JPH01291137A - 振動式トランスデューサ - Google Patents
振動式トランスデューサInfo
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- JPH01291137A JPH01291137A JP12020888A JP12020888A JPH01291137A JP H01291137 A JPH01291137 A JP H01291137A JP 12020888 A JP12020888 A JP 12020888A JP 12020888 A JP12020888 A JP 12020888A JP H01291137 A JPH01291137 A JP H01291137A
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- vibrator
- output
- oscillation
- amplifying
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、シリコン基板に形成された振動梁の固有周波
数が力あるいは環境の変化に対応して変化することを利
用して圧力或いは差圧などを検出する振動式トランスデ
ユーサに係り、特にその回路構成を改良した振動式トラ
ンスデユーサに関する。
数が力あるいは環境の変化に対応して変化することを利
用して圧力或いは差圧などを検出する振動式トランスデ
ユーサに係り、特にその回路構成を改良した振動式トラ
ンスデユーサに関する。
第６図は米国特許第４４９５８１８に開示されている従
来の振動式トランスデユーサの振動子本体の構成を示す
。
来の振動式トランスデユーサの振動子本体の構成を示す
。
上部には円板状の金属製の底部１０を有しここから下方
に円筒状に伸びる薄肉の金属製の円筒部１１が一体に形
成され更に下方にはこの円筒部１１と一体に円筒部１１
より直径の大きな段差部１２をもって円筒状の厚肉部１
３が形成されている。
に円筒状に伸びる薄肉の金属製の円筒部１１が一体に形
成され更に下方にはこの円筒部１１と一体に円筒部１１
より直径の大きな段差部１２をもって円筒状の厚肉部１
３が形成されている。
この厚肉部１３にはその半径方向に有底孔が開けられて
ここにＭ動手段としての一対の圧電素子１４Ａ、１４Ｂ
が形成されている。
ここにＭ動手段としての一対の圧電素子１４Ａ、１４Ｂ
が形成されている。
この段差部１３の上には円筒部１１とは所定の間隔を以
て部屋１５を形成してカバー１６が配置されており、そ
の上部は底部１０と溶接され底部は段差部１３と溶接さ
れている。更に、その側面には導入孔１７が形成されこ
れを介して部屋１５に測定圧力Ｐ０が導入されている。
て部屋１５を形成してカバー１６が配置されており、そ
の上部は底部１０と溶接され底部は段差部１３と溶接さ
れている。更に、その側面には導入孔１７が形成されこ
れを介して部屋１５に測定圧力Ｐ０が導入されている。
また、肉厚部１３の底部は円板状の塁１８で０リングを
介してボルト１９により押圧シールされている。この蓋
１８には測定圧力Ｐ、を導入する導入孔２０を介して円
筒部１１の内部２１と連通している。
介してボルト１９により押圧シールされている。この蓋
１８には測定圧力Ｐ、を導入する導入孔２０を介して円
筒部１１の内部２１と連通している。
円筒部１１、圧電素子１４Ａ、１４Ｂ、底部１０などで
円筒振動子２２を形成している。
円筒振動子２２を形成している。
第７図は第６図に示す円筒振動子に接続される増幅器の
構成を示す回路図である。
構成を示す回路図である。
増幅器２３は、増幅器ＡＭＳＩ、バンドパスフィルタＢ
ＰＦ、リミッタＬＭ、ローパスフィルタＬＰＦをなどで
構成されている。
ＰＦ、リミッタＬＭ、ローパスフィルタＬＰＦをなどで
構成されている。
その初段の増幅器ＡＭＳＩを構成する演算増幅器Ｕ１の
非反転入力端（＋）は圧電素子１４Ａに接続され、その
出力端はバンドパスフィルタＢＰＦに、この出力端はリ
ミッタＬＭに、更にこの出力端はローパスフィルタＬＰ
Ｆに、その出力端は圧電素子１４Ｂにそれぞれ接続され
ている。
非反転入力端（＋）は圧電素子１４Ａに接続され、その
出力端はバンドパスフィルタＢＰＦに、この出力端はリ
ミッタＬＭに、更にこの出力端はローパスフィルタＬＰ
Ｆに、その出力端は圧電素子１４Ｂにそれぞれ接続され
ている。
以上のように構成されたｉｉｉ！動式トランスデユーサ
は、増幅器２３を含む回路のルーグゲインが１以上であ
ると円筒振動子２２のもつ固有振動数で回路全体が自動
発振を起こす、そして、この自励発振の発振振幅はリミ
ッタＬＭのり、 、Ｄ２で示されるゼナーダイオードの
ゼナー電圧に制限された発振をする。この場合に円筒振
動子２２に導入される測定圧力ＰＧとＰｉに依存して円
筒部１１に歪みが加わり、固有振動数が変化する。
は、増幅器２３を含む回路のルーグゲインが１以上であ
ると円筒振動子２２のもつ固有振動数で回路全体が自動
発振を起こす、そして、この自励発振の発振振幅はリミ
ッタＬＭのり、 、Ｄ２で示されるゼナーダイオードの
ゼナー電圧に制限された発振をする。この場合に円筒振
動子２２に導入される測定圧力ＰＧとＰｉに依存して円
筒部１１に歪みが加わり、固有振動数が変化する。
従って、この固有＠動電の変化から測定圧力の差圧（Ｐ
ｏ Ｐｉ）を知ることができる。
ｏ Ｐｉ）を知ることができる。
以上の構成では、ゼナーダイオードにより発振振幅を一
定に保持したが、従来技術としてこれ等のほから駆動電
圧を一定に保持するように自動利得回路が動作して発振
振幅を一定に保持する構成としたものもある。
定に保持したが、従来技術としてこれ等のほから駆動電
圧を一定に保持するように自動利得回路が動作して発振
振幅を一定に保持する構成としたものもある。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、このような従来の振動式トランスデユー
サは、振動子が非線形領域で発振をする構成であるので
、ゼナーダイオードで発振振幅を制限すると発振周波数
が変化するという問題があり、またＮ動電圧を一定に制
御する構成では他の共振系との結合や測定流体との接合
状態などの境界条件により振動子の振幅が変化すること
がしばしば生じる。従って、駆動カ一定の回路でも振動
子の共振周波数がずれて発振することになり、正確な共
振周波数を発生することができない、という問題がある
。
サは、振動子が非線形領域で発振をする構成であるので
、ゼナーダイオードで発振振幅を制限すると発振周波数
が変化するという問題があり、またＮ動電圧を一定に制
御する構成では他の共振系との結合や測定流体との接合
状態などの境界条件により振動子の振幅が変化すること
がしばしば生じる。従って、駆動カ一定の回路でも振動
子の共振周波数がずれて発振することになり、正確な共
振周波数を発生することができない、という問題がある
。
く課題を解決するための手段〉
本発明は、以上の課題を解決するために、ダイアフラム
に形成された振動子を有する振動子本体の出力端子と入
力端子の間に増幅器の入力端子と出力端子とが接続され
振動梁の持つ固有振動数で自動発振する振動式トランス
デユーサにおいて、増幅器は、振動子本体から出力され
た信号を増幅する第１増幅手段と、この第１増幅手段の
出力に関連する信号を増幅してその利得を調節する利得
調節手段と、第１増幅手段の出力の振幅に関連する信号
と所定の基準値とを比較しその差信号を出力する比較手
段とを具備しこの差信号により利得調節手段を制御して
自励発振の発振振幅を一定にするようにしたものである
。
に形成された振動子を有する振動子本体の出力端子と入
力端子の間に増幅器の入力端子と出力端子とが接続され
振動梁の持つ固有振動数で自動発振する振動式トランス
デユーサにおいて、増幅器は、振動子本体から出力され
た信号を増幅する第１増幅手段と、この第１増幅手段の
出力に関連する信号を増幅してその利得を調節する利得
調節手段と、第１増幅手段の出力の振幅に関連する信号
と所定の基準値とを比較しその差信号を出力する比較手
段とを具備しこの差信号により利得調節手段を制御して
自励発振の発振振幅を一定にするようにしたものである
。
〈作 用〉
自励発振の発＠振幅は増幅器の途中から検出され、この
検出された発振振幅は予め設定した基準電圧と比叙され
てこの基準電圧になるようにその後段に設けられた利得
調節手段を調整するようにして振幅を一定に保持する。
検出された発振振幅は予め設定した基準電圧と比叙され
てこの基準電圧になるようにその後段に設けられた利得
調節手段を調整するようにして振幅を一定に保持する。
このため発振振幅は外部条件に左右されずに常に一定に
保持され自励発振の発振周波数の変動を来たすことはな
い。
保持され自励発振の発振周波数の変動を来たすことはな
い。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例について図面に基づいて説明する
。第１図は本発明の要部である増幅部の構成を示す回路
図、第２図はこの増幅部に接続される振動子本体を含む
全体構成を示す、第３図は第２図に示す振動子本体の要
部の構成を示し、第３図（Ａ）はその上面図、第３図（
Ｂ）は第３図（Ａ）のＡ−Ａ−断面を示している。
。第１図は本発明の要部である増幅部の構成を示す回路
図、第２図はこの増幅部に接続される振動子本体を含む
全体構成を示す、第３図は第２図に示す振動子本体の要
部の構成を示し、第３図（Ａ）はその上面図、第３図（
Ｂ）は第３図（Ａ）のＡ−Ａ−断面を示している。
まず、第２図に示す全体構成について第３図を含めてそ
の概要を説明する。
の概要を説明する。
振動子本体２４は、ダイアフラム２５、第１＠動子２６
Ａ、２６Ｂと第２＠動子２７で構成されるＨ形の振動子
、磁石２８、入カドランス２９、出カドランス３０など
で構成されている。
Ａ、２６Ｂと第２＠動子２７で構成されるＨ形の振動子
、磁石２８、入カドランス２９、出カドランス３０など
で構成されている。
ダイアフラム２５は、周囲に厚肉部（図示せず）を有す
るＰ形のシリコン基板の下面の中央部をエツチングして
薄肉として形成されており、測定圧力がこの而に印加さ
れることによって全体として変位する。このダイアフラ
ム２５の上面の結晶面＜１００）の一部にはエツチング
により四部３１が形成されている。
るＰ形のシリコン基板の下面の中央部をエツチングして
薄肉として形成されており、測定圧力がこの而に印加さ
れることによって全体として変位する。このダイアフラ
ム２５の上面の結晶面＜１００）の一部にはエツチング
により四部３１が形成されている。
この四部３１を跨ぐようにして、梁状の第１＠動子２６
Ａ、２６Ｂがそれぞれ結晶軸＜ｏｏｉ＞に平行にダイア
フラム２５と一体にＰ形で形成され、これ等の中央部を
これ等の振動子に直角にＰ形の梁状の第２振動子２７で
結合してＨ形の振動子が形成されている。この第１振動
子２６Ａの両端には電極３２と３３が、更に第１振動子
２６Ｂの両端には電極３４と３５が形成されている。
Ａ、２６Ｂがそれぞれ結晶軸＜ｏｏｉ＞に平行にダイア
フラム２５と一体にＰ形で形成され、これ等の中央部を
これ等の振動子に直角にＰ形の梁状の第２振動子２７で
結合してＨ形の振動子が形成されている。この第１振動
子２６Ａの両端には電極３２と３３が、更に第１振動子
２６Ｂの両端には電極３４と３５が形成されている。
第２振動子２７の上部にはこれと平行に磁石３６が配置
され、第１振動子２６Ａ、２７Ｂに直角に磁場を発生さ
せている。
され、第１振動子２６Ａ、２７Ｂに直角に磁場を発生さ
せている。
入カドランス２９の出力端子は電極３２．３３に、その
入力端子の一端は振動子本体２４の入力端子３６に、他
端は共通電位点にそれぞれ接続されている。
入力端子の一端は振動子本体２４の入力端子３６に、他
端は共通電位点にそれぞれ接続されている。
出カドランス３０の入力端子はｉ４極３４．３５に接続
され、その出力端子は振動子本体２４の出力端子３７．
３８を介して増幅器３９の入力端にそれぞれ接続されて
いる。更に、増幅器３９の出力端子４０は振動子本体２
４の入力端子３６に接続されている。
され、その出力端子は振動子本体２４の出力端子３７．
３８を介して増幅器３９の入力端にそれぞれ接続されて
いる。更に、増幅器３９の出力端子４０は振動子本体２
４の入力端子３６に接続されている。
なお、図示されてはいないが、ダイアフラム２５の上部
は第１振動子２６Ａ、２６Ｂ、および第２振動子２７の
周囲に空間を保ってエピタキシャル成長などの半導体技
術で覆われ、この空間の内部は真空に保持されて振動子
の振動に対して高いＱファクタを維持している。
は第１振動子２６Ａ、２６Ｂ、および第２振動子２７の
周囲に空間を保ってエピタキシャル成長などの半導体技
術で覆われ、この空間の内部は真空に保持されて振動子
の振動に対して高いＱファクタを維持している。
次に、増幅器３９の詳細な構成は第２図に示しであるが
、これについて説明する。
、これについて説明する。
ＡＭＣｌは増幅回路であり、その入力＠（＋）、（−）
は振動子本体２４の出力端３７．３８に接続されている
。その出力端は結合コンデンサＣ５を介して更に増幅回
路ＡＭＣ２に入力されその出力電圧は結合点Ｊに出力さ
れる。その出力は位相調整回路Ｐ ＨＣを介して利得調
整回路ＧＡＣに出力される。利得調整回路ＧＡＣは、そ
の初段で増幅した後、その増幅出力が抵抗Ｒ１゜、電界
効果トランジスタＱ１、トランスＴの直列回路に印加さ
れ、このトランスＴの２次口？１巻線から出力端子４０
にその大きさが制御された出力電圧を出力する。
は振動子本体２４の出力端３７．３８に接続されている
。その出力端は結合コンデンサＣ５を介して更に増幅回
路ＡＭＣ２に入力されその出力電圧は結合点Ｊに出力さ
れる。その出力は位相調整回路Ｐ ＨＣを介して利得調
整回路ＧＡＣに出力される。利得調整回路ＧＡＣは、そ
の初段で増幅した後、その増幅出力が抵抗Ｒ１゜、電界
効果トランジスタＱ１、トランスＴの直列回路に印加さ
れ、このトランスＴの２次口？１巻線から出力端子４０
にその大きさが制御された出力電圧を出力する。
一方、結合点Ｊの電圧■、は半波整流回路ＩＩ ＷＲに
入力され、ここでこの電圧Ｖｊの大きさに対応した直流
なＥＦ： Ｅ Ｊに変換され、比較器ＣＭＰの反転入力
＠（−）に入力される。比較器ＣＭＰの非反転入力＠（
＋）には振幅設定回路ＡＳＣから基準電圧ｖＲが印加さ
れ°Ｃおり、比較器ＣＭＰはこれ等の直流電圧Ｅ、と基
準電圧■吃」との偏差を増幅してその出力端から電界効
果トランジスタＱ１°のゲートにこの差電圧を印加して
そのドレイン／ゲート間の抵抗を調節してトランス１゛
に流れる電流を調節する。
入力され、ここでこの電圧Ｖｊの大きさに対応した直流
なＥＦ： Ｅ Ｊに変換され、比較器ＣＭＰの反転入力
＠（−）に入力される。比較器ＣＭＰの非反転入力＠（
＋）には振幅設定回路ＡＳＣから基準電圧ｖＲが印加さ
れ°Ｃおり、比較器ＣＭＰはこれ等の直流電圧Ｅ、と基
準電圧■吃」との偏差を増幅してその出力端から電界効
果トランジスタＱ１°のゲートにこの差電圧を印加して
そのドレイン／ゲート間の抵抗を調節してトランス１゛
に流れる電流を調節する。
なお、これ等の回路において、コンデンサＣ６と抵抗Ｒ
７７で位相調整し、抵抗Ｒ２８で出力端４０に現れる電
圧の振幅を設定する。
７７で位相調整し、抵抗Ｒ２８で出力端４０に現れる電
圧の振幅を設定する。
以上の構成において、増幅器３９から入カドランス２９
に電圧が印加されるとその出力から第１振動子２６Ａに
電流ｉが流れ、磁石２８による磁場との間で電磁力が作
用して第１振動子２６Ａが振動する。この振動は第２振
動子２７を介して第１振動子２６Ｂを振動させるが、第
１振動子２６Ｂには磁石から磁場が印加されているので
、第１振動子２６Ｂには電圧ｅが発生し出カドランス３
０を介して増幅器３９に入力される。増幅器３９はこの
電圧を増幅してその出力端子４０に増幅した電圧を発生
させる。
に電圧が印加されるとその出力から第１振動子２６Ａに
電流ｉが流れ、磁石２８による磁場との間で電磁力が作
用して第１振動子２６Ａが振動する。この振動は第２振
動子２７を介して第１振動子２６Ｂを振動させるが、第
１振動子２６Ｂには磁石から磁場が印加されているので
、第１振動子２６Ｂには電圧ｅが発生し出カドランス３
０を介して増幅器３９に入力される。増幅器３９はこの
電圧を増幅してその出力端子４０に増幅した電圧を発生
させる。
この増幅された電圧は再度入カドランス２９に印加され
、第１振動子２６Ａに更に大きな電圧と２印加される。
、第１振動子２６Ａに更に大きな電圧と２印加される。
以上を繰り返して増幅器３９と振動子本体２４とを結合
するループは自励発振をする。そして、このループのル
ープゲインを１以上に設定しておくことにより、この自
励発振は持続する。
するループは自励発振をする。そして、このループのル
ープゲインを１以上に設定しておくことにより、この自
励発振は持続する。
この場合に、この自動発振の電圧の振幅は基準電圧ｖＲ
に対して一定の誤差の中に入るように制御される。
に対して一定の誤差の中に入るように制御される。
すなわち、結合点の電圧ｖｊに対応する直流電圧Ｅ、が
基準電圧ｖＲに対して大きいときはこれらの偏差に応じ
て比較器ＣＭＰの出力で電界効果トランジスタＱ１の内
部抵抗を増加させてトランスＴに流れる電流を小さくし
て出力端子４０に現れる電圧を小さくする。この結果、
振動子本体２４に印加される電圧が小さくなり、増幅器
３９に入力される電圧が小さくなる。
基準電圧ｖＲに対して大きいときはこれらの偏差に応じ
て比較器ＣＭＰの出力で電界効果トランジスタＱ１の内
部抵抗を増加させてトランスＴに流れる電流を小さくし
て出力端子４０に現れる電圧を小さくする。この結果、
振動子本体２４に印加される電圧が小さくなり、増幅器
３９に入力される電圧が小さくなる。
逆に、結合点の電圧Ｖ、に対応する直流電圧Ｅｊが基準
電圧Ｖ１２に対して小さいときはこの逆に動作する。
電圧Ｖ１２に対して小さいときはこの逆に動作する。
このようにして常に発振振幅は基準電圧ｖＲに一定の誤
差の範囲内で一致するように動作する。
差の範囲内で一致するように動作する。
この誤差は比較器ＣＭＰの（出力電圧／比較器ＣＭＰの
ゲイン）で決定される。従って、比較器ＣＭＰのゲイン
が大きければ誤差は無視できる値となり、常に振動子の
振幅は基準電圧ｖＲに等しくなるように動作する。
ゲイン）で決定される。従って、比較器ＣＭＰのゲイン
が大きければ誤差は無視できる値となり、常に振動子の
振幅は基準電圧ｖＲに等しくなるように動作する。
次に、第４図と第５図を用いて第１図に示す回路構成を
とったときの効果について説明する。
とったときの効果について説明する。
第４図は第１図に示す回路構成を採用したときの効果を
示しており、第５図は第１図に示す電界効果トランジス
タ９Ｌ１を除去、し３．短絡し駆動力を一定（一定の電
源電圧による駆！ｆ！ＩＪ）にしたときの回路構成をと
ったときの効果を示している。いずれも、スパンはｉＫ
ｇ／ｃｍ２であり、横軸は圧力、縦軸は指示値をそれぞ
れ示している。
示しており、第５図は第１図に示す電界効果トランジス
タ９Ｌ１を除去、し３．短絡し駆動力を一定（一定の電
源電圧による駆！ｆ！ＩＪ）にしたときの回路構成をと
ったときの効果を示している。いずれも、スパンはｉＫ
ｇ／ｃｍ２であり、横軸は圧力、縦軸は指示値をそれぞ
れ示している。
これ等の結果から判るように、第４図に示す場合は±０
．００５％程度の変動に対して第５図に示す場合は最大
±０．０２５程度の変動を示しており、約５倍程度の改
善が図られている。
．００５％程度の変動に対して第５図に示す場合は最大
±０．０２５程度の変動を示しており、約５倍程度の改
善が図られている。
〈発明の効果〉
以上、実施例と共に具体的に説明したように本発明は、
自励発振の発振振幅は増幅器の途中から検出し、この検
出した発振振幅を予め設定した基準電圧と比較してこの
基準電圧になるようにその後段に設けられた利得調節手
段を調整するようにして振幅を一定に保持したので、発
振振幅は外部条件に左右されずに常に一定に保持され自
動発振の発振周波数の変動を来たすことはなく、高精度
の振動式トランスデユーサを実現することができる。
自励発振の発振振幅は増幅器の途中から検出し、この検
出した発振振幅を予め設定した基準電圧と比較してこの
基準電圧になるようにその後段に設けられた利得調節手
段を調整するようにして振幅を一定に保持したので、発
振振幅は外部条件に左右されずに常に一定に保持され自
動発振の発振周波数の変動を来たすことはなく、高精度
の振動式トランスデユーサを実現することができる。
第１図は本発明の要部を示す増幅部の構成図、第２図は
第１図に示す増幅部を含む全体構成を示す構成図、第３
図は第２図に示す振動検出部の要部の構成を示す構成図
、第４図は第２図に示す全体構成の効果を説明する特性
図、第５図は駆動力を一定にしたときの従来の効果を説
明する特性図、第６図は従来の振動式トランスデユーサ
の振動子本体の構成を示す縦断面図、第７図は第６図に
示す円筒振動子に接続される増幅器の構成を示す回路図
である。 １０・・・底部、１１・・・円筒部、１４Ａ、１４Ｂ・
・・圧電素子、１６・・・カバー、１７．２０・・・導
入孔、２２・・・円筒振動子、２３・・・増幅器、２４
・・・振動子本体、２５・・・ダイアフラム、２６ＳＡ
、２６Ｂ・・・第１６動子、２７・・・第２振動子、２
８・・・磁石、３１・・・凹部、３６・・・入力端子、
３７．３８・・・出力端子、３９・・・増幅器、ＧＡＣ
・・・利得調整回路、ＡｓＣ・・・振幅設定回路、ＣＭ
Ｐ・・・比較器、Ｑｌ・・・電界効果トランジスタ。 １・パ′、゛・、 代理人 弁理士 小浜 信助、、、−，：、’、１
１１１、パ２
第１図に示す増幅部を含む全体構成を示す構成図、第３
図は第２図に示す振動検出部の要部の構成を示す構成図
、第４図は第２図に示す全体構成の効果を説明する特性
図、第５図は駆動力を一定にしたときの従来の効果を説
明する特性図、第６図は従来の振動式トランスデユーサ
の振動子本体の構成を示す縦断面図、第７図は第６図に
示す円筒振動子に接続される増幅器の構成を示す回路図
である。 １０・・・底部、１１・・・円筒部、１４Ａ、１４Ｂ・
・・圧電素子、１６・・・カバー、１７．２０・・・導
入孔、２２・・・円筒振動子、２３・・・増幅器、２４
・・・振動子本体、２５・・・ダイアフラム、２６ＳＡ
、２６Ｂ・・・第１６動子、２７・・・第２振動子、２
８・・・磁石、３１・・・凹部、３６・・・入力端子、
３７．３８・・・出力端子、３９・・・増幅器、ＧＡＣ
・・・利得調整回路、ＡｓＣ・・・振幅設定回路、ＣＭ
Ｐ・・・比較器、Ｑｌ・・・電界効果トランジスタ。 １・パ′、゛・、 代理人 弁理士 小浜 信助、、、−，：、’、１
１１１、パ２
Claims (1)
- ダイアフラムに形成された振動子を有する振動子本体の
出力端子と入力端子の間に増幅器の入力端子と出力端子
とが接続され上記振動梁の持つ固有振動数で自励発振す
る振動式トランスデューサにおいて、前記増幅器は、前
記振動子本体から出力された信号を増幅する第１増幅手
段と、この第１増幅手段の出力に関連する信号を増幅し
てその利得を調節する利得調節手段と、前記第１増幅手
段の出力の振幅に関連する信号と所定の基準値とを比較
しその差信号を出力する比較手段とを具備しこの差信号
により前記利得調節手段を制御して前記自励発振の発振
振幅を一定にするようにしたことを特徴とする振動式ト
ランスデューサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63120208A JP2526987B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 振動式トランスデュ―サ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63120208A JP2526987B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 振動式トランスデュ―サ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01291137A true JPH01291137A (ja) | 1989-11-22 |
| JP2526987B2 JP2526987B2 (ja) | 1996-08-21 |
Family
ID=14780578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63120208A Expired - Lifetime JP2526987B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 振動式トランスデュ―サ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2526987B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4985951U (ja) * | 1972-11-16 | 1974-07-25 | ||
| JPS5524722A (en) * | 1978-08-10 | 1980-02-22 | Nippon Steel Corp | Continuous casting machine |
| JPS61161432A (ja) * | 1985-01-10 | 1986-07-22 | Agency Of Ind Science & Technol | 水晶式気体圧力計 |
| JPS62288542A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-15 | Yokogawa Electric Corp | 振動式半導体トランスジユ−サ |
-
1988
- 1988-05-17 JP JP63120208A patent/JP2526987B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4985951U (ja) * | 1972-11-16 | 1974-07-25 | ||
| JPS5524722A (en) * | 1978-08-10 | 1980-02-22 | Nippon Steel Corp | Continuous casting machine |
| JPS61161432A (ja) * | 1985-01-10 | 1986-07-22 | Agency Of Ind Science & Technol | 水晶式気体圧力計 |
| JPS62288542A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-15 | Yokogawa Electric Corp | 振動式半導体トランスジユ−サ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2526987B2 (ja) | 1996-08-21 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |