JPH01300574A - 熱電素子の製造方法 - Google Patents
熱電素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH01300574A JPH01300574A JP63131108A JP13110888A JPH01300574A JP H01300574 A JPH01300574 A JP H01300574A JP 63131108 A JP63131108 A JP 63131108A JP 13110888 A JP13110888 A JP 13110888A JP H01300574 A JPH01300574 A JP H01300574A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermoelectric
- thermoelectric material
- thermoelectric elements
- thermoelectric element
- substrate
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子腕時計などの電力源として使用する熱電素
子の製造方法に関するものである。
子の製造方法に関するものである。
本発明は電子腕時計などの小型電子製品において、温度
差、たとえば体温と周囲環境との温度差を利用して電力
を発生させ、更に必要に応じて二次電池や大音量コンデ
ンサなどに充電させ電力源として用いる熱電素子の製造
方法において、基板上に熱電材料を形成した後、加熱と
加工を同時に行なうことにより特性の優れた熱電素子を
19ることを可能とするものである。
差、たとえば体温と周囲環境との温度差を利用して電力
を発生させ、更に必要に応じて二次電池や大音量コンデ
ンサなどに充電させ電力源として用いる熱電素子の製造
方法において、基板上に熱電材料を形成した後、加熱と
加工を同時に行なうことにより特性の優れた熱電素子を
19ることを可能とするものである。
電子腕時計においては、体温と環境との温度差を利用し
た熱電素子とコンデンサや二次電池との組合せにより半
永久電源を得ることができる。
た熱電素子とコンデンサや二次電池との組合せにより半
永久電源を得ることができる。
ところが腕時訓の場合、生じる温度差はせいぜい1〜3
℃であり、しかも利用できる寸法も面積6 ci程度、
厚みは1α程度と限られている。
℃であり、しかも利用できる寸法も面積6 ci程度、
厚みは1α程度と限られている。
一方、常温付近で最も性能指数のすぐれた熱電材料とし
ては(Bi、 5b)2(Se 、 Te)3系がある
が、この材料でもN形およびP形ともにゼーベック係数
は200趨V/に程度であり、従ってたとえば温度差2
℃で電圧2Vを得るためには約5000個の熱電材料を
直列に結合する必要があり、しかも1個の熱電材料の寸
法は0.1 mXO,1mX 10trrm程度である
。
ては(Bi、 5b)2(Se 、 Te)3系がある
が、この材料でもN形およびP形ともにゼーベック係数
は200趨V/に程度であり、従ってたとえば温度差2
℃で電圧2Vを得るためには約5000個の熱電材料を
直列に結合する必要があり、しかも1個の熱電材料の寸
法は0.1 mXO,1mX 10trrm程度である
。
このような熱電素子を製造するには第47回応用物理学
会学術講演予電1!386頁27P−ZH(1986年
)にみられるように厚膜的手法を利用することが考えら
れる。
会学術講演予電1!386頁27P−ZH(1986年
)にみられるように厚膜的手法を利用することが考えら
れる。
厚膜法で熱電材料を形成する場合、密度が小さく、導電
率が小さいという欠点がある。
率が小さいという欠点がある。
そこで本発明は上記の欠点を除去し、高密度で特性の優
れた熱電素子を得ることを目的としている。
れた熱電素子を得ることを目的としている。
(課題を解決するための手段〕
本発明では基板上に所定の形状に熱電材料を厚膜的手法
で形成した後、Ar、 N2などの非酸化性気体で加圧
しながら加熱焼結を行なう。
で形成した後、Ar、 N2などの非酸化性気体で加圧
しながら加熱焼結を行なう。
以下実施例により説明する。
まず金属基板上に8L02 、ガラスなど熱伝導率が小
さく、電気的絶縁体をスパッタ法など1′薄り形成する
。
さく、電気的絶縁体をスパッタ法など1′薄り形成する
。
次にその上に(BL、 5l))2 (Se 、 Te
)3系熱電材料粉末を溶剤に溶かして縞状に形成する。
)3系熱電材料粉末を溶剤に溶かして縞状に形成する。
その際、熱電材料層は焼結後、断面積で0.1履X0.
1mになるようにする。また熱電材料層の間隔も0.1
#にする。
1mになるようにする。また熱電材料層の間隔も0.1
#にする。
焼結は第1図に示すように熱電材料を形成した基板1を
加圧加熱容器2の(2かに設置し、不活性気体4を加圧
作llI媒体として加圧しながら、加熱して、いわゆる
熱間静水圧加圧【より焼結を行なう。(U!kL、 5
b)z (Se 、 Tc)3系は酸化をキラウタメ、
八rやN2bどの不活性気体を加圧に使用することは好
ましいことであり、加圧はたとえば1000Kg/ c
lIiで行なう。加熱は500℃以下にする。
加圧加熱容器2の(2かに設置し、不活性気体4を加圧
作llI媒体として加圧しながら、加熱して、いわゆる
熱間静水圧加圧【より焼結を行なう。(U!kL、 5
b)z (Se 、 Tc)3系は酸化をキラウタメ、
八rやN2bどの不活性気体を加圧に使用することは好
ましいことであり、加圧はたとえば1000Kg/ c
lIiで行なう。加熱は500℃以下にする。
このようにして焼結した熱電材料は右礪樹脂で固定し、
金属をエツチングで除去し、これを第2図に示すように
熱電材料5を有様樹脂6と絶縁薄膜層7で囲う様に積層
する。
金属をエツチングで除去し、これを第2図に示すように
熱電材料5を有様樹脂6と絶縁薄膜層7で囲う様に積層
する。
これに電極等を形成し、約5000個の熱電材料片をN
、P形交互に直列に結合した熱電素子に温度差2℃を与
えたところ、2.53Vの電圧が生じ、内部抵抗は55
.3 KQであった。
、P形交互に直列に結合した熱電素子に温度差2℃を与
えたところ、2.53Vの電圧が生じ、内部抵抗は55
.3 KQであった。
一方、同様にして加圧を行わなかった場合の熱電素子は
1.15Vの電圧を生じ内部抵抗は470短であった。
1.15Vの電圧を生じ内部抵抗は470短であった。
以上のように本発明の方法による熱電素子は従来法の厚
膜法によるものに比較して、発生電圧が大きく、内部抵
抗も小きく、極めて優れた特性をもっている。
膜法によるものに比較して、発生電圧が大きく、内部抵
抗も小きく、極めて優れた特性をもっている。
これは加圧による密度の向上が主な要因である。
上記のように本発明では熱電材料を基板上に形成し、加
圧しながら焼結を行なうことにより、微細な熱電素子を
簡易に、しかも高性能なものを製造することを可能とす
るものである。
圧しながら焼結を行なうことにより、微細な熱電素子を
簡易に、しかも高性能なものを製造することを可能とす
るものである。
第1図は熱電材料の焼結状態を示す図であり、第2図は
熱電材料の積層状態を示す図である。 1・・・熱電材料を形成した基板、 2・・・加圧加熱容器、 3・・・ヒータ、 4・・・不活性気体、5・・
・熱電材料、 6・・・有様樹脂、7・・・絶R薄
膜層。 出願人 セイコー電子二[業株式会社代理人 弁理
士 林 敬 之 助 熱電料行のメを虹状L1.εホオ図 第1図 熱電材料の積層状藺、δ示す図 第2図
熱電材料の積層状態を示す図である。 1・・・熱電材料を形成した基板、 2・・・加圧加熱容器、 3・・・ヒータ、 4・・・不活性気体、5・・
・熱電材料、 6・・・有様樹脂、7・・・絶R薄
膜層。 出願人 セイコー電子二[業株式会社代理人 弁理
士 林 敬 之 助 熱電料行のメを虹状L1.εホオ図 第1図 熱電材料の積層状藺、δ示す図 第2図
Claims (1)
- 基板上に熱電材料を形成した後、非酸化性気体を作動
媒体として加圧しながら焼結を行なうことにより高密度
の熱電素子を得ることを特徴とする熱電素子の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63131108A JPH01300574A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 熱電素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63131108A JPH01300574A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 熱電素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01300574A true JPH01300574A (ja) | 1989-12-05 |
Family
ID=15050168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63131108A Pending JPH01300574A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 熱電素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01300574A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997016856A1 (fr) * | 1995-10-31 | 1997-05-09 | Technova Inc. | Thermocouple a film epais |
| FR2822295A1 (fr) * | 2001-03-16 | 2002-09-20 | Edouard Serras | Generateur thermoelectrique a semi-conducteurs et ses procedes de fabrication |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP63131108A patent/JPH01300574A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997016856A1 (fr) * | 1995-10-31 | 1997-05-09 | Technova Inc. | Thermocouple a film epais |
| US5864087A (en) * | 1995-10-31 | 1999-01-26 | Technova Inc. | Thermoelectric device |
| FR2822295A1 (fr) * | 2001-03-16 | 2002-09-20 | Edouard Serras | Generateur thermoelectrique a semi-conducteurs et ses procedes de fabrication |
| WO2002075822A1 (fr) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Institut Francais Du Petrole | Generateur thermoelectrique et ses procedes de fabrication |
| US6872879B1 (en) | 2001-03-16 | 2005-03-29 | Edouard Serras | Thermoelectric generator |
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