JPH0131428B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は粉体粒子の静電分級方法と装置に関
するものであり、更に詳しくはフアインセラミツ
クスに用いられるケイ素化物粉や磁気記憶媒体に
用いられる磁性粉などのように所謂先端技術の分
野で用いるものであつて、粒度の点で、非常に高
度な均質性を要求される超微粒子料を高いい精度
で単相あるいは複相に粒度分級する新技術の開発
に関するものである。

（従来技術） 以下の記載において「超微粒子」とは粒度が
1μｍ．以下の粒子を指して言う。また「粉体粒
子群」とは1μｍ．単位の粒径のものを含めてあ
る粒度範囲に亘つて分布する超微粒子を含む粒子
によつて構成される群を指して言うう。更に「粉
体粒子小群」とはそのような粉体粒子群中にあつ
てそれより狭い粒度範囲に亘つて分布する超微粒
子を含む粒子によつて構成される小群を指して言
う。例えばある粉体粒子群が0.9〜0.1μｍ．の粒
度範囲に亘つて分布する超微粒子によつて構成さ
れているとすると、0.7〜0.5μｍ．の粒度範囲に
亘つて分布する超微粒子によつて構成される小群
は、その粉体粒子群のひとつの粉体粒子小群であ
る。

また粒度についての「高位」あるいは「低位」
とは比較上の表現であつて、例えば上記した粉体
粒子群の場合なら0.9〜0.7μｍ．の粒度は「高位」
であり、0.5〜0.3μｍ．の粒度は「低位」である
と言う。

前記したような先端技術分野において用いられ
る超微粒子材料は極めて均質であること、即ち粒
度が揃つていることが強く要求される。例えばレ
ンズなどに用いる極薄透明プラスチツクス場合に
は、その材料として用いられるケイ素化物の粉末
の均質性いかんによつて、得られるレンズの電気
絶縁性や解像力が大きく左右される。また磁気テ
ープや磁気デイスクなどのような計算機に用いら
れる記憶媒体にあつては、その材料として用いら
れる磁性粉の均質性によつては、得られる媒体に
記憶密度やノイズ発生などが大きく左右される。

上記したような先端技術用材料としての超微粒
子の利用分野の進歩のためには、その粉砕、分級
および搬送などの取扱技術の開発が不可欠であ
り、なかでも製品機能の点からして分級技術の開
発が重要である。

粉体粒子の分級技術としては遠心力を利用した
もの、ジエツト噴流を利用したもの、および流体
素子を利用したものなどが知られている。しかし
これら公知の技術おける分級の限界は精々ミクロ
ン単位迄にとどまるものであり、到底サブミクロ
ン単位の超微粒子には及ぶものではない。一部に
理論的なレベルでの提案もない訳ではないが、い
ずれも実務的な処理能力や消費エネルギーの面な
どで多々問題を含んでおり、工業的な規模で採用
される迄には至つていない。

また後に詳述するように、この発明は超微粒子
をコロナ放電場において荷電させた場合に静電引
力と空気同伴イオン流との作用により超微粒子が
静電放電の方向に偏向移動する現象を基礎として
いるが、このような粒子の静電荷電を利用した技
術としては電気集塵機が知られている。従来の電
気集塵機の一般的構成としては縦型の構造を有し
ており、放電極と集塵極板とを間隙を置いて対設
させ、放電下に含塵気流をして該間隙内を通過せ
しめ、荷電された塵埃粒子を集塵極板上に堆積さ
せ、この堆積塵埃粒子を一定の周期で払い落して
除去し、除塵された気流を系外に送り出すもので
ある。なるほどこの方法によれば含塵気流中にサ
ブミクロン単位の超微粒子が含まれている場合に
も、これをミクロン単位の塵埃と共に一括して荷
電捕捉することはできる。勿論集塵、即ち含塵気
流からの除塵という目的からすればこれで充分で
ある。しかし従来の電気集塵機の機能はそこでと
どまるのであつて、それを越えて捕捉した超微粒
子あるいはミクロン単位の塵埃をその粒度に応じ
て分級するというようなことは一切期待し得ない
のである。

更に超微粒子の分級に当つては、超微粒子が非
常に空気中に舞い上り易いという点も考慮しなけ
ればならない。即ち折角粉体粒子群をいくつかの
粉体粒子小群に分級しても、その後の処理を誤る
と超微粒子が空気中に舞い上る結果、一旦分級さ
れた粉体粒子小群がたとえ部分的にしても再び混
り合つてしまうのである。特に上記した電気集塵
機のように、集塵極板上の堆積したものを払い落
すような取扱い方は、超微粒子の激しい舞上りを
招くから、分級を目的とする場合には絶対避けな
ければならない。加えて空気中への超微粒子の舞
上りは環境汚染という公害上の問題にもつながる
のである。

（発明の目的） この発明の目的は、先端技術用材料として適し
た非常に高度な均質性を有した超微粒子を、工業
的規模で提供することにある。

この発明の他の目的は、非常に少ない消費動力
でかつ、連続的に超微粒子からなる粉体粒子群を
高精度でかつ高度に、整然と分級することにあ
る。

この発明の更に他の目的は、超微粒子からなる
粒体粒子群の分級を、作業、公害環境を汚染する
ことなくしかも材料の散失によるロスを生じるこ
となく、遂行することにある。

（発明の基本的構成） この発明によれば、搬送気流中に広い粒度範囲
に亘る超微粒子を含む粉体粒子群を混入し、プツ
シユ・プル式整流機構によつて進行方向と直交す
る平面方向に亘つて均一な速度分布を有する固気
混相流を形成し、密閉状の分級室内に対面立設さ
れた１個以上の静電高電圧放電極板と２個以上の
上下に並設された回収要素間の間隙（分級域）に
この固気混相流を導いて進行させ、放電下に高位
の粒度範囲を有する粉体粒子小群から順次に進行
中の固気混相流から分離し、それぞれの回収要素
により個別に吸引捕捉回収するものである。

（発明の実施態様） 第１図に示すのはこの発明の静電分級装置の一
例であつて、縦長の構造を有しており、その主要
部はフレームと壁体（図中これらを省略する）と
によつて画定形成される実質的に密閉状の分級室
内に収容配置されている。

この分級装置は、分級されるべき粉体粒子群を
混入させた搬送気流を進行方向と直交する平面方
向に亘つて均一な速度分布を有した固気混相流と
して積極的に送り出す供給部１と、その上方に設
けられてかつこの固気混相流から所定の粒度範囲
別に粉体粒子小群を分離する分級部２と、更にそ
の上方に設けられて分級、分離済みの搬送気流を
積極的に引取る収容部３とから、成るものであ
る。

もつともこれは固気混相流を上昇させながら分
級を行なう場合の配置であつて、この逆に固気混
相流を下降させながら分級を行なつてもよい、こ
の場合には、供給部１の分級部２の上方に、また
収容部３は分級部２の下方に位置することにな
る。但し以下の記載では、固気混相流を上昇させ
ながら分級を行なう場合を例にとつて説明する。

前記した三者の内少なくとも分級部２は密閉分
級室内に配置されている。また供給部１と収容部
３とは、その気流の積極的送出しと積極的引取り
とにより、所謂プツシユ・プル方式による気流を
形成するものである。

供給部１は整流吐出機構１１と搬送気流供給ダ
クト１３と両者と連結する混合ダクト１２とを有
しており、混合ダクト１２の天井には広い粒度範
囲に亘る粉体粒子群を収容するホツパー１４の底
部が開口している。ホツパー１４内の粉体粒子群
は、例えば公知のロータリーフイーダーなどの働
きにより、単位時間当り所定量が混合ダクト１２
内に落下供給され、供給ダクト１３からの搬送気
流と混合されて固気混相流を形成する。

整流吐出機構１１としては例えば特許第
1027787号あるいは特許第1175637号などに開示さ
れたダクト吐出口における流速均一化装置などを
用いる。前記のように混合ダクト１２内で形成さ
れた固気混相流は、ここで進行方向と直交する平
面方向に亘つて均一な速度分布を有するようにな
つた後で、上方に吐出されてゆく。

分級部２は、上下に延在する放電極板２１と、
間隙（分級域）Ｓを間に置いてこれに対面して上
下に隣接してフレームに固定配置された複数個
（図示の例では４個）の回収要素の主体を構成す
る回収板２２ａ〜２２ｄを有している。ここで分
級域Ｓは固気混相流の流路となる。放電極板２１
は絶縁体からなる（あるいは絶縁体によつて被覆
された）アーム２３によつてフレームに固定さ
れ、かつ適宜公知の方法により直流高電圧電源
（図示せず）に電気的に接続されている。また第
２図に示すように、その分級域Ｓに臨む表面上に
は多数の針状の放電極板２１１が密に突出配置さ
れている。

各回収板２２ａ〜２２ｄにはそれぞれ多数の回
収孔が透明形成されるとともに、フード端２４ａ
〜２４ｄが連結されている。各フード端２４ａ〜
２４ｄは図示しないダクトにより吸収フアンと高
性能フイルターを具えた公知の粉体粒子小群の分
離回収部に連結されている。

回収孔の開口面積はすべての回収板について同
一してもよく、同一回収板内においては同一であ
あるが回収板間では異なるようにしてもよい。例
えば、下側（固気混相流の進行方向について見れ
ば上流側）の回収板になる程回収孔の開口面積を
小さく、上側（同じく下流側）の回収板になる程
回収孔の開口面積を大きくなるように設計しても
よい。各回収板における回収孔の開口面積の大き
さおよびその回収板間での変化の度合などは、分
級されるべき粉体粒子群の粒度分布の形態および
要求される分級の程度などの工程条件に応じて適
宜これを定める。また各回収板の上下方向の寸法
は必ずしも図示のようにほぼ同一とする必要はな
く、上記のような工程条件に応じて適宜これを定
めればよい。

収容部３は分級域Ｓに臨んで開口する整流吸入
機構３１とこれに連結されたダクト３２とを有し
ている。整流吸入機構３１としては供給部１に用
いた整流の吐出機構１１と同じ整流機構を有した
ものを用いればよく、進行方向と直交する平面方
向に亘つて均一な速度分布を有した状態で分級域
からの搬送気流をダクト３２内に吸引する働きを
する。

次にこのような構成を有する静電分級装置の作
用について説明する。

前記したようにホツパー１４から供給された粉
体粒子群を含む固気混相流は、進行方向と直交す
る平面方向に亘つて均一な速度分布を有した状態
で、放電下にある分級域Ｓにプツシユ・プル方式
により整然と導かれる。

ところで放電下にある固気混相流中の粉体粒子
群を構成する種々の粒度の超微粒子の挙動につい
てみると、個々に独立して気流中に浮遊している
るのではなく、放電によつて積極的な荷重を受け
てクローン作用力や静電分極による双極子モーメ
ント作用力のような静電気的作用の影響で衝突
し、所謂静電凝集を惹き起す。この静電凝集は比
較的粒度の近い超微粒子間に起き、そのような超
微粒子が凝集してある粒度範囲に亘る一種の団塊
を形成する。

この際に、小径の（即ち低位の粒度範囲にあ
る）超微粒子程荷電傾向が少ないから荷電量が小
さく、これに働く静電引力が小さい。従つて分級
域Ｓ内を進行中の空気同伴イオン流に乗つて固気
混相流の進行方向から偏向移動する度合が少な
い。即ち直進傾向が大である。従つて小径の超微
粒子程分級域Ｓ中での滞留時間が長くなり、大き
な団塊を形成し易い。

これに対して、大径の（即ち高位の粒度範囲に
ある。超微粒子程荷電傾向が多いから荷電量が大
きく、これに働く静電引力が大きい。従つて分級
域Ｓ内を進行中に空気同伴イオン流に乗つて固気
混相流の進行方向から偏向移動する度合が大き
い。即ち直進傾向が小である。従つて分級域Ｓ中
に滞留時間が短いので小さな団塊のまま偏向移動
してしまう。

この発明は上記したような放電下にある分級域
Ｓ内における、超微粒子の粒度に応じた直進傾向
の差を利用したものである。

ここで説明の便宜上、ホツパー１４内の粉体粒
子群が粒度範囲が大きい方から順に〜のグル
ープに分けられるものと仮定する。するとグルー
プに属する超微粒子は、粉体粒子群中では最も
高位の粒度範囲に属するから、最も小さな団塊
（「団塊」と称する。以下同じ）を形成し易く、
またた分級域Ｓ内を進行中の直進傾向が最も小で
ある。グループに属する超微粒子は、粉体粒子
群中では最も低位の粒度範囲に属するから、最も
大きな団塊を形成し易く、また分級域Ｓ内を進
行中の直進傾向が最も大である。放電極板２１と
回収板２２ａ〜２２ｄとの間の分級域Ｓ内に導か
れた固気混相流はこのような挙動の異なる雑多な
超微粒子を含んでいる。

さて第２図において、最も下側の回収板２２ａ
がカバーする分級区域Saにおいては、最も直進
傾向の小さな（最も高位な粒度範囲の）直進傾向
の超微粒子からなる団塊が空気同伴イオン流
に乗り、図中矢印で示すように固気混相流の進行
方向から偏向して回収板２２ａの方に向つて移動
し、回収板２２ａに到達して吸引捕捉され、固気
混相流から分離される。団塊〜もある程度は
偏向されるが、その直進傾向の故に、まだこの段
階では回収板側に到達して吸引捕捉される迄には
至らない。

次に下から２番目の回収板２２ｂがカバーする
分級区域Sbにおいては、直進傾向の若干大きな
（２番目に高位な粒度範囲の）グループの超微
粒子からなる団塊が空気同伴イオン流に乗り、
固気混相流の進行方向から偏向して回収板２２ｂ
の方に向つて移動し、回収板２２ｂに到達して吸
引捕捉され、固気混相流から分離される。団塊
、も更にある程度は偏向されるが、その大き
な直進傾向の故に、まだこの段階では回収板側に
到達して吸引捕捉される迄には至らない。

次に下から３番目の回収板２２ｃがカバーする
分級区域Ｃにおいては、更に直進傾向の大きな
（３番目に高位な粒度範囲の）グループの超微
粒子からなる団塊が空気同伴イオン流に乗り、
固気混相流の進行方向から偏向して回収板２２ｃ
の方に向つて移動し、回収板２２ｃに到達して吸
引捕捉され、固気混相流から分離される。団塊
も当に偏向されるが、その大きな直進傾向の故
に、まだこの段階では回収板側に到達して吸引捕
捉される迄には至らない。

更に最も上側の回収板２２ｄがカバーする分級
区域Sdにおいては、最も直進傾向の大きな（最
も低位な粒度範囲の）グループの超微粒子から
なる団塊も空気同伴イオン流に乗り、固気混相
流から偏向して回収板２２ｄの方に向つて移動
し、遂に回収板２２ｄに到達して吸引捕捉され、
分離される。

以上の如くして固気混相流から分離されて回収
板２２ａ〜２２ｄに個別に吸引捕捉された粉体粒
子小群はそれぞれのフード端２４ａ〜２４ｄから
前記したように回収部に送られて回収される。回
収後の超微粒子はそのまま使用に供してもよい
し、更に細かな静電分級に掛けてもよい。かくし
て固気混相流からは少なくとも理論的には全ての
超微粒子が分級分離されたことになるから、残つ
て搬送気流だけ収容部３によつて収容されること
になる。しかし実際にはこの搬送気流中には超微
粒子が皆無とは言えないこともあるので、必要に
応じて収容部にてこれを適宜なフイルターに通し
たり、一旦収容した後で更に細かな静電分級に掛
けることもある。

以上説明した例においては、回収要素として多
孔板状の回収板を用いたが、回収要素の態様は必
ずしもこれに限定されるものではない。例えば第
３図Ａに示すように、分級域に臨んで棚状開口４
１を有した回収箱４を用いてもよく、あるいは第
３図Ｂに示すように分級域に臨んで網目状開口５
１を有した回収箱５を用いてもよい。このほかに
もノズル状あるいはリング状の開口を有したも
の、グリツド状による開口を有したものなど、通
気性開口構造を分級域に臨んで有した種々の回収
要素を用いることができる。更に前記のような回
収孔の場合には、回収孔の周縁にリング状電極な
どを付設すれば、静電引力と空気同伴イオン流の
働きを更に盛んなものとすることができる。

ところで上記の静電分級に際しては放電極板２
１上の各放電極板２１１と、回収要素上の各開口
（例えば回収孔、格子の目あるいはネツトの網目）
とが相互に対応するものであり、従つて回収要素
上の開口のピツチは放電極板２１上の放電極針の
ピツチに対応させるのが望ましい。

さて第１，２図に示す実施態様においては、１
個の放電極板２１を複数個の回収板２２ａ〜２２
ｄと組合せて静電放電による分級を行なつている
から、各分級区域における静電印加電圧は同一で
ある。従つて従来技術に比べれば遥かに高精度で
かつ高度な分級を行なうことはできるものの、精
度において更に一段と高いものが要求され、しか
も工程条件の微妙な変化に対する対応の柔軟性に
おいて、更に豊かなものが要求されることがあ
る。

第４図に示すのはそのような要求に応える実施
態様のひとつの例であつて、印加電圧を高電圧に
した場合に静電凝集が顕著となることを利用し
て、分級を更に細分化しようとするものである。
なお簡便のため図中には第１図の場合と同じ４段
階の分級を示したが、一般に第１図のような構造
を第４図のようにした場合には更に多段階の分級
を行なうことが可能である。

即ちこの実施態様の場合には４個の回収板２２
ａ〜２２ｄに対して４個の放電極板２１ａ〜２
1dを上下に並設し、それぞれ異なる直流電圧電
源に電気的に接続したものである。更に詳しく言
うと、固気混相流を分級域Ｓ内に上昇させるとき
には、上側の放電極板程高い電圧の直流高電圧電
源に接続する。従つてこの場合印加電圧は上側の
分級区域における程高くなる。また固気混相流を
分級域Ｓ内で下降させるときには、下側の放電極
板程高い電圧の直流高電圧電源に接続する。従つ
て印加電圧は下側の分級区域における程高くな
る。

この実施態様の場合には静電印加電圧を調節す
ることにより静電凝集を制御し更には超微粒子の
固気混相気流中における直進傾向を制御してい
る。従つて例えば第１図の実施態様において１段
階の分級が行なわれる１分級区域を２分割して、
上下並設した２個の回収板に対応して２個の放電
極板を上下並設し、それぞれ異なる直流高電圧電
源に接続すれば、分級が２段階に細分され高度と
なる。

第５図に示すのは前記したような要求に答える
実施態様の他の例であつて、分級域の横断面積
（固気混相流の進行方向と直交する平面面積）を
大にした場合に静電凝集が促進されることを利用
そて、分級を更に細分化しようとするものであ
る。なお簡便のため図中に第１図の場合と同じ４
段階の分級を示しが、一般に第１図のような構造
を第５図のようにした場合には更に他段階の分級
を行なうことが可能である。

即ちこの実施態様の場合には、固気混相流の進
行方向に沿つて分級域の横断面積を漸増させたも
のであるが、段階的に増加させてもよい。更に詳
しく言うと、固気混相流を分級域Ｓ内で上昇させ
せるときには、図示のように上側になる程分級域
Ｓの横断面積を大にする。従つて流量さえ一定で
あれば、下側の分級区域になる程固気混相流は低
速となり、滞留時間が長くなり、所望の偏向移動
効果が得られ易くなる。また固気混相流を分級域
Ｓ内で下降させるときには下側になる程分級域Ｓ
の横断面積を大にする。従つて流量され一定であ
れば、下側の分級区域になる程固気混相流は低速
となり、滞留時間が長くなり、静電凝集は促進さ
れる。

（実施例） 放電下への印加電圧は25〜100KVの範囲が好
ましく、分級域の幅は印加電圧との関係で定まる
が40〜400mm．の範囲が一般的である。放電極と
しては例えば直径1.6mm．×10mm．の針状電極を用
いる。固気混相流の流速は0.5〜3.0ｍ／sec位の範
囲が好ましい。回収要素全体のカバー領域の大き
さは固気混相流の流速や流量によつて定まるが、
一例を上げると幅375mm．×長さ1340mm．位であ
る。

（発明の効果） 以上から明らかなようにこの発明によれば、非
常に広い粒度範囲に亘る超微粒子を含んだ粒子か
らなる粉体粒子群を、予め、選定された異なる粒
度範囲に亘る超微粒子を含む複数の粉体粒子小群
に整然と分級することができるので、使用目的に
応じて高い均等粒度の精度を有した超微粒子材料
を供給することが可能となる。

また分級操作は実質的に密閉された分級室内で
行なわれるので、作業、公害環境を汚染すること
もなく、一般に貴重な高価な超微粒子材料をやた
らに散失させることもない。

更に搬送気流の特性、放電の強さ、放電の段
数、回収要素の段数、分級域の横断面積及びその
変化などの諸工程要因を適宜調節しかつ組合せる
ことにより、要求に応じて非常に高度でかつ多岐
に亘る分級を行なうことができる。特に分級域Ｓ
の流路にプツシユ・プルによる整流方式を採用し
た効用について詳述すれば、Ｓ流路での流れが、
偏流、乱流を生じた場合は前述来の粒径に応じて
の遂次偏向移動による分級制度は著しく阻害され
る。即ち各超微粒子がこの分級域Ｓの流路におい
て、いかに均等に分散して上昇するかが粒径に応
じての荷電、静電凝集が整然と得られるための最
重要なポイントといえる。また他の効用として、
在来電気集塵機などで最も困難視されていたプツ
シユまたはプルのみの単独含塵気流流れでは放電
極板と集塵極板との間の流路を管路とする必要が
あり、その平面極板の両側面を密閉化する場合、
相互極板間の絶縁性を完璧にする問題がある。こ
れに対し、この発明によれば、放電極板２１と回
収要素とは分級室内の自由空間内に対面立設され
ており、分級域Ｓの流路の両面側は開放された状
態で空気絶縁が行なわれている。即ちプツシユ・
プル気流の対応強度作用（側風なしのプツシユ・
プルエアカーテンに見られる）によつて分級室内
に充満、充溢などの懸念は皆無であり、所要流路
のみの形成が自制規制的になわれるものである。

更に放電には比較的高電圧を用いるが、電流そ
のものは非常に小さくてよいので、消費電力は小
さく、従つてランニングコストが低く、経済的で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の静電分級装置の要部の一例
を示す斜視図、第２図はその分級作用を説明する
側面図、第３図Ａ，Ｂは回収要素の例を示す斜視
図、第４，５図はこの発明の静電分級装置の要部
の他の例を示す側面図である。 １……供給部、３１……整流吐出機構、１４…
…ホツパー、２……分級部、２１，２１ａ〜２１
ｄ……放電板、２２ａ〜２２ｄ……回収板、３…
…収容部、３１……整流吸入機構。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 広い粒度範囲に亘る超微粒子を含む粉体粒子
   を搬送気流に混入して固気混相流を形成し、 プツシユ・プル整流方式により、この固気混相
   流の速度分布をその進行方向と直交する平面方向
   に亘つて均一となし、 上記の固気混相流をして、実質的に密閉された
   環境内に画定形成された上下方向に延在する分級
   域内を、進行せしめ、 この分級域の一側方から上記の固気混相流に対
   して静電高電圧による放電を行ない、かつ この放電下に上記の分級域の他側方において、
   高位の粒度範囲を有する予め選定された粉体粒子
   小群ごとに順次個別に、進行中の固気混相流から
   分離して捕捉回収する ことを特徴とする粉体粒子の静電分級方法。 ２ 前記の分級域において、固気混相流の進行方
   向について、下流側ほど高い静電高電圧により放
   電を行なう ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の方
   法。 ３ 実質的に密閉状の分級室内には、静電高電圧
   電源に接続された放電極板２１が上下方向に延在
   して設けられており、 縦長の分級域Ｓを間に置いてこの放電極板に対
   面して、分級域に臨む通気性開口構造を有した回
   収要素が、少なくとも２個上下に並設されて、そ
   れぞれ個別の粉体粒子小群回収部に連結されてお
   り、 分級域Ｓの長手方向一端に面して、広い粒度範
   囲に亘る超微粒子を含む粉体粒子群と搬送気流と
   の固気混相流をその進行方向と直交する平面方向
   に亘つて均一な速度分布で吐出する整流機構１１
   を具えた、供給部１が設けられており、かつ、 分級域Ｓの長手方向他端に面して、分級済の搬
   送気流その進行方向と直交する平面方向に亘つて
   均一な速度分布で吸入する整流機構３１を具え
   た、収容部３が設けられていることを特徴とする
   粉体粒子の静電分級装置。 ４ 前記の放電極板が上下方向に並設された少な
   くとも２個以上の放電極板２１ａ〜２１ｄに分割
   されており、かつ、 分級域内における固気混相流の進行方向につい
   て、下流側の放電極板ほど高い電圧の静電高電圧
   電源に接続されている ことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の装
   置。 ５ 前記の分級域の横断面積が、分級域内におけ
   る固気混相流の進行方向について、下流側ほど大
   となるように構成されている ことを特徴とする特許請求の範囲第３もしくは４
   項記載の装置。 ６ 前記の回収要素が、通気性開口構造として回
   収孔を有した回収板２２ａ〜２２ｄである ことを特徴とする特許請求の範囲第３〜５のいず
   れかの項記載の装置。 ７ 前記の回収要素が、通気性開口構造として棚
   状開口を有した回収箱４である ことを特徴とする特許請求の範囲第３〜５のいず
   れかの項記載の装置。 ８ 前記の回収要素が、通気性開口構造として網
   目状開口を有した回収箱５である ことを特徴とする特許請求の範囲第３〜５のいず
   れかの項記載の装置。 ９ 前記の回収要素が通気性開口構造としてグリ
   ツドを有している ことを特徴とする特許請求の範囲第３〜５のいず
   れかの項記載の装置。