JPH01304065A - クリーンエア製造装置 - Google Patents
クリーンエア製造装置Info
- Publication number
- JPH01304065A JPH01304065A JP63134327A JP13432788A JPH01304065A JP H01304065 A JPH01304065 A JP H01304065A JP 63134327 A JP63134327 A JP 63134327A JP 13432788 A JP13432788 A JP 13432788A JP H01304065 A JPH01304065 A JP H01304065A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- gas
- dust
- cyclone
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 18
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 abstract description 5
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 206010012735 Diarrhoea Diseases 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000012717 electrostatic precipitator Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
- Y02A50/2351—Atmospheric particulate matter [PM], e.g. carbon smoke microparticles, smog, aerosol particles, dust
Landscapes
- Cyclones (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造産業1食品製造産業。
医薬品製造産業などで使用されるクリーンエア製造装置
に関する。
に関する。
従来のクリーンエア製造装置には、電極の間のコロナ放
電を利用して粉塵に電荷を与えクーロン力で集塵極板上
に捕集する電気集塵装置や、P布を通過させる濾過集塵
装置があった。
電を利用して粉塵に電荷を与えクーロン力で集塵極板上
に捕集する電気集塵装置や、P布を通過させる濾過集塵
装置があった。
従来の装置だおいては、除却可能な塵埃の大きさに下限
があり、いずれの場合も0.1 am (サブミクロン
)以下の塵埃(微粒子)は除却不可である。
があり、いずれの場合も0.1 am (サブミクロン
)以下の塵埃(微粒子)は除却不可である。
本発明は、冷却された塵埃を含む原料空気の供給装置、
飽和状態に近い6II:縮性気体の供給装置、および上
記原料空気の供給装置と凝縮性気体の供給装置が接続さ
れ塵埃を核として凝縮した液滴を含む空気を遠心分離し
クリーンエア排出口と上記液滴を含む空気の排出口を有
するサイクロンを備えたことを特徴としている。
飽和状態に近い6II:縮性気体の供給装置、および上
記原料空気の供給装置と凝縮性気体の供給装置が接続さ
れ塵埃を核として凝縮した液滴を含む空気を遠心分離し
クリーンエア排出口と上記液滴を含む空気の排出口を有
するサイクロンを備えたことを特徴としている。
上記において、それぞれの供給装置よシ送ら九九原料空
気と凝縮性気体は、サイクロン内で旋回・混合する。上
記原料空気は冷却されているため凝縮性気体と接触する
と上記原料空気中に含まれる塵埃を核として液滴を発生
する。上記サイクロン中の気体は旋回しているが、上記
液滴を含む空気は比重が高いため、外側に寄シクリーン
エアと分離され、クリーンエアと液滴を含んだ空気はそ
れぞれの排出口より排出される。
気と凝縮性気体は、サイクロン内で旋回・混合する。上
記原料空気は冷却されているため凝縮性気体と接触する
と上記原料空気中に含まれる塵埃を核として液滴を発生
する。上記サイクロン中の気体は旋回しているが、上記
液滴を含む空気は比重が高いため、外側に寄シクリーン
エアと分離され、クリーンエアと液滴を含んだ空気はそ
れぞれの排出口より排出される。
上記により、従来は不可能であった空気中のサブミクロ
ン以下の超微粒子の除去が可能となった。
ン以下の超微粒子の除去が可能となった。
本発明の一実施例を第1図に示す。
第1図に示す本実施例は、原料空気送風用プロア3が送
風管路12によって接続された原料空気冷却機4、同冷
却機4が分岐した冷却空気管9によって接続されクリー
ンエアを排出する内筒2と塵埃を含む空気の排出口8を
有するサイクロン1の外筒11の外周接線方向に接続さ
れた原料空気ノズル6a、6b、および飽和蒸気発生装
置5が分岐した飽和蒸気供給管10によって接続され上
記サイクロン1の外筒11の外周接続方向に接続された
飽和蒸気ノズル7a。
風管路12によって接続された原料空気冷却機4、同冷
却機4が分岐した冷却空気管9によって接続されクリー
ンエアを排出する内筒2と塵埃を含む空気の排出口8を
有するサイクロン1の外筒11の外周接線方向に接続さ
れた原料空気ノズル6a、6b、および飽和蒸気発生装
置5が分岐した飽和蒸気供給管10によって接続され上
記サイクロン1の外筒11の外周接続方向に接続された
飽和蒸気ノズル7a。
7bを備えている。
上記において、原料空気りが原料空気送風用ブロア3に
より送られ、原料空気冷却機4を経て原料空気ノズル6
a、6bよりサイクロン1内にその外周接線方向く吹き
込まれ、旋回流を生じる。また飽和蒸気発生装置5によ
り発生した飽和蒸気Eも上記と同様に、飽和蒸気ノズル
7a、7bよりサイクロンl内に吹き込まれ旋回する。
より送られ、原料空気冷却機4を経て原料空気ノズル6
a、6bよりサイクロン1内にその外周接線方向く吹き
込まれ、旋回流を生じる。また飽和蒸気発生装置5によ
り発生した飽和蒸気Eも上記と同様に、飽和蒸気ノズル
7a、7bよりサイクロンl内に吹き込まれ旋回する。
上記原料空気りは上記原料空気冷却機4によって第2図
に示すB点まで冷やされておシ、また上記飽和蒸気Eは
A点の状態のため・、上記サイクロン1内で上記2つの
気体が接触すると、原料空気中に含まれる塵埃を核とし
て滴状凝縮が起り、圧力は0点まで低下する。
に示すB点まで冷やされておシ、また上記飽和蒸気Eは
A点の状態のため・、上記サイクロン1内で上記2つの
気体が接触すると、原料空気中に含まれる塵埃を核とし
て滴状凝縮が起り、圧力は0点まで低下する。
含壕ないクリーンエアFは軽いために内筒2の上部から
取り出され、上記液滴を含む空気Gは重いためサイクロ
ン1の下部の排出管8よシ排出される。
取り出され、上記液滴を含む空気Gは重いためサイクロ
ン1の下部の排出管8よシ排出される。
上記により、従来は不可能であった空気中のサブミクロ
ン以下の超微粒子の除去が可能となった。
ン以下の超微粒子の除去が可能となった。
本発明の他の実施例を第3図て示す。
第3図に示す本実施例は、原料空気りを吹き込む原料空
気ノズル6a、6bと飽和蒸気Eを吹き込む飽和蒸気ノ
ズル7a、7bがサイクロン16の外筒17の下部側面
に接続され、液滴を含む空気Gの排出管18が上記サイ
クロン16の外筒17の上部側面に接続される点が上記
第1図に示す一実施例と異っている。
気ノズル6a、6bと飽和蒸気Eを吹き込む飽和蒸気ノ
ズル7a、7bがサイクロン16の外筒17の下部側面
に接続され、液滴を含む空気Gの排出管18が上記サイ
クロン16の外筒17の上部側面に接続される点が上記
第1図に示す一実施例と異っている。
上記において、原料空気ノズル6a、6bより吹き込ま
れた原料空気りと飽和蒸気ノズル7a、7bより吹き込
まれた飽和蒸気Eが混合し、塵埃を核として発生した液
滴を含んだ空気Gには、強い遠心力が作用する九めに、
外筒17の内壁寄シを旋回しながら上昇し排出管18よ
り排出され、クリーンエアFは円筒2内を上昇して取り
出され、上記第1図に示す一実施例と同様サブミクロン
以下の超微粒子が除去できる。
れた原料空気りと飽和蒸気ノズル7a、7bより吹き込
まれた飽和蒸気Eが混合し、塵埃を核として発生した液
滴を含んだ空気Gには、強い遠心力が作用する九めに、
外筒17の内壁寄シを旋回しながら上昇し排出管18よ
り排出され、クリーンエアFは円筒2内を上昇して取り
出され、上記第1図に示す一実施例と同様サブミクロン
以下の超微粒子が除去できる。
本発明は、サイクロンに塵埃を含んだ原料気体と飽和状
態に近い凝縮性気体を供給し、上記サイクロン内で塵埃
を核として発生した液滴を含んだ気体を遠心分離するこ
とによって、従来は不可能であった気体中のサブミクロ
ン以下の超微粒子の除去が可能となった。
態に近い凝縮性気体を供給し、上記サイクロン内で塵埃
を核として発生した液滴を含んだ気体を遠心分離するこ
とによって、従来は不可能であった気体中のサブミクロ
ン以下の超微粒子の除去が可能となった。
第1図は本発明の一実施例の説明図、第2図は上記一実
施例の作用の説明図、第3図は本発明の他の実施例の説
明図である。 1.16・・・サイクロン、2・・・内筒、3・・・原
料空気送風用プロア、4・・・原料空気冷却機、5・・
・飽和蒸気発生装置、6a、6b・・・原料空気ノズル
、7a、7b・・・飽和蒸気ノズル、8.18・・・液
滴を含む空気の排出口、9・・・冷却空気管、10・・
・飽和蒸気供給管、11.17・・・外筒、12・・・
送風管路。 代理人 弁理士 坂 間 暁 外2名
81囚 82閃 温度T 痢3閃 手続補正書(自発) 昭和63年11月 7日
施例の作用の説明図、第3図は本発明の他の実施例の説
明図である。 1.16・・・サイクロン、2・・・内筒、3・・・原
料空気送風用プロア、4・・・原料空気冷却機、5・・
・飽和蒸気発生装置、6a、6b・・・原料空気ノズル
、7a、7b・・・飽和蒸気ノズル、8.18・・・液
滴を含む空気の排出口、9・・・冷却空気管、10・・
・飽和蒸気供給管、11.17・・・外筒、12・・・
送風管路。 代理人 弁理士 坂 間 暁 外2名
81囚 82閃 温度T 痢3閃 手続補正書(自発) 昭和63年11月 7日
Claims (1)
- 冷却された塵埃を含む原料空気の供給装置、飽和状態に
近い凝縮性気体の供給装置、および上記原料空気の供給
装置と凝縮性気体の供給装置が接続され塵埃を核として
凝縮した液滴を含む空気を遠心分離しクリーンエア排出
口と上記液滴を含む気体の排出口を有するサイクロンを
備えたことを特徴とするクリーンエア製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63134327A JP2596973B2 (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | クリーンエア製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63134327A JP2596973B2 (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | クリーンエア製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01304065A true JPH01304065A (ja) | 1989-12-07 |
| JP2596973B2 JP2596973B2 (ja) | 1997-04-02 |
Family
ID=15125734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63134327A Expired - Fee Related JP2596973B2 (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | クリーンエア製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2596973B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010110739A (ja) * | 2008-11-10 | 2010-05-20 | Sasagawa Noki Kk | 穀類乾燥機用集塵装置 |
| JP2024535957A (ja) * | 2022-08-27 | 2024-10-04 | 領航国創(北京)科技集団有限公司 | 工業煙気二酸化炭素捕集転化の方法と応用 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4783058B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2011-09-28 | 三菱電機エンジニアリング株式会社 | 分離器 |
-
1988
- 1988-06-02 JP JP63134327A patent/JP2596973B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010110739A (ja) * | 2008-11-10 | 2010-05-20 | Sasagawa Noki Kk | 穀類乾燥機用集塵装置 |
| JP2024535957A (ja) * | 2022-08-27 | 2024-10-04 | 領航国創(北京)科技集団有限公司 | 工業煙気二酸化炭素捕集転化の方法と応用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2596973B2 (ja) | 1997-04-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2604185A (en) | Method and apparatus for treating gases | |
| US4319890A (en) | Dry impact capture of aerosol particulates | |
| US6270544B1 (en) | Cyclone separator having a tubular member with slit-like openings surrounding a central outlet pipe | |
| US4073265A (en) | Electrostatic powder coating apparatus | |
| US3744220A (en) | Device for imparting a twist to a flow of raw gas in a tornado flow separator | |
| US3363403A (en) | Electrostatic filtering apparatus | |
| CA1190487A (en) | Electrogasdynamically assisted cyclone system for cleaning flue gases at high temperatures and pressures | |
| US3093468A (en) | Gas scrubber | |
| JP2596973B2 (ja) | クリーンエア製造装置 | |
| CN105627695B (zh) | 气旋喷嘴、振动流化床和振动流化床干燥系统 | |
| CN205536898U (zh) | 气旋喷嘴、振动流化床和振动流化床干燥系统 | |
| EP0110438B1 (en) | Process and apparatus for cleaning solids-laden gas | |
| GB2084904A (en) | Electrostatically augmented cyclone separation process and apparatus | |
| US3388897A (en) | Apparatus for separating and collecting particles carried by gases | |
| CN115884821A (zh) | 从气体流中离心分离颗粒的方法和设备 | |
| JPS59127662A (ja) | 粉体又は粒体の処理方法及びその装置 | |
| JPH02218412A (ja) | クリーン気体の製造方法 | |
| JP2634238B2 (ja) | クリーンエア製造装置 | |
| GB1428183A (en) | Process and apparatus for the treatment of a vapour or a gas containing a very finely divided solid or liquid | |
| RU2079366C1 (ru) | Струйная установка для измельчения сыпучего материала | |
| CN211199138U (zh) | 一种粉尘分离回收设备 | |
| RU2187384C2 (ru) | Сепаратор | |
| JP2017018946A (ja) | サイクロン装置及び分級方法 | |
| US2612266A (en) | Cooling of sprayed products | |
| SU768470A1 (ru) | Устройство дл очистки запыленных газов |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |