４図は第
３図に於て、トルクが作用したときの磁気パルス、第５
図は従来の技術を示す図である。 １・・・伝動軸 ２．３・・・永久磁石２ａ、
３ａ・・・永久磁石材料 ４．５・・・ＭＲ素子 ６．７・・・リード線８・・
・磁心材 ９・・・コイルｌＯ・・・電源
１１・・・スイッチ特許出願人 株式会社小松
製作所 代理人 （弁理士）岡 １）和 喜 第１図 第２図
Claims (1)
- 所定間隔を有する二個の永久磁石と、該二個の永久磁石
の磁気パルスを、各々検出する磁気センサから成り、各
磁気パルスの位相の変化を検出することにより、前記２
個の永久磁石の相対位置の変化を測定することを特徴と
する微小変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10499788A JPH01276033A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 微小変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10499788A JPH01276033A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 微小変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01276033A true JPH01276033A (ja) | 1989-11-06 |
Family
ID=14395738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10499788A Pending JPH01276033A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | 微小変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01276033A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018128407A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 日立金属株式会社 | ターボ用回転センサ及びターボチャージャ |
-
1988
- 1988-04-27 JP JP10499788A patent/JPH01276033A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018128407A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 日立金属株式会社 | ターボ用回転センサ及びターボチャージャ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2536566Y2 (ja) | 回転センサ | |
| EP3161420B1 (en) | Rotation angle measuring apparatus and measuring method | |
| CN101253389B (zh) | 转动角检测装置 | |
| US5229715A (en) | Variable reluctance sensor for electromagnetically sensing the rate of movement of an object | |
| JPH10318784A (ja) | 回転検出装置 | |
| JP2000065596A5 (ja) | 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダ付モータ | |
| US7024946B2 (en) | Assembly for measuring movement of and a torque applied to a shaft | |
| US20240369378A1 (en) | Motion Detector | |
| US20020175678A1 (en) | Arrangement for determining the position of a motion sensor element | |
| JPH01276033A (ja) | 微小変位検出装置 | |
| JPH07251305A (ja) | チャック装置を備えた電動工具 | |
| JP3094049B2 (ja) | トルクセンサ | |
| JP2007285741A (ja) | 回転検出装置 | |
| US11512980B2 (en) | Absolute position detection device and detection method of rotating body | |
| US11639860B2 (en) | Absolute position detection device and detection method of rotating body using magnetic material | |
| JP7709324B2 (ja) | トルク測定装置、トルク測定装置用の磁界発生装置、および、トルク測定装置用の磁界検出装置 | |
| EP0391160A1 (en) | Variable reluctance sensor for detecting the rate of rotary or linear movement | |
| JPS6013449A (ja) | サ−ボモ−タ | |
| JPH0443215B2 (ja) | ||
| JPS6145906A (ja) | 回転角度検出方式 | |
| JPS61253418A (ja) | エンコ−ダ装置 | |
| JPH0261531A (ja) | 捩れ角検出装置 | |
| JPH0526748A (ja) | 軸上のトルクの測定装置 | |
| JP2006322784A (ja) | トルク検出装置、回転速度検出装置及び回転角度検出装置 | |
| JP2026068858A (ja) | 磁気式エンコーダ装置 |