JPH01311547A - 蛍光表示パネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、コンピュータ等の図形、文字を表示するため
の端末機、メツセージボートの如き多桁の文字、数字を
表示するのに用いられる表示器等の蛍光表示パネルの改
良に関するものである。

〔従来技術〕

最近、大面積化、低電圧化のために新しい蛍光表示パネ
ルが提案されている。この蛍光表示パネルは、１対のガ
ラス基板と、この１対のガラス基板の間に配置された蛍
光層と、蛍光層の両側に配置され陽極電極とフィラメン
トと制御電極と信号電極とを含む蛍光層駆動手段とから
成っており、蛍光層駆動手段の信号電極と制御電極とは
、絶縁スペーサの表裏両面に取付けられたメツシュ状電
極から成っている。この蛍光層駆動手段は、フィラメン
トと陽極電極とに常にｌθ〜３０ｖ、５０〜１００ｖ程
度の直流電圧をかけ、制ｍ電極と信号電極とを時分割、
線順次駆動で１０〜３０Ｖの低い電位をかけて任意のパ
ターンで蛍光層を発光させるようになっている。

（発明か解決しようとする課題） しかし、この従来技術の蛍光表示パネルは、１つの画素
セルに対して１組の制御電極を必要とするために同一画
素で、例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色を
同時あるいは個別に発光させるマルチカラー及びそれぞ
れの発光輝度を電圧または周波数を変えることによって
数段階に変化させ、これらの色を混色することによって
フルカラーテレビ画面を得ることは精細度の上で困難で
あった。また、従来技術の蛍光表示パネルは、フィラメ
ントから放射される電子をセル中央付近と蛍光層から離
れた位置で制御するために、例えば、透明な陽極電極の
上で画素間の電子の乗り移り、即ち隣接する非発光画素
に電子が衝突して発光するために正確な画素パターンを
形成することができなかった。

一方、信号電極を蛍光層の上部に接近して配置すると、
このような欠点がなくなるが、信号電極の位置がフィラ
メントから離れるために、フィラメントから放射される
電子を通過し反射させるために必要な電位が高くなり、
従って駆動電圧が高くなるので耐圧ＩＣを必要とする欠
点があった。

本発明の目的は、上記の欠点を回避し、低い駆動電圧で
駆動して高い精細度と階調変化が容易な蛍光表示パネル
を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記の課題を解決するために、１対のガラス
基板と、一方のガラス基板の内面に配置された蛍光層と
、この一方のガラス基板と蛍光層との間に配置され陽極
電極と他方のガラス基板側に配置されたフィラメントと
蛍光層とフィラメントとの間に配置された信号電極と走
査電極とを含む蛍光層駆動手段とから成る蛍光表示パネ
ルにおいて、信号電極は蛍光層側と走査電極側とに配置
されそれデれ電位が制御される２枚のグリッドから成っ
ていることを特徴とする蛍光表示パネルを提供するもの
である。

〔作用〕

このように信号電極が走査電極に近いグリッドと蛍光層
に近いグリッドとの２つのグリッドから成っていると、
走査電極に近いグリッドがフィラメントに接近して低電
圧駆動を行なうことができ、また蛍光層に近いグリッド
の電位を変えることによって発光輝度を数段階に変化さ
せることができる。

（実施例〕 本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明すると第１
図は本発明に係る蛍光表示パネルｌＯを示し、この蛍光
表示パネルｌＯは、１対のガラス基板１２．１４と、一
方のガラス基板（フェースガラス基板）１２の上に形成
された蛍光層１６と、蛍光層駆動手段１８とから成って
いる。蛍光層駆動手段１８は、一方のガラス基板１２と
蛍光層１６との間に配置された透明な陽極電極２０と、
他方のガラス基板１４側に配置されたフィラメント２２
と、蛍光層１６とフィラメント２２との間に配置された
信号電極２４と走査電極２６とを含んている。第１図か
ら解るように、信号電極２４と走査電極２６とは格子状
の絶縁スペーサ２８の両側に取付けられている。

信号電極２４は、蛍光層１６側と走査電極２６側とに配
置されそれぞれ電位が制御される２枚のグリッド２４Ａ
と２４Ｂとから成っている、蛍光層側のグリッド２４Ａ
は１例えば、第２図（Ａ）に示すように、陽極電極２０
と蛍光層１６とを区画する隔壁３０の上に取付けられ。

走査電極側のグリッド２４Ｂはグリッド２４Ａを挟んで
隔ｇ１３０の上に設けられた隔壁３２の上に設けられる
。第２図（Ｃ）はフィラメント２２を有する他方のガラ
ス基板１４を示し、このガラス基板１４の内面にはコン
トラストを向上し、また電磁遮蔽層を形成するために黒
色導電膜３Ｂを形成するのが望ましい、尚、第２図（Ｂ
）において符号４０はフィラメント２２を支持する支柱
である。

この蛍光表示パネルｌＯは、第３図に示すように、信号
電極２４に信号電極駆動回路３４が接続され、走査電極
２６に走査電極駆動回路３６が接続される。予め、フィ
ラメント２２には５〜３０Ｖ、陽極電極２０には５０〜
１００ｖの電位を直流電源からかけ、走査電極ｚ６及び
８信号電極２４のグリッド２４Ａ、２４Ｂに１０〜３０
Ｖの正電圧パルスをかけることによって選択的に画素を
駆動することができる。尚、グリッド２４Ｂ及び走査電
極２６に正のＩＯＶをかけ、グリウド２４ＡにＩＯＶの
電圧をかけると、発光輝度は８００　ｃ　ｄ　／　ｍ　
”であったか、グリッド２４Ａに２Ｖの電圧をかけると
、発光輝度は２００　ｃ　ｄ　／　ｍ　”となり１発光
輝度を数段階に調節とすることができる。これは画素に
到達する電子の量かグリッド２４Ａの電位によって変化
するためであり、従って、グリッド２４Ｂの電位を一定
のＩＯＶにし、蛍光層１６に近いグリッド２４Ａの電位
を、上記以外に例えば、ＩＶ、５Ｖ、ＩＯＶと変えるこ
とによって発光輝度を数段階に変化させることができる
。

蛍光表示パネルｌＯの画素駆動時にＲが点灯し、Ｇ、Ｂ
が非点灯であるとすると、第４図に示すように、凡の上
のグリッド２４Ａ、２４Ｂを正電位とし、Ｇ、Ｂ上のグ
リッド２４Ａ、２４Ｂは負電位とする。このようにする
と、フィラメント２２からの電子はそれぞれ走査電極２
６及び信号電極２４のメツシュを通過してＲの蛍光層表
面に達し、Ｇ、Ｂの蛍光層表面には到達することがない
、従って凡の蛍光層のみが発光し、Ｇ、Ｂの蛍光層が発
光することはない。

尚、Ｇ、Ｂの蛍光層のみを同様にして選択的に発光する
ことができる。従って、Ｒ，Ｇ、Ｈの信号電極を電位制
御しつつ走査電極を順次電位変化させて任意のパターン
で発光させることができる。

また、信号電極２４が走査電極２６に近いグリッド２４
Ｂと蛍光層１６に近いグリッド２４Ａとの２つのグリッ
ドから成っていると、走査電極２６に近いグリッド２４
Ｂがフィラメント２２に接近して低電圧駆動を行なうこ
とができる。

次に１本発明の具体例をのべると、３ｍｍ厚のフェース
ガラス基板の上にＩ　Ｔｏ　（Ｉ　ｎ＊　０３・５ｎＯ
２）の透明な陽極電極及びＺｎＯ：Ｚｎの緑色発光蛍光
層をスパッタリング法で形成し、フォトリソグラフィー
によってこれらをストライプ状に加工する。また、同様
にして（ＺｎＣｄ）Ｓ：ＡｇにＩｎ２Ｏ，を配合した赤
色発光蛍光層及びＺｎＳ　：　ＺｎにＩｎ、Ｏユを配合
した青色発光蛍光層を形成する０次いで、下部隔壁をガ
ラスフリットペーストをスクリーン印刷して０．２ｍｍ
の高さに形成し、その上にメツシュ状のグリッド２４Ａ
をのせ、更にその上にフリットガラスによって上部隔壁
を形成する。

他方のガラス基板には反応性スパッタによって酸窒化タ
ンタルの黒色導電膜を形成してコントラストを向上する
と共に電磁遮蔽層を形成し、この上に１１０１Ｌ厚のＳ
ｉｎ、膜及び２．ｍ厚のタングステン薄膜及び（Ｂａ−
３ｒ・Ｃａ）０！Ｉを形成する。その後、４弗化炭素に
酸素をｌＯ％混合したガスによってプラズマエツチング
することによってフィラメントパターンを形成する。そ
の後、レジストを用いてＳｉｎ。

を選択的にエツチングすることによって陰極部を形成す
る。その後、このガラス基板にガラスフリットペースト
を塗布し焼成して隔壁を形成する。

絶縁スペーサは１００．ｇｍ厚の４２６合金（日新製鋼
ＮＳ　１−４２６）金属箔にフォトリソグラフィにより
０．６ｘ０．６ｍｍの角孔と０．２ｍｍ幅のを有する格
子パターンに形成して得られ、この格子パターンにゾル
ゲル法によってＳｉｎ、を約２．ｇｍ厚で全面に塗布し
て絶縁処理される。

信号電極と走査電極とは別工程て１０ＪＬｍの厚のステ
ンレス箔をエツチングしてストライブ状のメツシュパタ
ーンを形成して得られる。尚、このエツチング時に信号
電極と走査電極とのステンレス箔のメツシュスドライブ
パターンが互いに直交するように配置し、フリットガラ
スでスペーサに一体化する。

最後に、フェースガラス基板、電極が一体に取付けられ
たスペーサ及び裏面ガラス基板を重ね、内部を１０−’
Ｔｏｒｒ程度に真空引きしつつ周縁を封止する。

（発明の効果） 本発明によれば、上記のように、低い駆動電圧で駆動す
ることができる上に高い精細度を得ることがてき、また
蛍光層側のグリッド電位を変化させることによって階調
を容易に変化させることができる実益がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る蛍光表示パネルの分解斜視図、第
２図（Ａ）（Ｂ）はそれぞれ一方のガラス基板の斜視図
と他方のガラス基板の斜視図、第３図は本発明の蛍光表
示パネルの駆動系統図、第４図は本発明に用いられる信
号電極用の２つのグリッドの説明図である。 １０−−−−一蛍光表示パネル、１２．１４−一一一一
ガラス基板、１６−−−−−蛍光層。 １８−−−ｍ−蛍光層駆動手段、２０−−−−２−陽極
電極、２２−−−−−フィラメント、２４−−−−一信
号電極、２４Ａ、２４Ｂ−−−−−グリッド、２６−−
−−−走査電極。 第１図 第２図 （，４１（ＢＪ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １対のガラス基板と、一方のガラス基板の内面に配置さ
   れた蛍光層と、前記一方のガラス基板と蛍光層との間に
   配置され陽極電極と他方のガラス基板側に配置されたフ
   ィラメントと前記蛍光層とフィラメントとの間に配置さ
   れた信号電極と走査電極とを含む蛍光層駆動手段とから
   成る蛍光表示パネルにおいて、前記信号電極は蛍光層側
   と走査電極側とに配置されそれぞれ電位が制御される２
   枚のグリッドから成っていることを特徴とする蛍光表示
   パネル。