JPH0130095B2 - - Google Patents

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JPH0130095B2
JPH0130095B2 JP55154650A JP15465080A JPH0130095B2 JP H0130095 B2 JPH0130095 B2 JP H0130095B2 JP 55154650 A JP55154650 A JP 55154650A JP 15465080 A JP15465080 A JP 15465080A JP H0130095 B2 JPH0130095 B2 JP H0130095B2
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JP
Japan
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test
leak
test object
test chamber
leak detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP55154650A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5779422A (en
Inventor
Toyofumi Tomita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority to JP15465080A priority Critical patent/JPS5779422A/ja
Publication of JPS5779422A publication Critical patent/JPS5779422A/ja
Publication of JPH0130095B2 publication Critical patent/JPH0130095B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/22Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
    • G01M3/226Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
    • G01M3/229Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
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    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、被試験物のリーク量を検査するリー
クテスト装置に関する。
(従来の技術) 第1図にリークテスト装置によるいわゆる積分
法と呼ばれるリーク検査の方法を示す。第1図に
おいて、1は密閉容器で形成されたテストチエン
バ、2はプローブガス3が充填された被試験物、
4はテストチエンバ1に設けられた吸引口、5は
吸引ポンプを内蔵するリークデテクタの検出部、
6はリークデテクタの測定部である。
いま、被試験物2の体積を差し引いたテストチ
エンバ1の内容積をV(CC)とし、被試験物2の
リーク量をL(cc/sec)、放置時間をT(sec)と
すれば、T時間放置後のテストチエンバ1内空間
のプローブガスの濃度Aは、 A=L×T/V ………(1) と表わせる。テストチエンバ1にプローブガスを
充填した被試験物2を入れ、一定時間T後に、リ
ークデテクタ5,6によりテストチエンバ1内の
プローブガスの濃度Aを測定すれば、(1)式から被
試験物のリーク量Lを知ることができる。
(発明が解決しようとする課題) 上記の方法の利点は、リークデテクタの最高感
度に限界があつても、放置時間を長くすれば、極
めて微小なリーク量まで検知できることであり、
被試験物の全体のリーク量が一度に検査できるこ
とである。しかしながら、テストチエンバ内が大
気圧のときは、プローブガスの拡散係数や比重な
どの関係から、テストチエンバ内の空間のプロー
ブガスの濃度が必ずしも均一にならない。このこ
とは、測定に際しての吸引箇所や被試験物のリー
ク箇所の如何により検知したリーク量が異なつて
くることになり、検査品質の不均一さなどを招く
という欠点がある。そこで本発明は、上記の欠点
を解消できるとともに、被試験物におけるリーク
点も検知できるリークテスト装置を実現すること
を課題とし、本発明の目的もそこにある。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 本発明のリークテスト装置は、プローブガスを
充填した被試験物を密閉容器で形成されたテスト
チエンバ内に収納して放置し、被試験物からリー
クしたプローブガスを前記テストチエンバ内に蓄
積させ、蓄積されたプローブガスの量により被試
験物のリーク量を検査するリークテスト装置にお
いて、前記テストチエンバの複数箇所に設けられ
た複数個の吸引口と、これら各吸引口にそれぞれ
接続された配管と、これら各配管にそれぞれ設け
られた弁と、これらの弁を時間間隔をおいて一定
時間だけ順次開放する弁開閉手段と、この手段に
より開閉される弁および前記配管を介して前記テ
ストチエンバ内の気体を吸引する吸引ポンプと、
この吸引ポンプにより吸引された気体内のプロー
ブガス濃度を測定するリークデテクタと、このリ
ークデテクタから得られる各弁開放時の濃度出力
の大小を比較する手段と、前記リークデテクタか
ら得られる濃度出力を積分・平均化して前記被試
験物のリーク量を測定する平均化回路とを具備す
るように構成される。
(作用) 本発明のリークテスト装置においては、各弁を
閉にした状態でプローブガスを充填した被試験物
をテストチエンバ内に収納し一定時間放置する。
一定時間経過後、吸引ポンプを始動し、各弁を時
間間隔をおいて順次一定時間だけ開にする。各弁
がそれぞれ開になつたときのリークデテクタの濃
度出力の大小を比較することにより、リーク点が
被試験物のどこにあるかを知ることができる。そ
して、各弁がそれぞれ開になつているときのリー
クデテクタの濃度出力を平均化回路にて積分・平
均化して平均濃度を求めれば、この濃度値はテス
トチエンバ内におけるプロブーガスの平均濃度を
示しているので A=L×T/V ………(1) から被試験物のリーク量Lを知ることができる。
(実施例) 以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を
詳細に説明する。第2図に本発明一実施例のリー
クテスト装置を示す。第2図において、1はテス
トチエンバ、2はプローブガス3が充填された被
試験物、S1,S2,S3,S4はテストチエンバ1の4
箇所に設けられた吸引口、P1,P2,P3,P4はそ
れぞれ前記各吸引口に接続された配管、V1,V2
V3,V4はそれぞれ前記配管P1,P2,P3,P4にそ
れぞれ設けられた弁である。また、この各弁から
の配管を1本に集合し、吸引ポンプPMを介して
リークデテクタLDに接続する。そして、各弁V1
〜V4は、図示していない弁開閉手段により、第
3図aに示すように、所定の時間間隔をおいて一
定時間だけ順次開放される。第2図において、1
0は平均化回路で、各弁V1〜V4の順次の開放時
にリークデテクタLDから得られる濃度出力を積
分・平均化してテストチエンバ1内におけるプロ
ーブガスの平均濃度を算出し、それに基づいて被
試験物のリーク量を求める。
上記のように構成された本発明一実施例のリー
クテスト装置においては、各弁V1〜V4を閉にし
た状態でプローブガス3を充填した被試験物2を
テストチエンバ1内に収納し一定時間放置する。
一定時間経過後、吸引ポンプPMを始動し、図示
していない弁開閉手段により、第3図aに示すよ
うに、弁V1から順次弁V4まで所定の時間間隔を
おいてそれぞれ一定時間だけ弁を開にする。これ
により、吸引口S1,S2,S3,S4近傍の気体が順次
リークデテクタLDに送り込まれる。
そこで、各弁V1〜V4がそれぞれ開になつたと
きのリークデテクタLDの濃度出力の大小を図示
していない手段により(あるいは検査員により)
比較することにより、リーク点が被試験物2のど
こにあるかを知ることができる。すなわち、第3
図bに示すようにリークデテクタLDの濃度出力
がなつたとすれば、リーク点は吸引口S4の近傍に
あることがわかる。勿論、吸引口を多くすればす
るほどリーク点がより正確にわかる。
また、各弁V1〜V4がそれぞれ開になつたとき
のリークデテクタLDの濃度出力は平均化回路1
0に順次入力され、平均化回路10にて積分・平
均化を行なつて平均濃度が算出され、 A=L×T/V ………(1) に基く演算により被試験物1のリーク量Lが求め
られる。
〔発明の効果〕
以上詳述したように本発明によれば、積分法に
よるリーク検査において、テストチエンバ内のプ
ローブガス濃度の不均一に基く測定誤差の発生の
問題を解消できるばかりでなく、さらに、複数個
の吸引口からの時間間隔をおいた一定時間だけの
サンプリングにより、各吸引口近傍のプローブガ
ス濃度の不均一を利用して各サンプリング毎のリ
ークデテクタの濃度出力の比較から被試験物のリ
ーク点を知ることも可能なリークテスト装置を提
供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は積分法によるリークテスト装置の従来
例を示す概略図、第2図は本発明一実施例のリー
クテスト装置を示す系統図、第3図a,bはそれ
ぞれ第2図の装置における弁の開動作のタイムチ
ヤートおよび各弁の開動作時のリークデテクタ出
力を示すグラフである。 1……テストチエンバ、2……被試験物、3…
…プローブガス、10……平均化回路、S1,S2
S3,S4……吸引口、P1,P2,P3,P4……配管、
V1,V2,V3,V4……弁、PM……吸引ポンプ、
LD……リークデテクタ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 プローブガスを充填した被試験物を密閉容器
    で形成されたテストチエンバ内に収納して放置
    し、被試験物からリークしたプローブガスを前記
    テストチエンバ内に蓄積させ、蓄積されたプロー
    ブガスの量により被試験物のリーク量を検査する
    リークテスト装置において、前記テストチエンバ
    の複数箇所に設けられた複数個の吸引口と、これ
    ら各吸引口にそれぞれ接続された配管と、これら
    各配管にそれぞれ設けられた弁と、これらの弁を
    時間間隔をおいて一定時間だけ順次開放する弁開
    閉手段と、この手段により開閉される弁および前
    記配管を介して前記テストチエンバ内の気体を吸
    引する吸引ポンプと、この吸引ポンプにより吸引
    された気体内のプローブガス濃度を測定するリー
    クデテクタと、このリークデテクタから得られる
    各弁開放時の濃度出力の大小を比較する手段と、
    前記リークデテクタから得られる濃度出力を積
    分・平均化して前記被試験物のリーク量を測定す
    る平均化回路とを具備したことを特徴とするリー
    クテスト装置。
JP15465080A 1980-11-05 1980-11-05 Leak test device Granted JPS5779422A (en)

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