JPH01292730A - 陰極の製造方法 - Google Patents
陰極の製造方法Info
- Publication number
- JPH01292730A JPH01292730A JP63119350A JP11935088A JPH01292730A JP H01292730 A JPH01292730 A JP H01292730A JP 63119350 A JP63119350 A JP 63119350A JP 11935088 A JP11935088 A JP 11935088A JP H01292730 A JPH01292730 A JP H01292730A
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- Japan
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- sintered
- sintered body
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- machined
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、マイクロ波電子管などに用いる高融点金属粉
末焼結体陰極の製造方法に関する。
末焼結体陰極の製造方法に関する。
従来、この種焼結体陰極の製造には、高融点金属粉末ま
たは高融点金属粉末と電子放射性物質を混合したものを
プレス成形し、プレス成形した成形体を、機械加工でき
る硬度にするために、還元性雰囲気もしくは真空中にお
いて約１２００℃で約１５分間仮焼結し、仮焼結した状
態で所定の寸法の円筒状に機械加工し、その後、第４図
に示すｉうに、円筒状に機械加工した仮焼結体１を炉の
ステージ４に載置し、還元性雰囲気もしくは真空中にお
いて２０００℃で約１時間本焼結する方法を採ってきた
。なお、高融点金属粉末のみを焼結した場合には、本焼
結後に電子放射性物質を含浸させる。
たは高融点金属粉末と電子放射性物質を混合したものを
プレス成形し、プレス成形した成形体を、機械加工でき
る硬度にするために、還元性雰囲気もしくは真空中にお
いて約１２００℃で約１５分間仮焼結し、仮焼結した状
態で所定の寸法の円筒状に機械加工し、その後、第４図
に示すｉうに、円筒状に機械加工した仮焼結体１を炉の
ステージ４に載置し、還元性雰囲気もしくは真空中にお
いて２０００℃で約１時間本焼結する方法を採ってきた
。なお、高融点金属粉末のみを焼結した場合には、本焼
結後に電子放射性物質を含浸させる。
上記のような従来の製造方法では、本焼結のとき、仮焼
結体１の炉のステージ４と接触している部分において他
の部分より多くの熱の逃げが発生し、該部分で真円度が
悪くなったシ、上下で収縮率が違ってきて、大きな変形
が生ずるという問題があった。
結体１の炉のステージ４と接触している部分において他
の部分より多くの熱の逃げが発生し、該部分で真円度が
悪くなったシ、上下で収縮率が違ってきて、大きな変形
が生ずるという問題があった。
本発明は上記の問題を解消するためになされたもので、
本焼結時に変形の起こらない方法を提供することを目的
とする。
本焼結時に変形の起こらない方法を提供することを目的
とする。
本発明は、本焼結を円筒状に機械加工した仮焼結体の中
空に外径が本焼結により熱膨張したときは上記仮焼結体
の中空部が本焼結により収縮したときの内径よりわずか
に大きくなる高融点金属製の丸棒を挿入し該仮焼結体を
浮かせて行う方法である。
空に外径が本焼結により熱膨張したときは上記仮焼結体
の中空部が本焼結により収縮したときの内径よりわずか
に大きくなる高融点金属製の丸棒を挿入し該仮焼結体を
浮かせて行う方法である。
上記のようにして１本焼結を行うと、各部分からの熱の
逃げが均一になるとともに、焼結体の中空部が収縮する
際、焼結体の中空の内壁が丸棒に密着し、真円度が良好
に保たれ、上下部分で寸法差が生ずることがない。
逃げが均一になるとともに、焼結体の中空部が収縮する
際、焼結体の中空の内壁が丸棒に密着し、真円度が良好
に保たれ、上下部分で寸法差が生ずることがない。
第１図は本発明における本焼結時の仮焼結体の保持方法
の一例を示す。
の一例を示す。
タングステン粉末と約１０俤の電子放射性物質の酸化ナ
トリウムを混合してプレス成形し、約１０００℃で約１
０分間仮焼結し、内径約１６＋ｌｌ１１、外径約１８■
、高さ約１５ｍの円筒状に機械加工した仮焼結体１の中
空にモリブデン製丸棒２を挿入し、このモリブデン製丸
棒２をモリブデン環の台３に固定し、この台３を水素炉
のステージ４に設置し、約２０００℃で約１時間本焼結
を行う。
トリウムを混合してプレス成形し、約１０００℃で約１
０分間仮焼結し、内径約１６＋ｌｌ１１、外径約１８■
、高さ約１５ｍの円筒状に機械加工した仮焼結体１の中
空にモリブデン製丸棒２を挿入し、このモリブデン製丸
棒２をモリブデン環の台３に固定し、この台３を水素炉
のステージ４に設置し、約２０００℃で約１時間本焼結
を行う。
モリブデン丸棒２の焼結中の熱膨張率は２０００℃で約
１．５％であり、仮焼結体１の焼結中の熱膨張率は２０
００℃で約１．１俤である。また、仮焼結体１の焼結後
の収縮率が約２％であることを考え、モリブデン製丸棒
の外径は、仮焼結体ｌの内壁との間に約０．４簡の隙間
ができるように設定しておく。
１．５％であり、仮焼結体１の焼結中の熱膨張率は２０
００℃で約１．１俤である。また、仮焼結体１の焼結後
の収縮率が約２％であることを考え、モリブデン製丸棒
の外径は、仮焼結体ｌの内壁との間に約０．４簡の隙間
ができるように設定しておく。
焼結中は、仮焼結体１の内壁がモリブデン製丸棒２の外
周に密着することによって、上下で収縮差が生じたり、
真円度が悪くなることは全くなくなる。
周に密着することによって、上下で収縮差が生じたり、
真円度が悪くなることは全くなくなる。
焼結体に比ベモリブデンの熱膨張率が大きいために、冷
却後には円筒状の焼結体の中空内壁とモリブデン製丸棒
２の表面との間に約０．０５ ｔｍの隙間が生じ、焼結
体を丸棒２から容易に取り外すことができる。
却後には円筒状の焼結体の中空内壁とモリブデン製丸棒
２の表面との間に約０．０５ ｔｍの隙間が生じ、焼結
体を丸棒２から容易に取り外すことができる。
本焼結後に電子放射性物質を含浸させる場合は、タング
ステン粉末のみをプレス加工して成形し、仮焼結、機械
加工、本焼結した後、酸化バリウムを主成分とする酸化
物の混合物を塗布し、水素炉において約１５００℃で融
解させて含浸させる。
ステン粉末のみをプレス加工して成形し、仮焼結、機械
加工、本焼結した後、酸化バリウムを主成分とする酸化
物の混合物を塗布し、水素炉において約１５００℃で融
解させて含浸させる。
この際、焼結体の表面に付着した余剰の電子放射性物質
は、冷却後除去する。
は、冷却後除去する。
なお、外径約８−１内径約５ｔｍｓ高さ約８ｍｍの円筒
状に機械加工した仮焼結体１の場合、モリブデン製丸棒
２の外径を、仮焼結体１の内壁との間に約０．２ ｗａ
の隙間ができる寸法にすると、良結果が得られた。
状に機械加工した仮焼結体１の場合、モリブデン製丸棒
２の外径を、仮焼結体１の内壁との間に約０．２ ｗａ
の隙間ができる寸法にすると、良結果が得られた。
第２図は本発明の方法による陰極の一例の真円度と内径
寸法の基準値からの差の実測値を、第３図は従来の方法
による陰極の対応する実測値を示す。
寸法の基準値からの差の実測値を、第３図は従来の方法
による陰極の対応する実測値を示す。
従来の方法によるものでは、炉のステージ４に接触する
下部で真円度が特に悪く、また、上下において内径寸法
の差が大きいが、本発明の方法によるものでは１．上記
欠点は殆んど改善されていることがわかる。
下部で真円度が特に悪く、また、上下において内径寸法
の差が大きいが、本発明の方法によるものでは１．上記
欠点は殆んど改善されていることがわかる。
以上説明したように、本発明によれば、全ての部分で真
円度が良好で、全ての部分で寸法が均一な円筒状陰極が
得られ、電子管の特性向上に寄与する効果が大である。
円度が良好で、全ての部分で寸法が均一な円筒状陰極が
得られ、電子管の特性向上に寄与する効果が大である。
第１図は本発明における本焼結時の仮焼結体の保持方法
の一例を示す説明図、第２図は本発明の方法による陰極
の一例の真円度と内径寸法の基準値からの差の実測値を
示すグラフ、第３図は従来の方法による陰極の第２図の
実測値に対応する実測値を示すグラフ、第４図は従来の
方法における本焼結時の仮焼結体の保持方法の一例を示
す説明図である。 ｌ・・・仮焼結体、２・・・モリブデン製丸棒、３・・
・モリブデン製台、４・・・炉のステージ、なお図中同
一符号は同一または相当する部分を示す。 第１図 第４図 ０．０５ −αｏｓ ｏ
−ｏ、ｏｓ真円度（ｍｍ） 内
径（ｍｍ）第２図 αｏｓ −ｏ、ｏｓ ｏ 令
０．０５真円度（ｍｍ） 内径（ｍｍ
）第３図
の一例を示す説明図、第２図は本発明の方法による陰極
の一例の真円度と内径寸法の基準値からの差の実測値を
示すグラフ、第３図は従来の方法による陰極の第２図の
実測値に対応する実測値を示すグラフ、第４図は従来の
方法における本焼結時の仮焼結体の保持方法の一例を示
す説明図である。 ｌ・・・仮焼結体、２・・・モリブデン製丸棒、３・・
・モリブデン製台、４・・・炉のステージ、なお図中同
一符号は同一または相当する部分を示す。 第１図 第４図 ０．０５ −αｏｓ ｏ
−ｏ、ｏｓ真円度（ｍｍ） 内
径（ｍｍ）第２図 αｏｓ −ｏ、ｏｓ ｏ 令
０．０５真円度（ｍｍ） 内径（ｍｍ
）第３図
Claims (2)
- （１）高融点金属粉末と電子放射性物質を混合ししプレ
ス成形し、プレス成形した成形体を還元性雰囲気もしく
は真空中において本焼結温度より低い温度で機械加工に
耐える硬度に仮焼結し、仮焼結した仮焼結体を所望の円
筒状に機械加工し、円筒状に機械加工した仮焼結体を還
元性雰囲気もしくは真空中において本焼結する陰極の製
造方法において、本焼結に際し、円筒状に機械加工した
仮焼結体の中空に外径が本焼結により熱膨張したときは
上記仮焼結体の本焼結により収縮したときの内径よりわ
ずかに大きくなる高融点金属製の丸棒を挿入し該仮焼結
体を浮かせて本焼結を行うことを特徴とする陰極の製造
方法。 - （２）高融点金属粉末をプレス成形し、プレス成形した
成形体を還元性雰囲気もしくは真空中において本焼結温
度より低い温度で機械加工に耐える硬度に仮焼結し、仮
焼結した仮焼結体を所望の円筒状に機械加工し、円筒状
に機械加工した仮焼結体を還元性雰囲気もしくは真空中
において本焼結し、本焼結した焼結体に電子放射性物質
を含浸させる陰極の製造方法において、本焼結に際し、
円筒状に機械加工した仮焼結体の中空に外径が本焼結に
より熱膨張したときは上記仮焼結体の本焼結により収縮
したときの内径よりわずかに大きくなる高融点金属製の
丸棒を挿入し該仮焼結体を浮かせて本焼結を行うことを
特徴とする陰極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63119350A JP2775261B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 陰極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63119350A JP2775261B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 陰極の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01292730A true JPH01292730A (ja) | 1989-11-27 |
| JP2775261B2 JP2775261B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=14759314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63119350A Expired - Lifetime JP2775261B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 陰極の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2775261B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6353618A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ジヨイステイツクレバ−装置 |
-
1988
- 1988-05-18 JP JP63119350A patent/JP2775261B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6353618A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ジヨイステイツクレバ−装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2775261B2 (ja) | 1998-07-16 |
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