JPH0128675Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案はプラスチツクで封止された半導体の
チツプを露出させて不良解析時の検査あるいは品
質チエツクに使用できるようにするオープナ装置
において半導体のパツケージに溶解用の液体を噴
射するオープナ装置のポンプに関するものであ
る。

［従来技術］ 従来のオープナ装置のポンプは、ケーシング内
に設けられた回転翼車が駆動軸によつて駆動さ
れ、該回転翼車の回転でノズルから溶解用の液体
が噴射される構造となつている。

［考案が解決しようとする問題点］ かかるポンプにおいて噴射する溶解用の液体に
は、例えば、硫酸を用いている。硫酸は溶解効率
の向上を図るためにヒータによつて約290℃まで
高めて使用している。

このため、ケーシング内で蒸気が発生する。こ
の蒸気が駆動軸を伝つて軸受部・駆動部へ流れる
と故障等の原因につながる所から駆動軸回りをシ
ールする必要があつた。

駆動軸回りのシールは一般にシール部材によつ
てシールされるが、前記した如く硫酸を高温で使
用するため耐熱、耐酸性が要求され、シール部材
の寿命が著しく短い問題があつた。

そこで、この考案は長期間に亘つて安定したシ
ールが確保されるオープナ装置のポンプを提供す
ることを目的としている。

［問題を解決するための手段］ 前記目的を達成するためにこの考案にあつて
は、エンジンプレートを備えたケーシング内に回
転翼車を設け、該回転翼車の翼車室と連通し前記
エツジプレートの下位にノズルを設けると共に回
転翼車より延長され前記ケーシングより外方へ突
出した駆動軸を回転自在に支持し、前記ケーシン
グに、前記駆動軸の軸回りに沿つてエアーが流れ
るシール部を設けてある。

［作用］ かかるポンプにおいて、駆動軸によつて駆動さ
れる回転翼車により振り出された溶解用の液体
は、ノズルよりエツジプレート側へ噴射される。
この時、ケーシング内で発生した蒸気はシール部
によつて駆動部側への蒸気の逃げが阻止されるよ
うになる。

［実施例］ 以下、第１図と第２図の図面を参照しながらこ
の考案の一実施例を詳細に説明する。

図中１はケーシングを示しており、該ケーシン
グ１は耐熱・耐酸性の材質で形成されている。

ケーシング１の上部３には半導体５をセツトす
るエツジプレート７が設けられると共に硫酸貯留
層９へ続く取入口１１が設けられている。硫酸貯
留層９内の硫酸は、ケーシング１内の硫酸が仕事
を終えて排出されると制御弁（図示しない）が開
いてケーシング１内に送り込まれるようになつて
いる。

取入口１１から送り込まれるケーシング１内の
硫酸はヒータ１３によつて約290℃に高められる。
ヒータ１３の電源部１５は温度センサ（図示して
いない）によつて硫酸が約290℃となるよう管理
制御される。

一方、ケーシング１の底部には仕切壁１７によ
つて回転翼車１９が収納された翼車室２１が形成
され翼車室２１の底部には仕事を終えた排液を図
外の貯留タンクへ送り出すための排出部２３が設
けられている。また、翼車室２１は前記エツジプ
レート７の下位に配置されたノズル２５と連通し
ている。

回転翼車１９は耐熱・耐酸性の材質で形成され
該翼車１９の高速回転で前記ノズル２５側へ溶解
用の液体を送り出す機能を有し、モータ２７によ
つて駆動される駆動軸２９に装着支持されてい
る。

駆動軸２９は前記回転翼車１９より仕切壁１７
の開口１７ａを抜けて延長されケーシング１の上
部３を貫通し、該ケーシング１の上部３において
ベアリング等の軸受３１によつて回転自在に支持
されている。なお、軸受３１より延長された駆動
軸２９の軸端部にはプーリ３３が設けられ該プー
リ３３は前記モータ２７のプーリ３５と伝導ベル
ト３７を介して伝導している。

また、前記駆動軸２９が貫通したケーシング１
にはシール部３９が設けられている。

シール部３９は駆動軸２９の軸回りに沿つてエ
アーが流れる通路４１が設けられている。通路４
１の一端は、吸入口４３よりエアーポンプ４５の
吐出口４７と接続連通している。また、通路４１
の他端は外部に解放され、吸入口４３からのエア
ーは通路４１を通り大気中へ抜けるようになつて
いる。

なお、４９はケーシング１内で発生した蒸気を
大気中へ逃がす制御弁を示している。

このように構成されたポンプにおいて、回転翼
車１９の回転で翼車室２１内の熱硫酸はノズル２
５よりエツジプレート７側へ噴射される。これに
より、エツジプレート７にセツトされた半導体５
のパツケージは溶解される。以下チツプが露出す
るまで噴射が続けられる。

一方、ケーシング１内で発生した蒸気はシール
部３９によつて軸受３１側へ逃げることがなくな
る。この結果、軸受３１は蒸気の影響を受けるこ
とがなくなり、駆動軸２９は長期間に亘つて安定
した回転が可能となる。

［考案の効果］ 以上、説明したようにこの考案のオープナ装置
のポンプによれば、駆動軸回りはエアーによるシ
ール部となつているため、耐熱・耐酸性を要求さ
れる所でも長期間に亘つて安定したシールが確保
されるようになる。また、シール抵抗がないため
回転面でも大変好ましいものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案のオープナ装置を示した概要
切断面、第２図は同上の平面図である。 主要な図面符号の説明、１……ケーシング、７
……エツジプレート、１９……回転翼車、２１…
…翼車室、２５……ノズル、２９……駆動軸、３
９……シール部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. エツジプレートを備えたケーシング内に回転翼
   車を設け、該回転翼車の翼車室と連通し前記エツ
   ジプレートの下位にノズルを設けると共に回転翼
   車より延長され前記ケーシングより外方へ突出し
   た駆動軸を回転自在に支持し、前記ケーシング
   に、前記駆動軸の軸回りに沿つてエアーが流れる
   シール部を設けたことを特徴とするオープナ装置
   のポンプ。