JPH01298301A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
- Publication number
- JPH01298301A JPH01298301A JP63128320A JP12832088A JPH01298301A JP H01298301 A JPH01298301 A JP H01298301A JP 63128320 A JP63128320 A JP 63128320A JP 12832088 A JP12832088 A JP 12832088A JP H01298301 A JPH01298301 A JP H01298301A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は反射防止膜に係り、特にブラウン管などの表面
に安価に反射防止膜を形成するのに好適な方法に関する
。
に安価に反射防止膜を形成するのに好適な方法に関する
。
従来、反射防止膜については、実務表面技術Ｖｏ１３２
．Ｎｃｉ８．１９８５．ｐ ｐ４２１−４２５において
論じられているように、屈折率の異なる物質を３層蒸着
する方法あるいは特定の薬液を用いてエツチングにより
ガラス表面に凹凸を形成する方法などがある。
．Ｎｃｉ８．１９８５．ｐ ｐ４２１−４２５において
論じられているように、屈折率の異なる物質を３層蒸着
する方法あるいは特定の薬液を用いてエツチングにより
ガラス表面に凹凸を形成する方法などがある。
上記従来技術のうち、３層蒸着は主に真空容器内で屈折
率の異なる物質を順次蒸着させるので時間がかかるのと
同時に非量産的であった。またエツチングにより表面に
凹凸を形成する方法は膜強度に間部がある。
率の異なる物質を順次蒸着させるので時間がかかるのと
同時に非量産的であった。またエツチングにより表面に
凹凸を形成する方法は膜強度に間部がある。
本発明の目的は、上記問題点に鑑みなされたものであり
、５ｉＯｚ超微粒子を添加した溶液をガラス表面にコー
ティングすることにより、簡便で安価な反射防止膜を得
る方法を提供することにある。
、５ｉＯｚ超微粒子を添加した溶液をガラス表面にコー
ティングすることにより、簡便で安価な反射防止膜を得
る方法を提供することにある。
上記目的は、平均粒径が０．１μｍ以下でかつ粒径分布
を有するＳｉＯ２超微粒子を添加したＳ ３． （ＯＲ
）４アルコール溶液とアセチルアセトン。
を有するＳｉＯ２超微粒子を添加したＳ ３． （ＯＲ
）４アルコール溶液とアセチルアセトン。
アセトン、エチルアルコールの少なくとも２つ以上の混
合液をガラス表面にコーティングすることにより達成さ
れる。
合液をガラス表面にコーティングすることにより達成さ
れる。
溶液としてはＳ ｉ （ＯＲ）４ （Ｒはアルキン基。
例えばＣ、ｉ−Ｉ 、 −）のアルコール溶液とアセチ
ルアセトン、アセトンエチルアルコールの少なくとも２
つ以上の混合液であることが好ましい。
ルアセトン、アセトンエチルアルコールの少なくとも２
つ以上の混合液であることが好ましい。
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の反
射防止膜。
射防止膜。
ガラス表面に反射防止膜を形成する方法においては、平
均粒径が０．１μｍ以下の粒度分布を有する超微粒子を
添加した溶剤をガラス表面にコーティングし、焼成した
後、 Ｓ ｉ （ＯＲ）ｄＲはアルキル基）のアルコー
ル溶液と７セチルアセトン。
均粒径が０．１μｍ以下の粒度分布を有する超微粒子を
添加した溶剤をガラス表面にコーティングし、焼成した
後、 Ｓ ｉ （ＯＲ）ｄＲはアルキル基）のアルコー
ル溶液と７セチルアセトン。
アセトンエチルアルコールの少なくとも２つ以上の混合
液をオーバコートすることが好ましい。尚。
液をオーバコートすることが好ましい。尚。
このような反射防止膜は特に画像表示管に好適である。
平均粒径０．１μｍ以下は反射防止効果が衰り。
同じく０．３μｍ を越える光干渉が視覚上の障害にな
る可能性があり、実用上は０．１〜Ｑ、３μｍの範囲が
適当である。
る可能性があり、実用上は０．１〜Ｑ、３μｍの範囲が
適当である。
〔作用〕
ガラス表面に凹凸を設けることによって反射防止膜を得
る方法において、凹凸の大きさは０．１μｍ程度で深さ
方向に連続的に体積が変化することが望ましいつこれに
より屈折率が連続的に変化し、反射防止効果が得られる
。本発明法においては、超微粒子の大きさは０．１μｍ
以下であるので、ガラス表面に超微粒子を付着させるこ
とにより凹凸を形成することができる。この場合、粒径
分布のない粒径が均一な５ｉ０２超微粒子２を用いた場
合には第３図に示すように整然と付着するので深さ方向
に連続的に体積が変化するような膜は得られず、したが
って反射防止効果は非常に少ない。ところが粒径分布を
有する超微粒子を用いた場合には適度の空孔を持たせる
ことができるので、結果的には深さ方向に連続的に体積
が増加して反射防止効果が得られる。また溶液として５
ｉ（ＯＲ）！アルコール溶液を用いることにより、１５
０℃前後でＳｉ（ＯＲ）４アルコール溶液中のＳｉ以外
の物値が昇華しＳｉが析出して膜を形成しガラスとＳ
ｉ Ｏｚ超微粒子を強固に接着させる効果がある。一方
Ｓｉ（ＯＲ）４ アルコール溶液に混合させるアセチル
アセトン、アセトン、エチルアルコールはＳｉ（ＯＲ）
４アルコール溶液を希釈し、析出するＳｉの膜厚を制御
する効果がある。
る方法において、凹凸の大きさは０．１μｍ程度で深さ
方向に連続的に体積が変化することが望ましいつこれに
より屈折率が連続的に変化し、反射防止効果が得られる
。本発明法においては、超微粒子の大きさは０．１μｍ
以下であるので、ガラス表面に超微粒子を付着させるこ
とにより凹凸を形成することができる。この場合、粒径
分布のない粒径が均一な５ｉ０２超微粒子２を用いた場
合には第３図に示すように整然と付着するので深さ方向
に連続的に体積が変化するような膜は得られず、したが
って反射防止効果は非常に少ない。ところが粒径分布を
有する超微粒子を用いた場合には適度の空孔を持たせる
ことができるので、結果的には深さ方向に連続的に体積
が増加して反射防止効果が得られる。また溶液として５
ｉ（ＯＲ）！アルコール溶液を用いることにより、１５
０℃前後でＳｉ（ＯＲ）４アルコール溶液中のＳｉ以外
の物値が昇華しＳｉが析出して膜を形成しガラスとＳ
ｉ Ｏｚ超微粒子を強固に接着させる効果がある。一方
Ｓｉ（ＯＲ）４ アルコール溶液に混合させるアセチル
アセトン、アセトン、エチルアルコールはＳｉ（ＯＲ）
４アルコール溶液を希釈し、析出するＳｉの膜厚を制御
する効果がある。
通常の化学的な超微粒子製法では粒子は均一になってし
まうので、本発明者は粒度分布を積極的に付与するため
にはアーク法等の物理的手法にて超微粒子を得るように
工夫した。尚、超微粒子として導電性粒子（Ｉ ｎ Ｏ
Ｚ ＃ Ｓ ｎ Ｏｚ等）と反射防止能粒子（ＳｉＯｚ
等）との混合系が有効であるがこのように異種特性の粒
子の混合系でなく、各粒子ごとに両特性を兼ねるような
粒子が得られれば（例えば５ｉ−Ｔｎ−０系粒子）導電
性の低下もなく、かつ反射防止も有効に達成されること
になる。
まうので、本発明者は粒度分布を積極的に付与するため
にはアーク法等の物理的手法にて超微粒子を得るように
工夫した。尚、超微粒子として導電性粒子（Ｉ ｎ Ｏ
Ｚ ＃ Ｓ ｎ Ｏｚ等）と反射防止能粒子（ＳｉＯｚ
等）との混合系が有効であるがこのように異種特性の粒
子の混合系でなく、各粒子ごとに両特性を兼ねるような
粒子が得られれば（例えば５ｉ−Ｔｎ−０系粒子）導電
性の低下もなく、かつ反射防止も有効に達成されること
になる。
以下本発明の実施例を第１図および第２図により説明す
る。
る。
第２図は本実施例で用いた５ｉＯｚ超微粒子の粒径分布
で、平均粒径は４５０ｎｍであり、かなり広い粒径分布
を有しており、比表面積は７０〜８０ ｒｒ？ ／ ｇ
である。この超微粒子を１ ｗ ｔ％５ｉ（ＯＲ）ｉア
ルコール溶液＋５０％アセチルアセトン溶液に分散させ
、スピンコード法によりガラス基板上に塗布し、その後
１６０℃で３０分焼成した。
で、平均粒径は４５０ｎｍであり、かなり広い粒径分布
を有しており、比表面積は７０〜８０ ｒｒ？ ／ ｇ
である。この超微粒子を１ ｗ ｔ％５ｉ（ＯＲ）ｉア
ルコール溶液＋５０％アセチルアセトン溶液に分散させ
、スピンコード法によりガラス基板上に塗布し、その後
１６０℃で３０分焼成した。
塗布液の組成は、５ｉＯｚ超微粒子１〜２重量％、残部
Ｓｉ（○ＣＺＨ６）４及び５０％アセチルアセトンであ
り、スピンナ６００ｒｐｍＸ ３０秒の条件でコートし
た後、１６０℃、３０分で乾燥兼焼成を行った。
Ｓｉ（○ＣＺＨ６）４及び５０％アセチルアセトンであ
り、スピンナ６００ｒｐｍＸ ３０秒の条件でコートし
た後、１６０℃、３０分で乾燥兼焼成を行った。
第１図はこの膜の表面の状態を電子顕微鏡で観察したも
のであり１粒径分布を持つ超微粒子を用いることにより
、適度の空孔を持った膜が得られた。この膜の反射特性
は可視光領域（４００〜７００ ｎ ｍ）で０．０６−
０．３％である。またこの膜の上に５ｉ（ＯＲ）ａアル
コール溶液＋５０％アセチルアセトン溶液を塗布、焼成
することにより、透過率９０％以上の膜が得られる。本
実施例によ扛ば簡便な方法により、良好な反射防止膜が
得られる効果がある。
のであり１粒径分布を持つ超微粒子を用いることにより
、適度の空孔を持った膜が得られた。この膜の反射特性
は可視光領域（４００〜７００ ｎ ｍ）で０．０６−
０．３％である。またこの膜の上に５ｉ（ＯＲ）ａアル
コール溶液＋５０％アセチルアセトン溶液を塗布、焼成
することにより、透過率９０％以上の膜が得られる。本
実施例によ扛ば簡便な方法により、良好な反射防止膜が
得られる効果がある。
尚、第１図の上部は塗布膜であり、下部はガラスである
。また第３図の１はガラスである。
。また第３図の１はガラスである。
本発明法によれば、超微粒子によってガラス表面上に深
さ方向に体積をほぼ連続的に変化させた膜を形成させる
ことができるので、簡便で量産的な反射防止膜を得るこ
とができる。
さ方向に体積をほぼ連続的に変化させた膜を形成させる
ことができるので、簡便で量産的な反射防止膜を得るこ
とができる。
第１図は本発明の一例に係る反射防止膜を塗布したガラ
ス板の断面において超微粒子塗布膜を示す顕微鏡写真、
第２図は第１図の例による超微粒子の粒径分布図、第３
図は比較例による超微粒子塗布膜の模式断面図である。 １・・・ガラス、２・・・ＳｉＯｘ超微粒子。 第 １ 色 第２区 茶３図
ス板の断面において超微粒子塗布膜を示す顕微鏡写真、
第２図は第１図の例による超微粒子の粒径分布図、第３
図は比較例による超微粒子塗布膜の模式断面図である。 １・・・ガラス、２・・・ＳｉＯｘ超微粒子。 第 １ 色 第２区 茶３図
Claims (1)
- １、平均粒径０．１μｍ以下でかつ粒径分布を付与した
ＳｉＯ＿２超微粒子を含む溶液にてガラス表面上をコー
ティングしたことを特徴とする反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63128320A JPH01298301A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63128320A JPH01298301A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01298301A true JPH01298301A (ja) | 1989-12-01 |
Family
ID=14981858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63128320A Pending JPH01298301A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01298301A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998045734A1 (en) * | 1997-04-04 | 1998-10-15 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Antireflection films and image display device containing the same |
| WO2001042156A1 (en) * | 1999-12-13 | 2001-06-14 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Low-reflection film and solar cell panel |
| WO2004081618A1 (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-23 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | 光学部材及びその製造方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5846301A (ja) * | 1981-09-14 | 1983-03-17 | Toray Ind Inc | 反射防止膜を有する透明材料 |
| JPS5950401A (ja) * | 1982-09-16 | 1984-03-23 | Toray Ind Inc | 表示装置 |
| JPS6193402A (ja) * | 1985-09-18 | 1986-05-12 | Toray Ind Inc | 反射防止性を有する染色光学物品 |
| JPS62148902A (ja) * | 1985-04-30 | 1987-07-02 | Toray Ind Inc | 反射防止性を有する光学物品及びその製造方法 |
| JPS6381033A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-11 | Toray Ind Inc | 反射防止物品およびその製造方法 |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP63128320A patent/JPH01298301A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2001042156A1 (en) * | 1999-12-13 | 2001-06-14 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Low-reflection film and solar cell panel |
| JP4841782B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2011-12-21 | 日本板硝子株式会社 | 低反射膜および太陽電池パネル |
| WO2004081618A1 (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-23 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | 光学部材及びその製造方法 |
| US7403334B2 (en) | 2003-03-07 | 2008-07-22 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Optical member and process of producing the same |
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