JPH01277807A - 光合分波器 - Google Patents

光合分波器

Info

Publication number
JPH01277807A
JPH01277807A JP63108352A JP10835288A JPH01277807A JP H01277807 A JPH01277807 A JP H01277807A JP 63108352 A JP63108352 A JP 63108352A JP 10835288 A JP10835288 A JP 10835288A JP H01277807 A JPH01277807 A JP H01277807A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
directional coupler
wavelength
demultiplexer
directional
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63108352A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0782140B2 (ja
Inventor
Katsuyuki Imoto
克之 井本
Naoto Uetsuka
尚登 上塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Cable Ltd filed Critical Hitachi Cable Ltd
Priority to JP63108352A priority Critical patent/JPH0782140B2/ja
Publication of JPH01277807A publication Critical patent/JPH01277807A/ja
Publication of JPH0782140B2 publication Critical patent/JPH0782140B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、波長の異なる光信号を合波、分波したりする
光合分波器に関するものである。
[従来の技術〕 光フアイバ通信における光波長多重伝送技術は通信シス
テムの経済化を図る上で重要である。
上記光波長多重伝送において、光合分波器は必須のデバ
イスである。光合分波器の構成法とし。
て、最近、低コスト化、1チツプモノリシツク化をめざ
した導波路型構造を研究する動きがでてきた。その−例
として、方向性結合器形光分波器(N、Takato、
他:高シリカ埋込みチャンネル導波路を用いた低損失方
向性結合器、OEC’86、テクニカルダイジェ、スト
、A3−3.198147 月)がある、これは第11
図に示すように、二つの光導波路5.6を並行に配置さ
せ、二つの光導波路の結合の波長依存性を利用して光分
波特性を得る方法である。また高アイソレーシヨン特性
を得る構成法として、第12図に示すように3つの方向
性結合器100,200,300と2つの合波器201
゜301を1続接続する構成法がある(佐々木、大黒二
方向性結合器形光分波器、昭和53年度電子通信学界総
合全国大会、86−2) 。
[発明が解決しようとする課H] 第11図の構成の光分波器は第13図の波長特性で示す
ように、波長1.3μmと1.55μmの光分波を考え
た場合、高アイソレーション(通過域減衰量20dB以
上)を保持する帯域幅が30nrg程度しかない、その
ため、半導体発光素子(たとえば、半導体レーザ)の温
度変動によって上記波長1.3μlと1.55μmの値
が変動すると、希望波長を分波した系6に非希望波長の
光信号が漏洩してきて干渉(クロストーク)を起こし、
信号品質を劣化させるという問題がある。
第12図の構成の光分波器は、高アイソレーシヨン特性
を得ることが可能である。しかし、方向性結合器は結合
部の長さAが5nn前後、結合部の前後の入、出力導波
路の長さが約10+nn近くもあり、1個の方向性結合
器の長さ(X方向)は15nl程度であるのに対し、導
波路の幅は10μm前後、導波路と導波器の間隔も数μ
mのため、Y方向の幅は0.2nn以下となり、非常に
細長い構造である。しかも上記構成は、上記方向性結合
器3個と合波器2個を縦続接続しているため、全体とし
てX方向長さが約70nm、 Y方向の幅が約0.5r
alの非常に細長い構造のものになる。
そのために、ホトリソグラフィ、エツチングなどの導波
路のバターニング工程時における面内露光の不均一性、
ドライエツチングの面内不均一性などによって面内での
パターン寸法の製造偏差が非常に大きくなる。この寸法
偏差は光分波器の中心波長のずれを生じさせ、また通過
域損失の増大、阻止域減衰量の減少をもたらし、クロス
トークの増大を招く。
また上記のように非常に細長い構造であると取扱いがむ
ずかしく、破断したり、パッケージ化の際に基板に反り
を生じさせる。この基板の反りは中心波長のずれは勿論
の事、分波特性に偏光特性をもたらす。
さらに、1枚の大きな基板(たとえば、直径4インチの
基板)に上記光分波器を10数個〜数10個形成した場
合に、上記光分波器は非常に細長いために切断、加工の
際に破断し易く非実用的である。
本発明の目的は、前記した従来技術の問題点を解決させ
ることのできる光合分波器を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明の光合分波器は、波長選択性を有する2入力、2
出力の方向性結合器を少なくとも3つ用い、第1の方向
性結合器の相異なる出力端子に第2、第3の方向性結合
器の入力端子の一つを接続し、第2、第3の方向性結合
器の出力端子の一つ同志を接続して閉ループを構成し、
波長の興なる2つの光信号を第1の方向性結合器の1つ
の入力端子に入力した場合に、各波長の光信号が少なく
とも上記3つの方向性結合器内を順次通るように構成し
たものである。
各方向性結合器を構成する伝送路および方向性結合器間
を接続する伝送路は、光ファイバスは光導波路のいずれ
かで構成できる。
また、方向性結合器の少なくとも一つの端子に半導体光
素子を少なくとも一つ接続して光モジユール化すること
もできる。ここで半導体素子としては、アバランシェフ
ォトダイオード等の受光素子や半導体レザ、発光ダイオ
ード等の発光素子がある。
[作用] 波長がλ1.λ2の相異なる2つの光信号を第1の方向
性結合器の1つの入力端子に与えた場合、λ1.^2の
各波長の光信号が波長選択性を有する3つの方向性結合
器を順次通って導波される関係は、例えば波長λ1を分
波する波長選択性λ1の方向性結合器と、波長λ2を分
波する波長選択性λ2の方向性結合器との組合せにより
実現される。
方向性結合器は2入力、2出力の4端子を有するため、
第1、第2、第3の方向性結合器の接続の仕方は、幾通
りかの組合せとなるが、第1の方向性結合器と第2の方
向性結合器との間の接続には何らの制約も伴わない、要
は、第2、第3の方向性結合器が第1の方向性結合器に
より分波されなλ1.λ2の光信号の一方を受ければよ
い。
第2又は第3の方向性結合器が波長選択性λ1を有する
方向性結合器である場合、当該方向性結合器が波長λ1
の光信号を受ければ、当該方向性結合器においても波長
^1が分波されてその分波出力端子にλ1が現われるし
、波長λ2の光信号を受ければ、その導波出力端子に波
長λ2が導波される。同様に、波長選択性^2を有する
方向性結合器である場合には、当該方向性結合器が波長
^2の光信号を受ければ、当該方向性結合器においても
波長λ2が分波されてその分波出力端子にλ2が現われ
るし1、波長λ1の光信号を受ければその導波出力端子
に波長λ1が導波される。
第2、第3の方向性結合器における1つの出力端子同志
間の接続は、上記のようにして分波又は導波されるλ1
又はλ2の光信号を、他方の方向性結合器の1つの出力
端子に与えて当該他方の方向性結合器の入力端子のうち
第1の方向性結合器に接続されないで残っている端子に
、導波又は分波させる。
結局、第1の方向性結合器で分割された波長λ1の光信
号及び波長λ2の光信号は、それぞれ更に、第2の方向
性結合器、第3の方向性結合器を1回づつ通り、その都
度異なる波長λ2又はλ1の光信号の洩れ込みを除去し
つつ希望光信号受信端に現われる。従って、超高アイソ
レーション特性を実現できると共に、XおよびY方向の
寸法サイズがほぼバランスのとれた構成となる。
[実施例] 本発明の光合分波器は、第9図あるいは第10図に示し
た方向性結合器を用いて構成される。まず、これらの方
向性結合器について説明する9第9図(a)は波長λ1
の光信号を分波する方向性結合器を示したものであり、
模式的には第9図(b)のように表わされる。−側の光
導波器5に属する入力ポート1に入射した波長λ1.λ
2の光信号のうち、他側の光導波路5に属する出力ボー
ト4に波長λ1の光信号が完全に移る場合の結合部7の
結合長りを完全結合長といい、第9図(a)の方向性結
合器の場合、結合長pを、 L(λ2) 偶数 な選ぶと、波長選択性λ1を有する第9図(b)の方向
性結合器8となり、波長λ1の光信号は出力ボート4f
FIへ、波長λ2の光信号は出力ボート3側を伝搬して
いく。
同様にして、第10図(a)に示す方向性結合器の場合
には、 L(λ2) 奇数 のように結合長1を選ぶと、波長λ2の光信号を分波す
る、即ち波長選択性λ2を有する方向性結合器9となり
、波長λ1の光信号は、出力ボート3側に、波長λ2の
光信号は出力ボート4側を伝搬していく9 本発明の光分波器は、波長選択性λ1を有する第9図(
b)の方向性結合器8と波長選択性λ2を有する第10
図(b)の方向性結合器9とを組合せて構成したもので
、その基本構成の第1の実施例を第1図に示す。
第1図は3つの方向性結合器を用いて構成した光分波器
の実施例であり、第1の方向性結合器10及び第2の方
向性結合器20は波長選択性λ1を有する方向性結合器
8(第9図)から成り、第3の方向性結合器30は波長
選択性^2を有する方向性結合器9(第10図)から成
る。詳述するに、第1の方向性結合器10の2出力端子
のうちの一方の出力端子13に第2の方向性結合器20
の入力端子22を、他方の出力端子14に第3の方向性
結合器30の入力端子31を接続し、第2の方向性結合
器20の出力端子24と第3の方向性結合器30の出力
端子33とを接続して閉ループを構成したものである。
第1の方向性結合器10の1つの入力端子11に入射し
、た波長λ1、^2の光信号のうち、波長λ1の光信号
は、第1の方向性結合器10により分波されてその出力
端子14にとりだされ、第3の方向性結合器30の入力
端子31に入射する。
そして出力端子33にとりだされ、第2の方向性結合器
20の出力端子24に逆に入射し、ここで分波されて第
2の方向性結合器20端子21にとりだされる。
一方、入力端子11に入射した波長λ2の光信号は、第
1の方向性結合器10の出力端子13に導波され、第2
の方向性結合器20の入力端子22に入射し、その出力
端子24に導波されて第3の方向性結合器30の出力端
子33に逆に入射する。そして、この第3の方向性結合
器30で分波されて端子32にとりだされる。
このように、波長λ1.λ2の光信号がともに3つの方
向性結合器をそれぞれ通ることにより、波長の分離度が
高められ、波長λ1の出力される端子21への波長λ2
の光信号のもれ込み、逆に波長λ2の出力される端子3
2への波長λ1の光信号のもれ込みがほとんどない超高
アイソレーション特性を実現させることができる。これ
は3つの方向性結合器10,20.30で閉ループを構
成することによって実現されるものである。
第2図は第1図の構成の光分波器の分波特性を計算した
結果を示したものである。同図かられかるように、通過
域減衰量20dB以上を保持する帯域幅は約200r+
Ilもあり、従来の方向性結合器1個を用いた構成のも
のの場合の6倍以上も広い。次にサイズの面で見ると、
分波特性の面からは方向性結合器を3個縦続接続した場
合と同等な特性を持っているにもかかわらず、X方向に
は方向性結合器を2つ縦続接続した長さでよ<、Y方向
にも方向性結合器を3つ以上並列に配置した長さをとる
必要がある。なぜならば、端子24と33を接続する曲
線の伝送路での曲率半径が小さいと、放射損失が大きく
なるからである。従って、XおよびY方向の寸法サイズ
のバランスがよくなり、従来のような非常に細長い構造
が改善される。
第3図に本発明の光分波器の第2の実施例を示す。
これは第1図の場合と異なり第1及び第3の方向性結合
器10.30に波長λ1の光信号を分波するものを用い
、第2の方向性結合器20に波長λ2の光信号を分波す
るものを用いた場合である。
閉ループの構成は、第2、第3の方向性結合器20.3
0間の接続が出力端子23.34間に変っている点を除
き、第1図の場合と同様であり、端子1・3と22の接
続、端子23と34の接続、端子14と31の接続によ
って実現されている。
次にこの第3図の構成の動作について説明する。
入力端子11に入射した波長λ1.λ2の光信号のうち
、波長λ1の光信号は、第1の方向性結合器10で分波
されてその出力端子14にとりだされ、入力端子31を
通して第3の方向性結合器30に入射する。そして、こ
の第3の方向性結合器30でも分波されてその出力端子
34にとりだされ、第2の方向性結合器20の出力端子
23を通して第2の方向性結合器20に入射し、端子2
1に導き出される。
一方、入力端子11に入射した波長λ2の光信号は、第
1の方向性結合器10の出力端子13にとりだされ、入
力端子22を通して第2の方向性結合器20に入射し、
ここでも分波されて第2の方向性結合器20の出力端子
23にとりだされる。
そして、端子34に導かれて第3の方向性結合器30に
入射し、端子32に導き出される。
このように、第3図の光分波器においても波長λ1.λ
2の光信号が3つの方向性結合器を通ることにより、波
長の分離度がよくなり、お互いに非希望波長の光信号の
もれ込みが抑圧され、超高アイソレーション特性が実現
される。
第4図は本発明の光分波器の第3の実施例を示したもの
である。
すなわち、第1、第2方向性結合器10.20に波長λ
2の光信号を分波するものを用い、第3の方向性結合器
30に波長λ1の光信号を分波するものを用いた場合の
例である。この場合には、波長λ1の光信号は第3の方
向性結合器3oの端子32に、波長λ2の光信号は第2
の方向性結合器20の端子21にそれぞれとりだされる
第5図はさらに高アイソレーシヨン特性を実現するため
に、第4図の第2、第3の方向性結合器20.30の外
側に第4、第5の方向性結合器40.50を並置し、合
計5個の方向性結合器を用いて構成し、た光分波器の実
施例を示したものである。第2の方向性結合器20の端
子21に第4の方向性結合器40の1つの入力端子42
が接続され、第3の方向性結合器30の端子32に第5
の方向性結合器50の1つの入力端子51が接続されて
いる。
入力端子11に入射した波長λ1.λ2の光信号のうち
、波長λ1の光信号は、方向性結合器10.30.20
を順次通って第2の方向性結合器20の端子21に導き
出され、入力端子42を通して第4の方向性結合器40
に入射し、その出力端子44にとりだされる。一方、入
力端子11に入射した波長λ2の光信号は、方向性結合
器10.20.30を順次通って第3の方向性結合器3
0の端子32に導き出され、入力端子51を通して第5
の方向性結合器50に入射し、その出力端子53にとり
だされる。
このように、波長λ1.λ2の光信号ともに4つの方向
性結合器を通るので、波長間の干渉は抑圧され、高アイ
ソレーシヨン特性が得られる。
第6図は第5図の光分波器の分波特性の計算結果を示し
たもので、第2図に較べ、縦軸の通過損失(dB)の目
盛が大きくなっており、高アイソレーシヨン特性が得ら
れていることが判る。また第5図の構成の下でも光分波
器のXおよびY方向の寸法サイズがバランスよくなると
いう特徴を有する。
第7図は双方向伝送用の光合分波器として使用する実施
例を示したものである。
その構成は第5図と同じであるが、第5の方向性結合器
50の端子53より波長λ2の光信号を入射させ、第1
の方向性結合器10の端子11より上記波長λ2の光信
号を送り出すようにしたものである。
第8図(a)、 (b)は第1図の光分波器を導波路構
造で実現した場合の実施例を示したものである。
すなわち、石英ガラス、Siなどの基板60の上にバッ
ファ層(屈折率nb)61を形成し、その上に屈折率n
  [n  >nb)のコア層62.63゜C 64,65を形成し、全体を屈折率n   (ncl 
   cl < n c )のクラッド層66で被覆し、た埋込み型
導波路で構成されている。このような導波路構造にする
と、半導体プロセスにより量産化が可能となり、大幅な
低コスト化が容易となる。
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その精
神の範囲内で任意に改変し、修正することかできる。例
えば、光分波器或いは光合分波器は、光フアイバ型の方
向性結合器と光ファイバを用いて構成し、てもよく、ま
た導波路と光ファイバの組合せでもよい。開放端子(例
えば、第8図の端子23)には光信号漏洩量をモニタす
るための光モニタ部71を接続し、て漏洩光信号をモニ
タするようにしてもよい。この場合、光モニタ部71は
例えば受光素子、電気信号に変換された信号を増幅する
回路、受信された信号強度を基準信号レベルと比較する
ための比較回路、受光素子を駆動する回路などを含んで
構成することができる。また開放端子(たとえば、第8
図の端子34)からの漏洩光が反射して希望光信号受信
端子(たとえば、端子32)にもれ込むのを抑圧するた
め、開放端子34の導波路形状を、第8図(a)にテー
バ状部340として示すごとく、先細りに形成して基板
60内に放射させてしまうようにすれば有効である。ま
た分波された光信号をとりだす端子(たとえば、端子3
2)には、受光素子、受光素子を駆動する回路、電気増
幅回路、などからなる光受信部72を接続し2て、光モ
ジユール構成にしてもよい。さらに、光合分波器の場合
には、光信号送出端子(たとえば第7図の端子53)に
半導体レーザ、発光ダイオードのような光発光部を設け
て光モジユール化してもよい。
[発明の効果] 本発明の光合分波器においては、波長の異なる2つの光
信号を入力した場合に各波長の光信号が少なくとも3つ
の方向性結合器内を順次通るため、超高アイソレーショ
ン特性を実現させることができる。
また、上記アイソレーション特性は方向性結合器を3段
縦続接続した特性であるのにも拘らず、本発明の光合分
波器は、長手方向の寸法が2段縦続接続した寸法程度に
短く、その分、幅方向の寸法を拡げることができ、光合
分波器のXおよびY方向の寸法サイズをほぼバランスの
とれた構成にすることができる。従って、導波路のパタ
ーニング工程時における面内露光の不均一性、ドライエ
ツチングの面内不均一性などを大幅に改善することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光分波器の実施例を示す図、第2図は
その分波特性の計算結果を表した図。 第3図、第4図および第5図はそれぞれ本発明の光分波
器の他の実施例を示す図、第6図は第5図の光分波器の
分波特性の計算結果を示す図、第7図は双方向伝送用光
合分波器として使用する場合を例示した図、第8図の(
a)は本発明に従った導波路型光分波器の具体例を示す
平面図、(b)はそのA−A断面図、第9図の(a)及
び(b)は本発明に用いる方向性結合器の構成図及び動
作原理図、第10図の(a)及び(b)は本発明に用い
る他の種類の方向性結合器の構成図及び動作原理図、第
11図及び第12図はそれぞれ従来の光分波器の構成図
、第13図は第11図の光分波器の分波特性の本発明者
による計算結果を示した図である。 図中、10は第1の方向性結合器、11.12は入力端
子、13.14は出力端子、20は第2の方向性結合器
、21.22は入力端子、30は第3の方向性結合器、
31.32は入力端子、33.34は出力端子、40は
第4の方向性結合器、41.42は入力端子、43.4
4は出力端子、50は第5の方向性結合器、51.52
は入力端子、53.54は出力端子、60は基板、61
はバッファ層、62〜65はコア層、66はクラッド層
、71は光モニタ部、72は光受信部を示す。 10:第1めj秤哨奄詠 第1図 第2図 Lx 第5図 第7図 第8図 第9図 !−L(λ°)=  ダピ( L(λ2)  耐裂 (b) 第10図 3E!、長 (%m) 第13図 回 1事件の表示 昭和 63 年 特  許 願第 108352  号
2発明の名称 事件との関係 特  許 出願人 4補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄。 5補正の内容 明細書第6頁第9行の「半導体レザ」を「半導体レーザ
」と訂正する。 以  上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、波長選択性を有する2入力、2出力の方向性結合器
    を少なくとも3つ用い、第1の方向性結合器の相異なる
    出力端子に第2、第3の方向性結合器の入力端子の一つ
    を接続し、第2、第3の方向性結合器の出力端子の一つ
    同志を接続して閉ループを構成し、波長の異なる2つの
    光信号を第1の方向性結合器の1つの入力端子に入力し
    た場合に、各波長の光信号が少なくとも上記3つの方向
    性結合器内を順次通るようにしたことを特徴とする光合
    分波器。 2、方向性結合器を構成する伝送路および方向性結合器
    間を接続する伝送路を、光ファイバスは光導波路のいず
    れかで構成したことを特徴とする請求項1記載の光合分
    波器。 3、請求項1又は2記載の光合分波器の方向性結合器の
    少なくとも一つの端子に半導体光素子を少なくとも一つ
    接続して光モジュール化したことを特徴とする光合分波
    器。
JP63108352A 1988-04-30 1988-04-30 光合分波器 Expired - Fee Related JPH0782140B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63108352A JPH0782140B2 (ja) 1988-04-30 1988-04-30 光合分波器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63108352A JPH0782140B2 (ja) 1988-04-30 1988-04-30 光合分波器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01277807A true JPH01277807A (ja) 1989-11-08
JPH0782140B2 JPH0782140B2 (ja) 1995-09-06

Family

ID=14482535

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63108352A Expired - Fee Related JPH0782140B2 (ja) 1988-04-30 1988-04-30 光合分波器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0782140B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06265746A (ja) * 1993-01-14 1994-09-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 双方向波長多重伝送装置
WO2022161410A1 (zh) * 2021-01-28 2022-08-04 华为技术有限公司 集成化的光收发装置和光线路终端

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06265746A (ja) * 1993-01-14 1994-09-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 双方向波長多重伝送装置
WO2022161410A1 (zh) * 2021-01-28 2022-08-04 华为技术有限公司 集成化的光收发装置和光线路终端

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0782140B2 (ja) 1995-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2531634B2 (ja) 光合分波器
US8433196B2 (en) Optical band splitter/combiner device comprising a three-arms interferometer
CN114641720B (zh) 偏振系统和方法
AU709321B2 (en) An acousto-optical waveguide device, tunable, with a polarisation independent response, and a method for the acousto-optical processing of optical signals
US5179604A (en) Waveguide-type coupler/splitter
CN117043650A (zh) 低损耗、低串扰光模式多路复用器和光学交叉互连件
JPH08304664A (ja) 波長分波素子
JP3651876B2 (ja) 波長多重光信号の合分波方式
US6724954B2 (en) Optical multiplexer/demultiplexer
JP2002341165A (ja) 光波長合分波器およびその使用方法
JPH0618735A (ja) 4波多重伝送用導波路型光合分波器、8波多重伝送用導波路型光合分波器及び複数波多重伝送用導波路型光合分波器
JP3391650B2 (ja) 光スプリッタ
JPH01277807A (ja) 光合分波器
JP2001108846A (ja) 導波路グレーティングルータ
JP3042664B2 (ja) 光周波数選択スイッチ
CN110941048B (zh) 基于多模干涉原理的高消光比粗波分复用/解复用器
JPH0659291A (ja) 4波多重伝送用導波路型光合分波器および8波多重伝送用導波路型光合分波器
JP2003004959A (ja) 導波路型光合波器とこれを用いた多波長光源
JP2000155228A (ja) 波長ルータ
JP2021157130A (ja) 光導波路素子
JPH0196605A (ja) 波長多重分波素子
KR100416983B1 (ko) 평면 광도파로 소자 모듈의 정렬 장치
JPS63287125A (ja) 波長多重双方向伝送方法
KR20190115757A (ko) 광 회로 소자
JPH01214804A (ja) 光合分波器及びそれを用いた光モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees