JPH01304352A - 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析装置Info
- Publication number
- JPH01304352A JPH01304352A JP63134145A JP13414588A JPH01304352A JP H01304352 A JPH01304352 A JP H01304352A JP 63134145 A JP63134145 A JP 63134145A JP 13414588 A JP13414588 A JP 13414588A JP H01304352 A JPH01304352 A JP H01304352A
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- JP
- Japan
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- sample
- cations
- coupled plasma
- constant flow
- carrier solution
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業りの利用分野〉
本発明は、試料を試料採取弁に送って内容積−定の計量
管内を満たしてのも該試料採取弁を切換えキャリア？’
８ ｌ（ダて前記計量管内の試料をネプライザに搬送し
て霧化し、該試料を高周波誘導結合プラズマを用いて励
起させ生したイオンをノズルとスキマーからなるインタ
ーフェイスを介して質量分析計検出器に導いて検出する
ことにより前記試料中の被測定元素を分析する高周波誘
導結合プラズマ質量分析装置に関する。
管内を満たしてのも該試料採取弁を切換えキャリア？’
８ ｌ（ダて前記計量管内の試料をネプライザに搬送し
て霧化し、該試料を高周波誘導結合プラズマを用いて励
起させ生したイオンをノズルとスキマーからなるインタ
ーフェイスを介して質量分析計検出器に導いて検出する
ことにより前記試料中の被測定元素を分析する高周波誘
導結合プラズマ質量分析装置に関する。
〈従来の技術〉
第７１図はこのような高周波誘導結合プラズマ質量分（
Ｊｆ装置の従来例の要部を示す従来例要部構成説明図で
あり、図中、２はチ、１− ブ等をしごくようにして試
料槽１内の試料を送る定流量ポンプ、３は第１〜第６の
接続ＩＩ ３ ａ〜３ｆと計量管４を有し第４し１て実
線接続状７ｐ４と破線接続状態か交互に切換えられる試
料採取弁、５は廃液槽、６は例えばＨ２Ｏや稀蛸酸水溶
液でなるキャリア溶ン？ｉが貯溜されている溶媒槽、７
は溶媒槽６内のキャリア溶液を一定流量で送る定流量ポ
ンプ、８は試料切換弁３の第４接続口３ｄから送られて
くる液体を霧化するネプライザ８−を含み該霧化された
試料を高周波誘導結合プラズマを用いて励起させ生じた
イオンをノズルとスキマーからなるインターフェイスを
介して質量分析計に導いて電気的に検出し該イオン量を
精密にイ用定することにより試料中の被測定元素を高精
度に分析する高周波誘導結合プラズマ質量分析計である
。このような構成からなる従来例において、試料採取弁
３の内部流路か実線接続状態のときポンプ２，７か駆動
すると計量管４内が試料で満たされネプライザ８−には
キャリア溶液だけが搬送される。その後、試料採取弁が
オンとなって内部流路が実線接続状態から破線接続状態
に切換えられると、計量管４内の試料がキャリア溶液て
ネプライザ８−に搬送されて霧化され、該霧化された試
料が高周波誘導結合プラズマて励起され生したイオンが
ノズルとスキマーからなるインターフェイスを介して質
量分析装置に導かれ電気的に検出されて該イオン量が精
密にｉｌｌ定されることにより試料中の被測定元素が高
精度に分析されるようになる。
Ｊｆ装置の従来例の要部を示す従来例要部構成説明図で
あり、図中、２はチ、１− ブ等をしごくようにして試
料槽１内の試料を送る定流量ポンプ、３は第１〜第６の
接続ＩＩ ３ ａ〜３ｆと計量管４を有し第４し１て実
線接続状７ｐ４と破線接続状態か交互に切換えられる試
料採取弁、５は廃液槽、６は例えばＨ２Ｏや稀蛸酸水溶
液でなるキャリア溶ン？ｉが貯溜されている溶媒槽、７
は溶媒槽６内のキャリア溶液を一定流量で送る定流量ポ
ンプ、８は試料切換弁３の第４接続口３ｄから送られて
くる液体を霧化するネプライザ８−を含み該霧化された
試料を高周波誘導結合プラズマを用いて励起させ生じた
イオンをノズルとスキマーからなるインターフェイスを
介して質量分析計に導いて電気的に検出し該イオン量を
精密にイ用定することにより試料中の被測定元素を高精
度に分析する高周波誘導結合プラズマ質量分析計である
。このような構成からなる従来例において、試料採取弁
３の内部流路か実線接続状態のときポンプ２，７か駆動
すると計量管４内が試料で満たされネプライザ８−には
キャリア溶液だけが搬送される。その後、試料採取弁が
オンとなって内部流路が実線接続状態から破線接続状態
に切換えられると、計量管４内の試料がキャリア溶液て
ネプライザ８−に搬送されて霧化され、該霧化された試
料が高周波誘導結合プラズマて励起され生したイオンが
ノズルとスキマーからなるインターフェイスを介して質
量分析装置に導かれ電気的に検出されて該イオン量が精
密にｉｌｌ定されることにより試料中の被測定元素が高
精度に分析されるようになる。
くグｈ明が解決しようとする問題点〉
然しなから、上記従来例においては、Ａヤリア〃旨＆中
に含まれる不純物としての陽イオン（例えばＡｌ’−、
ｌ−ｅ＋、Ｚｎ＋、Ｓｎ” 、Ｍｎ＋、Ｂａ＋、Ｐｂ＋
など）がバッククランドスペクトルとして検出され被測
定元素の検出下限を悪化されるなとして４↓り定精度を
低−１−させる欠点があった。
に含まれる不純物としての陽イオン（例えばＡｌ’−、
ｌ−ｅ＋、Ｚｎ＋、Ｓｎ” 、Ｍｎ＋、Ｂａ＋、Ｐｂ＋
など）がバッククランドスペクトルとして検出され被測
定元素の検出下限を悪化されるなとして４↓り定精度を
低−１−させる欠点があった。
このような欠点ご除去するため、高純度のキャリア溶ン
（ｔｉたりを使用することも考えらるが、このようなキ
ャリア°溶液は高価てあってランニンクコストが高くな
るうえ、定流量ポンプ７の接液部材などから溶出する陽
イオンを除去てきないなめ結果的に陽イオンかバックグ
ランドスペクトルとして検出されのを回避できず被測定
元素の検出下限を悪化されるなとして測定精度を成子さ
ぜる欠点があった。
（ｔｉたりを使用することも考えらるが、このようなキ
ャリア°溶液は高価てあってランニンクコストが高くな
るうえ、定流量ポンプ７の接液部材などから溶出する陽
イオンを除去てきないなめ結果的に陽イオンかバックグ
ランドスペクトルとして検出されのを回避できず被測定
元素の検出下限を悪化されるなとして測定精度を成子さ
ぜる欠点があった。
本発明は、かかる従来例の欠点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、キャリア溶液中に含まれる陽イオン
や定流量ポンプ７の接液部材なとから溶出する不純物な
る陽イオンがバックグランドスペクトルとして検出され
るのを防止し被測定元素の測定精度を高めることができ
るような高周波誘導結合プラズマ質量分析装置を提供す
ることにある。
あり、その目的は、キャリア溶液中に含まれる陽イオン
や定流量ポンプ７の接液部材なとから溶出する不純物な
る陽イオンがバックグランドスペクトルとして検出され
るのを防止し被測定元素の測定精度を高めることができ
るような高周波誘導結合プラズマ質量分析装置を提供す
ることにある。
く問題点を解決するための手段〉
上述のような問題点を解決する本発明の特徴は、高周波
誘導結合プラズマ質量分析装置において、試料採取弁に
キャリア溶液を圧送する定流量ポンプと試料採取弁の間
に、該キャリア溶液に含まれる陽イオンを除去する陽イ
オンカラムを配設したことにある。
誘導結合プラズマ質量分析装置において、試料採取弁に
キャリア溶液を圧送する定流量ポンプと試料採取弁の間
に、該キャリア溶液に含まれる陽イオンを除去する陽イ
オンカラムを配設したことにある。
〈実施例〉
以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第１
図は本発明実施例の要部構成説明図てあり、図中、第４
図と同一記号は同一意味をもたぜて使用しここての重複
説明は省略する。また、９は試料採収弁３にキャリア溶
液を一定流量で送る定流量ポンプ７と試料採取弁３の第
５接続口３ｅの間に配設され、内部に陽イオン交換樹脂
等が充１１ｉされていてキャリア溶液に含まれる陽イオ
ンなどを除去する陽イオンカラムである。尚、微量の試
料を分析する場合には、試料槽１と定流量ポンプ２が除
去され、シリンジなとご用いて試料採取弁３の第１接続
１」３ａに直接試料を注入するように構成される。
図は本発明実施例の要部構成説明図てあり、図中、第４
図と同一記号は同一意味をもたぜて使用しここての重複
説明は省略する。また、９は試料採収弁３にキャリア溶
液を一定流量で送る定流量ポンプ７と試料採取弁３の第
５接続口３ｅの間に配設され、内部に陽イオン交換樹脂
等が充１１ｉされていてキャリア溶液に含まれる陽イオ
ンなどを除去する陽イオンカラムである。尚、微量の試
料を分析する場合には、試料槽１と定流量ポンプ２が除
去され、シリンジなとご用いて試料採取弁３の第１接続
１」３ａに直接試料を注入するように構成される。
このような構成からなる本発明の実施例において、最初
、試料採取弁３がオフでその内部流路が実線接続状態と
なっている。この状態で定流量ポンプ２が駆動すると、
試料槽１内の試料は、定流量ポンプ２−＋試料採取弁３
の第１接続ロ３ａ→第６接続口３ｆ→計量管４−→試料
採取弁３の第３接続口３０→第４接続１］３ｄ→廃液槽
５の流路で流れて計量管４内を試料て満たず。尚、微量
の試料を分析するなめ試料槽１と定流量ポンプ２が除去
された構成となっている場合には、シリンジなどを用い
て試料採取弁３の第１接続口３ａに直接試料を注入され
該試料が、試料採取弁３の第１接続１．１３ ａ→第６
接続Ｌ１３ｆ→計量管４→試利採収弁３の第３接続１」
３Ｃ−→第４接続に１３ｄ−＋廃液槽５の流路で流れて
計量管４内を試料て満たずようになっている。一方、定
流量ポンプ７が駆動すると、キャリア溶液槽６内のキャ
リア溶液は、定流量ポンプ７→陽イオンカラム９→試料
採取弁３の第５接続１］３ｅ→第４接続口３ｄを経由し
てネプライザ８−に送られる。また、キャリア溶液中に
含まれる陽イオン（例えばＡ１＋、ト’ｅ＋、Ｚｎ＋。
、試料採取弁３がオフでその内部流路が実線接続状態と
なっている。この状態で定流量ポンプ２が駆動すると、
試料槽１内の試料は、定流量ポンプ２−＋試料採取弁３
の第１接続ロ３ａ→第６接続口３ｆ→計量管４−→試料
採取弁３の第３接続口３０→第４接続１］３ｄ→廃液槽
５の流路で流れて計量管４内を試料て満たず。尚、微量
の試料を分析するなめ試料槽１と定流量ポンプ２が除去
された構成となっている場合には、シリンジなどを用い
て試料採取弁３の第１接続口３ａに直接試料を注入され
該試料が、試料採取弁３の第１接続１．１３ ａ→第６
接続Ｌ１３ｆ→計量管４→試利採収弁３の第３接続１」
３Ｃ−→第４接続に１３ｄ−＋廃液槽５の流路で流れて
計量管４内を試料て満たずようになっている。一方、定
流量ポンプ７が駆動すると、キャリア溶液槽６内のキャ
リア溶液は、定流量ポンプ７→陽イオンカラム９→試料
採取弁３の第５接続１］３ｅ→第４接続口３ｄを経由し
てネプライザ８−に送られる。また、キャリア溶液中に
含まれる陽イオン（例えばＡ１＋、ト’ｅ＋、Ｚｎ＋。
Ｓｎ＋、Ｍｎ＋、Ｂａ＋、Ｐｂ＋など）や定流量ポンプ
７の接液部材なとから７打出する陽イオンは陽イオンカ
ラム９を通過するとき除去されネプライザ８−には達し
ない。このなめ、キャリア溶液中に含まれる陽イオンや
定流量ポンプ７の接液部材などから溶出する陽イオンな
どがバックグランドスペクトルとして検出され被４ｊｌ
Ｊ定元素の検出下限を悪化させるなとして測定精度を低
下させるような現象は生じない。更に、試料採取弁３か
オンとなって内部流路が第１図の実線接続状態から破線
接続状態に切換えられると、計量管４内の試料がキャリ
ア溶液でネブライ→ノ゛８−に搬送されて霧化され、該
霧化された試料が高周波誘導結合プラズマて励起され生
じたイオンがノズルとスキマーからなるインターフェイ
スを介して質量分析計に導かれ電気的に検出されて該イ
オン量が精密に測定されることにより試料中の被測定元
素か高精度に分析されるようになる。
７の接液部材なとから７打出する陽イオンは陽イオンカ
ラム９を通過するとき除去されネプライザ８−には達し
ない。このなめ、キャリア溶液中に含まれる陽イオンや
定流量ポンプ７の接液部材などから溶出する陽イオンな
どがバックグランドスペクトルとして検出され被４ｊｌ
Ｊ定元素の検出下限を悪化させるなとして測定精度を低
下させるような現象は生じない。更に、試料採取弁３か
オンとなって内部流路が第１図の実線接続状態から破線
接続状態に切換えられると、計量管４内の試料がキャリ
ア溶液でネブライ→ノ゛８−に搬送されて霧化され、該
霧化された試料が高周波誘導結合プラズマて励起され生
じたイオンがノズルとスキマーからなるインターフェイ
スを介して質量分析計に導かれ電気的に検出されて該イ
オン量が精密に測定されることにより試料中の被測定元
素か高精度に分析されるようになる。
第２図は上述のようにして測定された分析結果を示すマ
ススペクトル図であり、第５図は第４図を用いて詳述し
た前記従来例を用いて測定された分析結果を示すマスス
ペクトル図である。第２図と第５図を比較すれば明らか
なように、前記従来例の場合には、Ａ、ｌ＋、Ｍｎ＋、
Ｆｅ＋、Ｚｎ” 。
ススペクトル図であり、第５図は第４図を用いて詳述し
た前記従来例を用いて測定された分析結果を示すマスス
ペクトル図である。第２図と第５図を比較すれば明らか
なように、前記従来例の場合には、Ａ、ｌ＋、Ｍｎ＋、
Ｆｅ＋、Ｚｎ” 。
Ｓ ｎ ＋、 Ｂ ａ＋、及びＰ ｂ＋なとの陽イオン
が多く検出されＡヤリア溶Ｍ中に含まれる陽イオンや定
流量ポンプ７の接液部材なとから溶出する陽イオンなど
がバックグランドスペクトルとして検出され被測定元素
の検出土眼を悪化させているが、本発明の場合はこれら
の陽イオンが少ししか検出されずキャリア溶液中に含ま
れる陽イオンや定流量ポンプ７の接液部材などから溶出
する陽イオンが上記陽イオンカラム９て除去されている
ことが分かる。
が多く検出されＡヤリア溶Ｍ中に含まれる陽イオンや定
流量ポンプ７の接液部材なとから溶出する陽イオンなど
がバックグランドスペクトルとして検出され被測定元素
の検出土眼を悪化させているが、本発明の場合はこれら
の陽イオンが少ししか検出されずキャリア溶液中に含ま
れる陽イオンや定流量ポンプ７の接液部材などから溶出
する陽イオンが上記陽イオンカラム９て除去されている
ことが分かる。
一方、第３図は本発明の曲の実施例を示す要部構成説明
図であり、図中、第１図と同一記号は同一意味をもなぜ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、１０は第
１〜第４の接続ｒ、、ｌ １． Ｏａ〜］、 Ｏｄを有
し内部流路が実線接続状態と破線接続状態か交互に切換
えられる流路切換弁、１１は第１〜第４の接続ＩＴＩ
１１ ａ〜ｌｉｄを有し内部流路が実線接続状態と破線
接続状態が交互に切換えられる流路切換弁、１２は洗浄
液を貯溜する洗浄液槽、１３は洗浄液を一定流量で送る
定流量ポンプである。このような要部構成からなる本発
明の他の実施例においては、定流量ポンプ１３が駆動し
かつ流路切換弁１０．］、］の内部流路が実線接続状態
と破線接続状態が交互に切換えられることにより、洗浄
液槽１２内の洗浄液で陽イオンカラム９が洗浄されるよ
うになっている。尚、本発明は上述の実施例に限定され
ることなく種々の変形が可能てあり、例えば流路切換弁
１．０．１１を１つの流路切換弁なと置き換えても良い
ものとする。
図であり、図中、第１図と同一記号は同一意味をもなぜ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、１０は第
１〜第４の接続ｒ、、ｌ １． Ｏａ〜］、 Ｏｄを有
し内部流路が実線接続状態と破線接続状態か交互に切換
えられる流路切換弁、１１は第１〜第４の接続ＩＴＩ
１１ ａ〜ｌｉｄを有し内部流路が実線接続状態と破線
接続状態が交互に切換えられる流路切換弁、１２は洗浄
液を貯溜する洗浄液槽、１３は洗浄液を一定流量で送る
定流量ポンプである。このような要部構成からなる本発
明の他の実施例においては、定流量ポンプ１３が駆動し
かつ流路切換弁１０．］、］の内部流路が実線接続状態
と破線接続状態が交互に切換えられることにより、洗浄
液槽１２内の洗浄液で陽イオンカラム９が洗浄されるよ
うになっている。尚、本発明は上述の実施例に限定され
ることなく種々の変形が可能てあり、例えば流路切換弁
１．０．１１を１つの流路切換弁なと置き換えても良い
ものとする。
〈発明の効果〉
以上訂しく説明したような本発明の実施例によれば、キ
ャリア溶液中に含まれる陽イオンや定流量ポンプ７の接
液部材などから溶出する陽イオンがバックグランドスペ
クトルとして検出されるのを防止し被測定元素の測定精
度を高めることがてきるような高周波誘導結合プラズマ
質量分析装置が実現する。
ャリア溶液中に含まれる陽イオンや定流量ポンプ７の接
液部材などから溶出する陽イオンがバックグランドスペ
クトルとして検出されるのを防止し被測定元素の測定精
度を高めることがてきるような高周波誘導結合プラズマ
質量分析装置が実現する。
第１図は本発明実施例の要部構成説明図、第２図及び第
５図はマススペクトル図、第３図は本発明の他の実施例
を示す要部構成説明図、第４図は従来例の要部を示す従
来例要部構成説明図である。 １・・・・・試料槽、 ２．７，１．３・・・・・定流量ポンプ、３・・・・・
・試料採取弁、４・・・・・計量管、５・・・・・廃液
槽、６・・・・・温媒槽、８・・・・・・高周波誘導結
合プラズマ質量分析計８″・・・・・ネプライザ、０・
・・・・・陽イオンカラム１．０，１．１・・・・・・
流路切換弁、１２・・・・・・洗浄′／Ｉ’ｉ格、に ヅ
５図はマススペクトル図、第３図は本発明の他の実施例
を示す要部構成説明図、第４図は従来例の要部を示す従
来例要部構成説明図である。 １・・・・・試料槽、 ２．７，１．３・・・・・定流量ポンプ、３・・・・・
・試料採取弁、４・・・・・計量管、５・・・・・廃液
槽、６・・・・・温媒槽、８・・・・・・高周波誘導結
合プラズマ質量分析計８″・・・・・ネプライザ、０・
・・・・・陽イオンカラム１．０，１．１・・・・・・
流路切換弁、１２・・・・・・洗浄′／Ｉ’ｉ格、に ヅ
Claims (2)
- （１）試料を試料採取弁に送って内容積一定の計量管内
を満たしてのち該試料採取弁を切換えキャリア溶液で前
記計量管内の試料をネブライザに搬送して霧化し、該試
料を高周波誘導結合プラズマを用いて励起させ生じたイ
オンをノズルとスキマーからなるインターフェイスを介
して質量分析計検出器に導いて検出することにより前記
試料中の被測定元素を分析する分析装置において、前記
試料採取弁にキャリア溶液を送る定流量ポンプと前記試
料採取弁の間に、該キャリア溶液に含まれる陽イオンを
除去する陽イオンカラムを配設したことを特徴とする高
周波誘導結合プラズマ質量分析装置。 - （２）前記陽イオンカラムは２つの流路切換弁の間に配
設され、これら流路切換弁の切換によって内部が洗浄さ
れるように構成されてなることを特徴とする特許請求範
囲第（１）項記載の高周波誘導結合プラズマ質量分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63134145A JPH01304352A (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63134145A JPH01304352A (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01304352A true JPH01304352A (ja) | 1989-12-07 |
Family
ID=15121520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63134145A Pending JPH01304352A (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01304352A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59100856A (ja) * | 1982-12-01 | 1984-06-11 | Hitachi Ltd | 液体クロマトグラフと質量分析計とを結合した分析装置 |
-
1988
- 1988-05-31 JP JP63134145A patent/JPH01304352A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59100856A (ja) * | 1982-12-01 | 1984-06-11 | Hitachi Ltd | 液体クロマトグラフと質量分析計とを結合した分析装置 |
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