JPH01298324A - 赤外レーザアライメント用器具 - Google Patents
赤外レーザアライメント用器具Info
- Publication number
- JPH01298324A JPH01298324A JP12829088A JP12829088A JPH01298324A JP H01298324 A JPH01298324 A JP H01298324A JP 12829088 A JP12829088 A JP 12829088A JP 12829088 A JP12829088 A JP 12829088A JP H01298324 A JPH01298324 A JP H01298324A
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- JP
- Japan
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- laser
- film
- infrared laser
- light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、ＹＡＧレーザ等の不可視の赤外光レーザ、特
に０．８μｍ〜１．５μｍ付近に発振波長を持つレーザ
の発光光の位置を検出するための赤外レーザアライメン
ト用器具に関する。
に０．８μｍ〜１．５μｍ付近に発振波長を持つレーザ
の発光光の位置を検出するための赤外レーザアライメン
ト用器具に関する。
［従来の技術］
従来より、赤外レーザ装置は分光等の分析、検査、実験
研究用、加工用、医療用等の各領域で広く使用されてい
る。特に、近年ではＹＡＧレーザやガラスレーザ等の１
μｍ付近の発振波長をもっレーザ装置の使用がさかんで
あり、このレーザ光を利用した各種レーザ光学系が作製
、使用されている。
研究用、加工用、医療用等の各領域で広く使用されてい
る。特に、近年ではＹＡＧレーザやガラスレーザ等の１
μｍ付近の発振波長をもっレーザ装置の使用がさかんで
あり、このレーザ光を利用した各種レーザ光学系が作製
、使用されている。
一方、このようなレーザ光学系の作製や使用時に、不可
視のレーザ光線の位置や方向等の確認を行なうことは不
可欠である。特に、高出力を特性の１つとするＹＡＧレ
ーザ等の高出力レーザ光を利用する場合には、安全性の
意味からも、この位置確認アライメントが重要である。
視のレーザ光線の位置や方向等の確認を行なうことは不
可欠である。特に、高出力を特性の１つとするＹＡＧレ
ーザ等の高出力レーザ光を利用する場合には、安全性の
意味からも、この位置確認アライメントが重要である。
従来、この不可視のレーザ光の位置を知る手段としては
、レーザ光の高密度光パワーを利用して紙等の物質に直
接損傷を与える方法、同様にレーザ光による発熱を利用
して感熱紙や液晶等による温度検出を利用する方法、蛍
光体にレーザ光を当て発生する可視光による確認を行な
う方法等の簡便な方法から、赤外センサや赤外カメラを
用いた装置を使用する方法まで広く知られている。
、レーザ光の高密度光パワーを利用して紙等の物質に直
接損傷を与える方法、同様にレーザ光による発熱を利用
して感熱紙や液晶等による温度検出を利用する方法、蛍
光体にレーザ光を当て発生する可視光による確認を行な
う方法等の簡便な方法から、赤外センサや赤外カメラを
用いた装置を使用する方法まで広く知られている。
［発明が解決しようとする課題］
ところが、従来の方法には以下のような欠点があり、ど
れも十分とはいい難かった。
れも十分とはいい難かった。
例えば赤外センサや赤外カメラを用いた装置を使用する
ものでは赤外線検出のための複雑な構成を必要としたり
、また赤外センサがレーザのもつ高い光密度に対して損
傷を受けやすい等の欠点を有していた。また、これらの
装置は一般に高価なものであったり、使用に際して機動
性が劣っておリレーザ光位置確認作業が煩雑になる。
ものでは赤外線検出のための複雑な構成を必要としたり
、また赤外センサがレーザのもつ高い光密度に対して損
傷を受けやすい等の欠点を有していた。また、これらの
装置は一般に高価なものであったり、使用に際して機動
性が劣っておリレーザ光位置確認作業が煩雑になる。
一方、より簡便な方法として知られる方法、例えば直接
損傷を利用する方法ではそれらの再使用が不可能である
。また、光化学反応を使用するため、この反応を起こす
物質が一般に高い光パワー密度に対し損傷を受けやすい
という性質があることに鑑み、レーザ光のような高い光
パワー密度光に使用する場合には充分注意をする必要が
あった。
損傷を利用する方法ではそれらの再使用が不可能である
。また、光化学反応を使用するため、この反応を起こす
物質が一般に高い光パワー密度に対し損傷を受けやすい
という性質があることに鑑み、レーザ光のような高い光
パワー密度光に使用する場合には充分注意をする必要が
あった。
以上のように、不可視の赤外光でかつ光パワー密度の高
いレーザ光線の位置、方法等の検出を簡便かつ容易に行
ない、再使用に耐えるような器具は知られていなかった
。
いレーザ光線の位置、方法等の検出を簡便かつ容易に行
ない、再使用に耐えるような器具は知られていなかった
。
本発明は、上述の従来例の問題点に鑑み、簡潔な構成、
無調整、携帯可能なアライメント器具であって、高パワ
ー密度のレーザ光に対しても光損傷をうけず、反復使用
が可能でランニングコストを不要とし、また力学強度が
強く簡単にレーザスポットの位置確認を行なうことので
きる赤外レーザアライメント用器具を提供することを目
的とする。
無調整、携帯可能なアライメント器具であって、高パワ
ー密度のレーザ光に対しても光損傷をうけず、反復使用
が可能でランニングコストを不要とし、また力学強度が
強く簡単にレーザスポットの位置確認を行なうことので
きる赤外レーザアライメント用器具を提供することを目
的とする。
［課題を解決するための手段および作用］上記の目的を
達成するため、本発明に係わる赤外レーザアライメント
用器具は、赤外レーザ光を受けて可視光である高調波光
を発生する非線型光学材料を含む膜または層を有するこ
とを特徴としている。
達成するため、本発明に係わる赤外レーザアライメント
用器具は、赤外レーザ光を受けて可視光である高調波光
を発生する非線型光学材料を含む膜または層を有するこ
とを特徴としている。
これにより、特に０．８μｍ〜１．６μｍの不可視の波
長のコヒーレントな高光パワー密度を持つ赤外レーザを
受けて可視の第２次高調波光を発生させ、レーザビーム
位置を視認することが、単純な構成をとるにもかかわら
ず可能になる。
長のコヒーレントな高光パワー密度を持つ赤外レーザを
受けて可視の第２次高調波光を発生させ、レーザビーム
位置を視認することが、単純な構成をとるにもかかわら
ず可能になる。
さらに、詳しく言えばこのアライメント用器具は、高分
子化合物バインダ中に非線型光学材料を混入させたもの
、または高分子化合物ホスト中に有機非線型光学材ゲス
トを含有したゲスト−ホスト錯体の構成をもち、発生す
る第２次高調波光は散乱光として発生するため視認しや
すく、非線型光学材料が高分子化合物中に混入している
ため光学的ダメージに強い。また、これらの材料によれ
は大面積の膜状物の作製が容易であり、簡便なアライメ
ント器具を提供するのに好適である。
子化合物バインダ中に非線型光学材料を混入させたもの
、または高分子化合物ホスト中に有機非線型光学材ゲス
トを含有したゲスト−ホスト錯体の構成をもち、発生す
る第２次高調波光は散乱光として発生するため視認しや
すく、非線型光学材料が高分子化合物中に混入している
ため光学的ダメージに強い。また、これらの材料によれ
は大面積の膜状物の作製が容易であり、簡便なアライメ
ント器具を提供するのに好適である。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係わる赤外レーザアライ
メント用器具の外観図である。同図において、１は非線
型光学材の膜であり、この膜は高分子化合物中に非線光
学材料を混入して作製される。混入される非線光学材料
はＬｉＮＯｓ、ＫＤＰ、ＫＴＰ等の強誘電無機材料の結
晶や以下にあげる有機非線型光学結晶を用いることがで
きる。
メント用器具の外観図である。同図において、１は非線
型光学材の膜であり、この膜は高分子化合物中に非線光
学材料を混入して作製される。混入される非線光学材料
はＬｉＮＯｓ、ＫＤＰ、ＫＴＰ等の強誘電無機材料の結
晶や以下にあげる有機非線型光学結晶を用いることがで
きる。
一ミ ｒ ≦ ゛−ビ１セ ４イ
ｋ（１） （０２Ｎ）２Ｃ０ Ｈ２ Ｎ０□ Ｈ３Ｏ Ｏ２ ／ Ｏ ＨＯ Ｏ□Ｎ ２Ｎ ２Ｎ ＨＯ ＯＨ （１５） ＹＯ２（ＨＣＯＯｅ） ３Ｈ２Ｐ０４θ
・Ｈ２０ ＲＲ’ （１８）ＨＨＨＣＨ （１９） 夏Ｉ ＨＨＮ（２０）Ｆ
Ｆ Ｆ ＣＦ（２１）
Ｍｅ ＨＨＣＨ（２２） ＨＭｅ
ＨＣＨ（２３） ＣＦ、 ＨＨＣ
Ｈ（２４） ＨＣＦ３ＨＣＨ （２５） ＣＮ ＨＨＣＨ（２６）
ＣＨ２０ＨＨＨＣＨ （２７，） Ｃ０ＯＨＨＨＣＨ （２８） ＨＯＨＨＣＨ （２９） Ｎｏ□ ＨＨＣＨ（３０）
Ｎｏ２ ＨＦ ＣＨ（３１） ＮＯ２
ＨＣｌ３ ＣＨＨ２ Ｍｅ Ｏ２ １７４Ｃ６Ｈ６ ＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ ＺＨＨＣＨ−（
６４ａ） にＮ １＋ Ｌ
Ｈ・・・ （ｂｂＣ）ＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ Ｚｅ （６７） ＮＣ／’Ｎ−ＨＨＣＨ ｅ ＲＲ’ （７２） Ｈ２Ｎ −ＮＨＣＯＭｅ ＨＣＨ（
７５） ＭｅＯ−ＩＩ ＨＮＲＲ’ ＣＮ ＨＣＨ・・・（７７ｄ）ＨＨＮ ・・・
（７９ｄ） Ｈ ＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ Ｚ（＋） ｐｓ
ｅｕｄｏｅｐｈｅｄｒｉｎｅ（） ｎｏｒｐｓｅｕｄｏ
ｅｐｈｅｄｒｉｎｅＲＲ’ Ｍｅ ＨＮ −（８６ｄ） Ｈ これらの非線型光学結晶を混入する高分子化合物として
は、下記一般式（１）で示すポリオキシアルキレンが好
適である。
ｋ（１） （０２Ｎ）２Ｃ０ Ｈ２ Ｎ０□ Ｈ３Ｏ Ｏ２ ／ Ｏ ＨＯ Ｏ□Ｎ ２Ｎ ２Ｎ ＨＯ ＯＨ （１５） ＹＯ２（ＨＣＯＯｅ） ３Ｈ２Ｐ０４θ
・Ｈ２０ ＲＲ’ （１８）ＨＨＨＣＨ （１９） 夏Ｉ ＨＨＮ（２０）Ｆ
Ｆ Ｆ ＣＦ（２１）
Ｍｅ ＨＨＣＨ（２２） ＨＭｅ
ＨＣＨ（２３） ＣＦ、 ＨＨＣ
Ｈ（２４） ＨＣＦ３ＨＣＨ （２５） ＣＮ ＨＨＣＨ（２６）
ＣＨ２０ＨＨＨＣＨ （２７，） Ｃ０ＯＨＨＨＣＨ （２８） ＨＯＨＨＣＨ （２９） Ｎｏ□ ＨＨＣＨ（３０）
Ｎｏ２ ＨＦ ＣＨ（３１） ＮＯ２
ＨＣｌ３ ＣＨＨ２ Ｍｅ Ｏ２ １７４Ｃ６Ｈ６ ＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ ＺＨＨＣＨ−（
６４ａ） にＮ １＋ Ｌ
Ｈ・・・ （ｂｂＣ）ＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ Ｚｅ （６７） ＮＣ／’Ｎ−ＨＨＣＨ ｅ ＲＲ’ （７２） Ｈ２Ｎ −ＮＨＣＯＭｅ ＨＣＨ（
７５） ＭｅＯ−ＩＩ ＨＮＲＲ’ ＣＮ ＨＣＨ・・・（７７ｄ）ＨＨＮ ・・・
（７９ｄ） Ｈ ＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ Ｚ（＋） ｐｓ
ｅｕｄｏｅｐｈｅｄｒｉｎｅ（） ｎｏｒｐｓｅｕｄｏ
ｅｐｈｅｄｒｉｎｅＲＲ’ Ｍｅ ＨＮ −（８６ｄ） Ｈ これらの非線型光学結晶を混入する高分子化合物として
は、下記一般式（１）で示すポリオキシアルキレンが好
適である。
（Ｒ−０）、 ・・・・・ （１）式中、Ｒは炭
素数１〜６のアルキレン基を示し、ｎは１００〜２００
，０００である。
素数１〜６のアルキレン基を示し、ｎは１００〜２００
，０００である。
Ｒは炭素数１〜６のアルキレン基を用いることができる
が、炭素数７以上では電子吸引性置換基と電子供与性置
換基を有する化合物との相溶性が減少してしまうために
、優れた物性のフィルムを得ることはできない。この中
でＲが炭素数２〜４のポリオキシアルキレンが特に好ま
しい。
が、炭素数７以上では電子吸引性置換基と電子供与性置
換基を有する化合物との相溶性が減少してしまうために
、優れた物性のフィルムを得ることはできない。この中
でＲが炭素数２〜４のポリオキシアルキレンが特に好ま
しい。
また、単結晶を用いるのではなく、結晶構造を制御する
ために、ホスト分子中に非線形光学定数の大きいゲスト
化合物を入れて、電界または磁界を印加して配向させる
方法が知られており、例えば高分子液晶をホストとして
、極性分子をゲストとして、高分子液晶の電場配向を利
用して極性分子を配列することにより非線型光学材膜を
作製することもできる。ホスト高分子化合物としては以
下のようなものを用いることがで跨る。
ために、ホスト分子中に非線形光学定数の大きいゲスト
化合物を入れて、電界または磁界を印加して配向させる
方法が知られており、例えば高分子液晶をホストとして
、極性分子をゲストとして、高分子液晶の電場配向を利
用して極性分子を配列することにより非線型光学材膜を
作製することもできる。ホスト高分子化合物としては以
下のようなものを用いることがで跨る。
一般式［ＩＩ ］において、ｎは３以上の整数であり、
そして少なくともｎ＋１個のＲは水素原子であり、残り
のＲは水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アル
コキシ基またはアリール基から選択された置換基である
。例えば、具体的には置換および未置換のプロピオラク
トン、ブチロラクトン、δ−バレロラクトン、さらに大
きな環状ラクトンが通している。
そして少なくともｎ＋１個のＲは水素原子であり、残り
のＲは水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アル
コキシ基またはアリール基から選択された置換基である
。例えば、具体的には置換および未置換のプロピオラク
トン、ブチロラクトン、δ−バレロラクトン、さらに大
きな環状ラクトンが通している。
本材料において、特に好ましいラクトン類は、次の一般
式［ＩＩ！ ］ で表わされるε−カプロラクトン類である。式中のＲの
少くとも５個は水素原子であり、残りは水素原子、アル
キル基、シクロアルキル基、アルコキシ基またはアリー
ル基である。Ｒがすべて水素であるような未置換ε２−
カプロラクトンは６−ヒドロキシヘキサン酸から話導さ
れる。
式［ＩＩ！ ］ で表わされるε−カプロラクトン類である。式中のＲの
少くとも５個は水素原子であり、残りは水素原子、アル
キル基、シクロアルキル基、アルコキシ基またはアリー
ル基である。Ｒがすべて水素であるような未置換ε２−
カプロラクトンは６−ヒドロキシヘキサン酸から話導さ
れる。
未ａ １１ε−カプロラクトンのほかに本材料に適した
置換ε−カプロラクトン類は、モノメチル、モノエチル
、モノイソプロピル等の置換基を有するモノアルキル−
ε−カプロラクトン、また２個のアルキル基が置換され
ているようなジアルキル−ε−カプロラクトンまたは３
個以上のアルキル基が置換されているようなトリアルキ
ル−ε−カプロラクトン、テトラアルキル−ε−カプロ
ラクトン、またはメトキシ−ε−カプロラクトンまたは
エトキシ−ε−カプロラクトン、あるいはシクロへキシ
ル−ε−カプロラクトン、フェニル−ε−カプロラクト
ン、およびベンジル−ε−カプロラクトンのようなシク
ロアルキル−ε−カプロラクトン、アリール−ε−カプ
ロラクトン、アラルキル−ε−カプロラクトンを挙げる
ことができる。
置換ε−カプロラクトン類は、モノメチル、モノエチル
、モノイソプロピル等の置換基を有するモノアルキル−
ε−カプロラクトン、また２個のアルキル基が置換され
ているようなジアルキル−ε−カプロラクトンまたは３
個以上のアルキル基が置換されているようなトリアルキ
ル−ε−カプロラクトン、テトラアルキル−ε−カプロ
ラクトン、またはメトキシ−ε−カプロラクトンまたは
エトキシ−ε−カプロラクトン、あるいはシクロへキシ
ル−ε−カプロラクトン、フェニル−ε−カプロラクト
ン、およびベンジル−ε−カプロラクトンのようなシク
ロアルキル−ε−カプロラクトン、アリール−ε−カプ
ロラクトン、アラルキル−ε−カプロラクトンを挙げる
ことができる。
これらの未置換もしくは置換ラクトン類は単独もしくは
混合して重合される。ラクトンの重合に際しては、ラク
トン環を開環させることのできる少なくとも１個の反応
性部位を有する１種またはそれ以上の適当な反応開始剤
を用い、重合触媒の存在下または非存在下で重合を行う
ことにより、任意の分子量の線状もしくは分岐のエステ
ルを製造することができる。
混合して重合される。ラクトンの重合に際しては、ラク
トン環を開環させることのできる少なくとも１個の反応
性部位を有する１種またはそれ以上の適当な反応開始剤
を用い、重合触媒の存在下または非存在下で重合を行う
ことにより、任意の分子量の線状もしくは分岐のエステ
ルを製造することができる。
本材料に使用されるラクトン重合体からなるホスト高分
子化合物の分子量は固溶体にしたときの力学強度の点か
ら重量平均分子量が１０，０００以上、好ましくは２万
〜１００万、より好ましくは５万〜２０万であることが
望ましい。
子化合物の分子量は固溶体にしたときの力学強度の点か
ら重量平均分子量が１０，０００以上、好ましくは２万
〜１００万、より好ましくは５万〜２０万であることが
望ましい。
また、ラクトン重合体からなるホスト高分子化合物は、
その種類および重合度により、種々の融点をもつものが
得られるが、本発明の使用に際して常温での膜状化の点
を考慮して、５０℃以上の融点をもつものが好ましい、
本材料におけるホスト高分子化合物は、ホモポリマーお
よびコポリマーのいずれでもよい。コポリマーの場合、
ラクトンが開環したエステルの反復単量体単位は、コポ
リマーの分子の少なくとも約６０モル％、好ましくは少
なくとも約８０モル％を占めるものが望ましい。
その種類および重合度により、種々の融点をもつものが
得られるが、本発明の使用に際して常温での膜状化の点
を考慮して、５０℃以上の融点をもつものが好ましい、
本材料におけるホスト高分子化合物は、ホモポリマーお
よびコポリマーのいずれでもよい。コポリマーの場合、
ラクトンが開環したエステルの反復単量体単位は、コポ
リマーの分子の少なくとも約６０モル％、好ましくは少
なくとも約８０モル％を占めるものが望ましい。
次に、本材料のゲストホスト型固溶体に使用されるゲス
ト有橋化合物は分子中に電子吸引基と電子供与基を併せ
もつ電荷非対称性電子構造を有する化合物で、一般に分
子量約１０００以下の低分子化合物である。
ト有橋化合物は分子中に電子吸引基と電子供与基を併せ
もつ電荷非対称性電子構造を有する化合物で、一般に分
子量約１０００以下の低分子化合物である。
電子供与性基としては、アミノ基、アルキル基（メチル
、エチル、イソプロピル、ｎ−プロピル、ｎ−ブチル、
ｔ−ブチル、５ｅｃ−ブチル、ｎ−オクチル、ｔ−オク
チル、ｎ−ヘキシル、シクロヘキシルなど）、アルコキ
シ基、（メトキシ、エトキシ、プロポキシ、ブトキシな
ど）、アルキルアミノ基（Ｎ−メチルアミノ、Ｎ−エチ
ルアミノ、Ｎ−プロピルアミノ、Ｎ−ブチルアミノなど
）、ハイドロキシアルキルアミノ基（Ｎ−ハイドロキシ
メチルアミン、Ｎ−（２−ハイドロキシエチル）アミノ
、Ｎ−（２−ハイドロキシプロピル）アミノ、Ｎ−（３
−ハイドロキシプロピル）アミノ、Ｎ−（４−ハイドロ
キシ）ブチルアミノなど）、ジアルキルアミノ基（Ｎ、
Ｎ−ジメチルアミノ、Ｎ、Ｎ−ジエチルアミノ、Ｎ、Ｎ
−ジプロピルアミノ、Ｎ、Ｎ−ジブチルアミノ、Ｎ−メ
チル−Ｎ−エチルアミノ、Ｎ−メチル−Ｎ−プロピルア
ミノなと）、ハイドロキシアルキル−アルキルアミノ基
（Ｎ−ハイドロキシメチル−Ｎ−メチルアミノ、Ｎ−ハ
イドロキシメチル−Ｎ−エチルアミノ、Ｎ−ハイドロキ
シメチル−Ｎ−プロピルアミノ、Ｎ−（２−ハイドロキ
シエチル）−Ｎ−メチルアミノ、Ｎ−（２−ハイドロキ
シエチル）−Ｎ−エチルアミノ、Ｎ−（３−ハイドロキ
シプロピル）−Ｎ−メチルアミノ、Ｎ−（２−ハイドロ
キシプロピル）−Ｎ−エチルアミノ、Ｎ−（４−ハイド
ロキシブチル）−Ｎ−ブチルアミノなど）、ジハイドロ
キシアルキルアミノ基（Ｎ。
、エチル、イソプロピル、ｎ−プロピル、ｎ−ブチル、
ｔ−ブチル、５ｅｃ−ブチル、ｎ−オクチル、ｔ−オク
チル、ｎ−ヘキシル、シクロヘキシルなど）、アルコキ
シ基、（メトキシ、エトキシ、プロポキシ、ブトキシな
ど）、アルキルアミノ基（Ｎ−メチルアミノ、Ｎ−エチ
ルアミノ、Ｎ−プロピルアミノ、Ｎ−ブチルアミノなど
）、ハイドロキシアルキルアミノ基（Ｎ−ハイドロキシ
メチルアミン、Ｎ−（２−ハイドロキシエチル）アミノ
、Ｎ−（２−ハイドロキシプロピル）アミノ、Ｎ−（３
−ハイドロキシプロピル）アミノ、Ｎ−（４−ハイドロ
キシ）ブチルアミノなど）、ジアルキルアミノ基（Ｎ、
Ｎ−ジメチルアミノ、Ｎ、Ｎ−ジエチルアミノ、Ｎ、Ｎ
−ジプロピルアミノ、Ｎ、Ｎ−ジブチルアミノ、Ｎ−メ
チル−Ｎ−エチルアミノ、Ｎ−メチル−Ｎ−プロピルア
ミノなと）、ハイドロキシアルキル−アルキルアミノ基
（Ｎ−ハイドロキシメチル−Ｎ−メチルアミノ、Ｎ−ハ
イドロキシメチル−Ｎ−エチルアミノ、Ｎ−ハイドロキ
シメチル−Ｎ−プロピルアミノ、Ｎ−（２−ハイドロキ
シエチル）−Ｎ−メチルアミノ、Ｎ−（２−ハイドロキ
シエチル）−Ｎ−エチルアミノ、Ｎ−（３−ハイドロキ
シプロピル）−Ｎ−メチルアミノ、Ｎ−（２−ハイドロ
キシプロピル）−Ｎ−エチルアミノ、Ｎ−（４−ハイド
ロキシブチル）−Ｎ−ブチルアミノなど）、ジハイドロ
キシアルキルアミノ基（Ｎ。
Ｎ−ジハイドロキシメチルアミノ、Ｎ、Ｎ−ジー（２−
ハイドロキシエチル）アミノ、Ｎ、Ｎ−ジー（２−ハイ
ドロキシプロピル）アミノ、Ｎ、 Ｎ−ジー（３−ハイ
ドロキシプロピル）アミノ、Ｎ−ハイドロキシメチル−
Ｎ−（２−ハイドロキシエチル）アミノなと、ハロゲン
原子（Ｆ、Ｂｒ、り、複素環基（Ｎ、０、Ｓを含む）、
メルカプト基、ハイドロキシ基またはプロトン基を用い
ることができ、また電子吸引性基としては、ニトロ基、
シアノ基、ハロゲン原子（Ｆ％Ｂｒ、Ｉ）、トリフルオ
ロメチル基、カルボキシル基、カルボキシエステル基、
カルボニル基またはスルホニル基などを用いることがで
きる。
ハイドロキシエチル）アミノ、Ｎ、Ｎ−ジー（２−ハイ
ドロキシプロピル）アミノ、Ｎ、 Ｎ−ジー（３−ハイ
ドロキシプロピル）アミノ、Ｎ−ハイドロキシメチル−
Ｎ−（２−ハイドロキシエチル）アミノなと、ハロゲン
原子（Ｆ、Ｂｒ、り、複素環基（Ｎ、０、Ｓを含む）、
メルカプト基、ハイドロキシ基またはプロトン基を用い
ることができ、また電子吸引性基としては、ニトロ基、
シアノ基、ハロゲン原子（Ｆ％Ｂｒ、Ｉ）、トリフルオ
ロメチル基、カルボキシル基、カルボキシエステル基、
カルボニル基またはスルホニル基などを用いることがで
きる。
好適なゲスト有機化合物の例としては、次のようなもの
が挙げられる。
が挙げられる。
Ｚ月」１文耐ヒ四
（ｔ） （ｔ”ｔｚ Ｎ） ２ Ｃ０Ｈ（＜
（１５） Ｙ・３（ＨＣＯＯｅ）ｓ８２ ＰＯ４”
Ｈ２０ ＲＲ’ （１８）ＨＨＨＣＨ （１９） ）ｌ ＨＨＮ（２０）Ｆ
Ｆ Ｆ ＣＦ（２１）
Ｍｃ ＨＨＣＨ（２２） ＨＭｅ
ＨＣＨ（２３） ＣＦ３ ＨＨＣＨ
（２４） ＨＣＦ３ ＨＣＨ （２５） ＣＮ ＨＨＣＨ（２６）
ＣＨ２０ＨＨＨＣＨ （２７） Ｃ０ＯＨＨＨＣＨ （２８） ＨＯＨＨＣＨ （２９） Ｎｏ２ ８ Ｈ０（（３０
） ＮＯ２ＨＦ ＣＨ（３１） ＮＯ
２Ｈ、ＣＩＩＣＨ ｅ ＼／ ｔ １７４ Ｃ＠ Ｈａ ｆｌ Ｒ’ ＨＨＣＨ−（６４ａ） ＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ ＺＲＲ’ （７２） Ｈ２Ｎ ＮＨＣＯＭ
ｅ ＨＣＨ（７５） ＭｅＯ−ＨＨＮ ＲＲ’ ＣＮ ＨＣＨ・・・（７７ｄ）ＨＨＮ ・・
・（７９ｄ） Ｈ ＲＲ’ （＋） ｐｓｅｕｄｏｅｐｈｅｄｒｉｎｅ（−） ｎｏ
ｒｐｓｅｕｄｏｅｐｈｅｄｒｉｎｅＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ ＺＭｅ
ＨＮ −（８６ｄ） このようなラクトン重合体をホスト高分子化合物とした
固溶体は、非線型光学効果を増大させるためゲスト成分
を増大させても柔軟で力学的強度にすぐれているため、
本発明の非線型光学膜として使用するのに好適である。
Ｈ２０ ＲＲ’ （１８）ＨＨＨＣＨ （１９） ）ｌ ＨＨＮ（２０）Ｆ
Ｆ Ｆ ＣＦ（２１）
Ｍｃ ＨＨＣＨ（２２） ＨＭｅ
ＨＣＨ（２３） ＣＦ３ ＨＨＣＨ
（２４） ＨＣＦ３ ＨＣＨ （２５） ＣＮ ＨＨＣＨ（２６）
ＣＨ２０ＨＨＨＣＨ （２７） Ｃ０ＯＨＨＨＣＨ （２８） ＨＯＨＨＣＨ （２９） Ｎｏ２ ８ Ｈ０（（３０
） ＮＯ２ＨＦ ＣＨ（３１） ＮＯ
２Ｈ、ＣＩＩＣＨ ｅ ＼／ ｔ １７４ Ｃ＠ Ｈａ ｆｌ Ｒ’ ＨＨＣＨ−（６４ａ） ＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ ＺＲＲ’ （７２） Ｈ２Ｎ ＮＨＣＯＭ
ｅ ＨＣＨ（７５） ＭｅＯ−ＨＨＮ ＲＲ’ ＣＮ ＨＣＨ・・・（７７ｄ）ＨＨＮ ・・
・（７９ｄ） Ｈ ＲＲ’ （＋） ｐｓｅｕｄｏｅｐｈｅｄｒｉｎｅ（−） ｎｏ
ｒｐｓｅｕｄｏｅｐｈｅｄｒｉｎｅＲＲ’ Ｄ ＲＲ’ ＺＭｅ
ＨＮ −（８６ｄ） このようなラクトン重合体をホスト高分子化合物とした
固溶体は、非線型光学効果を増大させるためゲスト成分
を増大させても柔軟で力学的強度にすぐれているため、
本発明の非線型光学膜として使用するのに好適である。
さらに、このような高分子化合物中に非線型光学材料を
混入した材料は、容易に大面積膜を生成することができ
るため本発明の非線型光学膜材として好適である。
混入した材料は、容易に大面積膜を生成することができ
るため本発明の非線型光学膜材として好適である。
この膜にレーザビームが照射されると、膜内に混入され
た非線型光学材料により前記レーザ光の第２次（あるい
は第３次以上の高次（以下の“第２次高調波光”とある
記載についても同様とする））高調波光が発生する。こ
の第２次高調波発生による波長変換の効率を向上させる
ためには位相整合をとることが好ましいが、−力木発明
の如く高分子化合物中に非線型光学材料を混入した系で
は混入された高分子化合物の結晶粒径あるいはドメイン
の大きさにより第２次高調波発生の強度が変化すること
が知られている。この最適粒径あるいはドメイン径はバ
インダとなる高分子化合物や混入する非線型光学材の種
類や混合比等により異なるが、本実施例の場合０．１μ
ｍ〜数μｍで最適値を示す、このような分散系のため発
生する第２次高調波光は散乱光となる。照射するレーザ
がＹＡＧ等の１μｍ付近に波長を有するレーザ光の場合
、可視の０．５μｍ程度の波長を持つ光が第２次高調波
として発生する。この発生可視光は散乱光であるためそ
の膜面に対して角度を有する観察者にも視認しやすい。
た非線型光学材料により前記レーザ光の第２次（あるい
は第３次以上の高次（以下の“第２次高調波光”とある
記載についても同様とする））高調波光が発生する。こ
の第２次高調波発生による波長変換の効率を向上させる
ためには位相整合をとることが好ましいが、−力木発明
の如く高分子化合物中に非線型光学材料を混入した系で
は混入された高分子化合物の結晶粒径あるいはドメイン
の大きさにより第２次高調波発生の強度が変化すること
が知られている。この最適粒径あるいはドメイン径はバ
インダとなる高分子化合物や混入する非線型光学材の種
類や混合比等により異なるが、本実施例の場合０．１μ
ｍ〜数μｍで最適値を示す、このような分散系のため発
生する第２次高調波光は散乱光となる。照射するレーザ
がＹＡＧ等の１μｍ付近に波長を有するレーザ光の場合
、可視の０．５μｍ程度の波長を持つ光が第２次高調波
として発生する。この発生可視光は散乱光であるためそ
の膜面に対して角度を有する観察者にも視認しやすい。
またこの発生可視光は、膜のレーザ照射側への散乱反射
光としても、レーザ照射逆側への散乱通過光としても発
生するが、膜厚を調整することにより反射側および通過
側の強度比を変えられるため、アライメントの用途によ
りどちらの形態の器具としても使用できる。
光としても、レーザ照射逆側への散乱通過光としても発
生するが、膜厚を調整することにより反射側および通過
側の強度比を変えられるため、アライメントの用途によ
りどちらの形態の器具としても使用できる。
第１図において、２はこの膜を保護するためのワタであ
り、その表面は赤外レーザ光の反射による危険を防ぐた
めに黒色に塗装されることが好ましい。このワタはまた
、膜の平面性を保ちアライメント精度を上げるためにも
効果を有する。さらに、ワク形状により膜を一定の曲面
にすることもできる。また、このワタを付さず膜の持つ
柔軟性を保フたままのアライメント器具としての使用も
可能である。
り、その表面は赤外レーザ光の反射による危険を防ぐた
めに黒色に塗装されることが好ましい。このワタはまた
、膜の平面性を保ちアライメント精度を上げるためにも
効果を有する。さらに、ワク形状により膜を一定の曲面
にすることもできる。また、このワタを付さず膜の持つ
柔軟性を保フたままのアライメント器具としての使用も
可能である。
さらに、第２図に示すように非線型光学材膜の前面に目
盛３を入れアライメント時の位置確認をしやすくしたり
、第３図のように可動のＸ軸４およびＹ軸５を前面にと
りつけ、特にパルス発振のレーザ光アライメント時など
にレーザ照射後にその位置を記録できる構成をもとるこ
とができる。
盛３を入れアライメント時の位置確認をしやすくしたり
、第３図のように可動のＸ軸４およびＹ軸５を前面にと
りつけ、特にパルス発振のレーザ光アライメント時など
にレーザ照射後にその位置を記録できる構成をもとるこ
とができる。
Ｘ軸４およびＹ軸５はそれぞれ両端がレール６上を軸と
垂直方向に移動でき、Ｘ軸４とＹ軸５との交点を発光ス
ポットの中心に合わせることによりその位置が記録でき
る。
垂直方向に移動でき、Ｘ軸４とＹ軸５との交点を発光ス
ポットの中心に合わせることによりその位置が記録でき
る。
さらに本発明は、各種の器具上に上記の高分子化合物中
に非線型光学材料を混入させた層を形成することにより
、アライメント機能をもつ器具材を提供できる。第４図
は、ピンホール板７上に上記層８をスピンコード等によ
り形成したビーム成形用ピンホールで、レーザビーム中
心をピンホール９の中心に合致させる操作が容易に行な
える。
に非線型光学材料を混入させた層を形成することにより
、アライメント機能をもつ器具材を提供できる。第４図
は、ピンホール板７上に上記層８をスピンコード等によ
り形成したビーム成形用ピンホールで、レーザビーム中
心をピンホール９の中心に合致させる操作が容易に行な
える。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明のレーザ光アライメント器
具によれば、非線型光学材料を高分子化合物に混入した
膜または層に赤外レーザ光を照射し発生する第２次（あ
るいは第３次以上の高次）高調波を視認する構成として
いるので、以下のような効果がある。
具によれば、非線型光学材料を高分子化合物に混入した
膜または層に赤外レーザ光を照射し発生する第２次（あ
るいは第３次以上の高次）高調波を視認する構成として
いるので、以下のような効果がある。
１）膜のもつ光学的強度のため高パワー密度のレーザ光
に対しても光損傷をうけず、反復使用が可能である。
に対しても光損傷をうけず、反復使用が可能である。
２）膜のもつ力学的柔軟性のために力学強度が強いばか
りでなく、任意曲面上でレーザスポット位置の確認がで
きる。また使い勝手も良い。
りでなく、任意曲面上でレーザスポット位置の確認がで
きる。また使い勝手も良い。
３）大面積の膜生成が容易であるため、レーザスポット
の位置確認が容易である。
の位置確認が容易である。
４）第２次高調波発生等の非線型光学効果強度は入射コ
ヒーレント光の光パワーの２乗および照射面積に比例し
、この効果を用いる構成のため、レーザ等の光パワー密
度の高いアライメントに好通である。
ヒーレント光の光パワーの２乗および照射面積に比例し
、この効果を用いる構成のため、レーザ等の光パワー密
度の高いアライメントに好通である。
５）構成が簡潔で構成要素も安価に生成されるため、安
価でランニングコスト不要、無調整、携帯可能な簡便な
器具となる。これらの利点により不可視の赤外レーザ光
のアライメントに好適なアライメント器具が提供できる
。
価でランニングコスト不要、無調整、携帯可能な簡便な
器具となる。これらの利点により不可視の赤外レーザ光
のアライメントに好適なアライメント器具が提供できる
。
第１図は、本発明の一実施例に係わる赤外レーザアライ
メント用器具の外観図、 第２図は、非線型光学材膜の前面に目盛を入れた赤外レ
ーザアライメント用器具の外観図、第３図は、可動のＸ
軸およびＹ軸を前面にとりつけた赤外レーザアライメン
ト用器具の外観図、第４図は、ピンホール板上に非線型
光学材層を形成した赤外レーザアライメント用器具の断
面図である。 １：非線型光学材膜、 ２：ワク、 ３：目盛、 ４：ｘ軸、 ５：ｙ軸、 ６：Ｍ保持のレール、 ７：ピンホール板、 ８：非線型光学材層、 ９；ピンホール。 特許出願人 キャノン株式会社 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 代理人 弁理士 伊 東 辰 雄 第２図 ’ＩＩ３図 第４図
メント用器具の外観図、 第２図は、非線型光学材膜の前面に目盛を入れた赤外レ
ーザアライメント用器具の外観図、第３図は、可動のＸ
軸およびＹ軸を前面にとりつけた赤外レーザアライメン
ト用器具の外観図、第４図は、ピンホール板上に非線型
光学材層を形成した赤外レーザアライメント用器具の断
面図である。 １：非線型光学材膜、 ２：ワク、 ３：目盛、 ４：ｘ軸、 ５：ｙ軸、 ６：Ｍ保持のレール、 ７：ピンホール板、 ８：非線型光学材層、 ９；ピンホール。 特許出願人 キャノン株式会社 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 代理人 弁理士 伊 東 辰 雄 第２図 ’ＩＩ３図 第４図
Claims (1)
- （１）赤外レーザ光を受けて可視光である高調波光を発
生する非線型光学材料を高分子化合物中に混入した膜ま
たは層を有することを特徴とする赤外レーザアライメン
ト用器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12829088A JPH01298324A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 赤外レーザアライメント用器具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12829088A JPH01298324A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 赤外レーザアライメント用器具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01298324A true JPH01298324A (ja) | 1989-12-01 |
Family
ID=14981157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12829088A Pending JPH01298324A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 赤外レーザアライメント用器具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01298324A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03103429U (ja) * | 1990-02-09 | 1991-10-28 | ||
| JP2001284684A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Komatsu Ltd | ガイドレーザ装置 |
| JP2002026434A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 |
| JP2017156433A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 株式会社メルビル | 光軸調整装置 |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP12829088A patent/JPH01298324A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03103429U (ja) * | 1990-02-09 | 1991-10-28 | ||
| JP2001284684A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Komatsu Ltd | ガイドレーザ装置 |
| JP2002026434A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 |
| JP2017156433A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 株式会社メルビル | 光軸調整装置 |
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