JPH01303078A - 有効吸着域を全面に有する静電吸着板 - Google Patents

有効吸着域を全面に有する静電吸着板

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JPH01303078A
JPH01303078A JP13237588A JP13237588A JPH01303078A JP H01303078 A JPH01303078 A JP H01303078A JP 13237588 A JP13237588 A JP 13237588A JP 13237588 A JP13237588 A JP 13237588A JP H01303078 A JPH01303078 A JP H01303078A
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JP
Japan
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electrode layer
adsorbing
layer
adsorption
force
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JP13237588A
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Keiji Kasahara
敬次 笠原
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Abisare Co Ltd
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Abisare Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明しd、静電吸着板の改良に係り、特に吸着力を
吸着面の最端部においても発揮させ得る有効吸着域を略
全面に有する吸着板に関する。
〔従来の技術〕
静電吸着板は正負側電層をサンドイッチ状に吸着層と絶
縁層とにより挟み込み構成されている。
そして両層が9.11離せぬように、特にその端部すな
わち縁部においては、電極層を介在さ−Uぬ空白域から
なるヘルドラインを設けている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしこのベルトラインのため、この帯状域においては
吸着力が発生−已ず、そのためトレーシングペーパ等の
被吸着物はその端部力背り離し、風に揺らくいわゆるバ
タフライ現象や、被吸着物全体が外れてしまう剥離事故
を生ずる不都合があった。
そこでこの発明の目的は」二連不都合を防止改善するこ
とを目的とする。
〔問題点を解決するだめの手段〕
この目的を達成するためにこの発明は、正負両極の電極
層を吸着層と絶縁層との間に有する静電吸着板において
、吸着力を発生する電極層を吸着シートの端部まで延設
するとともに、この電極層には少なくともこの端部近傍
において複数の空白小域からなる空白小域群を設けたご
とを特徴とする。
〔発明の実施例〕
以下図面に基ついてこの発明の詳細な説明する。
第1〜3図はこの発明の第1実施例を示し、1は静電保
持装置、2は吸着層、4は絶縁層、そしてこれら両層間
に電極層6が正極6+、負極6−として互に隣接して交
互に設けられている。
なお、静電吸着板8の吸着力]0ば、第3図に矢印で示
すようにこの電極層6の上面イ」近にのめ発生ずること
が、この出願の発明者により発見された。また[レーシ
ンクベーパなとの被吸着物12を吸着板8上に吸着保持
させる場合、必要時間中は当然にこの被吸着物12のY
Ij陣事故は防止セねばならぬ。そして、ごの剥離事故
は、被吸着物の端部から生ずるものである。その為、吸
着板の性能としては、特に端部域における強力な吸着力
を確保することが要求される。
そこで、前記電極層6の形成に際しては、吸1着面域1
4の縁部近傍、つまり端部16まで、まず電極層6を延
設する。そしてごの電極層6には特にその外端部18に
沿って電極層6の一部を欠落させて空白小域20を多数
形成する。ごれは、電極層6が、吸着層2と絶縁層4間
に介在することによる物理的な接着力の低下を防止する
ためてあり、しかし、電極層6の一部として突出した外
端部18を残すことにより、吸着力をこの端部において
も発生させておくためでもある。
なお第1図において21は電源回路、22は電源部、2
4ば切換スイッチである。
また、第4図は、この発明の第2実施例を示すものであ
り、電極層6の正極6+と負極6−とを交叉する方向に
指向させて配列し、外端部]8に沿って電極層6の一部
を欠落さゼで円形状の空白小域20を多数形成したもの
である。
第5図は、第3実施例を示すものであり、電極層6の正
極6+と負極6−とを同方向に指向させて交互に配列し
、外端部18に沿って電極層6の一部を欠落させて端部
16側に開口する空白小域20を多数形成したものであ
る。
第6図は、第4実施例を示すものであり、電極層6の正
極6+と負極6−との長手方向の両側面を凹凸状に形成
するとともに同方向に指向さ−(、!て交互に配列し、
外端部18に沿って電極層6の一部を欠落させて凹凸状
の空白小域20を多数形成したものである。
この発明番」以上のように+14成されているので、吸
着面の全面いたる所に吸着力を発生させることができ、
特に従来吸着力が皆無であり剥離事故を惹起する引金と
なったり、端部が風に舞い、そのため仕事の能率を低下
させるバタフライ現象を防止することかできる。しかも
、空白小域の存在により、吸着層と絶縁層とは介在物な
しに密着することができ、層間の剥離事故を生ずる不都
合も無いという著効を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の実施例を示し、第1図は吸着板の構成
を示す斜視図である。第2.3図はこの発明の第1実施
例を示し、第2図は第1実施例の部分平面図、第3図は
断面側面図である。第4.5.6図は夫々第2.3.4
実施例を示す部分平面図である。 (符号の説明) 図において、2は吸着層、4は絶縁層、6は電極層、6
+ば正極、6−は負極、8は静電吸着板、12は被吸着
物、14は吸着面域、1Gは端部、20ば空白小域であ
る。 特許出願人    株式会社 アヒリ−レ代理人 弁理
士  西 郷 義 美 第6図 6−        6千 手続主甫正書(方式) %式% 1、事件の表示 特願昭63−132375号 2、発明の名称 有効吸着域を略全面に有する吸着板 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住 所  静岡県掛用市領家864番地の1名称株ヱ(
金利ニー713−リ−レ 代表者  笠 原 敬 次 4、代 理 人 〒1.01  置  03−292−
4月1 (代表)住 所  東京都千代田区神田小川町
2J川18番地西卿斗、1許ヒル 氏名 (8005)弁理士西?l!Is 2:i”;U
美1 ;1   ・ : 5、補正命令の日((自発             
シ・IJ6、補正の対象

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、正負両極の電極層を吸着層と絶縁層との間に有する
    静電吸着板において、吸着力を発生する電極層を吸着シ
    ートの端部まで延設するとともに、この電極層には少な
    くともこの端部近傍において複数の空白小域からなる空
    白小域群を設けたことを特徴とする有効吸着域を略全面
    に有する吸着板。
JP13237588A 1988-05-30 1988-05-30 有効吸着域を全面に有する静電吸着板 Expired - Lifetime JPH0728539B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13237588A JPH0728539B2 (ja) 1988-05-30 1988-05-30 有効吸着域を全面に有する静電吸着板

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Publication Number Publication Date
JPH01303078A true JPH01303078A (ja) 1989-12-06
JPH0728539B2 JPH0728539B2 (ja) 1995-03-29

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ID=15079903

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JP13237588A Expired - Lifetime JPH0728539B2 (ja) 1988-05-30 1988-05-30 有効吸着域を全面に有する静電吸着板

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004503450A (ja) * 2000-06-14 2004-02-05 アリソン ハーマン 電気付着デバイス

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004503450A (ja) * 2000-06-14 2004-02-05 アリソン ハーマン 電気付着デバイス

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JPH0728539B2 (ja) 1995-03-29

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