JPH01316149A

JPH01316149A - ワーク搬送装置

Info

Publication number: JPH01316149A
Application number: JP14380088A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Suzuki; 弘鈴木; Junichi Mori; 順一森
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1988-06-13
Filing date: 1988-06-13
Publication date: 1989-12-21

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、例えばウェハ等の板状のワークをローダ部側
から受けてワークの処理部へ搬送すると共に処理後のワ
ークをアンローダ部側へ渡すワーク搬送装置に関し、特
にワークの搬送中に塵埃等の異物を発生しないようにし
たワーク搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種のワーク搬送装置としては、例えばベルト
搬送方式と、エアベアリング搬送方式とがあった。まず
、ベルト搬送方式は、適宜の距離をおいて設けられた二
対のプーリの間にゴム製などのベルトを二本平行に掛は
回し、上記プーリを適宜の駆動装置で回転することによ
りベルトを回転させ、ウェハ等のワークが積１ａされた
ローダカセットからワークを一枚ずつ取り出し、上記二
本のベルトの上面に載せてワークの処理部へ搬送すると
共に、処理後のワークをアンローダカセットへ送って積
層するようになっていた。

次に、エアベアリング搬送方式は、適宜の長さの搬送板
の板厚内に多数のエア吹き出し孔をワーりの搬送方向に
従って適宜の角度で斜めに穿設し、上記搬送板の一側端
面からエア供給源でエアを供給することにより上記エア
吹き出し孔から斜め上方にエアを吹き出し、ローダカセ
ットからワークを一枚ずつ取り出して、上記エア吹き出
し孔からのエア吹き出しによりワークを浮上させると共
に水平方向に推進し、ワークの処理部へ搬送すると共に
、処理後のワークをアンローダカセットへ送って積層す
るようになっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来のベルト搬送方式の装置においては、搬送
中のワークと回転するベルトとのスリップにより塵埃が
発生するものであった。また、ある期間以上の使用によ
りベルトのゴムが劣化し、そのベルト自体から塵埃が発
生することがあった。

従って、上記発生した塵埃が搬送中のワークの上面に付
着するものであった。また、エアベアリング搬送方式の
装置においては、エア供給源からの供給エアはフィルタ
で清浄化しているが、それでも完全に塵埃を除去するこ
とはできず、ある程度の塵埃が混入して送られてくる。

さらに、ワークに対してエア吹き出し孔から斜め上方に
エアを吹き出しているので、・その吹き出しエアにより
搬送板の周囲の塵埃をまき上げてしまうものであった。

従って、上記供給エア中の塵埃及び周囲のまき上げられ
た塵埃が搬送中のワークの上面に付着するものであった
。

これらのことから、従来においては、上記ワーク上面に
付着した塵埃等により、製品としてのウェハ等の品質が
低下すると共に１歩留りも低下するものであった。

そこで、本発明は、このような問題点を解決することが
できるワーク搬送装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は、搬送経路に沿って伸びる搬送レールと、
この搬送レールに跨乗されその長手方向に往復移動する
と共に上端部にはワークを真空吸着して上昇及び下降す
る吸着ヘッドを有するワーク保持装置と、このワーク保
持装置を上記搬送し一ルに沿って往復移動させる水平送
り機構とを備えて成り、ローダ部側からワークを受けて
ワークの処理部へ搬送すると共に処理後のワークをアン
ローダ部側へ渡すようにしたワーク搬送装置によって達
成される。

また、上記搬送レールを直交二軸方向に設けると共に、
これらの搬送レールに対応して水平送り機構を直交二軸
方向に設けてもよい。

〔作　用〕

このように構成されたワーク搬送装置は、ワーク保持装
置の上端部に設けられた吸着ヘッドによりワークを真空
吸着してローダ部側からワークを受け、水平送り機構で
上記ワーク保持装置を搬送レールに沿って往復移動させ
て上記ワークを処理部へ搬送した後、上記ワークを処理
部へ受は渡し、処理後のワークを上記吸着ヘッドにより
アンローダ部側へ渡すものである。

〔実施例〕

以下１本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明によるワーク搬送装置の実施例を示す正
面図であり、第２図はその平面図であり、第３図は第１
図の右側面図である。図において、ペース１の上面には
、−本の搬送レール２が敷設されている。この搬送レー
ル２は、後述のワーク保持装置５の往復移動を案内する
もので、例えば直線の搬送経路に沿ってローダカセット
３の下方側からアンローダカセット４の下方側まで伸び
ている。

上記搬送レール２には、第１図及び第３図に示すように
、ワーク保持装置５が跨乗されている。

このワーク保持装置５は、例えばウェハ等の板状のワー
ク６をローダカセット３から受けてワーク６の処理部７
へ搬送すると共に処理後のワーク６をアンローダカセッ
ト４へ渡すもので、上記搬送レール２に跨乗してその長
手方向に往復移動するキャリッジ８と、このキャリッジ
８の上面に例えばＬ字形のアーム９で取り付けられた作
動シリンダ１０と、この作動シリンダ１０から伸びて伸
縮するロッド１１の上端部材１２に取り付けられた吸着
ヘッド１３とからなる。この吸着ヘッド１３は、上記ワ
ーク６を搬送する際に該ワーク６を真空吸着して保持す
るもので、第３図に示すように、その上面には真空吸引
用の凹所１４が形成されており、この凹所１４には吸着
ヘッド１３の部材内に穿設された吸引孔１５が連通ずる
と共に、この吸引孔１５には図示外の真空源で真空吸引
するための吸引パイプ１６が接続されている。そして、
上記作動シリンダ１ｏの動作によってロッド１１が伸縮
することにより、該吸着ヘッド１３が第１図に示す矢印
Ａ、Ｂのように上昇及び下降するようになっている。な
お、第３図に示すように、上記吸着ヘッド１３の下部に
は、ワーク検出センサ２４が埋め込まれている。このワ
ーク検出センサ２４は、上記吸着ヘッド１３にワーク６
が吸着保持されているかどうかを常に検出するもので、
例えば静電容量センサあるいは反射型の光検出センサ等
からなる。

上記ベース１の上面にて搬送レール２の近傍には、水平
送り機構１７が設けられている。この水平送り機構１７
は、上記ワーク保持装置５を搬送レール２に沿って往復
移動させるもので、駐動源としての水平送りモータ１８
と、この水平送すモータ１８の回転軸に取り付けられた
第一のプーリ１９ａ及びベース１の反対側に例えばＬ字
形の取付部材２０で回転自在に設けられた第二のプーリ
１９ｂと、これら第−及び第二のプーリ１９ａ。

１９ｂ間に掛は回されたベルト２１とからなる。

なお、第３図に示すように、上記水平送りモータ１８は
、ベース１の上面の一側端に設けられた例えばＬ字形の
取付部材２２で固定されており、ベルト２１の一箇所は
連結部材２３によりワーク保持装置５のキャリッジ８の
一部に連結されている。

従って、上記水平送りモータ１８を開動してベルト２１
を回転させることにより、このベルト２１の動きに従っ
てワーク保持装置５が上記搬送レール２の長手方向に沿
って第１図に示す矢印Ｃ，Ｄのように往復移動すること
となる。

そして、第１図に示すように、搬送レール２の一端部の
上方側には、内部にワーク６を積層したローダカセット
３が設けられると共に、上記搬送レール２の他端部の上
方側には、搬送経路の途中に設けられた処理部７で処理
後のワーク６を内部に順次積層するアンローダカセット
４が設けられている。

次に、このように構成されたワーク搬送装置の動作につ
いて説明する。まず、第１図において、水平送り機構１
７を動作させてワーク保持装置５をローダカセット３の
下方近傍に位置させる０次に、上記ワーク保持装置５の
作動シリンダ１０を動作させて吸着ヘッド１３を矢印Ａ
のように上昇させ、ローダカセット３内に積層された一
番下のワーク６の下面に当接させる。この状態で、第３
図に示す吸引パイプ１６を介して図示外の真空源で真空
吸引し、上記ワーク６を吸着ヘッド１３の上面に吸着す
る。このとき、第３図に示すワーク検出センサ２４によ
り、ワーク６の吸着保持が検出される。次に、水平送り
機構１７を動作させて、上記ワーク保持装置５を搬送レ
ール２の長手方向に沿って水平方向に矢印りのように移
動させる。

これにより、上記吸着ヘッド１３に吸着されたワーク６
は、ローダカセット３内から取り出される。

その後、引き続き水平送り機構１７を動作して矢印り方
向に移動させ、吸着ヘッド１３に吸着保持されたワーク
６が搬送経路の途中に設けられた処理部７の下方に位置
したところで、上記ワーク保持装置５を停止させる。こ
れにより、上記ワーク６は、ローダカセット３から処理
部７の位置まで搬送される。

次に、図示外の真空源による真空吸引を停止してワーク
６に対する真空吸着を解除すると共に、従来公知の手段
により吸着ヘッド１３の上面にあるワーク６を処理部７
内へ入れて所定位置にセットする。その後、上記処理部
７においては、ワーク６に対して塗布、スピン、ベーク
等の所定の処理が行われる。そして、上記処理部７にお
けるワーク６に対する処理が終了すると、再び従来公知
の手段により処理後のワーク６を受は取って吸着ヘッド
１３の上面に載せ、第３図に示す吸引パイプ１６を介し
て真空源で真空吸引し、上記ワーク６を吸着ヘッド１３
の上面に吸着する。このときも、第３図に示すワーク検
出センサ２４により、ワーク６の吸着保持が検出される
。

次に、再び水平送り機構１７を動作させて、上記ワーク
保持装置５を搬送レール２に沿って水平方向に矢印りの
ように移動させ、該ワーク保持装置５をアンローダカセ
ット４の近傍に位置させる。

そして、図示外の真空源による真空吸引を停止してワー
ク６に対する真空吸着を解除した後、そのまま処理後の
ワーク６をアンローダカセット４へ渡し、その内部に上
の方から順次積層して収納する。その後、作動シリンダ
１０の動作により吸着ヘッド１３は矢印Ｂのように下降
し、さらに水平送り機構１７の動作により上記ワーク保
持装置５は搬送レール２の長手方向に沿って水平方向に
矢印Ｃのように移動して、最初の位置に戻される。

これにまり、ワーク６の搬送の１サイクル動作が終了す
る。

第４図は本発明の他の実施例を示す平面図である。この
実施例は、ベース１の下面側に前述の例えばＸ軸方向の
搬送レール２と直交するＹ軸方向の搬送レール２５を二
本設けると共に、このＹ軸方向の搬送レール２５．２５
に対応する第二の水平送り機構２６を、前述のＸ軸方向
の搬送レール２に対応する第一の水平送り機構１７とは
別に設けたものである。なお、図示省略したが、上記ベ
ース１の下面のＹ軸方向の搬送レール２５．２５に対応
する箇所には、Ｙ軸方向のキャリッジがそれぞれ設けら
れており、各キャリッジが左右の搬送レール２５．２５
に跨乗している。また、第二の水平送り機構２６は、駆
動源としてのＹ方向法リモータ２７と、このＹ方向法リ
モータ２７の回転軸に取り付けられた第三のプーリ１９
ｃ及びベース１の他側辺の外側に設けられた第四のプー
リ１９ｄと、これら第三及び第四のプーリ１９ｃ。

１９ｄ間に掛は回されたベルト２８とからなる６なお、
上記ベルト２８の一箇所は連結部材２９によりベース１
の一側辺部に連結されている。従って、上記第二の水平
送り機構２６の動作により、ベース１がＹ軸方向の搬送
レール２５．２５に沿ってＹ方向に往復移動すると共に
、前記第一の水平送り機構１７の動作により、上記ベー
ス１上でワーク保持装置５がＸ軸方向の搬送レール２に
沿ってＸ方向に往復移動することとなる。この実施例の
場合は、ワーク保持装置５がｘ、Ｙの直交二軸方向に往
復移動可能となるので、ワーク６をあらゆる方向に搬送
することができる。

なお、第１図においては、処理部７は一個だけ設けたも
のとして示したが、本発明はこれに限らず、ワーク６に
施す処理工程数に応じていくつ設けてもよい。

〔発明の効果〕

本発明は以上のように構成されたので、従来のようにベ
ルトを使用したり、エアの吹き出しを行ったりすること
なく、ワーク保持装置５の吸着ヘッド１３により直接ワ
ーク６を吸着保持して搬送することができる。従って、
従来に比し、ワーク搬送中の塵埃の発生を減少させるこ
とができる。

また、搬送レール２や水平送り機構１７がワーク保持装
置５の上端部に設けられたワーク６の吸着ヘッド１３よ
りも低い位置に設けられているので。

上記搬送レール２や水平送り機構１７で塵埃が発生して
も、その塵埃をワーク６の搬送面までまき上げることは
ない。従って、搬送中のワーク６の上面に塵埃が付着す
るのを防止することができる。

これらのことから、製品としてのウェハ等の品質を向上
できると共に、歩留りも向上することができる。また、
搬送レール２，２５を直交二軸方向に設けると共に、こ
れらの搬送レール２，２５に対応して水平送り機構１７
，２６を直交二軸方向に設けたものにおいては、ワーク
６をあらゆる方向に搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるワーク搬送装置の実施例を示す正
面図、第２図はその平面図、第３図は第１図の右側面図
、第４図は本発明の他の実施例を示す平面図である。１・・・ベース、　　２・・・搬送レール（Ｘ軸方向の
搬送レール）、　　３・・・ローダカセット（ローダ部
）、４・・・アンローダカセット（アンローダ部）、　
　５・・・ワーク保持装置、　６・・・ワーク、　　７
・・・処理部、８・・・キャリッジ、　　１０・・・作
動シリンダ、　　１３・・・吸着ヘッド、　　１６・・
・吸引パイプ、　　１７・・・水平送り機構（第一の水
平送り機構）、　２４・・・ワーク検出センサ、　２５
・・・Ｙ軸方向の搬送レール。２６・・・第二の水平送り機構。出願人　日立電子エンジニアリング株式会社第１図第２図ロ　　　　　− ■の

Claims

【特許請求の範囲】

（１）搬送経路に沿って伸びる搬送レールと、この搬送
レールに跨乗されその長手方向に往復移動すると共に上
端部にはワークを真空吸着して上昇及び下降する吸着ヘ
ッドを有するワーク保持装置と、このワーク保持装置を
上記搬送レールに沿って往復移動させる水平送り機構と
を備えて成り、ローダ部側からワークを受けてワークの
処理部へ搬送すると共に処理後のワークをアンローダ部
側へ渡すようにしたことを特徴とするワーク搬送装置。
（２）搬送レールを直交二軸方向に設けると共に、これ
らの搬送レールに対応して水平送り機構を直交二軸方向
に設けた請求項１記載のワーク搬送装置。