JPH01301149A - ガス分析のための方法および装置 - Google Patents

ガス分析のための方法および装置

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JPH01301149A
JPH01301149A JP63304334A JP30433488A JPH01301149A JP H01301149 A JPH01301149 A JP H01301149A JP 63304334 A JP63304334 A JP 63304334A JP 30433488 A JP30433488 A JP 30433488A JP H01301149 A JPH01301149 A JP H01301149A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、（微準）ガス分析のための方法および装置に
関する。
［従来の技術］ ガスはその吸収スペクトルによって同定しうると共に、
ガスのａ度（Ｋ、　）はぞの存在を検出するガスの特性
で必る所定波長の吸光度（Ｅ）から得られることが一般
的に知られている。
煙道ガス分析のための公知の装置（本出願人によるＬ　
ＯＲＡ−１型装置）においてはダイオードレーザ−を使
用し、これは連続的かつ完全に調整することかでき、さ
らに検出すべきガスの既知吸収線に設定されるその出力
光線を分析器に通過させとる共に、分析器にａ５ける測
定ガスの濃度がそれに応じて減衰する。分析下のガス濃
度の１辰幅は、測定波長にて分析器内の他のガスに対し
相互作用が存在せずかつ測定サイクルの開始前に検定値
が１ｑられていれば所定の測定ガス濃度の導入により、
このような強度の低下またはこのにうな吸光度から得る
ことができる。既知組成のガスを用いたこの種の検出は
探査セクションが分析器Ｐル内に設定された場合しか可
能でないので、たとえば動力プラントから放出される煙
道ガスを測定するような場合には煙道ガスをこの分析器
セルに通過させねばならず、測定の最大速度は分析器セ
ルのパージ速度に依存して１回の測定当り数秒の範囲を
東する。このような比較的遅い測定速度の問題とは別に
、公知の装置は測定サイクルを開始する前（装置の停止
後）に先ず最初に検量が８鼎とされるいう問題をさらに
含み、これは周知の欠点をｈっだ分析器セルの必要性に
加え極めて面倒かつ複雑な入力を要する操作である。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術から出発して、本発明の課題は、測定操作
に伴う作業量を減少させ、高い測定速度と同時に測定値
の信頼性向上を達成しうるよう上記種類の方法または装
置を改善することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記課題は、本発明によれば、請求項１記載の特徴を備
えた方法および請求項７記載の特徴を備えた装置によっ
て解決される。
本発明の主たる特徴は、一方が検出すべきガスの吸収極
大に相当しかつ他方が吸収極小に相当するような２つの
個々のラインの間で「比」を形成することからなってい
る。好ましくは、関与する逆転整流が比較的高い周波数
（たとえば２０００ｃｐｓ　）で生じ、各完全サイクル
を用いて測定値を発生させる。この手段は、たとえば動
力１ラントの煙道にてその場で測定を可能にすると共に
、乱流および渦流をそこに生ぜしめずかつ圧力および温
度（これら両者は吸収特性に影響を及ぼす）の変化が衝
撃を与えない。したがって、異なる波長の２つのレーザ
ー光線を共直線関係で設定するための光学系（これは調
整困難であることが知られている）を用いる必要がない
。何故なら、１個の同一レーザーが両波長を発生するか
らである。
格別の利点は、探査セクションに入る前にレーザー光線
の強度を測定し、好ましくは同時に放出端部にて探査セ
クションから出るレーザー光線の強度を測定して、両波
長における強度の比をその振幅でなく測定すればよいこ
とにある。次いで、探査セクションを通過したレーザー
光線の強度の比を、確定された比に正規化もしくは基準
化（逆数値の１ト痺）する。このような装置設計により
、レーザー光線エネルギーの振幅を知る必要なしに、振
幅の安定な測定を達成することができる。
特に、驚異的効果をもたらす本発明の好適具体例におい
ては、反射器もしくはグリッドの一方を転置することに
よりその固有ラインＲ（１６）の一方から他方のライン
Ｒ（１８）まで或いはその逆に逆転させる１３ＣＯ２レ
ーザーを用いて、ＮＨ３の検出に際しこのように設計さ
れた装置の高い精度および高い検出感度を与える。１回
の試験で１１）ｒ）ｍ−ｍの応答を得ることができた。
１３ＣＯ２レーザーのＲ（１６）ラインはアンモニヤの
吸収極小に位置する一方、このレーザーのＲ（１８）ラ
インはアンモニヤの吸収極大に位置する。動力プラント
における煙道ガス分析のためのこの装置の利用は、レー
ザーの高効率の結果として煙道ガス通路（煙道）内にお
ける直接的測定を可能にし、したがって測定結果（煙道
ガス中のアンモニヤ濃度）を用いて脱窒システムもしく
は燃焼工程の効率を監視することができる。このシステ
ムは、蒸気もしくはＣＯ２でさえ検討範囲にて均質な吸
収を示すので、相互作用を伴わないという特定の利点を
有する。
さらに、本発明による方法は可変かつ極めて高いガス温
度（５００℃まで）にてガス濃度の分析を可能にする。
本発明に必須のこれらおよびその他の特徴は請求項の記
載および本発明の下記する好適具体例から明らかとなろ
う。好適具体例は全て特に動力プラントにより排気され
る煙道ガスのアン−しニヤ濃度の検出に関するものであ
るが、本発明はその他多くの異なるスペク１〜ルライン
（ライン峰部もしくは波高）を有する他のガスレーザー
で操作する方法および装置についても、或いはたとえば
ダイオードレーザ−のような他の任意の調整自在なレー
ザーについても適用しうることを強調すべきである。こ
の方法は、−船釣な（微量）ガス分析に用いるのに適し
ている。
［実施例］ 以下、添付図面を参照して本発明を好適実施例につぎ説
明する。
第１図において、参照符号１０はレージ“−エミッタ装
置を示し、そのハウジング１３は１３ＣＯ２レーザーを
備える。圧電駆動装置を使用して、レーザーの端板／反
射器／グリッド１１の１つを使用されるガスに曲型的な
波長に共鳴が設定されるよう調筋することができる。
レーザーは約８℃で操作され、かつ電源１４を備える。
ハウジング１３はこの温度を維持する断熱ジャケットを
備える。このジャケットは、光学系における集光（ｓｏ
ｌｉｄｅｎｓｉｎｇ＞現象を防止すべくレーザー光線の
みに対する１個の小開口部を有する。好ましくはレーザ
ー装置は全体として金属ケーシング内に収容され、この
ケーシングは電気的もしくは電磁的干渉および障害に対
し保護するシステムを与える。
さらに、このハウジングは調整目的でＨｅＮｅレーザー
をも収容し、その光線はセレン化仙鉛円盤１６を用いて
共直線関係にてＣＯ２レーザー光線に対し重ねることが
できる。
出力レーザー光線１における輻射エネルギーの１部を部
分反射性端板１７およびスペクトル分析器３２（グリッ
ド）を介し補助検出器３３まで移送して、レーザー光線
１のスペクトルを測定する。
検出器３３により発生した出力信号を、圧電駆動装置の
制御に際し圧電駆動機５０を制御するために使用される
安定化回路３４へ供給する。このような配置により、所
望の２つの波長が最大の精度をもって設定されるように
圧電駆動装置１２を設定することができ、同時にレーザ
ー光線の出力強度が少なくとも両波長につ同範囲の振幅
となるよう強度を制御すべく反射器セットを僅かに［１
悦調（ｄｅｔｌＪｎｉｎ（１）　Ｊ　６　ｔル；ｌ　ト
カテキル。
この装置は比較的高い周波数（約２０００ｃｐｓもしく
Ｌ／Ｈ２）にて１つの波長λ１から他の波長λ２まで或
いはその逆に逆転され、この周波数はチョッパ３０の同
期をもその制御器３１を介して支配する。この装置にお
いて、制御機能は完全サイクルが全部で３つの期間で構
成されるように設計され、第１期間の際にレーザー光線
１はその第１波長λ１にて放出される一方、第２期間の
際に第２波長λ２にて放出されると共に、第３期間の際
にチョッパ３０がレーザー光線を中断する。
他の部分反射性端板１８をチョッパ３０の出力側に配置
して、エネルギーの１部を基準光線ｒとして検出器３６
へ指向させる。レーザー光線１の残余のエネルギーを２
個の反射器１９を介し第１端板２１における対向部２３
に通過させ、探査セクションの端部における第２喘板２
２に衝突させ、かつ伯の検出器３５に到達させ（２個の
端板２１と２２との間の反射工程の後、かつ第１端板２
１における開孔部２３および他の反射器１９′を通過し
た後）。かくして、探査セクション２０の有効長さが、
２つの端板２１と２２との間の距離ｄに基づきかつこれ
ら端板間で反射された光線数の関数として計算される。
温度検出器３７（たとえば輻射線パイロメータ）および
圧力計３８を探査セクション２０に或いはその近傍に（
たとえば煙道自身に）設け、これらセンサからの出力信
号および検出器３５と３６とにより発生される同等な出
力信号をスコア装置もしくは評価装置４０へ転送する。
スコア装置４０はさらに圧電駆動機５０とチョッパ制御
器３１とに連結させる。
ここに説明した本発明の実施例においては、パイロ電気
検出器を検出器部材３５．３６として使用し、したがっ
てここに説明したチョッパ３０が必要となる。
以Ｆ、第１図に例示した装置の操作につき第２〜７図を
参照して一層詳細に説明する。
ＣＯ２レーザーがそのラインＲ（１６）とＲ（１８）と
の間（第７図参照）、すなわち２つの波長λ１とλ２と
の間（第２図参照）で逆転して方形経路にしたがうよう
、端板７灰射器／グリッド１１を圧電装置１２によって
往復させる。このシステムにおいて、圧電駆動装置１２
はたとえば偏り電圧の調整により両波長に対する初期強
度（第２図における左縦軸）が実質的に同範囲の振幅に
留まるよう「脱調」される。
チョッパ３０は、レーザー光線１をその波長の逆転と同
期して第３図に示した強度パターンが時間の関数として
生ずるよう中断するのに役立ち、領１ｊｌＡは波長λ１
のレーザー光線を示し、領域Ｂは波長λ２の光線を示し
、かつ領域Ｃはチョッパ３０によるレーザー光線１の中
断の期間に相当する。その結果、検出器３５および３６
の出力として信号が得られ、その形状は時間の関数とし
て第３図に示した形状に一致し、検出器出力信号のＤＣ
平均値は０までの範囲にわたる。
スコア装置４０内に試料回路と保留回路とを用いて（第
４図参照）、検出器３５および３６からの出力信号を完
全Ａ−Ｃサイクルの後に６個の数値：すなわちＡＩ、Ｂ
Ｉ、ＣＩ（検出器３５からの出力値Ａ−Ｃ）およびＡＩ
Ｉ、ＢＩ［、ＣＩＩ（検出器３６からの出力信号）が全
て記憶されるように走査する。かくして処理された信号
Ａが波長λ１（ＮＨ３吸収極大）につき検知された復、
Ｂ−群における数値が波長λ２　（吸収極小〉にて検知
される一方、Ｃ値は光学ゼロレベルを示す。
次いで、スコア装置または評価装置４０はこれら６個の
数値を用いて、吸光度Ｅを次式にしたがって計算する： かくして、探査セクションにおけるガスの圧力および温
度を知れば、分析下のきガスの濃度Ｋを次いでこれらの
パラメータから直接に得ることかできる。
探査セクションにおけるガスの圧力および温度に対する
吸収の依存性は所定範囲においてのみ直線性であるため
、測定結果は補正を必要とする。
この目的で、スコア装置４０は補正係数の表を内藏しく
第８図および第９図参照）、これら係数をセンサ３７．
３８からの出力信号の関数として選択しかつ測定結果の
補正に使用する。
第１０図はこの装置における他の略図であって、レーザ
ーエミッタ装置１０の圧電駆動装置１２を制御する圧電
制御器５０が２つの波長間における整流とレーザー出力
光線１の中断との両者における逆転サイクルを規定する
ための周波数発生器５１を備えることを示している。こ
の理由で、周波数発生器５１の出力をチョッパ制御器３
１と変調器５２との両者に連結し、その出力信号を加算
器−増幅器／駆動機５４に対する入力とし、その他方の
入力はオフセット回路５３からの出力信号を受信する。
このオフセット回路５３は安定化回路３４によって制御
される。さらに、クロックパルス信号を周波数発生器５
１からスコア装置４０におけるクロック制御器４８の適
当な入力まで発生させて、評価回路４０の同期を与える
。
タロツク制御器４８はタロツクパルス信号Ａ１８ｉＢよ
びＣを試料回路および保留回路４３および４４へ放出し
、これら回路をアナログ処理回路４１および４２からの
出力部に位置せしめ、パイロ電気検出器３５および３６
から放出された信号を処理する。この予備的処理工程は
特に偏り電圧の減結合を含み、（ＨＦ）ノイズの濾過と
信号の増幅とを伴う。
試料回路および保留回路４３および４４に蓄えられた検
出値Ａ、ＢおよびＣはＡ／Ｄ変換器４５によってデジタ
ル化され、次いでクロックパルス信号またはトリガ信号
（周波数発生器５１から）と−緒に演鋒回路４６へ供給
される。さらに、演粋回路４６は検知素子３７および３
８がらの（デジタル化）出力信号（探査セクションにお
ける温度および圧力）を受信する。この演算回路４６は
、各サイクルにて上記法則にしたがい、試料回路および
保留回路４３および４４に蓄えられた信号を処理して、
その結果を必要に応じ記憶すると共にこれらを出力ボー
ト４７を介して出力するよう設計される。
以下、第１１図を参照して、探査セクションの設計に関
し本発明の好適実施例を一層詳細に説明する。
第１１図に示したように、第１図を参照して既に説明し
た端板２１および２２をそれぞれ凹面反射器の形態で設
けると共に、ケーシング２８内の調整手段２７より上方
に配置する。両端板２１および２２のケーシング２８は
煙道３９の対向壁部に装着されて、調整部材２７を用い
る端板の適当な設定により、反射器２１における開孔部
２３を通過したレーザー光線１が対向反射器２２に指向
してこれにより反射器２１まで反射されるようにし、こ
の反射サイクルを光線が最終的に反射器２１における開
孔部２３を介し測定光線として出るまで数回反復する。
この実施例において、好ましくは反射器２１および２２
は調整用として端板の二重焦点長ざｆに相当する距離ｄ
にて配置される。
（環状〉パージ空気通路２９をケーシング２８に設けて
、端板もしくは反射器の表面がたとえば煙道ガスにより
搬入された固体により汚染されるのを防止するよう、煙
道中へパージ空気を導入する（矢印の方向）。
第１２図に示した本発明の伯の好適実施例に６いては、
既に詳細に上記したと同じ測定原理を用いるが、ただし
レーザー出力光線１を反射器セット１１９．１１９′に
より個々の測定光線のマトリックス型列に分割してこれ
らをそれぞれ探査セクションに通過させた後、１ｕの検
出器１２５．１２５′までそれぞれ調節し、その出力信
号も同様にスコア装置または評価装置４０へ供給する点
で相違する。スコア装置４０は測定値を用いて、煙道断
面にわたり二次元濃度経過を示すハードコピー１００の
形態で出力するのに適した断層囮彰型表示を与える。
第１図〜第１０図を参照して既に説明した部品および装
置（分析器、チョッパなど）を、この装置にも設けるこ
とは勿論である。
ここでも本発明は１３ＣＯ２レーザーに関するだけでな
く、波長を少なくとも２つの数値に調整しうる、たとえ
ばレーザーダイオード−をも包含する一般的な任意のレ
ーザーにも適用しうろことを強調すべきである。
煙道ガスにおけるアンモニヤ濃度を分析するための上記
本発明の使用は、驚異的に正確かつその場で比較的簡単
に行なえる煙道ガスの分析を可能にする。この種の使用
は各測定値を極めて短い連続間隔にて得られる３つの分
離した数値から誘導しうるという顕著な利点を有し、そ
の結果煙道ガスにおける乱流もしくは渦流または装備の
位置にて生ずる振動（たとえば建造物の撮動）でさえ測
定結果に何等の衝撃をも及ぼさない。何故なら、このよ
うな渦流における圧力および流動または建造物における
撮動周波数の上限が変化する速度は、この装置における
測定速度よりも小さいからである。レーザー光線におけ
る他の波長で操作し或いは他の種類の測定ガスを用いれ
ば、本発明の方法または装置により同様にして他のガス
をも検出しうろことは勿論である。しかしながら、いず
れの場合も、ＧＯ２レーザーは極めて高い効率を示し、
高い検出感度を伴う特に長い探査セクションを設計する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による装置の好適実施例の機能流れ図で
あり、 第２〜４図は時間に関する装置の操作説明図であり、 第５図は測定に使用するＮＨ３吸収と波長とを説明する
特性曲線図であり、 第６図はＮＨ３ライン強度の説明図であり、第７図は種
々異なるＣＯ２レーザーの放出ラインと対比したＮ１−
１３吸収ラインの説明図であり、第８図は圧力に対する
測定結果の依存性を示す説明図であり、 第９図は濃度に対する測定結果の依存性を示す説明図で
あり、 第１０図は測定結果の評価を例示する一層詳細な機能流
れ図であり、 第１１図は探査セクションのための反射器配置の略断面
図であり、 第１２図は二次元ａ度形状を決定するために使用する本
発明の伯の好適実施例の略図である。 １０・・・レーザーエミッタ装置 １１・・・端板／反射器／グリッド １２・・・圧電駆動装置 １３・・・ハウジング １４・・・電源 １５・・・調整レーザー １６〜１８・・・部分反射性端板 １９．１９′・・・端板７反銅器 ２０・・・探査セクション ２１．２２・・・端板／凹面反射器 ２３・・・開口部 ２５．２６・・・検出器 ２７・・・調整部材 ２８・・・ケーシング ２９・・・パージ空気通路 ３０・・・チョッパ ３１・・・チョッパ制御器 ３２・・・スペクトル分析器 ３３・・・補助検出器 ３４・・・安定化回路 ３５・・・第１検出器 ３６・・・第２検出器 ３７・・・温度検出器 ３８・・・圧力計 ３９・・・煙道 ４０・・・スコア／評価回路 ４１・・・第１アナログ５Ｉａ理回路 ４２・・・第２アナログ処理回路 ４３．４４・・・試料および保留回路 ４５・・・Ａ／Ｄ変換器 ４６・・・演緯回路 ４７・・・出力ボート ４Ｂ・・・クロック制御器 ５０・・・圧電制御器 ５１・・・周波数発生器 ５２・・・変調器 ５３・・・オフセット回路 ５４・・・加算器−増幅器／駆動機 １００・・・ハードコピー １１９．１１９′・・・１組の反射器 １２５．１２５′・・・１組の検出器 ｌ・・・出力光線 ｍ・・・測定光線 ４・・・基準光線 Ａ・・・第１波長 Ｂ・・・第２波長 Ｃ・・・ゼロ信号 Ｅ・・・吸光度 Ｋ・・・濃度 １１．−　あ 町べ＆もライシ　　　　　マ［ｃｍ−１１０ＦＩＧ、７ ＦＩＧ、１１

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）検出すべきガスによるレーザー出力光線の吸収を
    少なくとも前記ガスの吸収極大の範囲内で測定すると共
    に基準値に対して比較する（微量）ガス分析方法におい
    て、レーザー、好ましくはＣＯもしくはＣＯ＿２レーザ
    ーの出力波長を少なくとも２つの選択しうる波長（λ＿
    １、λ＿２）の第１波長に循環反復して設定し、前記第
    １波長は検出すべきガスの吸収極大に実質的に一致し、
    この波長（λ＿１）におけるレーザー光線の減衰を決定
    し、 レーザーの出力波長を検出すべきガスの吸収極小に実質
    的に一致した選択しうる第２波長に設定し、この波長（
    λ＿２）におけるレーザー光線の減衰を決定し、かつ 極大減衰を極小減衰に対し正規化し、次いで吸収性ガス
    の吸光度及び濃度を測定すると共にこれを処理／表示に
    移すことを特徴とする（微量）ガス分析方法。 （２）両波長（λ＿１、λ＿２）におけるレーザー光線
    の出力強度を実質的に同じ大きさに設定することを特徴
    とする請求項１記載の方法。 （３）レーザー出力波長の設定を２つの波長（λ＿１、
    λ＿２）間にて１００ｃｐｓより高い周波数、好ましく
    は１０００ｃｐｓを越える周波数にて逆転させることを
    特徴とする請求項１または２記載の方法。 （４）吸光度の測定がレーザー光線出力強度の検出を必
    要とすると共に、この検出を吸収により減少した光線強
    度の測定と同時に行なうことを特徴とする請求項１〜３
    のいずれか一項に記載の方法。 （５）吸光度と同時に分析ガスの温度および／または圧
    力を測定し、この測定値から補正係数を得、好ましくは
    補正係数を温度または圧力によりそれぞれ蓄えられた補
    正係数の表から読取り、かつこの補正係数を用いて測定
    結果を補正することを特徴とする請求項１〜４のいずれ
    か一項に記載の方法。 （６）測定結果を各操作サイクルの直後に決定すること
    を特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法
    。 （７）出力光線（１）を発生するレーザーエミッタ装置
    （１０）と、分析すべきガスを含有する探査セクション
    （２０）まで出力光線（１）を案内する第１光学手段（
    １９）とを備え、さらに探査セクション（２０）から出
    る測定光線（ｍ）をこの測定光線（ｍ）の強度（Ａ、Ｂ
    ）を測定する装置（３５）に案内する第２光学手段（１
    ９′）、並びに前記測定装置（３５）から受信された出
    力信号を処理／評価すると共に（ログ）測定値を表示す
    るスコア回路（４０）を備えてなる、特に請求項１記載
    の方法を実施するための（微量）ガス分析装置において
    、前記レーザーエミッタ装置（１０）は出力光線波長を
    制御器（５０）または調整自在な反射器（１１）、端板
    、グリッドなどを用いて少なくとも２つの数値（λ＿１
    、λ＿２）間で循環的かつ反復的に逆転させうる調整自
    在なレーザー、好ましくはＣＯ＿２レーザーからなり、
    前記波長の一方（λ＿１）は分析下のガスの吸収極大に
    相当すると共に他方の波長（λ＿２）は吸収極小に相当
    し、さらに前記探査セクション（２０）を通過した後の
    異なる波長（λ＿１、λ＿２）における強度の比（Ａ
    I ／Ｂ I ）の尺度または分析すべきガスの濃度の尺度
    である出力値（Ｅ）及び（Ｋ）を表示／記録するよう前
    記スコア回路（４０）を設計したことを特徴とする（微
    量）ガス分析装置。 （８）第３手段（１８、３６）がスコア回路（４０）と
    連携して出力光線（１）の強度を測定し、さらに探査セ
    クション（２０）を通過した後の強度比（Ａ I ／Ｂ I
    ）を前記探査セクション（２０）を通過する前の強度
    比（ＡII／ＢII）に対し正規化しうるようスコア回路を
    設計したことを特徴とする請求項７記載の装置。 （９）測定装置（３５、３６）がパイロ電気検出器を備
    え、さらにレーザー逆転操作と同期して作動するチョッ
    パ（３０）を設けると共にこれを２つの波長（λ＿１、
    λ＿２）の光線を受光した前記検出器（３５、３６）が
    短時間にわたり実質的に完全に停止する（エネルギー入
    力がない）ように配置したことを特徴とする請求項７ま
    たは８記載の装置。 （１０）レーザーエミッタ装置（１０）の反射器／端板
    ／グリッド（１１）が圧電駆動装置（１２）を備え、こ
    れに好ましくは一方の波長から他方の波長（λ＿１、λ
    ＿２）まで逆転する際のストロークとは独立して設定し
    うる偏差調整振幅を与えたことを特徴とする請求項７〜
    ９のいずれか一項に記載の装置。 （１１）レーザーエミッタ装置の後に放出スペクトルを
    測定するレーザー光線分析装置（１７、３２、３３）を
    配置し、その出力信号を安定化回路（３４）を介し前記
    圧電駆動装置（１２）のための制御／駆動回路（５０）
    まで移送して、前記放出波長および強度をフィードバッ
    ク制御すると共に監視することを特徴とする請求項７〜
    １０のいずれか一項に記載の装置。 （１２）スコア回路（４０）が試料回路および保留回路
    （４３、４４）を備え、これら回路は反射制御器（５０
    ）および必要に応じチョッパ（３０）と同期して作動す
    ると共に測定装置（３５、３６）により所定時間にわた
    り（均衡化過程の減衰の後）発生した出力信号を走査す
    ることを特徴とする請求項７〜１１のいずれか一項に記
    載の装置。 （１３）レーザーエミッタ装置（１０）が可視範囲の光
    を放出する（ＨｅＮｅ）レーザー （１５）をさらに備え、その出力光線を （ＣＯ＿２）レーザーから出る出力光線（ｌ）に対し共
    直線的に重ねて装置を調整しかつバランスさせることを
    特徴とする請求項７〜１２のいずれか一項に記載の装置
    。 （１４）探査セクション（２０）が一対の反射器（２１
    、２２）を互いに対向した関係で備えて、一方の反射器
    （２２）に指向した光線をこれら反射器間にて数回反射
    させ、前記光線が探査セクションから外れて測定装置（
    ３５）に供給されるまで前記探査セクションを通過する
    ことを特徴とする請求項７〜１３のいずれか一項に記載
    の装置。 （１５）反射器（２１、２２）が凹面反射器を備え、そ
    の二重焦点長さ（ｆ）を探査セクションの長さ（ｄ）に
    一致させたことを特徴とする請求項１４記載の装置。 （１６）スコア回路（４０）に連結させた圧力計（３８
    ）および／または温度検出器（３７）を探査セクション
    （２０）に設け、前記圧力計または温度検出器の出力信
    号を用いて前記スコア回路（４０）で測定された数値を
    補正することを特徴とする請求項７〜１５のいずれか一
    項に記載の装置。 （１７）探査セクション（２０）が分析下のガスを通過
    させる通路（煙道）の断面領域を構成するように第１お
    よび第２光学手段（１１９、１１９′）を設計すると共
    に配置し、さらに複数の出力光線（１＿１＿１〜１１＿
    １＿ｎ；１＿２＿１〜１＿２＿ｎ）がマトリックスの形
    態でそこを通過し、一対の測定装置群（１２５、１２５
    ′）をスコア回路（４０）に連結して前記出力光線の強
    度測定し、かつ測定値の二次元形状を記録すると共に表
    示するよう前記スコア回路（４０）を設計したことを特
    徴とする請求項７〜１６のいずれか一項に記載の装置。 （１８）排気ガスを監視するための請求項１〜６のいず
    れか一項に記載の方法または請求項７〜１７のいずれか
    一項に記載の装置の使用。 （１９）特に（動力プラント）煙道ガスおよび工業排気
    ガスにおけるアンモニヤ濃度を測定し、レーザーエミッ
    タ装置（１０）が＾１＾３ＣＯ＿２レーザーからなる請
    求項１８記載の使用。
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