JPH01313961A - ガラス封止型セラミックケース開封装置 - Google Patents
ガラス封止型セラミックケース開封装置Info
- Publication number
- JPH01313961A JPH01313961A JP14637288A JP14637288A JPH01313961A JP H01313961 A JPH01313961 A JP H01313961A JP 14637288 A JP14637288 A JP 14637288A JP 14637288 A JP14637288 A JP 14637288A JP H01313961 A JPH01313961 A JP H01313961A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cap
- case
- ceramic case
- ceramic
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 238000011838 internal investigation Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガラス封止型セラミックケースを不良解析、内
部調査を目的として開封する際に用いる装置に関する。
部調査を目的として開封する際に用いる装置に関する。
従来、この種のセラミックケース開封には、特別な装置
はなく、人手によりセラミックケースのガラス封止部を
破壊して開封していた。
はなく、人手によりセラミックケースのガラス封止部を
破壊して開封していた。
上述した従来のセラミックケース開封は人手によるもの
であったため、開封作業に時間がかかり、短時間で大量
のセラミックケースを開封することができないという欠
点がある。
であったため、開封作業に時間がかかり、短時間で大量
のセラミックケースを開封することができないという欠
点がある。
また、開封作業の際にセラミツフケ−入内部のＩＣベレ
ットを破損してしまう可能性が高いという欠点がある。
ットを破損してしまう可能性が高いという欠点がある。
本発明の目的は前記７１ＡＭを解決したガラス封止型セ
ラミックケース開封装置を提供することにある。
ラミックケース開封装置を提供することにある。
上述した従来の人手によるセラミックケース開封に対し
、本発明は装置を用いるという相違点を有する。
、本発明は装置を用いるという相違点を有する。
前記目的を達成するため１本発明は半導体装置のガラス
封止型セ、ラミックケースからキャップを分離し、該セ
ラミックケースを開封する装置において、セラミックケ
ースとキャップとをそれぞれ保持し互いに逆方向に移動
可能なケース固定台及びキャップ固定台と、セラミック
ケースとキャップとのガラス封止部を溶融するヒータと
を有するものである。
封止型セ、ラミックケースからキャップを分離し、該セ
ラミックケースを開封する装置において、セラミックケ
ースとキャップとをそれぞれ保持し互いに逆方向に移動
可能なケース固定台及びキャップ固定台と、セラミック
ケースとキャップとのガラス封止部を溶融するヒータと
を有するものである。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
（実施例１）
第１図は本発明の実施例１を示す縦断面図である。
図において、ケース固定台１の上面にセラミックケース
７ａを受は入れる凹部１ａを設けるとともに、該凹部１
ａの底部にセラミックケース７ａのリード端子７ａ’を
受ける穴部１ｂ、ｌｂ・・・とを設け、該凹部１ａの側
壁に固定用ネジ４を取付ける。
７ａを受は入れる凹部１ａを設けるとともに、該凹部１
ａの底部にセラミックケース７ａのリード端子７ａ’を
受ける穴部１ｂ、ｌｂ・・・とを設け、該凹部１ａの側
壁に固定用ネジ４を取付ける。
一方、ケース固定台１と対をなすキャップ固定台２を、
モータ６にて駆動される２本の垂直なネジ捧３，３に昇
降可能に保持し、該キャップ固定台２の下面にキャップ
７ｂを受は入れる凹部２ａを設けるとともに、該凹部２
ａの側壁に固定用ネジ４を取付ける。また、キャップ固
定台２には、セラミックケース７ａのガラス封止部７ｃ
を溶融するヒータ５を設置する。
モータ６にて駆動される２本の垂直なネジ捧３，３に昇
降可能に保持し、該キャップ固定台２の下面にキャップ
７ｂを受は入れる凹部２ａを設けるとともに、該凹部２
ａの側壁に固定用ネジ４を取付ける。また、キャップ固
定台２には、セラミックケース７ａのガラス封止部７ｃ
を溶融するヒータ５を設置する。
実施例において、開封しようとするセラミックケース７
ａをケース固定台１の凹部１ａに受は入れて固定用ネジ
４で固定するとともに、キャップ７ｂをキャップ固定台
２の凹部２ａにセットし、固定用ネジ４で固定する。次
にヒータ５に電流を供給し、セラミックケース７ａのガ
ラス封止部７ｃをｓｏｏ” ｃ以上に加熱する。セラミ
ックケース７ａのガラス封止部７ｃが溶融した後、ネジ
棒３をモータ６により回転させてキャップ固定台２を上
昇させ、セラミックケース７ａとキャップ７ｂとを分離
する。ここで、ケース固定台１とキャップ固定台２は５
００″Ｃ以上の高温に耐える金属又はセラミックを使用
して作成する。
ａをケース固定台１の凹部１ａに受は入れて固定用ネジ
４で固定するとともに、キャップ７ｂをキャップ固定台
２の凹部２ａにセットし、固定用ネジ４で固定する。次
にヒータ５に電流を供給し、セラミックケース７ａのガ
ラス封止部７ｃをｓｏｏ” ｃ以上に加熱する。セラミ
ックケース７ａのガラス封止部７ｃが溶融した後、ネジ
棒３をモータ６により回転させてキャップ固定台２を上
昇させ、セラミックケース７ａとキャップ７ｂとを分離
する。ここで、ケース固定台１とキャップ固定台２は５
００″Ｃ以上の高温に耐える金属又はセラミックを使用
して作成する。
（実施例２）
第２図は本発明の実施例２を示す縦断面図である。本実
施例では、開封しようとするセラミックケース７ａをケ
ース固定台１に、またキャップ７ｂをキャップ固定台２
にそれぞれセットし、固定用ネジ４で固定する０次にヒ
ータ５に電流を供給し。
施例では、開封しようとするセラミックケース７ａをケ
ース固定台１に、またキャップ７ｂをキャップ固定台２
にそれぞれセットし、固定用ネジ４で固定する０次にヒ
ータ５に電流を供給し。
ガラス封止部７ｃを加熱してセラミックケースのガラス
封止部７ｃを溶融する。この実施例ではセラミックケー
ス７ａに常にケース固定台１の荷重を加えて分離する方
式であり、ガラス封止部７ｃが溶融すると、ケース固定
台１が自重により落下してセラミックケース７ａとキャ
ップ７ｂとを分離する。この実施例では基板固定台の重
さを利用しているため、実施例１のようなネジ捧やモー
タが不要になるという利点がある。
封止部７ｃを溶融する。この実施例ではセラミックケー
ス７ａに常にケース固定台１の荷重を加えて分離する方
式であり、ガラス封止部７ｃが溶融すると、ケース固定
台１が自重により落下してセラミックケース７ａとキャ
ップ７ｂとを分離する。この実施例では基板固定台の重
さを利用しているため、実施例１のようなネジ捧やモー
タが不要になるという利点がある。
以上説明したように本発明は人手によらず、装置を用い
ることにより、効率的に大量にセラミックケースを開封
することができ、また、セラミックケース内部のＩＣベ
レットに損傷を与える可能性をほとんどなくすことがで
きる効果がある。
ることにより、効率的に大量にセラミックケースを開封
することができ、また、セラミックケース内部のＩＣベ
レットに損傷を与える可能性をほとんどなくすことがで
きる効果がある。
第１図は本発明の実施例１を示す縦断面図、第２図は本
発明の実施例２を示す縦断面図である。 １・・・ケース固定台 ２・・・キャップ固定台
３・・・ネジ捧 ４・・・固定用ネジ５・
・・ヒータ ６・・・モータ７ａ・・・
セラミックケース ７ｂ・・・キャップ７ｃ・・・ガ
ラス封止部
発明の実施例２を示す縦断面図である。 １・・・ケース固定台 ２・・・キャップ固定台
３・・・ネジ捧 ４・・・固定用ネジ５・
・・ヒータ ６・・・モータ７ａ・・・
セラミックケース ７ｂ・・・キャップ７ｃ・・・ガ
ラス封止部
Claims (1)
- （１）半導体装置のガラス封止型セラミックケースから
キャップを分離し、該セラミックケースを開封する装置
において、セラミックケースとキャップとをそれぞれ保
持し互いに逆方向に移動可能なケース固定台及びキャッ
プ固定台と、セラミックケースとキャップとのガラス封
止部を溶融するヒータとを有することを特徴とするガラ
ス封止型セラミックケース開封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14637288A JPH01313961A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | ガラス封止型セラミックケース開封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14637288A JPH01313961A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | ガラス封止型セラミックケース開封装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01313961A true JPH01313961A (ja) | 1989-12-19 |
Family
ID=15406228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14637288A Pending JPH01313961A (ja) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | ガラス封止型セラミックケース開封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01313961A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111524812A (zh) * | 2020-04-09 | 2020-08-11 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 陶瓷气密封装器件开封方法及陶瓷气密封装器件开封装置 |
-
1988
- 1988-06-14 JP JP14637288A patent/JPH01313961A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111524812A (zh) * | 2020-04-09 | 2020-08-11 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 陶瓷气密封装器件开封方法及陶瓷气密封装器件开封装置 |
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