JPH01302883A - 波長可変レーザ装置 - Google Patents
波長可変レーザ装置Info
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- JPH01302883A JPH01302883A JP63133329A JP13332988A JPH01302883A JP H01302883 A JPH01302883 A JP H01302883A JP 63133329 A JP63133329 A JP 63133329A JP 13332988 A JP13332988 A JP 13332988A JP H01302883 A JPH01302883 A JP H01302883A
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- JP
- Japan
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- laser
- laser beam
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/136—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/137—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling devices placed within the cavity for stabilising of frequency
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/1062—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using a controlled passive interferometer, e.g. a Fabry-Perot etalon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/22—Gases
- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
- H01S3/225—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms comprising an excimer or exciplex
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ装置の波長選択方法に関するものである
。
。
従来の技術
近年、微細加工用の光源として、紫外域で発振するレー
ザが注目されている。中でもエキシマレーザは、レーザ
媒質であるクリプトン、キセノンなどの希ガスとふっ素
、塩素などのハロゲンガスの組み合わせにより、３５３
ｎｌｌｌから１９３ｎｌｌｌの間のいくつかの波長で強
力な発振線を得ることができる。
ザが注目されている。中でもエキシマレーザは、レーザ
媒質であるクリプトン、キセノンなどの希ガスとふっ素
、塩素などのハロゲンガスの組み合わせにより、３５３
ｎｌｌｌから１９３ｎｌｌｌの間のいくつかの波長で強
力な発振線を得ることができる。
これらエキシマレーザの利得バンド幅は約１ｎｌｌと広
く、光共振器と組み合わせて発振させた場合、発振線が
０・ｓｎｍ程度の線幅（半値全幅）を持つ。
く、光共振器と組み合わせて発振させた場合、発振線が
０・ｓｎｍ程度の線幅（半値全幅）を持つ。
このように比較的広い線幅を持つレーザ光を光源として
用いた場合、光の伝送系に色収差を補正した光学系を採
用する必要がある。ところが、波長が３５０ｎｍ以下の
紫外域では、光学系に用いるレンズの光学材料の選択の
幅が限られ５色収差補正が困難となる。したがって、波
長３５０ｎｌ１１以下のエキシマレーザ光源を利用する
場合、レーザ発振線の線幅を０・００６ｎｍ程度にまで
単色化することが行なわれている。これにより１色収差
補正しない光学系が利用可能となり、レーザ光を利用す
る装置の光学系の簡略化、さらには小型化。
用いた場合、光の伝送系に色収差を補正した光学系を採
用する必要がある。ところが、波長が３５０ｎｍ以下の
紫外域では、光学系に用いるレンズの光学材料の選択の
幅が限られ５色収差補正が困難となる。したがって、波
長３５０ｎｌ１１以下のエキシマレーザ光源を利用する
場合、レーザ発振線の線幅を０・００６ｎｍ程度にまで
単色化することが行なわれている。これにより１色収差
補正しない光学系が利用可能となり、レーザ光を利用す
る装置の光学系の簡略化、さらには小型化。
価格の低減を実現できる。
またこのようにエキシマレーザの発振波長を単色化した
場合、その中心波長は利得バンド幅内の任意の値に設定
可能である。したがって、発振波長を精密に設定できる
機構をエキシマレーザ本体に内蔵すれば、波長可変の柴
外線レーザ装置として、微細加工のほか、化学反応の制
御、同位体の分離など幅広い用途が開けてくる。
場合、その中心波長は利得バンド幅内の任意の値に設定
可能である。したがって、発振波長を精密に設定できる
機構をエキシマレーザ本体に内蔵すれば、波長可変の柴
外線レーザ装置として、微細加工のほか、化学反応の制
御、同位体の分離など幅広い用途が開けてくる。
本発明者らはすでに、上記目的を達成するレーザ装置の
一構成を提案した。すなわち、本体内部にレーザの中心
波長を検出する手段を組み込んで、発振波長を任意の値
に設定できる波長可変レーザ装置である。このようなレ
ーザ装置を実現するためには、レーザの発振波長を精密
に検出し制御する方法が必要になる。レーザの発振波長
を検出する方法についてもいくつかの提案がある。たと
えば特願昭８２−２４２３７８号においては、レーザ光
を７アプリ・ベロー干渉計に入射し、作られる干渉縞の
位置からレーザの発振波長を読み取る方法が述べられて
いる。
一構成を提案した。すなわち、本体内部にレーザの中心
波長を検出する手段を組み込んで、発振波長を任意の値
に設定できる波長可変レーザ装置である。このようなレ
ーザ装置を実現するためには、レーザの発振波長を精密
に検出し制御する方法が必要になる。レーザの発振波長
を検出する方法についてもいくつかの提案がある。たと
えば特願昭８２−２４２３７８号においては、レーザ光
を７アプリ・ベロー干渉計に入射し、作られる干渉縞の
位置からレーザの発振波長を読み取る方法が述べられて
いる。
ファプリ・ペロー干渉計は、大型のグレーティング分光
器と同等の分解能をきわめて小規模な装置で実現できる
ので、本発明者らが提案している、中心波長を制御する
機構を内蔵したレーザ装置に最適の波長検出器の一つで
ある。
器と同等の分解能をきわめて小規模な装置で実現できる
ので、本発明者らが提案している、中心波長を制御する
機構を内蔵したレーザ装置に最適の波長検出器の一つで
ある。
発明が解決しようとする課題
ところが７アプリ・ペロー干渉計は、入射したレーザ光
の波長が一定値に保たれていても、周囲の気圧、気温の
変化によって異なる位置に干渉縞を作るという欠点を持
つ。第３図はファプリ・ペロー干渉計による波長検出の
原理を示す図である。
の波長が一定値に保たれていても、周囲の気圧、気温の
変化によって異なる位置に干渉縞を作るという欠点を持
つ。第３図はファプリ・ペロー干渉計による波長検出の
原理を示す図である。
ここでファプリ・ペロー干渉計としては、２枚の平行平
板の石英ガラスを微小なギャップを保って対向させたい
わゆるエアスペースエタロン１４を採用している。エア
スペースエタロン１４にレーザ光が入射すると、レンズ
１６によってフリンジ１７とよばれる干渉縞が投影され
る。フリンジ１７の位置をたとえばリニアイメージセン
サ１８などで読み取ることによって、レーザ光の相対波
長を知ることができる。
板の石英ガラスを微小なギャップを保って対向させたい
わゆるエアスペースエタロン１４を採用している。エア
スペースエタロン１４にレーザ光が入射すると、レンズ
１６によってフリンジ１７とよばれる干渉縞が投影され
る。フリンジ１７の位置をたとえばリニアイメージセン
サ１８などで読み取ることによって、レーザ光の相対波
長を知ることができる。
このような構成の波長検出器において、気圧または気温
が変化してエアスペースエタロン１４のギャップ間の空
気の屈折率が変わると、フリンジの径は１７＆のように
変化する。その結果、レーザ光の波長が変化していない
のにもかかわらず。
が変化してエアスペースエタロン１４のギャップ間の空
気の屈折率が変わると、フリンジの径は１７＆のように
変化する。その結果、レーザ光の波長が変化していない
のにもかかわらず。
あたかも変化があったかのような誤った信号が出力され
、レーザ光の中心波長を希望する値に設定できなくなる
という問題がある。
、レーザ光の中心波長を希望する値に設定できなくなる
という問題がある。
エアスペースエタロンに変わるものとして、たとえば単
体の石英板を平行平面に仕上げたソリッドエタロンと呼
ばれるものがある。しかし、ソリッドエタロンも材料の
屈折率が温度によって変化を受けるため、エアスペース
エタロンと同様の欠点は逃れられない。温度あるいは気
圧を一定にする機構を設けて屈折率の変動をなくすこと
は可能であるが、装置が大型になりレーザ装置に内蔵す
ることは困難になる。
体の石英板を平行平面に仕上げたソリッドエタロンと呼
ばれるものがある。しかし、ソリッドエタロンも材料の
屈折率が温度によって変化を受けるため、エアスペース
エタロンと同様の欠点は逃れられない。温度あるいは気
圧を一定にする機構を設けて屈折率の変動をなくすこと
は可能であるが、装置が大型になりレーザ装置に内蔵す
ることは困難になる。
結局、従来の７アプリ・ペロー干渉計による波長制御方
法においては、レーザ光の中心波長を所望の値に設定す
ることは困難であった。本発明はこのような問題点を解
決するためなされたもので、中心波長を所望の値に設定
できる波長可変レーザを提供するものである。
法においては、レーザ光の中心波長を所望の値に設定す
ることは困難であった。本発明はこのような問題点を解
決するためなされたもので、中心波長を所望の値に設定
できる波長可変レーザを提供するものである。
課題を解決するための手段
レーザ媒質と、全反射鏡および出力鏡とからなる光共振
器を具備し、単一または複数の波長選択素子を光共振器
中においてレーザ媒質の利得バンド幅内で発振波長の中
心値を可変にしたレーザ装置において、波長選択素子の
選択波長を制御する手段、およびレーザ光の発振波長を
検出ｊる手段をレーザ装置内に内蔵したものであって、
前記波長検出手段が気密室内に設置されたファプリ・ベ
ローエタロンによってレーザ光の中心波長を検出するよ
うに構成されたものである。
器を具備し、単一または複数の波長選択素子を光共振器
中においてレーザ媒質の利得バンド幅内で発振波長の中
心値を可変にしたレーザ装置において、波長選択素子の
選択波長を制御する手段、およびレーザ光の発振波長を
検出ｊる手段をレーザ装置内に内蔵したものであって、
前記波長検出手段が気密室内に設置されたファプリ・ベ
ローエタロンによってレーザ光の中心波長を検出するよ
うに構成されたものである。
作用
この構成により、レーザ光の中心波長を希望する値に設
定できることとなる。
定できることとなる。
実施例
第１図は本発明の一実施例である波長可変レーザ装置の
構成図である。第１図において本発明の実施例の波長可
変レーザ装置は希ガスとノ・ロゲンガスの混合気体をレ
ーザ媒質とする放電管１と、全反射鏡２および出力鏡３
からなる光共振器により、紫外域でレーザ発振する。光
共振器の光軸上には波長選択素子であるエアスペースエ
タロン４゜５が置かれている。エアスペースエｐ Ｏ：
／ ４ 、’５はレーザ波長において、適当な反射率を
持つ２枚の平行平面石英板を微小なギャップを保って向
き合わせたファブリ・ベロー干渉計の一穐であり、気密
容器６中に設置されている。気密容器６には高圧空気源
７および低圧空気源８がそれぞれバルブ９，１０を介し
て接続されており、エアスペースエタロン４のギャップ
間の気圧を変化させることができる。また半透過鏡１１
によって取り出されたサンプルビームは、波長検出器１
２に導かれる。波長検出器１２はサンプルビームの中心
波長に相当する信号を信号処理回路１３に出力する。
構成図である。第１図において本発明の実施例の波長可
変レーザ装置は希ガスとノ・ロゲンガスの混合気体をレ
ーザ媒質とする放電管１と、全反射鏡２および出力鏡３
からなる光共振器により、紫外域でレーザ発振する。光
共振器の光軸上には波長選択素子であるエアスペースエ
タロン４゜５が置かれている。エアスペースエｐ Ｏ：
／ ４ 、’５はレーザ波長において、適当な反射率を
持つ２枚の平行平面石英板を微小なギャップを保って向
き合わせたファブリ・ベロー干渉計の一穐であり、気密
容器６中に設置されている。気密容器６には高圧空気源
７および低圧空気源８がそれぞれバルブ９，１０を介し
て接続されており、エアスペースエタロン４のギャップ
間の気圧を変化させることができる。また半透過鏡１１
によって取り出されたサンプルビームは、波長検出器１
２に導かれる。波長検出器１２はサンプルビームの中心
波長に相当する信号を信号処理回路１３に出力する。
信号処理回路１３は波長検出器１２から送られた信号に
応じてバルブ９″またはバルブ１Ｑを開閉する信号を出
力する。
応じてバルブ９″またはバルブ１Ｑを開閉する信号を出
力する。
次に以上のような構成による、本発明の波長可変レーザ
装置の動作を説明する。一般にエキシマレーザの利得バ
ンド幅は第２図ａに示すように１ｎｍに及ぶ。これを第
２図すに示すようにｏ、ｏｏｓｎｍ程度に単色化する場
合、透過帯域幅がそれと同程度の波長選択素子を用いる
必要がある。このような波長選択素子は、たとえば実施
例に示したようにフリースベクトラルレンジの異なる２
個以上のファブリペローエタロンを組み合わせて実現で
きる。
装置の動作を説明する。一般にエキシマレーザの利得バ
ンド幅は第２図ａに示すように１ｎｍに及ぶ。これを第
２図すに示すようにｏ、ｏｏｓｎｍ程度に単色化する場
合、透過帯域幅がそれと同程度の波長選択素子を用いる
必要がある。このような波長選択素子は、たとえば実施
例に示したようにフリースベクトラルレンジの異なる２
個以上のファブリペローエタロンを組み合わせて実現で
きる。
このようにして単色化したレーザ光の中心波長は、波長
選択素子の透過中心波長を制御することによって、レー
ザ媒質の利得バンド幅内で自由に変化させることができ
る。本発明によるレーザ装置では波長検出器１２を設け
、レーザ光の中心波長に相当する波長信号を得て波長選
択素子の選択波長を制御し、レーザ光の中心波長を目的
の値に一致させている。波長選択素子の選択波長を制御
するためには、たとえば第１図の実施例に示したように
、エアスペースエタロン４１５ヲｆｉ密容器θ内に設置
し、信号処理回路１３からの偏差信号に応じて、高圧空
気源了との間のバルブ９または低圧空気源８との間のバ
ルブ１ｏを開閉して、気密容器θ内の気圧を変えること
によってエアスペースエタロン４．６のギャップ間の屈
折率を調節すればよい。
選択素子の透過中心波長を制御することによって、レー
ザ媒質の利得バンド幅内で自由に変化させることができ
る。本発明によるレーザ装置では波長検出器１２を設け
、レーザ光の中心波長に相当する波長信号を得て波長選
択素子の選択波長を制御し、レーザ光の中心波長を目的
の値に一致させている。波長選択素子の選択波長を制御
するためには、たとえば第１図の実施例に示したように
、エアスペースエタロン４１５ヲｆｉ密容器θ内に設置
し、信号処理回路１３からの偏差信号に応じて、高圧空
気源了との間のバルブ９または低圧空気源８との間のバ
ルブ１ｏを開閉して、気密容器θ内の気圧を変えること
によってエアスペースエタロン４．６のギャップ間の屈
折率を調節すればよい。
波長検出器１２は、エアスペースエタロン１４によりレ
ーザ発蛋のスペクトルを同心円上のフリンジ１７に展開
して結像し、フリンジの位置をリニアイメージセンサ１
８で読み取っている。このような構成の波長検出器でレ
ーザ光の中心波長を目的の値に設定するためには、ある
波長のレーザ光が入射したとき常に同じ位置にフリンジ
パターン１７ができなければならない。しかし、周囲温
度や気圧の変化によってエアスペースエタロン１４のギ
ャップ間の屈折率が終わると、一定波長のレーザ光が入
射してもフリンジの径が変動し、レーザの中心波長を自
由に制御できなくなることは前述した通りである。
ーザ発蛋のスペクトルを同心円上のフリンジ１７に展開
して結像し、フリンジの位置をリニアイメージセンサ１
８で読み取っている。このような構成の波長検出器でレ
ーザ光の中心波長を目的の値に設定するためには、ある
波長のレーザ光が入射したとき常に同じ位置にフリンジ
パターン１７ができなければならない。しかし、周囲温
度や気圧の変化によってエアスペースエタロン１４のギ
ャップ間の屈折率が終わると、一定波長のレーザ光が入
射してもフリンジの径が変動し、レーザの中心波長を自
由に制御できなくなることは前述した通りである。
そこで温度による屈折率の変化が無視できるような材料
が必要となるが、エキシマレーザの発振波長域ではその
ような材料は見当たらない。しかし、本発明者らは、エ
アスペースエタロンを気密室内に設置すれば、温度変化
の影響を受けることのない波長検出器を構成できること
に想到した。
が必要となるが、エキシマレーザの発振波長域ではその
ような材料は見当たらない。しかし、本発明者らは、エ
アスペースエタロンを気密室内に設置すれば、温度変化
の影響を受けることのない波長検出器を構成できること
に想到した。
第１図には本発明による波長検出器の一実施例を示しで
ある。本実施例においてエアスペースエタロン１４は、
その内部が外部の空気と完全に遮断された気密室１６に
収めである。気体の屈折率はその密度だけで決まるので
、気密室１６内のエアスペースエタロン１４のギャップ
間の屈折率Ｕ −定に保たれ、その結果、周囲の温度、
気圧の影響を受けない波長検出器を実現できる。
ある。本実施例においてエアスペースエタロン１４は、
その内部が外部の空気と完全に遮断された気密室１６に
収めである。気体の屈折率はその密度だけで決まるので
、気密室１６内のエアスペースエタロン１４のギャップ
間の屈折率Ｕ −定に保たれ、その結果、周囲の温度、
気圧の影響を受けない波長検出器を実現できる。
結局、本発明による波長検出器の小型であるという特徴
を活かしてレーザ本体内部に組み込むことにより、発振
波長を希望する値に設定できる波長可変レーザを供給で
きることになる。また、本波長検出器は検出波長が外部
的な要因によって変化を受けないという特徴を有するの
で、−度設定した波長を安定に保持することができる。
を活かしてレーザ本体内部に組み込むことにより、発振
波長を希望する値に設定できる波長可変レーザを供給で
きることになる。また、本波長検出器は検出波長が外部
的な要因によって変化を受けないという特徴を有するの
で、−度設定した波長を安定に保持することができる。
さらに、温度や気圧の制御手段を必要とせず、レーザ装
置の小型化、低価格化も実現できる。
置の小型化、低価格化も実現できる。
なお、第１図に示した波長検出器において、気密室１６
中に封入する気体は空気以外の、たとえば希ガス、窒素
ガスなどであってもよい。また、気体の屈折率が密度だ
けによって決まるという性質はあらゆる波長域で成り立
つので、本実施例忙示した波長検出器がエキシマレーザ
以外の、一般の光源の波長の検出に利用できることは言
うまでもない。
中に封入する気体は空気以外の、たとえば希ガス、窒素
ガスなどであってもよい。また、気体の屈折率が密度だ
けによって決まるという性質はあらゆる波長域で成り立
つので、本実施例忙示した波長検出器がエキシマレーザ
以外の、一般の光源の波長の検出に利用できることは言
うまでもない。
発明の詳細
な説明したように本発明による波長可変レーザ装置は、
レーザ光の中心波長を所望の波長に設定でき、かつその
値を安定に保持できるという優れた効果を有するレーザ
装置を提供することができる。
レーザ光の中心波長を所望の波長に設定でき、かつその
値を安定に保持できるという優れた効果を有するレーザ
装置を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例である波長可変レーザ装置の
構成図、第２図はレーザ光の単色化を説明する図、第３
図は従来の波長検出器の一構成例を示す図である。 １・・・・・・放電管、２・・・・・・全反射鏡、３・
・・・・・出力鏡、４．５・・・・・・エアスペースエ
タロン、６・・・・・・気密容器、７・・・・・・高圧
空気源、８・・・・・・低圧空気源、９・１０・・・・
・・パルプ、１１・・・・・・半透過鏡、１２・・・・
・・波長検出器、１３・・・・・・信号処理回路、１４
・・・・・・エアスペースエタロン、１６・・・・・・
ｆｉ密室、１６・・・・・・レンズ％ １７・・・・・
・フリンジ、１８・・・・・・リニアイメージセンサ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｆ−
欽４を管 ２−−一麿Ｉ釣々糺 ３−−一出力脅走。 ＋１４−一一エアスイースエタｐソ ｆ３−５決長律基 第２図 第３図
構成図、第２図はレーザ光の単色化を説明する図、第３
図は従来の波長検出器の一構成例を示す図である。 １・・・・・・放電管、２・・・・・・全反射鏡、３・
・・・・・出力鏡、４．５・・・・・・エアスペースエ
タロン、６・・・・・・気密容器、７・・・・・・高圧
空気源、８・・・・・・低圧空気源、９・１０・・・・
・・パルプ、１１・・・・・・半透過鏡、１２・・・・
・・波長検出器、１３・・・・・・信号処理回路、１４
・・・・・・エアスペースエタロン、１６・・・・・・
ｆｉ密室、１６・・・・・・レンズ％ １７・・・・・
・フリンジ、１８・・・・・・リニアイメージセンサ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｆ−
欽４を管 ２−−一麿Ｉ釣々糺 ３−−一出力脅走。 ＋１４−一一エアスイースエタｐソ ｆ３−５決長律基 第２図 第３図
Claims (1)
- レーザ媒質と、全反射鏡および出力鏡とからなる光共振
器を具備し、単一または複数の波長選択素子を光共振器
中においてレーザ媒質の利得バンド幅内で発振波長の中
心値を可変にしたレーザ装置において、波長選択素子の
選択波長を制御する手段、およびレーザ光の発振波長を
検出する手段をレーザ装置内に内蔵したものであって、
前記波長検出手段が気密室内に設置されたファブリ・ペ
ローエタロンによってレーザ光の中心波長を検出するこ
とを特徴とする波長可変レーザ装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63133329A JPH01302883A (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 波長可変レーザ装置 |
| CA000578540A CA1302548C (en) | 1987-09-28 | 1988-09-27 | Laser apparatus |
| EP88115902A EP0310000B1 (en) | 1987-09-28 | 1988-09-27 | Laser apparatus |
| DE3889831T DE3889831T2 (de) | 1987-09-28 | 1988-09-27 | Laser-Apparat. |
| US07/499,206 US4991178A (en) | 1987-09-28 | 1990-03-19 | Laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63133329A JPH01302883A (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 波長可変レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01302883A true JPH01302883A (ja) | 1989-12-06 |
Family
ID=15102169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63133329A Pending JPH01302883A (ja) | 1987-09-28 | 1988-05-31 | 波長可変レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01302883A (ja) |
-
1988
- 1988-05-31 JP JP63133329A patent/JPH01302883A/ja active Pending
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