JPH01288746A - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
- Publication number
- JPH01288746A JPH01288746A JP11973488A JP11973488A JPH01288746A JP H01288746 A JPH01288746 A JP H01288746A JP 11973488 A JP11973488 A JP 11973488A JP 11973488 A JP11973488 A JP 11973488A JP H01288746 A JPH01288746 A JP H01288746A
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- JP
- Japan
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- pressure
- sensor unit
- pressure sensor
- pressure medium
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、内燃機関の吸気管の圧力等のように水分、カ
ーボン等の導電性微粒子を多く含む圧力媒体の圧力を検
出するのに有効な圧力検出器に関する。
ーボン等の導電性微粒子を多く含む圧力媒体の圧力を検
出するのに有効な圧力検出器に関する。
従来、金属ケースとそれに連設された円筒状の圧力導入
パイプを有し、金属ケース内部に、ダイヤフラムが半導
体で構成され、その半導体の歪みを電気量に変換する感
圧素子を内蔵した圧力センサユニットが知られている。 そのような圧力センサユニットを用いて内燃機関の吸気
管圧力の検出が行われているが、圧力媒体には、燃焼ガ
ス等による微粒子が多く含まれているため、感圧素子部
に微粒子が堆積し、検出感度が低下したり、感圧素子が
破損するという問題があった。 このため、圧力媒体中の微粒子を除去するためのフィル
タと上記圧力センサユニットとを金属筺体に組み込んだ
圧力検出器が考案されている。係る圧力検出器では、金
属筺体の内室に圧力媒体を導入し、ガスフィルタで微粒
子の除去された圧力媒体が圧力センサユニットに導入さ
れる。
パイプを有し、金属ケース内部に、ダイヤフラムが半導
体で構成され、その半導体の歪みを電気量に変換する感
圧素子を内蔵した圧力センサユニットが知られている。 そのような圧力センサユニットを用いて内燃機関の吸気
管圧力の検出が行われているが、圧力媒体には、燃焼ガ
ス等による微粒子が多く含まれているため、感圧素子部
に微粒子が堆積し、検出感度が低下したり、感圧素子が
破損するという問題があった。 このため、圧力媒体中の微粒子を除去するためのフィル
タと上記圧力センサユニットとを金属筺体に組み込んだ
圧力検出器が考案されている。係る圧力検出器では、金
属筺体の内室に圧力媒体を導入し、ガスフィルタで微粒
子の除去された圧力媒体が圧力センサユニットに導入さ
れる。
ところが、ガスフィルタの通過抵抗が大きいと圧力検出
の応答性が悪くなるため、ガスフィルタの通過抵抗はそ
れほど大きくすることができない。 このため、圧力媒体に含まれる水分、カーボン等の導電
性微粒子がガスフィルタを通過し、圧力センサユニット
及び金属筺体の圧力センサユニットの保持部に堆積し、
圧力センサユニットと金属筺体とが導通するという問題
があった。 このため、圧力センサユニットから電流が洩れたり、内
燃機関の点火雑音が圧力センサユニットに侵入したりし
て、誤動作の原因となっていた。 又、漏れ電流により圧力センサユニットの圧力導入パイ
プが電食されるという問題もあった。 そこで、本発明の目的は、内燃機関の吸気管の圧力検出
のように、水分その他の導電性微粒子等を含む圧力媒体
の圧力を検出するのに最適な圧力検出器を提供すること
である。
の応答性が悪くなるため、ガスフィルタの通過抵抗はそ
れほど大きくすることができない。 このため、圧力媒体に含まれる水分、カーボン等の導電
性微粒子がガスフィルタを通過し、圧力センサユニット
及び金属筺体の圧力センサユニットの保持部に堆積し、
圧力センサユニットと金属筺体とが導通するという問題
があった。 このため、圧力センサユニットから電流が洩れたり、内
燃機関の点火雑音が圧力センサユニットに侵入したりし
て、誤動作の原因となっていた。 又、漏れ電流により圧力センサユニットの圧力導入パイ
プが電食されるという問題もあった。 そこで、本発明の目的は、内燃機関の吸気管の圧力検出
のように、水分その他の導電性微粒子等を含む圧力媒体
の圧力を検出するのに最適な圧力検出器を提供すること
である。
上記課題を解決するため、本発明は、内部に感圧素子を
収納した金属ケースと、その感圧素子に外部から圧力媒
体を導く円筒状の圧力導入パイプとを有した圧力センサ
ユニットと、 内室と、圧力媒体をその内室に導入する圧力導入口と、
その内室に配設されたガスフィルタと、そのガスフィル
タに対して前記圧力導入口と反対側で前記圧力センサユ
ニットを気密状態で保持する金属製の圧力導入筺体とを
有する圧力検出器において、 前記圧力導入筺体の少なくとも前記圧力センサユニット
の保持部に絶縁体被膜を形成したことを特徴としている
。
収納した金属ケースと、その感圧素子に外部から圧力媒
体を導く円筒状の圧力導入パイプとを有した圧力センサ
ユニットと、 内室と、圧力媒体をその内室に導入する圧力導入口と、
その内室に配設されたガスフィルタと、そのガスフィル
タに対して前記圧力導入口と反対側で前記圧力センサユ
ニットを気密状態で保持する金属製の圧力導入筺体とを
有する圧力検出器において、 前記圧力導入筺体の少なくとも前記圧力センサユニット
の保持部に絶縁体被膜を形成したことを特徴としている
。
圧力媒体は圧力導入筺体に形成された導入口を介して内
室に導入される。内室にはガスフィルタが配設されてお
り、圧力媒体中に含まれるカーボン等の微粒子はそのフ
ィルタにより大略除去される。そして、微粒子の除去さ
れた圧力媒体は圧力センサユニットの圧力導入パイプか
ら圧力センサユニットの内部に収納されている感圧素子
に導かれる。このようにして、圧力が検出されるが、ガ
スフィルタを通過した圧力媒体には、おな、水分、カー
ボン等の微粒子が存在する。このため、圧力センサユ；
、ットと圧力導入筺体に水、カーボン等の導電性物質が
堆積するが、圧力導入筺体の圧力センサユニットの少な
くも保持部には絶縁体被膜が形成されているため、圧力
センサユニットと圧力導入筺体との間の導通が防止され
る。
室に導入される。内室にはガスフィルタが配設されてお
り、圧力媒体中に含まれるカーボン等の微粒子はそのフ
ィルタにより大略除去される。そして、微粒子の除去さ
れた圧力媒体は圧力センサユニットの圧力導入パイプか
ら圧力センサユニットの内部に収納されている感圧素子
に導かれる。このようにして、圧力が検出されるが、ガ
スフィルタを通過した圧力媒体には、おな、水分、カー
ボン等の微粒子が存在する。このため、圧力センサユ；
、ットと圧力導入筺体に水、カーボン等の導電性物質が
堆積するが、圧力導入筺体の圧力センサユニットの少な
くも保持部には絶縁体被膜が形成されているため、圧力
センサユニットと圧力導入筺体との間の導通が防止され
る。
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
第２図において、圧力センサユニット２は、円筒状の圧
力導入パイプ１１が延設された円板状の基台１２を有し
ており、その基台１２に対して円筒状の金属ケース１０
が気密状態を保持して溶接等により取り付けられている
。又、金属ケース１０の内部において、基台１２の上に
は圧力導入パイプ１１と同軸の中心孔１６を有したガラ
ス板１４が接着されており、そのガラス基板１４上に中
心孔１６に対向する部分が凹状にエツチングされた半導
体基板１７が載置されている。そして、その半導体基板
１７のダイヤフラムを形成する薄肉部１８に拡散により
感圧素子１５が形成されており、その感圧素子１５には
絶縁層２１上に形成された電極層１９に接続されており
、その電極層１９はワイヤ２０を介して基台１２に対し
て気密封止して突設されたリード２２に接続されている
。 尚、半導体基板１７はシリコンが用いられ、ガラス基板
１４にはシリコンと熱膨張率の略等しいパイレックスガ
ラス（商品名）が用いられている。 係る構成の圧力センサユニット２には、圧力導入パイプ
１１から圧力媒体が導入され、その圧力媒体は中心孔１
６を通って、半導体基板１７の薄肉部１８に圧力を加え
、感圧素子１５に歪みを生じさせる。そして、その歪み
は抵抗値の変化として現れ、その抵抗値の変化はリード
２２間を流れる電流値により読み取られる。 係る構成の圧力センサユニット２は、第１図に示すよう
に、圧力導入筒体３に取り付けられている。圧力導入筺
体３には円周に沿って溝３０が形成されており、その溝
３０には０リング３１が配設されている。そして、その
Ｏリング３１により圧力導入パイプ１１が気密状態で保
持してされている。 又、圧力導入筺体３には端面３４に形成された圧力導入
口３５を通じて外部に連通ずる内室３２が形成されてお
り、その内室３２にはガスフィルタ３３が配設されてい
る。このガスフィルタ３３は、不織布、金網等で構成さ
れている。 そして、上記圧力導入パイプ１１を保持する部分、即ち
、溝３０の付近を含む、内室３２の内壁３８全体に渡り
、絶縁体技Ｍ３６が形成されている。この絶縁体技１１
１［３６は、エポキシ樹脂、テフロン、ボロンナイトラ
イド等の材料を用い、電着、溶射、粉体塗装等の各材料
に最適な方法により形成される。そして、その厚さは材
料により異なるが、通常は２０Ａ程度である。 係る構成の圧力検出器１はその取付部３７により内燃機
関の吸気管圧力取出ポートに直接取り付けられる。そし
て、圧力媒体は、圧力導入筺体３の圧力導入口３５から
内室３２へ導かれ、ガスフィルタ３３を通過し、圧力導
入パイプ１１、中心孔１６を介して、感圧素子１５に導
かれて、圧力測定が行われる。 この時、圧力媒体中に存在するオイル、ガソリン、排気
ガス等の微粒子は、ガスフィルタで大略除去されるので
、それらの微粒子がダイヤプラムを構成する半導体基板
１７に堆積しないため、圧力検出精度の低下が防止され
ている。しかしながら、圧力損失を小さくするために、
ガスフィルタ３３の除去能力をそれ程大きくすることが
できないため、ガスフィルタ３３を微粒子が通過するこ
とになり、通過した微粒子が圧力導入パイプ１１や圧力
導入パイプ１１を保持するＣｌソング１の付近に堆積し
、圧力導入パイプ１１と圧力導入筺体３の内壁３８との
間隙を埋めてしまう。この微粒子はカーボンや水分であ
り、導電性を有する。 しかしながら、圧力導入筺体３の内壁３８には、絶縁体
被膜被膜３６が形成されているので、圧力センサユニッ
ト２と圧力導入筺体３との絶縁性が良好に保持される。 従って、内燃機関の点火火花による電気ノイズは圧力セ
ンサユニット２へ侵入することがなく、圧力検出の誤動
作が防止される。 又、圧力導入パイプ１１の電食や圧力センサユニット２
からの電流の漏れ等の不具合を防止することが可能とな
る。 尚、上記実施例では、絶縁体被膜３６は圧力導入筺体３
の内壁３８全体に形成したが、圧力センサユニット２を
保持する部分だけに形成しても良い。又、逆に、第３図
に示すように、絶縁体被膜３６を圧力導入筺体３の外壁
や内壁全体に渡って形成すれば、尚−層の効果が得られ
る。 【発明の効果］ 本発明は、内部に感圧素子を収納した圧力センサユニッ
トと、圧力センサユニットを気密状態で保持する金属製
の圧力導入筺体とを有する圧力検出器において、圧力導
入筺体の少なくとも圧力センサユニットの保持部に絶縁
体被膜を形成しているので、圧力媒体中に導電性微粒子
が存在しても、圧力センサユニットと圧力導入筺体との
絶縁性を良好に保持することができる。このため、圧力
検出の誤動作が防止される。
力導入パイプ１１が延設された円板状の基台１２を有し
ており、その基台１２に対して円筒状の金属ケース１０
が気密状態を保持して溶接等により取り付けられている
。又、金属ケース１０の内部において、基台１２の上に
は圧力導入パイプ１１と同軸の中心孔１６を有したガラ
ス板１４が接着されており、そのガラス基板１４上に中
心孔１６に対向する部分が凹状にエツチングされた半導
体基板１７が載置されている。そして、その半導体基板
１７のダイヤフラムを形成する薄肉部１８に拡散により
感圧素子１５が形成されており、その感圧素子１５には
絶縁層２１上に形成された電極層１９に接続されており
、その電極層１９はワイヤ２０を介して基台１２に対し
て気密封止して突設されたリード２２に接続されている
。 尚、半導体基板１７はシリコンが用いられ、ガラス基板
１４にはシリコンと熱膨張率の略等しいパイレックスガ
ラス（商品名）が用いられている。 係る構成の圧力センサユニット２には、圧力導入パイプ
１１から圧力媒体が導入され、その圧力媒体は中心孔１
６を通って、半導体基板１７の薄肉部１８に圧力を加え
、感圧素子１５に歪みを生じさせる。そして、その歪み
は抵抗値の変化として現れ、その抵抗値の変化はリード
２２間を流れる電流値により読み取られる。 係る構成の圧力センサユニット２は、第１図に示すよう
に、圧力導入筒体３に取り付けられている。圧力導入筺
体３には円周に沿って溝３０が形成されており、その溝
３０には０リング３１が配設されている。そして、その
Ｏリング３１により圧力導入パイプ１１が気密状態で保
持してされている。 又、圧力導入筺体３には端面３４に形成された圧力導入
口３５を通じて外部に連通ずる内室３２が形成されてお
り、その内室３２にはガスフィルタ３３が配設されてい
る。このガスフィルタ３３は、不織布、金網等で構成さ
れている。 そして、上記圧力導入パイプ１１を保持する部分、即ち
、溝３０の付近を含む、内室３２の内壁３８全体に渡り
、絶縁体技Ｍ３６が形成されている。この絶縁体技１１
１［３６は、エポキシ樹脂、テフロン、ボロンナイトラ
イド等の材料を用い、電着、溶射、粉体塗装等の各材料
に最適な方法により形成される。そして、その厚さは材
料により異なるが、通常は２０Ａ程度である。 係る構成の圧力検出器１はその取付部３７により内燃機
関の吸気管圧力取出ポートに直接取り付けられる。そし
て、圧力媒体は、圧力導入筺体３の圧力導入口３５から
内室３２へ導かれ、ガスフィルタ３３を通過し、圧力導
入パイプ１１、中心孔１６を介して、感圧素子１５に導
かれて、圧力測定が行われる。 この時、圧力媒体中に存在するオイル、ガソリン、排気
ガス等の微粒子は、ガスフィルタで大略除去されるので
、それらの微粒子がダイヤプラムを構成する半導体基板
１７に堆積しないため、圧力検出精度の低下が防止され
ている。しかしながら、圧力損失を小さくするために、
ガスフィルタ３３の除去能力をそれ程大きくすることが
できないため、ガスフィルタ３３を微粒子が通過するこ
とになり、通過した微粒子が圧力導入パイプ１１や圧力
導入パイプ１１を保持するＣｌソング１の付近に堆積し
、圧力導入パイプ１１と圧力導入筺体３の内壁３８との
間隙を埋めてしまう。この微粒子はカーボンや水分であ
り、導電性を有する。 しかしながら、圧力導入筺体３の内壁３８には、絶縁体
被膜被膜３６が形成されているので、圧力センサユニッ
ト２と圧力導入筺体３との絶縁性が良好に保持される。 従って、内燃機関の点火火花による電気ノイズは圧力セ
ンサユニット２へ侵入することがなく、圧力検出の誤動
作が防止される。 又、圧力導入パイプ１１の電食や圧力センサユニット２
からの電流の漏れ等の不具合を防止することが可能とな
る。 尚、上記実施例では、絶縁体被膜３６は圧力導入筺体３
の内壁３８全体に形成したが、圧力センサユニット２を
保持する部分だけに形成しても良い。又、逆に、第３図
に示すように、絶縁体被膜３６を圧力導入筺体３の外壁
や内壁全体に渡って形成すれば、尚−層の効果が得られ
る。 【発明の効果］ 本発明は、内部に感圧素子を収納した圧力センサユニッ
トと、圧力センサユニットを気密状態で保持する金属製
の圧力導入筺体とを有する圧力検出器において、圧力導
入筺体の少なくとも圧力センサユニットの保持部に絶縁
体被膜を形成しているので、圧力媒体中に導電性微粒子
が存在しても、圧力センサユニットと圧力導入筺体との
絶縁性を良好に保持することができる。このため、圧力
検出の誤動作が防止される。
第１図は本発明の具体的な一実施例に係る圧力検出器の
構成を示した断面図。第２図は同実施例に係る圧力検出
器の圧力センサユニットの構成を示した断面図。第３図
は他の実施例に係る圧力検出器の構成を示した断面図で
ある。 １′°°圧力検出器 ２・・圧力センサユニット３゛・
圧力導入筺体 １ｏ・・金属ケース１１・・・・圧力導
入パイプ １２−・−基台１４゛′・°ガラス板 １５
−・パ感圧素子１７−半導体基板 ２２・・・リード ３０・・・溝 ３１・・・・Ｏリング ３２・山内室３
３・・ガスフィルタ ３５・・圧力導入口３６・°・絶
縁体被膜 特許出願人 日本電装株式会社 代 理 人 弁理士 藤谷 修 第１図 第２図
構成を示した断面図。第２図は同実施例に係る圧力検出
器の圧力センサユニットの構成を示した断面図。第３図
は他の実施例に係る圧力検出器の構成を示した断面図で
ある。 １′°°圧力検出器 ２・・圧力センサユニット３゛・
圧力導入筺体 １ｏ・・金属ケース１１・・・・圧力導
入パイプ １２−・−基台１４゛′・°ガラス板 １５
−・パ感圧素子１７−半導体基板 ２２・・・リード ３０・・・溝 ３１・・・・Ｏリング ３２・山内室３
３・・ガスフィルタ ３５・・圧力導入口３６・°・絶
縁体被膜 特許出願人 日本電装株式会社 代 理 人 弁理士 藤谷 修 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内部に感圧素子を収納した金属ケースと、その感圧素子
に外部から圧力媒体を導く円筒状の圧力導入パイプとを
有した圧力センサユニットと、内室と、圧力媒体をその
内室に導入する圧力導入口と、その内室に配設されたガ
スフィルタと、そのガスフィルタに対して前記圧力導入
口と反対側で前記圧力センサユニットを気密状態で保持
する金属製の圧力導入筺体とを有する圧力検出器におい
て、 前記圧力導入筺体の少なくとも前記圧力センサユニット
の保持部に絶縁体被膜を形成したことを特徴とする圧力
検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11973488A JPH01288746A (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11973488A JPH01288746A (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 圧力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01288746A true JPH01288746A (ja) | 1989-11-21 |
Family
ID=14768805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11973488A Pending JPH01288746A (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01288746A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5747694A (en) * | 1995-07-28 | 1998-05-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Pressure sensor with barrier in a pressure chamber |
| JP2017003511A (ja) * | 2015-06-15 | 2017-01-05 | 富士電機株式会社 | センサ装置およびその製造方法 |
| JP2019011967A (ja) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | シチズンファインデバイス株式会社 | 圧力検出装置 |
-
1988
- 1988-05-16 JP JP11973488A patent/JPH01288746A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5747694A (en) * | 1995-07-28 | 1998-05-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Pressure sensor with barrier in a pressure chamber |
| US5900554A (en) * | 1995-07-28 | 1999-05-04 | Nippendenso Co., Ltd. | Pressure sensor |
| JP2017003511A (ja) * | 2015-06-15 | 2017-01-05 | 富士電機株式会社 | センサ装置およびその製造方法 |
| JP2019011967A (ja) * | 2017-06-29 | 2019-01-24 | シチズンファインデバイス株式会社 | 圧力検出装置 |
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