JPH0128685Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は半導体ペレツトマウント装置などに利
用される半導体ペレツト位置決め装置に関する。

従来の技術 半導体ペレツト（以下ペレツト称す）をリード
フレームや放熱板、ハイブリツトIC基板などに
マウントする場合は、所定位置のペレツト群から
１つのペレツトを真空吸着コレツトで取り出して
位置決め専用の中継ステージ上に供給し、中継ス
テージ上でペレツトを正確に位置決めしてから、
このペレツトを同じ又は別のコレツトで吸着して
リードフレーム等に供給することが一般に行われ
ている。上記中継ステージ上でのペレツト位置決
めはペレツトが矩形であることを利用して、ステ
ージ上に供給されたペレツトの４辺を複数の爪で
押し込むことで通常行われており、その従来装置
の一例を第５図及び第６図を参照して次に説明す
る。

第５図及び第６図において、１はペレツト、２
はペレツト位置決め用ステージで、定位置に水平
に固定される。３ａ〜３ｄはステージ２の平坦な
上面に摺動可能に90゜間隔で設置された４つのペ
レツト位置決め用爪、４は爪３ａ〜３ｄを同時に
駆動させる爪駆動部である。４つの爪３ａ〜３ｄ
はステージ２の上面中心から等距離の位置にあつ
て、ステージ２上に位置決めされたペレツト１の
４辺の直交二方向をＸ，Ｙ方向とすると対向する
２つの爪３ａ，３ｃはＸ方向に、残りの対向する
２つの爪３ｂ，３ｄはＹ方向に延びる。爪駆動部
４は各爪３ａ〜３ｄの後端部から枢着される下方
端５′に延びる４本のレバー５，５…と、各レバ
ー５，５…の中間部を回転自在に枢着する支軸
６，６…と各レバー５，５…の下端部に回転自在
に取付けられたローラ７，７…と、各ローラ７，
７…に常時弾圧接触する円錐形の頭部８を有する
昇降ロツド９と、昇降ロツド９を上下動させるシ
リンダ等の上下駆動源１０を有する。

ステージ２の上面中央部分に１つのペレツト１
が供給されると、昇降ロツド９が上昇して図面の
鎖線で示すように４つのレバー５，５…を支軸
６，６…を支点に同時に回動させ、これにより４
つの爪３ａ〜３ｄが同時にステージ中心に向け移
動を始め、各爪３ａ〜３ｄの先端でペレツト１の
４辺が押されて、ペレツト１がステージ２の中央
部上に位置決めされる。このペレツト位置決めが
終わると昇降ロツド９が下降し、ペレツト１から
爪３ａ〜３ｄが離れて元の位置に戻る。

考案が解決しようとする問題点 このようなステージ上でのペレツトを爪にて位
置決めする装置は、ペレツトサイズに応じた爪を
用いる必要がある。即ち、上記ペレツト位置決め
装置において、ペレツト１のサイズが小さく変更
されると、４つの爪３ａ〜３ｄをペレツト位置決
めのために共に前進させた時に、爪３ａ〜３ｄの
先端同士が邪魔をして、変更された小ペレツトの
４辺に当らなくなり、ペレツト位置決めができな
くなることがある。逆にペレツト１のサイズが大
きく変更されると、この大ペレツトの４辺に対し
て爪３ａ〜３ｄの先端だ小さ過ぎて、正確なペレ
ツト位置決めが期待できなくなる。そこで、この
ようなペレツトサイズに応じて適切な大きさの爪
を用意し、ペレツトサイズを変更する場合には、
その変更に応じた爪に交換するようにしている
が、この爪交換作業に多大な工数を要して、ペレ
ツトマウント装置の稼動率を要くしていた。

また各爪３ａ〜３ｄは昇降ロツド９の押し下げ
で前進してペレツト１に当るので、昇降ロツド９
が早く下がると、ペレツト１に爪３ａ〜３ｄが強
い力で無理に押し付けられてしまい、ペレツト１
に割れ、欠けが生じることがあつた。

問題点を解決するための手段 本考案は上記問題点に鑑みてなされたもので、
半導体ペレツトが供給されるフラツトな上面を有
するステージと、このステージ上に平行に一方向
にバネ材を介して張設された一対の第１、第２ワ
イヤと、前記ステージ上に平行に前記第１、第ワ
イヤと交叉する方向にバネ材を介して張設された
一対の第３、第４ワイヤと、前記ステージ上で第
１、第２ワイヤを互いに近接及び離反させる第１
ワイヤ駆動手段及び第３、第４ワイヤを互いに近
接及び離反させる第２ワイヤ駆動手段を有するワ
イヤ駆動部とを具備したペレツト位置決め装置に
より上記問題点を解決するようにしたものであ
る。

作 用 本考案におけるステージ上で互いに張架交叉す
る２組の第１、第２ワイヤ及び第３、第４ワイヤ
は、各組のものが接近動することによつてステー
ジ上のペレツトの４辺に当つてペレツトを位置決
めするので、ペレツトサイズに変更があれば、こ
の変更は第１、第２ワイヤ及び第３、第４ワイヤ
の接近間隔設定を変えるだけで応じられる。また
各ワイヤをバネ材を介して張設することにより、
ペレツトの当りが弾性的に行われて、衝撃が少な
いのでペレツトの割れ、欠けが無くなる。

実施例 本考案の一実施例を第１図乃至第４図に基づき
以下説明する。

第１図乃至第３図において、１１は定位置に配
置された水平なステージ、１２，１３はステージ
１１のフラツトな上面に平行に水位なＸ方向にバ
ネ材１４，１４を介して張設された一対の第１、
第２ワイヤ、１５，１６はステージ１１上に平行
なＸ方向と直交するＹ方向にバネ材１７，１７を
介して張設された一対の第３、第４ワイヤであ
る。各ワイヤ１２，１３，１５，１６はピアノ線
などの硬線で、その線径はペレツト１の厚さの1/
２以下であり、第１、第２ワイヤ１２，１３と第
３、第４ワイヤ１５，１６は、ステージ１１上で
摺動可能に交叉する。１８はワイヤ駆動部で、第
１、第２ワイヤ１２，１３を互いに同速で接近及
び離反させる第１のワイヤ駆動手段１８ａと、第
３、第４ワイヤ１５，１６を互いに同速で接近及
び離反させる第２のワイヤ駆動手段１８ｂを有す
る。

第１のワイヤ駆動部１８ａは例えば次の構造を
成す。１９はステージ１１の下方定位置に固定さ
れた台、２０は台１９上に固定されたモータ、２
１はモータ２０にて正逆回転されるネジ棒で、中
央から左右逆方向で定ピツチのネジ山が形成さ
れ、このネジ棒２１はステージ１１の中央の真下
にネジ棒中央を配して、台１９の上方定位置にＸ
方向に配置される。２２，２２はネジ棒２１の両
側に平行に配置されたガイドロツド、２３，２４
は一対のコの字状の第１、第２ワイヤ支持枠で、
その各々の中央部にネジ棒２１が直交して螺装さ
れ、ガイドロツド２２，２２が摺動可能に直交し
て挿通されて、第１、第２ワイヤ支持枠２３，２
４は両側部をステージ１１のＸ方向の二側面の近
傍に垂設して保持される。この第１、第２ワイヤ
支持枠２３，２４はネジ棒２１の中央から左右の
等距離のところに螺装され、従つてモータ２０で
ネジ棒２１を一方向に回転させると、一対のワイ
ヤ支持枠２３，２４は平行な状態のまま同速で接
近又は離反する。この第１、第２ワイヤ支持枠２
３，２４の両端部にプーリ２５，２５…が回転可
能に取付けられ、第１ワイヤ支持枠２３の一対の
プーリ２５，２５間に第１ワイヤ１２が張設さ
れ、第２ワイヤ支持枠２４のプーリ２５，２５間
に第２ワイヤ１３が張設される。この第１、第２
ワイヤ１２，１３を引張るバネ材１４，１４はコ
イルバネで、その各先端は第１、第２ワイヤ支持
枠２３，２４に固定される。

第２のワイヤ駆動部１８ｂは上記第１のワイヤ
駆動部１８ｂと同様な構造のものを90゜方向を変
えて配置したもので、台１９上に固定されたモー
タ２６と、モータ２６にて正逆回転されるＹ方向
に配置されたネジ棒２７と、ネジ棒２７の両端に
平行に固定された一対のガイドロツド２８，２８
と、ネジ棒２７に螺装されガイドロツド２８，２
８に摺動可能に挿通されて垂直に支持されたコの
字状の第３、第４ワイヤ支持枠２９，３０とを有
する。第３ワイヤ支持枠２９はその両側部に取付
けたプーリ３１，３１で第３ワイヤ１５を張設
し、第４ワイヤ支持枠３０は、その両端に取付け
たプーリ３１，３１で第４ワイヤ１６を張設す
る。

次に上記実施例によるペレツト位置決め動作を
説明する。先ず第１図の状態、つまり、第１、第
２ワイヤ１２，１３と第３、第４ワイヤ１５，１
６がステージ１１の中央から十分に離れた最外位
置に在る時に、ステージ１１の中央部上に１つの
ペレツト１が供給される。すると第１、第２ワイ
ヤ駆動手段１８ａ，１８ｂの各モータ２０，２６
が共に作動してネジ棒２１，２７が正回転し、第
１、第２ワイヤ支持枠２３，２４と第３、第４ワ
イヤ支持枠２９，３０が共に接近動する。すると
ステージ１１上で第１、第２ワイヤ１２，１３と
第３、第４ワイヤ１５，１６が前進してペレツト
１の４辺に前後して接触し押圧し、このペレツト
１のサイズに応じた量だけ各ワイヤ１２，１３，
１５，１６が前進すると停止し、この段階でペレ
ツト１は第４図に示すように４本のワイヤ１２，
１３，１５，１６で４辺が挟まれて位置決めされ
る。この時の各ワイヤ１２，１３，１５，１６は
バネ材１４，１４，１７，１７を介して張設され
ているので、ペレツト１には弾性的に押圧接触し
てペレツト１が割れたり欠けたりする心配が無
い。

このペレツト位置決めが完了すると、モータ２
０，２６でネジ棒２１，２７を逆回転させる。す
ると各ワイヤ支持枠２３，２４，２９，３０が後
退して各ワイヤ１２，１３，１５，１６が元の位
置まで後退する。

ステージ１１に供給されるペレツト１のサイズ
が大、小に変更されると、この変更に応じてワイ
ヤ１２，１３，１５，１６の前進ストロークを決
めれば十分に対処できる。

尚、本考案は上記実施例に限らず、特にワイヤ
駆動部１８はシリンダを駆動源としたものに変更
することも可能である。

考案の効果 本考案によればペレツトサイズに変更があつて
も、何ら部品を変更することなく、ペレツトサイ
ズ変更に対処することができて、ペレツト位置決
め装置の稼動率改善が図れる。またペレツトの４
辺にバネ材を介して張設されたワイヤを当ててペ
レツトを位置決めするので、ペレツトに割れ、欠
けが生じる心配が皆無となり、安全で信頼性の高
いものが提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す半導体ペレツ
ト位置決め装置の平面図、第２図は第１図のＡ−
Ａ線に沿う位置決め装置の断面図、第３図は第２
図のＢ−Ｂ線に沿う位置決め装置断面図、第４図
は第１図の装置のペレツト位置決め動作時の平面
図である。第５図は従来のペレツト位置決め装置
の平面図、第６図は第５図の装置のＣ−Ｃ線に沿
う断面図である。 １……半導体ペレツト、１１……ステージ、１
２……第１ワイヤ、１３……第２ワイヤ、１４，
１４……バネ材、１５……第３ワイヤ、１６……
第４ワイヤ、１７，１７……バネ材、１８……ワ
イヤ駆動部、１８ａ……第１のワイヤ駆動手段、
１８ｂ……第２のワイヤ駆動手段。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体ペレツトが供給されるフラツトな上面を
   有するステージと、このステージ上に平行に一方
   向にバネ材を介して張設された一対の第１、第２
   ワイヤと、前記ステージ上に平行に前記第１、第
   ワイヤと交叉する方向にバネ材を介して張設され
   た一対の第３、第４ワイヤと、前記ステージ上
   で、第１、第２ワイヤを互いに近接及び離反させ
   る第１ワイヤ駆動手段及び第３、第４ワイヤを互
   いに近接及び離反させる第２ワイヤ駆動手段を有
   するワイヤ駆動部とを具備したことを特徴とする
   半導体ペレツト位置決め装置。