JPH01295702A - セラミックス被覆切削工具 - Google Patents
セラミックス被覆切削工具Info
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- JPH01295702A JPH01295702A JP12197788A JP12197788A JPH01295702A JP H01295702 A JPH01295702 A JP H01295702A JP 12197788 A JP12197788 A JP 12197788A JP 12197788 A JP12197788 A JP 12197788A JP H01295702 A JPH01295702 A JP H01295702A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、結晶層とアモルファス層を交互に合Ｍｆ”層
以上からなる。セラミックス層を含む皮膜を被覆した耐
摩耗性および強度の優わた切削工具に関するものである
。
以上からなる。セラミックス層を含む皮膜を被覆した耐
摩耗性および強度の優わた切削工具に関するものである
。
［従来の技術］
超硬、サーメットおよびセラミックス母材からなる切削
工具に、硬質セラミックス膜を被覆することによって耐
摩耗性を改善することが一射に行われている。中でも化
学的に安定で高温硬さの高いアルミナや窒化珪素膜か母
材Ｃ直接あるいはチタンの窒化物や炭化物皮膜の上に被
覆されて使用されることが多い。これらの皮膜は母材と
の密着性および被覆能率の点から多くの場合、９００℃
以上で被覆処理され、熱ＣＶＯ法（化学蒸着法）により
被覆される。
工具に、硬質セラミックス膜を被覆することによって耐
摩耗性を改善することが一射に行われている。中でも化
学的に安定で高温硬さの高いアルミナや窒化珪素膜か母
材Ｃ直接あるいはチタンの窒化物や炭化物皮膜の上に被
覆されて使用されることが多い。これらの皮膜は母材と
の密着性および被覆能率の点から多くの場合、９００℃
以上で被覆処理され、熱ＣＶＯ法（化学蒸着法）により
被覆される。
ＣＶＤ被覆されたアルミナ、窒化珪素あるいはこれらの
複合組成の結晶膜は、硬さが高く耐摩耗性に優わている
反面、柱状結晶になりやすい。この柱状結晶は母材面に
垂直に近い角度で結晶粒が成長したもので、切削中に引
張り応力が生じる場合には、粒界にそって容易に亀裂が
進展し、その亀裂が応力集中源となり、比較的イルい応
力で工Ｉｔが欠損するに至る。即ち、耐摩耗性を得るた
めに−１−記組成のセラミックス膜を被覆することによ
って工具自身の強度が低下する。
複合組成の結晶膜は、硬さが高く耐摩耗性に優わている
反面、柱状結晶になりやすい。この柱状結晶は母材面に
垂直に近い角度で結晶粒が成長したもので、切削中に引
張り応力が生じる場合には、粒界にそって容易に亀裂が
進展し、その亀裂が応力集中源となり、比較的イルい応
力で工Ｉｔが欠損するに至る。即ち、耐摩耗性を得るた
めに−１−記組成のセラミックス膜を被覆することによ
って工具自身の強度が低下する。
この傾向はこの皮膜層の厚さが厚くなるほど急速に増大
する。このため、ＣｖＤ被覆工具は皮膜の厚さを数μｍ
以下とし、かつ繰り返し衝撃荷重を受けない連続切削用
に使用が制限されている。
する。このため、ＣｖＤ被覆工具は皮膜の厚さを数μｍ
以下とし、かつ繰り返し衝撃荷重を受けない連続切削用
に使用が制限されている。
この柱状結晶化を避けるには処理温度を下げることが有
効であるが、処理温度を下げるとアモルファス状の皮膜
となりやすく、皮膜硬さが低下し耐摩耗性が低下する。
効であるが、処理温度を下げるとアモルファス状の皮膜
となりやすく、皮膜硬さが低下し耐摩耗性が低下する。
また、柱状結晶化を避ける別の方法は、異なる組成の膜
を交互に設け、多層膜化することである。例えば、特公
昭６１−５４１１４号公報には、Ｔｆ、Ｚｒ、Ｈｆ等の
酸炭窒化物とＡｎ酸化物の層を交互に備えている多層膜
が報告されている。
を交互に設け、多層膜化することである。例えば、特公
昭６１−５４１１４号公報には、Ｔｆ、Ｚｒ、Ｈｆ等の
酸炭窒化物とＡｎ酸化物の層を交互に備えている多層膜
が報告されている。
しかし異なる組成の膜を交互に付けるためには、原料ガ
ス系を切換える必要があり、操作が煩雑になるほか、層
間の密着強度が低下し、フライス加工等の断続切削や小
部品の多数切削加工の場合のように、繰り返し衝撃荷重
のほかに切削時の発熱と非切削時の冷却に伴なう繰り返
し熱応力を受ける用途においては、居間において皮膜の
小剥離が生じやすくなる。
ス系を切換える必要があり、操作が煩雑になるほか、層
間の密着強度が低下し、フライス加工等の断続切削や小
部品の多数切削加工の場合のように、繰り返し衝撃荷重
のほかに切削時の発熱と非切削時の冷却に伴なう繰り返
し熱応力を受ける用途においては、居間において皮膜の
小剥離が生じやすくなる。
［発明が解決しようとする課題］
本発明は硬さが高く化学的にも安定な反面、柱状結晶化
しやすいＡｎ、 Ｓｉの酸化物、窒化物および酸窒化物
のＣＶＤ膜において、これら組成の結晶膜に比べて大幅
な硬さの低下がなく同時に著しい柱状結晶化を示さない
、耐摩耗性および強度の優れた、従って断続切削におい
ても工具寿命の優れた切削工具を提供することを目的と
するものである。
しやすいＡｎ、 Ｓｉの酸化物、窒化物および酸窒化物
のＣＶＤ膜において、これら組成の結晶膜に比べて大幅
な硬さの低下がなく同時に著しい柱状結晶化を示さない
、耐摩耗性および強度の優れた、従って断続切削におい
ても工具寿命の優れた切削工具を提供することを目的と
するものである。
［Ｘ１題を解決するための手段］
ＣＶＤ法によりＡｎ、 Ｓｊの酸化物、窒化物および酸
窒化物の一種又は二種以上を含む結晶を成膜させようと
すると柱状晶となる。膜厚が厚くなる程著しい柱状結晶
となり、工具の強度が低下する。これに対し本発明はこ
れら組成の結晶を成膜する途中で、これら組成の薄いア
モルファス層を挿入させ、結晶とアモルファスの交互層
とすることによって、前述の課題を解決できることを提
案するものである。
窒化物の一種又は二種以上を含む結晶を成膜させようと
すると柱状晶となる。膜厚が厚くなる程著しい柱状結晶
となり、工具の強度が低下する。これに対し本発明はこ
れら組成の結晶を成膜する途中で、これら組成の薄いア
モルファス層を挿入させ、結晶とアモルファスの交互層
とすることによって、前述の課題を解決できることを提
案するものである。
すなわち、本発明の切削工具は、超硬、サーメットおよ
びセラミックス母材に、＾ｌ、 Ｓｊの酸化物、窒化物
および酸窒化物の一種又は二種以上を含む皮膜を被覆し
た工具において、該皮膜が厚さが１．０ＪＪＩ１１以下
のアモルファス層と厚さが２．０ｕ騰以下の結晶層の少
なくとも合せて４層以上の、好ましくは厚さが６ＪＪＩ
ｌ＋以上の交互層からなることを特徴とする。
びセラミックス母材に、＾ｌ、 Ｓｊの酸化物、窒化物
および酸窒化物の一種又は二種以上を含む皮膜を被覆し
た工具において、該皮膜が厚さが１．０ＪＪＩ１１以下
のアモルファス層と厚さが２．０ｕ騰以下の結晶層の少
なくとも合せて４層以上の、好ましくは厚さが６ＪＪＩ
ｌ＋以上の交互層からなることを特徴とする。
［作用］
アモルファス層の挿入は、ＣｖＤの温度を一時的に結晶
化温度より低い温度にすることによって行うことができ
る。このアモルファス層を挿入することによって結晶の
成長が中断される。次にアモルファス層の上に結晶を再
度成長させると、アモルファス上に多くの結晶核生成が
行われて微細な結晶が成長を始める。この結晶層の厚さ
を十分小さく制御してやることにより、顕著な柱状組織
ではなく層状の微細結晶からなる組織となる。この皮膜
は引張り応力が負荷されても従来の顕著な柱状結晶にく
らべて亀裂が生じ難く、亀裂を生じる場合でもアモルフ
ァス層によって亀裂の進展が抑制されるため、被覆によ
る工具の強度低下を小さいものにすることができる。又
アモルファス層は同組成の結晶層に比べて硬さが低いが
、この層を十分小さくしてやることによって、皮膜全体
の硬さを結晶層だけの皮膜の硬さに近い値にすることが
できる。
化温度より低い温度にすることによって行うことができ
る。このアモルファス層を挿入することによって結晶の
成長が中断される。次にアモルファス層の上に結晶を再
度成長させると、アモルファス上に多くの結晶核生成が
行われて微細な結晶が成長を始める。この結晶層の厚さ
を十分小さく制御してやることにより、顕著な柱状組織
ではなく層状の微細結晶からなる組織となる。この皮膜
は引張り応力が負荷されても従来の顕著な柱状結晶にく
らべて亀裂が生じ難く、亀裂を生じる場合でもアモルフ
ァス層によって亀裂の進展が抑制されるため、被覆によ
る工具の強度低下を小さいものにすることができる。又
アモルファス層は同組成の結晶層に比べて硬さが低いが
、この層を十分小さくしてやることによって、皮膜全体
の硬さを結晶層だけの皮膜の硬さに近い値にすることが
できる。
このようにして本発明の被覆工具は優れた耐摩耗性と強
度を併せ持ち、連続切削のほかに繰り返し衝撃荷重のか
かる断続切削や小部品の多数切削用途にも適用すること
が可能である。又結晶層とアモルファス層は同成分であ
ることから密着性も良く、異なる成分系の多層皮膜の場
合に生じやすい層間の剥離も少ない。
度を併せ持ち、連続切削のほかに繰り返し衝撃荷重のか
かる断続切削や小部品の多数切削用途にも適用すること
が可能である。又結晶層とアモルファス層は同成分であ
ることから密着性も良く、異なる成分系の多層皮膜の場
合に生じやすい層間の剥離も少ない。
［発明の詳細］
次に本発明の限定理由について述べる。
アモルファス層の厚さは１μｍを超える場合には皮膜に
占めるアモルファス層の割合が大きくなり、皮膜硬さが
低下する。又確実に結晶の成長を中断させるためには０
．１μｍ以上であることが望ましい。
占めるアモルファス層の割合が大きくなり、皮膜硬さが
低下する。又確実に結晶の成長を中断させるためには０
．１μｍ以上であることが望ましい。
結晶層の厚さは２．０μｍを超える場合には顕著な柱状
組織を呈し、工具の強度が低下する。結晶層の厚さは薄
い程５強度の点からは好ましいが、所定の厚さにするた
めには非常に多数の層とする必要が生じるため０．２μ
ｍ以上であることが望ましい。
組織を呈し、工具の強度が低下する。結晶層の厚さは薄
い程５強度の点からは好ましいが、所定の厚さにするた
めには非常に多数の層とする必要が生じるため０．２μ
ｍ以上であることが望ましい。
本発明の皮膜は２°つの結晶層と２つのアモルファス層
からなる４層構造が最小の層数となるが、結晶層の結晶
粒を小さくして強度の向上を図るには、８層以−トの多
層構造とすることが望ましい。
からなる４層構造が最小の層数となるが、結晶層の結晶
粒を小さくして強度の向上を図るには、８層以−トの多
層構造とすることが望ましい。
又、Ａｌ、 Ｓｉの酸化物、窒化物および酸窒化物の一
層又は二種以上の結晶層とアモルファス層の多層膜を超
硬、サーメットおよびセラミックス母材に直接被覆する
こともできるが、母材との密着強度を高くするには、こ
わら多層膜の下にＴｉの炭化物、窒化物又は炭窒化物の
一種又は二種以上の層を被覆しておくことが望ましい。
層又は二種以上の結晶層とアモルファス層の多層膜を超
硬、サーメットおよびセラミックス母材に直接被覆する
こともできるが、母材との密着強度を高くするには、こ
わら多層膜の下にＴｉの炭化物、窒化物又は炭窒化物の
一種又は二種以上の層を被覆しておくことが望ましい。
この結晶層とアモルファス層の交互層の全体の厚さは６
層ｍ未満であっても本発明のねらいとする効果を十分発
揮するが、この交互層を多数積み重ねて６ＡＪ１１以上
のＪｇ、ｌ１５１とすることによって耐摩耗性が一層向
上し、優れた工具寿命を示すに至る。厚さは大きくても
工具寿命面からは差しつがえないが、製造コスト面から
Ｉｏｎ ｕｔｎ以下とすることが好ましい。
層ｍ未満であっても本発明のねらいとする効果を十分発
揮するが、この交互層を多数積み重ねて６ＡＪ１１以上
のＪｇ、ｌ１５１とすることによって耐摩耗性が一層向
上し、優れた工具寿命を示すに至る。厚さは大きくても
工具寿命面からは差しつがえないが、製造コスト面から
Ｉｏｎ ｕｔｎ以下とすることが好ましい。
［実施例］
（実施例１）
ｆｆ［ｆｆｉ！Ｉｉ テロｔ Ｃｏ、 ５ｔＴｉＣ−５
％（ＴａＣ＋Ｉ’１ｂｃ）、 ８４’ｔ ＶＣからなる
超硬合金を母材とし、ＣＶＤ反応炉内にセットした。こ
のＣＶＤ反応炉内に最初体積比３零丁：ＣＱ４．９＊
Ｃ１１４、残部Ｈ２からなるガスを導入し、１０００℃
、 １５０Ｔｏｒｒの条件で３０分間処理した。次に上
記のＣ；１４に替えてＮＨ，９！Ｉ； （体積比）を
導入し′Ｃ２０分間処理した。以上の処理は以下に述べ
るアルミナの結晶層とアモルファス層の交互層のアンダ
ーコートとしてＴｉＣおよびＴｉＮをコーティングする
ための処理である。
％（ＴａＣ＋Ｉ’１ｂｃ）、 ８４’ｔ ＶＣからなる
超硬合金を母材とし、ＣＶＤ反応炉内にセットした。こ
のＣＶＤ反応炉内に最初体積比３零丁：ＣＱ４．９＊
Ｃ１１４、残部Ｈ２からなるガスを導入し、１０００℃
、 １５０Ｔｏｒｒの条件で３０分間処理した。次に上
記のＣ；１４に替えてＮＨ，９！Ｉ； （体積比）を
導入し′Ｃ２０分間処理した。以上の処理は以下に述べ
るアルミナの結晶層とアモルファス層の交互層のアンダ
ーコートとしてＴｉＣおよびＴｉＮをコーティングする
ための処理である。
次に５体積比テＡＱｃｉ３５’Ｊｉ 、 （：０５９Ｇ
、残Ｈ２がうなるガスをＣＶＤ反応炉内に導入して１０
００℃。
、残Ｈ２がうなるガスをＣＶＤ反応炉内に導入して１０
００℃。
１５０Ｔｏｒｒの条件で１２分間処理後、同ガス組成、
ガス圧で７５０℃、８分間処理した。この１０００℃、
１２分間→７５０℃、８分間を６回繰り返した。１００
０℃と７５０℃の繰り返しはＣＶＤ反応炉内に１０００
℃と７５０℃に保持したゾーンを設け、このゾーン間を
母材を乗せたホルダーを移動させることによって行った
。このようにしてＣＶＤ処理された被覆層は第１図に示
す構造をしている。
ガス圧で７５０℃、８分間処理した。この１０００℃、
１２分間→７５０℃、８分間を６回繰り返した。１００
０℃と７５０℃の繰り返しはＣＶＤ反応炉内に１０００
℃と７５０℃に保持したゾーンを設け、このゾーン間を
母材を乗せたホルダーを移動させることによって行った
。このようにしてＣＶＤ処理された被覆層は第１図に示
す構造をしている。
この被覆工具は第２図に示す比較の結晶アルミナ層から
なる被覆工具にくらべて抗折力が優れている。又第３図
に示すアモルファスアルミナ層からなる被覆工具にくら
べてアルミナ層の硬さが高い。又下記の条件で行った切
削試験の結果、比較の両工具より優れた工具寿命を示し
た。これらの結果を表１に示す。
なる被覆工具にくらべて抗折力が優れている。又第３図
に示すアモルファスアルミナ層からなる被覆工具にくら
べてアルミナ層の硬さが高い。又下記の条件で行った切
削試験の結果、比較の両工具より優れた工具寿命を示し
た。これらの結果を表１に示す。
く切削試験条件〉
被削材：５４５Ｃ
切込み＋２ｍｍ
送 リ ： （１，１８ｆｆ１ｍ／ｒｅｖ。
−〇
速 度＋ １８０ ｍ／＋＋＋ｉ口
１個当りの切削時間： ０．８ ｗｉｎ寿命基準： ｖ
ａ＝ ５００ ｕｍ又は工具の欠損表 １ （実施例２） 重量ｔで、７ ！ｔｉ Ａｌｚ０３を焼結助剤として含
むＳｉ３Ｎ４焼結材を母材とし、ＣＶＤ反応炉内で下記
の被覆処理を行った。最初に体積比１５’）−５ｉＣＱ
４． ５！ｌｉ Ｎｉｌ、 、残Ｈ２からなるガスを反
応炉内に導入し、５０Ｔｏｒｒ、 １１００℃で１２分
間処理後、同ガス組成比、ガス圧のまま１３５０℃で１
０分間処理した。この１１００℃と１３５０℃の処理を
５回縁り返した。その結果第４図に示すアモルファス窒
化珪素層に結晶Ｓｉ、Ｎ４層の１０層、合計２．８ ｕ
ｍからなる多層膜工具を得た。
ａ＝ ５００ ｕｍ又は工具の欠損表 １ （実施例２） 重量ｔで、７ ！ｔｉ Ａｌｚ０３を焼結助剤として含
むＳｉ３Ｎ４焼結材を母材とし、ＣＶＤ反応炉内で下記
の被覆処理を行った。最初に体積比１５’）−５ｉＣＱ
４． ５！ｌｉ Ｎｉｌ、 、残Ｈ２からなるガスを反
応炉内に導入し、５０Ｔｏｒｒ、 １１００℃で１２分
間処理後、同ガス組成比、ガス圧のまま１３５０℃で１
０分間処理した。この１１００℃と１３５０℃の処理を
５回縁り返した。その結果第４図に示すアモルファス窒
化珪素層に結晶Ｓｉ、Ｎ４層の１０層、合計２．８ ｕ
ｍからなる多層膜工具を得た。
又同条件で１１００℃と１３５０℃の処理を１８回繰り
返して第５図に示すアモルファス窒化珪素層と結晶Ｓｉ
、Ｎ、層の３６層合計１１．２μｌからなる多層膜工具
を得た。
返して第５図に示すアモルファス窒化珪素層と結晶Ｓｉ
、Ｎ、層の３６層合計１１．２μｌからなる多層膜工具
を得た。
これら本発明による多層膜被覆工具と比較の結晶Ｓｉ、
Ｎ４およびアモルファス窒化珪素の各単層膜被覆工具と
の硬さ、抗折力および工具寿命比較を表２に示す。本発
明工具は結晶単層膜にくらべて強度が高く、アモルファ
ス単層膜にくらべて硬さが高い。又比較の画工具より工
具寿命が優れている。特に被膜厚さを厚くした本発明３
の工具は最も優れている。この時の切削試験は下記の条
件で行った。
Ｎ４およびアモルファス窒化珪素の各単層膜被覆工具と
の硬さ、抗折力および工具寿命比較を表２に示す。本発
明工具は結晶単層膜にくらべて強度が高く、アモルファ
ス単層膜にくらべて硬さが高い。又比較の画工具より工
具寿命が優れている。特に被膜厚さを厚くした本発明３
の工具は最も優れている。この時の切削試験は下記の条
件で行った。
く切削試験条件〉
被削材：Ｆｅ１２
切込み：１．５ａｍ
送 リ ： ０．１２ ａｒｍ／ｒｅｖ。
速度： ３００ ｍ／ｌ１ｉｎ
１個当りの切削時間： ０．５ ｗｉｎ寿命基準： Ｖ
Ｂ＝ ５００μＩ又は工具の欠損表 ２ （実施例３） 重量ｔでＴｉＣ７５！ｋ 、 Ｎｉ １．５）； 、
Ｃｏ５龜を含むサーメットを母材とし、ＣｖＯ反応炉内
で下記の被覆処理を行った。最初に体積比Ａｌ（：Ｒ３
５！に、Ｇｏ ５％、ＮＨ３２１残Ｈ２からなるガス
をＣＶＤ反応炉に導入して、 １０２０℃、 １００Ｔ
ｏｒｒの条件で１０分間処理後、同ガス組成および同ガ
ス圧のまま７００″ｃｌＯ分間処理した。この１０２０
℃１０分→７００″’ＣＩＯ分を３回繰り返した後ＮＨ
，の導入を止め、体積比ＡＱ１３５９６、 Ｃｏ５！！
、残Ｈ２からなるガス組成で１０２０℃ｌＯ分→７０
０℃１０分処理を２回繰り返した。本実施例で用いたＣ
ＶＤ炉は前２例とは異なり、母材の保持台を高周波加熱
する方式で、いわゆるコールドウオール方式の装置で処
理温度を短時間で変えることができる。
Ｂ＝ ５００μＩ又は工具の欠損表 ２ （実施例３） 重量ｔでＴｉＣ７５！ｋ 、 Ｎｉ １．５）； 、
Ｃｏ５龜を含むサーメットを母材とし、ＣｖＯ反応炉内
で下記の被覆処理を行った。最初に体積比Ａｌ（：Ｒ３
５！に、Ｇｏ ５％、ＮＨ３２１残Ｈ２からなるガス
をＣＶＤ反応炉に導入して、 １０２０℃、 １００Ｔ
ｏｒｒの条件で１０分間処理後、同ガス組成および同ガ
ス圧のまま７００″ｃｌＯ分間処理した。この１０２０
℃１０分→７００″’ＣＩＯ分を３回繰り返した後ＮＨ
，の導入を止め、体積比ＡＱ１３５９６、 Ｃｏ５！！
、残Ｈ２からなるガス組成で１０２０℃ｌＯ分→７０
０℃１０分処理を２回繰り返した。本実施例で用いたＣ
ＶＤ炉は前２例とは異なり、母材の保持台を高周波加熱
する方式で、いわゆるコールドウオール方式の装置で処
理温度を短時間で変えることができる。
この結果、第６図に示すようにＡＭ２０．とＡｉＮの結
晶層とアモルファス層およびＡｔ２０．の結晶層とアモ
ルファス層の多層膜が得られた。結晶層厚は０．３〜０
．４１Ｊｍでアモルファス層厚は０．１〜０．１５１Ｊ
ａ＋〜０．２μｍで合計厚さは２．７μｌである。
晶層とアモルファス層およびＡｔ２０．の結晶層とアモ
ルファス層の多層膜が得られた。結晶層厚は０．３〜０
．４１Ｊｍでアモルファス層厚は０．１〜０．１５１Ｊ
ａ＋〜０．２μｍで合計厚さは２．７μｌである。
この工具の皮膜硬さ、抗折力および工具寿命は表３に示
す通りである。切削試験は表１と同条件で行ったもので
あり、表１に示す比較の工具にくらべて工具寿命が優れ
ている。
す通りである。切削試験は表１と同条件で行ったもので
あり、表１に示す比較の工具にくらべて工具寿命が優れ
ている。
表 ３
［発明の効果］
上述したように本発明は超硬、サーメットあるいはセラ
ミックス母材に結晶層とアモルファス層を交互に被覆す
ることによって、強度を低下させることなく高硬度の皮
膜を被覆するもので、小部分の多数切削や断続切削にお
いても優れた工具寿命を示す。
ミックス母材に結晶層とアモルファス層を交互に被覆す
ることによって、強度を低下させることなく高硬度の皮
膜を被覆するもので、小部分の多数切削や断続切削にお
いても優れた工具寿命を示す。
第１図は超硬母材にＴｉＣ，ＴｉＮ層を被覆した後結晶
ＡＱａＯ：＋とアモルファスアルミナを交互に１２層被
覆した本発明の被覆工具の被覆層の断面模式図。 第２図は超硬母材にＴｉＣ，ＴｉＮ層を被覆した後結晶
＾ＱｚＯｓを被覆した比較の被覆工具の被覆層の断面模
式図。 第３図は超硬母材にＴｉ（：、ＴｉＮ層を被覆した後ア
モルファスアルミナを被覆した比較の被覆工具の被覆層
の断面模式図。 第４図は焼結Ｓｉ、Ｎ４に結晶Ｓｉ３Ｎ４とアモルファ
ス窒化珪素を交互に１０層被覆した本発明の被覆工具の
被覆層の断面模式図。 第５図は同じく焼結Ｓｉ３Ｎ４に結晶Ｓｉ、Ｎ４とアモ
ルファス窒化珪素を交互に３６層被覆した本発明の被覆
工具の被覆層の断面模式図。 第６図はサーメットＩす材に結晶＾２□０３ ・ＡＱ
Ｎと″ｊ゛モルファスＡＱ−０−Ｎを交互に６層被覆し
、さらにその−Ｆに結晶ＡＱｚＯ，ｖとアモルフ・−ス
アルミナを交互に４層、合計１０層被覆した工具の被覆
層のｔ＠而面式図。
ＡＱａＯ：＋とアモルファスアルミナを交互に１２層被
覆した本発明の被覆工具の被覆層の断面模式図。 第２図は超硬母材にＴｉＣ，ＴｉＮ層を被覆した後結晶
＾ＱｚＯｓを被覆した比較の被覆工具の被覆層の断面模
式図。 第３図は超硬母材にＴｉ（：、ＴｉＮ層を被覆した後ア
モルファスアルミナを被覆した比較の被覆工具の被覆層
の断面模式図。 第４図は焼結Ｓｉ、Ｎ４に結晶Ｓｉ３Ｎ４とアモルファ
ス窒化珪素を交互に１０層被覆した本発明の被覆工具の
被覆層の断面模式図。 第５図は同じく焼結Ｓｉ３Ｎ４に結晶Ｓｉ、Ｎ４とアモ
ルファス窒化珪素を交互に３６層被覆した本発明の被覆
工具の被覆層の断面模式図。 第６図はサーメットＩす材に結晶＾２□０３ ・ＡＱ
Ｎと″ｊ゛モルファスＡＱ−０−Ｎを交互に６層被覆し
、さらにその−Ｆに結晶ＡＱｚＯ，ｖとアモルフ・−ス
アルミナを交互に４層、合計１０層被覆した工具の被覆
層のｔ＠而面式図。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、超硬、サーメットおよびセラミックス母材に、Ａｌ
、Ｓｉの酸化物、窒化物および酸窒化物の一種又は二種
以上を含む皮膜を被覆した工具において、該皮膜が厚さ
が１．０μｍ以下のアモルファス層と厚さが２．０μｍ
以下の結晶層の少なくとも合せて４層以上の交互層から
なることを特徴とするセラミックス被覆切削工具。 ２、Ａｌ、Ｓｉの酸化物、窒化物および酸窒化物の一種
又は二種以上の組成からなるアモルファス層と結晶層の
交互層の厚さが６μｍ以上であることを特徴とする請求
項１記載の切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12197788A JPH01295702A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | セラミックス被覆切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12197788A JPH01295702A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | セラミックス被覆切削工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295702A true JPH01295702A (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=14824532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12197788A Pending JPH01295702A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | セラミックス被覆切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01295702A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1266980A3 (en) * | 2001-06-11 | 2003-03-12 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated carbide alloy tool |
| JP2003159653A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-06-03 | Dipsol Chem Co Ltd | アモルファス表面層を有する研削材及びその製造方法 |
| JPWO2008041402A1 (ja) * | 2006-10-02 | 2010-02-04 | 住友電気工業株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| JP2011194519A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Tokyo Institute Of Technology | 耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法 |
| JP2011194518A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Tokyo Institute Of Technology | 耐摩耗性にすぐれたミーリング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法 |
-
1988
- 1988-05-20 JP JP12197788A patent/JPH01295702A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6855405B2 (en) | 2001-06-11 | 2005-02-15 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated carbide alloy tool |
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| JP2011194518A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Tokyo Institute Of Technology | 耐摩耗性にすぐれたミーリング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法 |
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