JPH01310861A - バーニシング装置およびバーニシング方法 - Google Patents
バーニシング装置およびバーニシング方法Info
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- JPH01310861A JPH01310861A JP14300388A JP14300388A JPH01310861A JP H01310861 A JPH01310861 A JP H01310861A JP 14300388 A JP14300388 A JP 14300388A JP 14300388 A JP14300388 A JP 14300388A JP H01310861 A JPH01310861 A JP H01310861A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B39/00—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor
- B24B39/06—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor designed for working plane surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを行う
磁気記録装置に関し、該記録装置に用いる磁気記録媒体
上に存在する突起を除去する装置および除去方法に関す
る。
磁気記録装置に関し、該記録装置に用いる磁気記録媒体
上に存在する突起を除去する装置および除去方法に関す
る。
（従来の技術）
従来より、磁気ヘッドを通して磁気記録媒体（以下媒体
と称する）に情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを
行う磁気記録装置には磁気テープ、磁気カード、フレキ
シブルディスク、ハードディスクなとが実用化されてい
るか、いづれも記録密度を高くするためには媒体と磁気
ヘッドの間隔を出来るだけ小さくすることが必要であり
、現時点ではハードディスク装置において０．２ミクロ
ンか最小である。
と称する）に情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを
行う磁気記録装置には磁気テープ、磁気カード、フレキ
シブルディスク、ハードディスクなとが実用化されてい
るか、いづれも記録密度を高くするためには媒体と磁気
ヘッドの間隔を出来るだけ小さくすることが必要であり
、現時点ではハードディスク装置において０．２ミクロ
ンか最小である。
（発明が解決しようとする問題点）
磁気ヘッドと媒体の間隔を小さくするため磁気テープ、
磁気カード、フレキンプルディスクでは磁気ヘッドと媒
体を接触摺動させている。一方ハードテ゛イスクにおい
ては、磁気ヘッドは空気の動圧力により磁気ヘッドに取
り付けられた押し圧ハネに逆らい媒体上に非接触で浮上
するか、突起の高さ以下には磁気ヘッドと媒体の間隔を
小さくてきない。あるいは媒体」二の突起と磁気ヘッド
か接触摩耗（ヘノドクラソ７ユ）したり、磁気ヘッドの
浮上安定性が失われて出力変動やエラーの発生の原因と
なる。従来、第２図のように磁気ヘッド１３を用いて媒
体上の突起を除去すること（バーニシング）が行われて
きたが、磁気へ、ドが／ンハルバネ１４を介して支持さ
れて動きの自由度かあることあるいは回転する磁気ディ
スク」二を追従するため、十分な突起除去効果か得られ
ないうえに時には磁気ヘッドにより突起以外の清浄な媒
体表面に傷をつけることかみられた。
磁気カード、フレキンプルディスクでは磁気ヘッドと媒
体を接触摺動させている。一方ハードテ゛イスクにおい
ては、磁気ヘッドは空気の動圧力により磁気ヘッドに取
り付けられた押し圧ハネに逆らい媒体上に非接触で浮上
するか、突起の高さ以下には磁気ヘッドと媒体の間隔を
小さくてきない。あるいは媒体」二の突起と磁気ヘッド
か接触摩耗（ヘノドクラソ７ユ）したり、磁気ヘッドの
浮上安定性が失われて出力変動やエラーの発生の原因と
なる。従来、第２図のように磁気ヘッド１３を用いて媒
体上の突起を除去すること（バーニシング）が行われて
きたが、磁気へ、ドが／ンハルバネ１４を介して支持さ
れて動きの自由度かあることあるいは回転する磁気ディ
スク」二を追従するため、十分な突起除去効果か得られ
ないうえに時には磁気ヘッドにより突起以外の清浄な媒
体表面に傷をつけることかみられた。
（問題点を解決するための手段）
本発明のバーニシング装置では媒体上の突起を効果的に
除去するため、媒体と特別に設計されたバー二／ングヘ
ノド間の距離を変位センサーにより測定しつつ、該距離
を一定に保つように該磁気ヘッドに取り付けたアクチュ
エータを駆動させて非接触あるいは極めて軽荷重で媒体
とヘッドの間隔を微小に保つことにより媒体上の突起を
除去することを特徴とする。
除去するため、媒体と特別に設計されたバー二／ングヘ
ノド間の距離を変位センサーにより測定しつつ、該距離
を一定に保つように該磁気ヘッドに取り付けたアクチュ
エータを駆動させて非接触あるいは極めて軽荷重で媒体
とヘッドの間隔を微小に保つことにより媒体上の突起を
除去することを特徴とする。
（実施例）
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の磁気記録装置の一実施例を示す図であ
る。下地体２と磁性媒体３からなる磁気記録体と磁気ヘ
ッド４の間隔は、光反射強度型変位計６から出た光が光
ファイバー５を通って媒体表面で反射した時の戻り光の
強度変化により４ｔｌｌ定される。ハーニノングヘノド
は変位変動信号に基づきサーボ回路７とアンプ９により
駆動される圧電アクチュエータ８により一定の間隔て媒
体表面に追従する。光反射強度型変位計６は磁性媒体３
または下地体２に金属を用いた時、４０Ａ程度の精度か
得られる。ここては磁性媒体３にコバルト・ニッケル合
金をスパッタリング法によりアルミ合金盤上のニッケル
・燐からなる下地体３の上に被覆してバーニシング装置
を作製した。
る。下地体２と磁性媒体３からなる磁気記録体と磁気ヘ
ッド４の間隔は、光反射強度型変位計６から出た光が光
ファイバー５を通って媒体表面で反射した時の戻り光の
強度変化により４ｔｌｌ定される。ハーニノングヘノド
は変位変動信号に基づきサーボ回路７とアンプ９により
駆動される圧電アクチュエータ８により一定の間隔て媒
体表面に追従する。光反射強度型変位計６は磁性媒体３
または下地体２に金属を用いた時、４０Ａ程度の精度か
得られる。ここては磁性媒体３にコバルト・ニッケル合
金をスパッタリング法によりアルミ合金盤上のニッケル
・燐からなる下地体３の上に被覆してバーニシング装置
を作製した。
また本発明に用いられる変位センサーには光干渉型、静
電容量型、または渦電流型変位計またはレーサードツプ
ラー振動計、レーサードツプラー流束計などを用いるこ
とかでき、またアクチュエータに電歪アクチュエータ、
磁歪アクチュエータまたは水晶振動子のいずれかを用い
ることかできる。ハーニノングヘノドは硬い材料が望ま
しく、ガラス、水晶、ダイアモンド、アルミナ、金属炭
化物が用いられる。本実施例では先端が凸の曲面になっ
ている形状を用いた。また比較として第２図に示すよう
な／ンハルハネを用いた磁気ヘッドを用いるバーニシン
グ装置を用意した。
電容量型、または渦電流型変位計またはレーサードツプ
ラー振動計、レーサードツプラー流束計などを用いるこ
とかでき、またアクチュエータに電歪アクチュエータ、
磁歪アクチュエータまたは水晶振動子のいずれかを用い
ることかできる。ハーニノングヘノドは硬い材料が望ま
しく、ガラス、水晶、ダイアモンド、アルミナ、金属炭
化物が用いられる。本実施例では先端が凸の曲面になっ
ている形状を用いた。また比較として第２図に示すよう
な／ンハルハネを用いた磁気ヘッドを用いるバーニシン
グ装置を用意した。
本発明のバーニシング装置とジンバルバネ支持磁気ヘッ
ドを用いたバーニシング装置を用いて磁気ディスクの突
起除去（ハーニ７ング）を行ったところ、ジンバルバネ
支持磁気ヘッドを用いたバーニシングては０．１ミクロ
ンの浮上量で突起数１２０個の内、約半数の７０個が残
存したか本発明のハーニ７ングては０．１ ミクロン
のバーニシングヘノドと磁気ディスク表面の間隔におい
て突起数１４０個のうち全数が除去された。またジンバ
ルハネ支持磁気へ、ドを用いたバーニシングでは磁気デ
ィスク」二に引掻傷が生じたか、本発明のバーニシング
ては傷は皆無であった。なおバーニシングにおける突起
の検出は磁気ヘッドまたはハーニノングヘノドに取り付
けたＡＥセンサー（突起の衝撃により生しる振動を圧電
素子により検知するセンサー）により行った。
ドを用いたバーニシング装置を用いて磁気ディスクの突
起除去（ハーニ７ング）を行ったところ、ジンバルバネ
支持磁気ヘッドを用いたバーニシングては０．１ミクロ
ンの浮上量で突起数１２０個の内、約半数の７０個が残
存したか本発明のハーニ７ングては０．１ ミクロン
のバーニシングヘノドと磁気ディスク表面の間隔におい
て突起数１４０個のうち全数が除去された。またジンバ
ルハネ支持磁気へ、ドを用いたバーニシングでは磁気デ
ィスク」二に引掻傷が生じたか、本発明のバーニシング
ては傷は皆無であった。なおバーニシングにおける突起
の検出は磁気ヘッドまたはハーニノングヘノドに取り付
けたＡＥセンサー（突起の衝撃により生しる振動を圧電
素子により検知するセンサー）により行った。
（発明の効果）
以上のように、本発明によれば磁性媒体上の突起を媒体
表面に傷を付けることなく除去することかできる。
表面に傷を付けることなく除去することかできる。
第１図は本発明のバーニシング装置の一実施例を示す図
、第２図はジンバルバネ支持磁気ヘッドを用いたバーニ
シング装置の概略を示す図である。 図に於て、２．下地体、３．磁性媒体、４．バーニシン
グヘツド、５．光ファイバ、６．光反射強度型変位計、
７．サーボアンプ、８．圧電アクチュエータ、９．アン
プ、１１．下地体、１２゜磁性媒体、１３．磁気ヘッド
、１４．ノン／ペルバネ、１５．突起である。
、第２図はジンバルバネ支持磁気ヘッドを用いたバーニ
シング装置の概略を示す図である。 図に於て、２．下地体、３．磁性媒体、４．バーニシン
グヘツド、５．光ファイバ、６．光反射強度型変位計、
７．サーボアンプ、８．圧電アクチュエータ、９．アン
プ、１１．下地体、１２゜磁性媒体、１３．磁気ヘッド
、１４．ノン／ペルバネ、１５．突起である。
Claims (2)
- （１）バーニシングヘッドと、磁気記録媒体とバーニシ
ングヘッド間の距離を測定する変位センサーと、該距離
を一定に保つためのバーニシングヘッドに取り付けたア
クチュエータとを備えたことを特徴とするバーニシング
装置。 - （２）自由運動しない固定部材に取付けられたバーニシ
ングヘッドを用いることを特徴とするバーニシング方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14300388A JPH01310861A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置およびバーニシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14300388A JPH01310861A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置およびバーニシング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01310861A true JPH01310861A (ja) | 1989-12-14 |
Family
ID=15328690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14300388A Pending JPH01310861A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置およびバーニシング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01310861A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6935925B1 (en) | 2004-06-30 | 2005-08-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method, and apparatus for in-situ acoustic emission monitoring of burnish heads in production during magnetic media cleaning or burnish process |
| US7153193B1 (en) | 2005-10-18 | 2006-12-26 | Hitachi Global Storage Netherlands B.V. | System and apparatus for selectively sensing and removing asperities from hard disk drive media utilizing active thermally controlled flying heights |
| US7153192B1 (en) | 2005-10-18 | 2006-12-26 | Hitachi Global Storage Netherlands B.V. | Method for selectively sensing and removing asperities from hard disk drive media utilizing active thermally controlled flying heights |
| US7278902B1 (en) | 2006-03-14 | 2007-10-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Enabling location specific burnishing of a disk |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP14300388A patent/JPH01310861A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6935925B1 (en) | 2004-06-30 | 2005-08-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method, and apparatus for in-situ acoustic emission monitoring of burnish heads in production during magnetic media cleaning or burnish process |
| US7153193B1 (en) | 2005-10-18 | 2006-12-26 | Hitachi Global Storage Netherlands B.V. | System and apparatus for selectively sensing and removing asperities from hard disk drive media utilizing active thermally controlled flying heights |
| US7153192B1 (en) | 2005-10-18 | 2006-12-26 | Hitachi Global Storage Netherlands B.V. | Method for selectively sensing and removing asperities from hard disk drive media utilizing active thermally controlled flying heights |
| US7278902B1 (en) | 2006-03-14 | 2007-10-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Enabling location specific burnishing of a disk |
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