JPH01297835A - ウェーハ受け渡し装置 - Google Patents
ウェーハ受け渡し装置Info
- Publication number
- JPH01297835A JPH01297835A JP63129257A JP12925788A JPH01297835A JP H01297835 A JPH01297835 A JP H01297835A JP 63129257 A JP63129257 A JP 63129257A JP 12925788 A JP12925788 A JP 12925788A JP H01297835 A JPH01297835 A JP H01297835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- stage
- wafers
- transfer device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェーハ受け渡し装置に関する。
従来、半導体装置の製造設備は各工程毎の製造設備にウ
ェーハ受け渡し装置が設けられており、この製造設備の
ウェーハ受け渡し装置間を搬送装置で結ぶとともに、各
工程間のウェーハ受け渡しは、前工程の製造設備に付属
する受け渡し装置にあるウェーハ収納器（以下刃セラ１
〜と言う）よりウェーハを一枚ずつ排出し、搬送装置で
搬送して、次工程の製造設備に付属するウェーハ受け渡
し装置のカセットに収納するという所謂カセッ１へツー
カセット方式でウェーハの搬送の自動化を図っていた。
ェーハ受け渡し装置が設けられており、この製造設備の
ウェーハ受け渡し装置間を搬送装置で結ぶとともに、各
工程間のウェーハ受け渡しは、前工程の製造設備に付属
する受け渡し装置にあるウェーハ収納器（以下刃セラ１
〜と言う）よりウェーハを一枚ずつ排出し、搬送装置で
搬送して、次工程の製造設備に付属するウェーハ受け渡
し装置のカセットに収納するという所謂カセッ１へツー
カセット方式でウェーハの搬送の自動化を図っていた。
第４図は従来の受け渡し装置の一例を示す一部破断斜視
図である。この受け渡し装置は、複数のウェーハ１５を
収納する複数の収納溝１４が設けられたカセット１と、
カセッ１〜１を収納溝１４に直交する方向に移動させる
上下移動機１１ｆ１６と、収納溝１４と直交する方向に
形成されたカセッ）〜１の開放口に一部が配置される搬
送装置１７とから構成されている。カセット１を上下に
移動させる上下移動機構１６は、上下移動ステージ３と
、このステージを上下に円滑に移動出来るよに、二本の
ガイドボス１へ１３が上下移動ステージの側面側部に滑
合するようにはめ込まれている。また、図面には、図示
されていないか、この上下移動ステージ３の二本のカイ
）−ボス１〜１３の中間あたりにナツトか取り付けられ
ており、このナラ１〜に送りねじの一端が噛み合うよう
になっている。送りねじの他端は、この装置の本体に取
付けられたパルスモータに連結されている。搬送装置１
７の一部がキャリアステージ２の切り欠き部に入り込ん
で配置されており、この搬送装置１７は、カセツ）−１
が上下移動機ｆ＃１６により上下しても、カセット１の
開放溝に干渉しない程度の間隔で、二組のベルト９とプ
ーリ１０とよりなるペル１〜機構が並べて配置されてい
る。
図である。この受け渡し装置は、複数のウェーハ１５を
収納する複数の収納溝１４が設けられたカセット１と、
カセッ１〜１を収納溝１４に直交する方向に移動させる
上下移動機１１ｆ１６と、収納溝１４と直交する方向に
形成されたカセッ）〜１の開放口に一部が配置される搬
送装置１７とから構成されている。カセット１を上下に
移動させる上下移動機構１６は、上下移動ステージ３と
、このステージを上下に円滑に移動出来るよに、二本の
ガイドボス１へ１３が上下移動ステージの側面側部に滑
合するようにはめ込まれている。また、図面には、図示
されていないか、この上下移動ステージ３の二本のカイ
）−ボス１〜１３の中間あたりにナツトか取り付けられ
ており、このナラ１〜に送りねじの一端が噛み合うよう
になっている。送りねじの他端は、この装置の本体に取
付けられたパルスモータに連結されている。搬送装置１
７の一部がキャリアステージ２の切り欠き部に入り込ん
で配置されており、この搬送装置１７は、カセツ）−１
が上下移動機ｆ＃１６により上下しても、カセット１の
開放溝に干渉しない程度の間隔で、二組のベルト９とプ
ーリ１０とよりなるペル１〜機構が並べて配置されてい
る。
次に、ウェーハ１５を受け入れる操作、すなわち、ウェ
ーハ１５をカセッ１−１の収納溝１４に収納する操作を
説明すると、まず、上下移動ステージ３が最下段に下降
しているところからスタートする。上下移動ステージか
最下段に下降させると、搬送装置１７のベルト９の位置
がカセッ１〜１の最上段の収納溝１４とほぼ一致する位
置で停止する。
ーハ１５をカセッ１−１の収納溝１４に収納する操作を
説明すると、まず、上下移動ステージ３が最下段に下降
しているところからスタートする。上下移動ステージか
最下段に下降させると、搬送装置１７のベルト９の位置
がカセッ１〜１の最上段の収納溝１４とほぼ一致する位
置で停止する。
次に、搬送装置１７の終端にあるカセッ１〜より排出さ
れたウェーハ１５が搬送装置１７により送り込まれ、カ
セッｌ−１の最上段の収納溝１４に収納される。次に、
上下移動ステージ３を収納溝１４の一間隔分たけカセッ
１−１を上昇させ、搬送装置１７のベルト９面とカセッ
ト１の上から二段目の収納溝１４と合せる。前述と同様
にウェーハ１５を収納溝１４に収納する。このようにし
て、順次に、ウェーハ１５をカセッｌ−１の収納溝１４
に収納させ、カセット１の収納溝１４に全部のウェー
・ハ１５を収納する。
れたウェーハ１５が搬送装置１７により送り込まれ、カ
セッｌ−１の最上段の収納溝１４に収納される。次に、
上下移動ステージ３を収納溝１４の一間隔分たけカセッ
１−１を上昇させ、搬送装置１７のベルト９面とカセッ
ト１の上から二段目の収納溝１４と合せる。前述と同様
にウェーハ１５を収納溝１４に収納する。このようにし
て、順次に、ウェーハ１５をカセッｌ−１の収納溝１４
に収納させ、カセット１の収納溝１４に全部のウェー
・ハ１５を収納する。
次に、受け渡し装置よりウェーハを渡す場合、すなわち
、ウェーハ１５をカセット１の収納溝１４から排出する
操作を説明すると、まず、カセット１は最も上昇した位
置にあるところからスター１〜する。すなわち、カセッ
ｌ−１の最下段の収納溝１４に収納されているウェーハ
１５より排出する。
、ウェーハ１５をカセット１の収納溝１４から排出する
操作を説明すると、まず、カセット１は最も上昇した位
置にあるところからスター１〜する。すなわち、カセッ
ｌ−１の最下段の収納溝１４に収納されているウェーハ
１５より排出する。
これには、カセット１を上下移動機構１６により、最下
段のウェーハ１５の下面が搬送袋Ｎ１７のベルト９に接
触するまで下降させる。この操作によりウェーハ１５は
ベルト９に乗せられ、ウェーハ′１５はカセット１の収
納溝１４から浮いた状態になる。次に、プーリ１０を回
転して、ベルト９を移動することにより、ウェーハ１５
をカセット１より排出し、搬送装置１７の終端にある受
け渡し装置（図示せず）のカセットに収納する。次に、
上下移動機′！Ｒ１６により、カセット１を収納溝１４
の一間隔分だけ下降し、最下段の収納溝１４から二段目
にある収納溝１４に収納されたウェーハ１５の下面とベ
ルト９と接触させ、ウェーハ１５をベルト９に乗せる。
段のウェーハ１５の下面が搬送袋Ｎ１７のベルト９に接
触するまで下降させる。この操作によりウェーハ１５は
ベルト９に乗せられ、ウェーハ′１５はカセット１の収
納溝１４から浮いた状態になる。次に、プーリ１０を回
転して、ベルト９を移動することにより、ウェーハ１５
をカセット１より排出し、搬送装置１７の終端にある受
け渡し装置（図示せず）のカセットに収納する。次に、
上下移動機′！Ｒ１６により、カセット１を収納溝１４
の一間隔分だけ下降し、最下段の収納溝１４から二段目
にある収納溝１４に収納されたウェーハ１５の下面とベ
ルト９と接触させ、ウェーハ１５をベルト９に乗せる。
次に、プーリ１０を回転し、ベルト９を移動することに
より、ウェーハ１５をカセット１より排出し、搬送装置
の終端にある受け渡し装置のカセットに収納する。この
ように、順次に、ウェーハ１５をカセット１より排出し
、ウェーハ１５の全数を搬送装置の終端にある受け渡し
装置のカセッ１へに収納する。
より、ウェーハ１５をカセット１より排出し、搬送装置
の終端にある受け渡し装置のカセットに収納する。この
ように、順次に、ウェーハ１５をカセット１より排出し
、ウェーハ１５の全数を搬送装置の終端にある受け渡し
装置のカセッ１へに収納する。
上述した受け渡し装置では、カセッ１〜の収納溝の変形
や収納溝のピッチ誤差及びウェーハの反り等により、ウ
ェーハが収納あるいは排出するときに、ウェーハかカセ
ットの収納溝の壁に接触し、ウェーハの排出及び収納が
円滑に出来ないことがあり、特に、６インチとか、８イ
ンチのような大口径のウェーハを収納の際には、ウェー
ハに無理な力が加わり、ウェーハが割れるという問題を
生ずる。
や収納溝のピッチ誤差及びウェーハの反り等により、ウ
ェーハが収納あるいは排出するときに、ウェーハかカセ
ットの収納溝の壁に接触し、ウェーハの排出及び収納が
円滑に出来ないことがあり、特に、６インチとか、８イ
ンチのような大口径のウェーハを収納の際には、ウェー
ハに無理な力が加わり、ウェーハが割れるという問題を
生ずる。
本発明の目的は、ウェーハの収納及び排出が円滑に出来
るウェーハ受け渡し装置を提供することにある。
るウェーハ受け渡し装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の受け渡し装置は、一方向に複数の溝を有すると
ともに前記溝は一端に前記方向の面に直交する開放口を
有し前記開放口を介してそれぞれの前記溝にウェーハを
収納するウェーハ収納器と、前記開放口に一部が配置さ
れる搬送装置と、前記ウェーハ収納器を前記方向に対応
して移動させる機構とでなるウェーハ受け渡し装置にお
いて、前記ウェーハ収納器を載置する前記ウェーハ収納
器の下面に設けられる三点の支持部材と、前記支持部材
の一つを固定して他の二つの支持部材を交互あるいは同
期して前記方向に対応して揺動させる機構とを備え構成
される。
ともに前記溝は一端に前記方向の面に直交する開放口を
有し前記開放口を介してそれぞれの前記溝にウェーハを
収納するウェーハ収納器と、前記開放口に一部が配置さ
れる搬送装置と、前記ウェーハ収納器を前記方向に対応
して移動させる機構とでなるウェーハ受け渡し装置にお
いて、前記ウェーハ収納器を載置する前記ウェーハ収納
器の下面に設けられる三点の支持部材と、前記支持部材
の一つを固定して他の二つの支持部材を交互あるいは同
期して前記方向に対応して揺動させる機構とを備え構成
される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明による第１の実施例を示す一部破断斜視
図である。この装置は、従来例の装置に以下の機構を加
えである。まず、上下移動ステージ３とキャリアステー
ジ２との間の上下移動ステージの上に、固定用ボールジ
ヨイント４の軸受け部が取り付けられている。この軸受
け部に、はめ合うねじ付き軸部がキャリアステージ２の
下面にねし込まれている。また、キャリアステージ２の
外れた位置の上下移動ステージ３の上に、回転装置７が
取り付けられていて、回転装置７−側面より突出する回
転軸８がキャリアステージ２の下に潜るように配置され
、カセッｌ−１の収納溝１４に直交するように伸びてい
る。この回転軸に取り付けられた第１のカム５及び第２
のカム６かキャリアステージ２の下面に接触している。
図である。この装置は、従来例の装置に以下の機構を加
えである。まず、上下移動ステージ３とキャリアステー
ジ２との間の上下移動ステージの上に、固定用ボールジ
ヨイント４の軸受け部が取り付けられている。この軸受
け部に、はめ合うねじ付き軸部がキャリアステージ２の
下面にねし込まれている。また、キャリアステージ２の
外れた位置の上下移動ステージ３の上に、回転装置７が
取り付けられていて、回転装置７−側面より突出する回
転軸８がキャリアステージ２の下に潜るように配置され
、カセッｌ−１の収納溝１４に直交するように伸びてい
る。この回転軸に取り付けられた第１のカム５及び第２
のカム６かキャリアステージ２の下面に接触している。
この回転装置７を含めた機構によりカセット１を積載す
るキャリアステージ２は固定用ボールジヨイント４の支
点Ａ、第１のカム５の支点Ｂと第２のカム６の支点Ｃと
に支えられるこになる。従って、キャリアステージ２は
ピホット軸受である支点Ａを固定点として、カムとキャ
リアステージの接触点であるＢ点及び０点でキャリアス
テージ２を自由に揺動出来る。その他にこの装置には、
搬送装置の一端の奥まったキャリアステージ２の下に、
第２のセンサ１２を配置し、搬送装置の他端の内部にあ
りカセット１のウェーハ出入りする側の付近に、第１の
センサ１１が配置されている。
るキャリアステージ２は固定用ボールジヨイント４の支
点Ａ、第１のカム５の支点Ｂと第２のカム６の支点Ｃと
に支えられるこになる。従って、キャリアステージ２は
ピホット軸受である支点Ａを固定点として、カムとキャ
リアステージの接触点であるＢ点及び０点でキャリアス
テージ２を自由に揺動出来る。その他にこの装置には、
搬送装置の一端の奥まったキャリアステージ２の下に、
第２のセンサ１２を配置し、搬送装置の他端の内部にあ
りカセット１のウェーハ出入りする側の付近に、第１の
センサ１１が配置されている。
第２図（ａ＞及び（ｂ）は第１及び第２のカムの外周形
状を示すカムの断面図、第３図はカムのそれぞれの位相
角での支点Ａ、Ｂ及びＣの上下変位（Ｚ）を示すグラフ
線図である。次に、カセッ１〜１に収納されたウェーハ
１５を排出し、搬送装置を介して、搬送装置の終端にあ
る受け渡し装置にウェーハ１５を渡す操作を説明する。
状を示すカムの断面図、第３図はカムのそれぞれの位相
角での支点Ａ、Ｂ及びＣの上下変位（Ｚ）を示すグラフ
線図である。次に、カセッ１〜１に収納されたウェーハ
１５を排出し、搬送装置を介して、搬送装置の終端にあ
る受け渡し装置にウェーハ１５を渡す操作を説明する。
まず、上下移動ステージ３を下降し、第２のセンサー１
２かウェーハ１５の裏面を検知することにより上下移動
ステージ３を停止し、ウェーハ１５は搬送装置のベルト
９の上に乗せる。次に、プーリ１０が回転し、ベルト９
が移動してウェーハ１５をカセット１の収納溝１４より
排出し始めるとともに、タイマ（図示せず）がカウント
し始める。このタイマーは、あらかじめ、２〜３秒程度
でタイムアツプするように設定しておく、タイマーかタ
イムアツプしても、第１のセンサ１１がウェーハ１５を
検知しないときには、回転装置７が回転し始め、第１の
カム５及び第２のカム６の回転によりキャリアステージ
２及びカセット１が揺動する。このとき、ベルト９は移
動し続ける。第１のセンサ１１がウェーハ１５を検知す
ると、回転装置７が停止し、第１のカム５及び第２のカ
ムは、第２図に示すように、カムとキャリアステージの
接触点Ａ及びＢの位相角度、０°、９０°、１８０°、
または２７０°のいずれかの位相角度で停止するように
する。このようにすれば、第３図に示すように、カムの
リフト量（Ｚ方向の変位）がＯとなり、キャリアステー
ジ２は最初に設定した水平度を維持するこになる。同様
に、順次にウェーハ１５をカセット１より排出してウェ
ーハ１５の渡しを完了する。
２かウェーハ１５の裏面を検知することにより上下移動
ステージ３を停止し、ウェーハ１５は搬送装置のベルト
９の上に乗せる。次に、プーリ１０が回転し、ベルト９
が移動してウェーハ１５をカセット１の収納溝１４より
排出し始めるとともに、タイマ（図示せず）がカウント
し始める。このタイマーは、あらかじめ、２〜３秒程度
でタイムアツプするように設定しておく、タイマーかタ
イムアツプしても、第１のセンサ１１がウェーハ１５を
検知しないときには、回転装置７が回転し始め、第１の
カム５及び第２のカム６の回転によりキャリアステージ
２及びカセット１が揺動する。このとき、ベルト９は移
動し続ける。第１のセンサ１１がウェーハ１５を検知す
ると、回転装置７が停止し、第１のカム５及び第２のカ
ムは、第２図に示すように、カムとキャリアステージの
接触点Ａ及びＢの位相角度、０°、９０°、１８０°、
または２７０°のいずれかの位相角度で停止するように
する。このようにすれば、第３図に示すように、カムの
リフト量（Ｚ方向の変位）がＯとなり、キャリアステー
ジ２は最初に設定した水平度を維持するこになる。同様
に、順次にウェーハ１５をカセット１より排出してウェ
ーハ１５の渡しを完了する。
次に、ウェーハ１５をカセット１に収納する場合は、ま
ず、上下移動ステージ３を下降して、カセット１の最上
段の収納溝１４と搬送装置のベルト９と合わせる。次に
、プーリー１０を回転し、ベルト９を移動させ、ウェー
ハ１５をカセット１に近ずけるように送り込むと同時に
、タイマをカウントさせる。このときのタイマは３〜５
秒程度にタイムアツプするように設定する。次に、タイ
マがタイムアツプしても、第２のセンサ１２がウェーハ
１５を検知しないときは、前述と同様にキャリアステー
ジ２を揺動し、第２のセンサ１２が一１〇− ウェーハ１５を検知するようにする。第２のセンサ１２
がウェーハ１５を検知したら、カムの回転を停止する。
ず、上下移動ステージ３を下降して、カセット１の最上
段の収納溝１４と搬送装置のベルト９と合わせる。次に
、プーリー１０を回転し、ベルト９を移動させ、ウェー
ハ１５をカセット１に近ずけるように送り込むと同時に
、タイマをカウントさせる。このときのタイマは３〜５
秒程度にタイムアツプするように設定する。次に、タイ
マがタイムアツプしても、第２のセンサ１２がウェーハ
１５を検知しないときは、前述と同様にキャリアステー
ジ２を揺動し、第２のセンサ１２が一１〇− ウェーハ１５を検知するようにする。第２のセンサ１２
がウェーハ１５を検知したら、カムの回転を停止する。
以上説明したように本発明は、カセッ１−を揺動するこ
とによりウェーハが収納及び排出する収納溝の幅を実質
的に拡げたことによって、ウェーハの収納及び排出が容
易になり、円滑にウェーハの収納及び排出が出来るウェ
ーハ受け渡し装置が得られるという効果がある。
とによりウェーハが収納及び排出する収納溝の幅を実質
的に拡げたことによって、ウェーハの収納及び排出が容
易になり、円滑にウェーハの収納及び排出が出来るウェ
ーハ受け渡し装置が得られるという効果がある。
第１図は本発明による第１の実施例を示す一部破断斜視
図、第２図（ａ＞及び（ｂ）は第１及び第２のカムの外
周形状を示すカムの断面図、第３はカムのそれぞれの位
相角での支点Ａ＝Ｂ及びＣの上下変位（Ｚ）を示すグラ
フ線図、第４図は従来の受け渡し装置の一例を示す一部
破断斜視図である。 １・・・カセッ１へ、２・キャリアステージ、３・・・
上下移動ステージ、４・・・固定用ポールジョイン１−
１５・・・第１のカム、６・・・第２のカム、７・・・
回転装置、８・・・回転軸、９・・・ベルト、１０・・
・プーリ、１１・・第１のセンサ、１２・・・第２のセ
ンサ、１３・・・ガイドポスト、１４・・・収納溝、１
５・・ウェーハ、１６・・・上下移動機構。
図、第２図（ａ＞及び（ｂ）は第１及び第２のカムの外
周形状を示すカムの断面図、第３はカムのそれぞれの位
相角での支点Ａ＝Ｂ及びＣの上下変位（Ｚ）を示すグラ
フ線図、第４図は従来の受け渡し装置の一例を示す一部
破断斜視図である。 １・・・カセッ１へ、２・キャリアステージ、３・・・
上下移動ステージ、４・・・固定用ポールジョイン１−
１５・・・第１のカム、６・・・第２のカム、７・・・
回転装置、８・・・回転軸、９・・・ベルト、１０・・
・プーリ、１１・・第１のセンサ、１２・・・第２のセ
ンサ、１３・・・ガイドポスト、１４・・・収納溝、１
５・・ウェーハ、１６・・・上下移動機構。
Claims (1)
- 一方向に複数の溝を有するとともに前記溝は一端に前
記方向の面に直交する開放口を有し前記開放口を介して
それぞれの前記溝にウェーハを収納するウェーハ収納器
と、前記開放口に一部が配置される搬送装置と、前記ウ
ェーハ収納器を前記方向に対応して移動させる機構とで
なるウェーハ受け渡し装置において、前記ウェーハ収納
器を載置する前記ウェーハ収納器の下面に設けられる三
点の支持部材と、前記支持部材の一つを固定して他の二
つの支持部材を交互あるいは同期して前記方向に対応し
て揺動させる機構とを備えることを特徴とするウェーハ
受け渡し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63129257A JPH01297835A (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | ウェーハ受け渡し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63129257A JPH01297835A (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | ウェーハ受け渡し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01297835A true JPH01297835A (ja) | 1989-11-30 |
Family
ID=15005092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63129257A Pending JPH01297835A (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | ウェーハ受け渡し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01297835A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7857571B2 (en) | 2005-12-29 | 2010-12-28 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing flat panel display and method of manufacturing the same |
| WO2013190800A1 (ja) * | 2012-06-21 | 2013-12-27 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送システム |
-
1988
- 1988-05-25 JP JP63129257A patent/JPH01297835A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7857571B2 (en) | 2005-12-29 | 2010-12-28 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing flat panel display and method of manufacturing the same |
| WO2013190800A1 (ja) * | 2012-06-21 | 2013-12-27 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送システム |
| JP2014007193A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN113745139B (zh) | 一种晶圆转移系统以及方法 | |
| JP4182521B2 (ja) | 容器の一時的搬入、留置、搬出用装置 | |
| EP0756314B1 (en) | Semiconductor wafer loading and unloading apparatus | |
| US4907701A (en) | Apparatus for inspecting the appearance of semiconductor devices | |
| KR101360722B1 (ko) | 진공흡착 벨트 방식 웨이퍼수납장치 | |
| CN110610874A (zh) | 储料器 | |
| CN108516411A (zh) | 筒纱升降装置 | |
| JPH0586066B2 (ja) | ||
| US20030231947A1 (en) | Interleaf removal apparatus, plate feed apparatus and image recording system | |
| JP6636754B2 (ja) | トレイ供給装置 | |
| JPH06183568A (ja) | 包装容器の自動供給装置 | |
| US20170125273A1 (en) | Wafer storage and transport device | |
| US20030056471A1 (en) | Wafer jar loader method, system and apparatus | |
| JPH0295633A (ja) | 薄板部品用の真空吸着器、薄板部品の取扱方法、薄板部品取扱装置、半導体ウエハ移し替え装置 | |
| JPH071782B2 (ja) | キヤリアの搬送装置 | |
| KR200286751Y1 (ko) | 반도체패키지 제조 장비의 트레이 공급장치 | |
| KR101427594B1 (ko) | 기판 적재장치 | |
| JPH0685408B2 (ja) | ウエハ−ロ−ディング装置 | |
| JPH11111836A (ja) | 浸漬式ワーク収納方法及び装置 | |
| JP5428112B2 (ja) | 棒材供給機 | |
| KR100295775B1 (ko) | 번인 테스터 소팅 핸들러용 소팅부의 트레이 적재장치 | |
| JP7851595B2 (ja) | 部品搬送装置 | |
| KR102314422B1 (ko) | 기판처리시스템 및 그에 사용되는 카세트이송모듈 | |
| KR100699924B1 (ko) | 웨이퍼의 정렬방법 및 전자동 웨이퍼 정렬기 | |
| JP2003037145A (ja) | ウエハ搬送装置 |