JPH01316164A - 切削製品の製法およびワイヤソーマシン - Google Patents
切削製品の製法およびワイヤソーマシンInfo
- Publication number
- JPH01316164A JPH01316164A JP14541088A JP14541088A JPH01316164A JP H01316164 A JPH01316164 A JP H01316164A JP 14541088 A JP14541088 A JP 14541088A JP 14541088 A JP14541088 A JP 14541088A JP H01316164 A JPH01316164 A JP H01316164A
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- JP
- Japan
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- cutting
- workpiece
- cleaning
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- Pending
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばシリコン鋳塊からウェハ等を切り出
したり、脆性材料に溝付を行ったりする切削製品の製法
およびその製法に使用されるワイヤソーマシンに関する
。
したり、脆性材料に溝付を行ったりする切削製品の製法
およびその製法に使用されるワイヤソーマシンに関する
。
従来、ワイヤソーマシンによる被加工物の切削加工にお
いては、加工が終了した後ワイヤが被加工物に切り込ん
だ状態において、被加工物の切り口に付着した砥粒等の
ゴミを洗い流すため、被加工物に対して洗油をシャワー
状に吹きかけ、その後ワイヤを引き抜くようにして取り
外し製品を得ていた。
いては、加工が終了した後ワイヤが被加工物に切り込ん
だ状態において、被加工物の切り口に付着した砥粒等の
ゴミを洗い流すため、被加工物に対して洗油をシャワー
状に吹きかけ、その後ワイヤを引き抜くようにして取り
外し製品を得ていた。
あるいは、切削加工終了後に切削ヘッドのワイヤを全て
切断することで被加工物からワイヤを取り外していた。
切断することで被加工物からワイヤを取り外していた。
〔発明が解決しようとする課題］
しかしながら、被加工物に供給された砥粒は切り口に強
く固着し、また切り口の幅が狭い（通常１５０〜３００
μｍ）ことと俟まって洗油をシャワー状に噴布した程度
では、完全に洗い流すことができなかった。
く固着し、また切り口の幅が狭い（通常１５０〜３００
μｍ）ことと俟まって洗油をシャワー状に噴布した程度
では、完全に洗い流すことができなかった。
切り口に砥粒が付着したまま被加工物からワイヤを引抜
けば、切り口の切削面に疵が付き不良品を生じてしまう
。これは、ワイヤ引抜き時に行われるワイヤの通線が切
り口の残留砥粒を巻き込んで二次的な切削を行ってしま
うために発生する。
けば、切り口の切削面に疵が付き不良品を生じてしまう
。これは、ワイヤ引抜き時に行われるワイヤの通線が切
り口の残留砥粒を巻き込んで二次的な切削を行ってしま
うために発生する。
また、切り口に固着した砥粒は洗浄時間を長くしても充
分にとれず、ジェット噴射による洗浄でも切り口の狭さ
が災いして充分に洗い落とされることはなかった。
分にとれず、ジェット噴射による洗浄でも切り口の狭さ
が災いして充分に洗い落とされることはなかった。
切削ヘッドのワイヤを全て切断して製品を得る場合には
、切削加工を行う毎に切削ヘッドのローラにワイヤを巻
回して七ットシ直さなければならず、多大な時間と労力
を要してしまう。さらに、切削加工後の切削面の洗浄が
充分でないため、取り出された後の製品の洗浄に手間取
るという問題もあった。
、切削加工を行う毎に切削ヘッドのローラにワイヤを巻
回して七ットシ直さなければならず、多大な時間と労力
を要してしまう。さらに、切削加工後の切削面の洗浄が
充分でないため、取り出された後の製品の洗浄に手間取
るという問題もあった。
本発明は、ワイヤ引抜き時に発生する被加工物切削面の
庇付きを抑えて面精度を向上させ、かつ作業時間の短縮
を実現することができると共に、切削加工後の一次洗浄
の効果を高めることで以後の洗浄を簡略化することがで
きる切削製品の製法およびワイヤソーマシンを提供する
ことを目的とする。
庇付きを抑えて面精度を向上させ、かつ作業時間の短縮
を実現することができると共に、切削加工後の一次洗浄
の効果を高めることで以後の洗浄を簡略化することがで
きる切削製品の製法およびワイヤソーマシンを提供する
ことを目的とする。
〔課題を解決するための手段］
本発明は、被加工物に対して３０℃以上の洗油による油
洗浄を行った後ワイヤを引き抜くようにして取り外す、
切削製品の製法を第１の要旨とする。また、第１図に示
す如く、洗油供給システムが、洗油を所定温度に保持す
る温度調節機構を備えるワイヤソーマシンを第２の要旨
とする。
洗浄を行った後ワイヤを引き抜くようにして取り外す、
切削製品の製法を第１の要旨とする。また、第１図に示
す如く、洗油供給システムが、洗油を所定温度に保持す
る温度調節機構を備えるワイヤソーマシンを第２の要旨
とする。
本発明の方法において洗油の温度を３０℃以上と定める
根拠は、第２図に示す如く、洗油温度を種々変化させて
スライス加工後の製品の表面観察を行った結果によるも
ので、３０℃以上になれば砥粒中のラッピングオイルの
粘度が低下するために残留砥粒が流れ易くなるためと考
えられる。
根拠は、第２図に示す如く、洗油温度を種々変化させて
スライス加工後の製品の表面観察を行った結果によるも
ので、３０℃以上になれば砥粒中のラッピングオイルの
粘度が低下するために残留砥粒が流れ易くなるためと考
えられる。
なお、第２図に示すスライス製品の表面観察は次のとお
りである。
りである。
被加工物には断面１００閣角のシリコンインゴットを使
用し、ワイヤには直径０．１８ｍ＋ｓのピアノ線を砥液
にはＳｉＣ”１０００の砥粒とラッピングオイルの混合
物をそれぞれ使用し、３００枚の同時スライスを行うも
のとした。
用し、ワイヤには直径０．１８ｍ＋ｓのピアノ線を砥液
にはＳｉＣ”１０００の砥粒とラッピングオイルの混合
物をそれぞれ使用し、３００枚の同時スライスを行うも
のとした。
以上の条件でスライス加工法を行った後、ラッピングオ
イルを洗油として使用することとし、その温度を所定の
温度に調節しつつ４０分間シャワー洗浄を行った。その
後、シャワー洗浄を行いつつワイヤを被加工物からｌＱ
ｍｍ／ｍｉｎで引抜き、スライスされた被加工物の表面
観察を行った０表面観察は、ワイヤ引抜き時の被加工物
の庇付きおよび砥粒の残留伏態を目視で判定したもので
ある・第２図に示すグラフが判定結果であり、データは
同一条件下における５回の実験結果である。
イルを洗油として使用することとし、その温度を所定の
温度に調節しつつ４０分間シャワー洗浄を行った。その
後、シャワー洗浄を行いつつワイヤを被加工物からｌＱ
ｍｍ／ｍｉｎで引抜き、スライスされた被加工物の表面
観察を行った０表面観察は、ワイヤ引抜き時の被加工物
の庇付きおよび砥粒の残留伏態を目視で判定したもので
ある・第２図に示すグラフが判定結果であり、データは
同一条件下における５回の実験結果である。
本発明の切削製品の製法およびワイヤソーマシンは、切
削加工後の被加工物に対して３０℃以上の洗油による油
洗浄を行った後ワイヤを引き抜くようにして取り出し得
るため、切削加工後の一次洗浄の効果を高めることがで
きる。したがって、ワイヤ引抜き時に発生する被加工物
切削面の庇付を抑えて面精度を向上させ、かつ洗浄に費
やす時間を短縮させ得るので作業全体の時間短縮を実現
することができる。また、−次以降の洗浄を簡略化し手
間と労力を省くことができる。
削加工後の被加工物に対して３０℃以上の洗油による油
洗浄を行った後ワイヤを引き抜くようにして取り出し得
るため、切削加工後の一次洗浄の効果を高めることがで
きる。したがって、ワイヤ引抜き時に発生する被加工物
切削面の庇付を抑えて面精度を向上させ、かつ洗浄に費
やす時間を短縮させ得るので作業全体の時間短縮を実現
することができる。また、−次以降の洗浄を簡略化し手
間と労力を省くことができる。
第１図は本発明のワイヤソーマシンの一実施例を示す６
図にみるように、加工室１０内に切削へラド３０が、三
角形の各頂点に位置する３本のローラ４’、４．４間に
切削用ワイヤ３を掛渡すようにして多数同巻回させるこ
とにより、加工ワイヤ列を形成している。この切削へラ
ド３０の下方には被加工物１を載置固定させる昇降可能
な加工テーブル８が設置されている。図中８０は、その
昇降手段の一部を示す。被加工物１の上方には、被加工
物ｌに対して砥粒を供給する砥粒ノズル（図示せず）お
よび洗油５を供給する洗油供給システムの洗油ノズル５
０，５０．５０が設けられている。また、図示はしない
が、切削へラド３０はその一本のローラ４′を往復動付
与手段と連結させ加工ワイヤ列を被加工物ｌに対してワ
イヤ沿い方向に摺動させる働きを有する。さらに、加工
室１０には、下方に洗油回収口１１が設けられている。
図にみるように、加工室１０内に切削へラド３０が、三
角形の各頂点に位置する３本のローラ４’、４．４間に
切削用ワイヤ３を掛渡すようにして多数同巻回させるこ
とにより、加工ワイヤ列を形成している。この切削へラ
ド３０の下方には被加工物１を載置固定させる昇降可能
な加工テーブル８が設置されている。図中８０は、その
昇降手段の一部を示す。被加工物１の上方には、被加工
物ｌに対して砥粒を供給する砥粒ノズル（図示せず）お
よび洗油５を供給する洗油供給システムの洗油ノズル５
０，５０．５０が設けられている。また、図示はしない
が、切削へラド３０はその一本のローラ４′を往復動付
与手段と連結させ加工ワイヤ列を被加工物ｌに対してワ
イヤ沿い方向に摺動させる働きを有する。さらに、加工
室１０には、下方に洗油回収口１１が設けられている。
洗油供給システムは、加工室１０に設置された前記洗油
ノズル５０，５０．５０の他、加工室ｌＯ外に設けられ
たタンク２０、タンク２０と洗油ノズル５０または加工
室側洗油回収口１１とを結ぶ往路管２１および復路管２
２を備えている。さらに、洗油タンク２０内部に、洗油
５の加熱手段たる電熱ヒータ２３および温度センサ２５
からなる温度調節機構を備えている。
ノズル５０，５０．５０の他、加工室ｌＯ外に設けられ
たタンク２０、タンク２０と洗油ノズル５０または加工
室側洗油回収口１１とを結ぶ往路管２１および復路管２
２を備えている。さらに、洗油タンク２０内部に、洗油
５の加熱手段たる電熱ヒータ２３および温度センサ２５
からなる温度調節機構を備えている。
この温度調節ｉ横は、洗油５の温度を３０℃以上に保持
するように設定されており、その温度調節は、タンク２
０内の洗油５に漬かった温度センサ２５で洗油温度を感
知し、ヒータ２３の開閉を行う電磁弁（図示せず）に対
して開閉信号を送るようにしてなされる。即ち、洗油温
度が一定温度（例えば４５℃）より低い場合はヒータ２
３の電磁弁を開け、ヒータ２３に電流を通し洗油５を加
熱する。逆に洗油温度が一定温度より高い場合はヒータ
２３の電磁弁を閉じ、洗油５を冷却するのである。本実
施例ワイヤソーマシンを用い、切削加工後一定温度４５
゛Ｃの洗油５による油洗浄を行った後、同温度で引き続
きシャワー洗浄を行いつつ、加工テーブル８を下げ、ワ
イヤ３をＪＩＡｖＡＬながら被加工物から引き抜くよう
にして取り出したところ、疵付きのない良質の切削製品
が得られた。
するように設定されており、その温度調節は、タンク２
０内の洗油５に漬かった温度センサ２５で洗油温度を感
知し、ヒータ２３の開閉を行う電磁弁（図示せず）に対
して開閉信号を送るようにしてなされる。即ち、洗油温
度が一定温度（例えば４５℃）より低い場合はヒータ２
３の電磁弁を開け、ヒータ２３に電流を通し洗油５を加
熱する。逆に洗油温度が一定温度より高い場合はヒータ
２３の電磁弁を閉じ、洗油５を冷却するのである。本実
施例ワイヤソーマシンを用い、切削加工後一定温度４５
゛Ｃの洗油５による油洗浄を行った後、同温度で引き続
きシャワー洗浄を行いつつ、加工テーブル８を下げ、ワ
イヤ３をＪＩＡｖＡＬながら被加工物から引き抜くよう
にして取り出したところ、疵付きのない良質の切削製品
が得られた。
次に、洗油５が加工室１０内に供給され、また加工室ｌ
Ｏからタンク２０内に戻る仕組みについて説明する。第
１図にみるように、タンク２０にはポンプ２９が設けら
れ、往路管２１を通して洗油ノズル５０，５０．５０に
送り込まれる。一方、加工室ｌＯ内の回収口ｌｌから回
収された洗油５′は復路管２２を通ってタンク２０にあ
る回収口２６を通じタンク２０内に戻る。なお、タンク
２０には、洗油温度の均一化を目的として洗油５を撹拌
する撹拌羽根２７が設けられており、この撹拌羽１２’
？をモータ２８が駆動している。
Ｏからタンク２０内に戻る仕組みについて説明する。第
１図にみるように、タンク２０にはポンプ２９が設けら
れ、往路管２１を通して洗油ノズル５０，５０．５０に
送り込まれる。一方、加工室ｌＯ内の回収口ｌｌから回
収された洗油５′は復路管２２を通ってタンク２０にあ
る回収口２６を通じタンク２０内に戻る。なお、タンク
２０には、洗油温度の均一化を目的として洗油５を撹拌
する撹拌羽根２７が設けられており、この撹拌羽１２’
？をモータ２８が駆動している。
本発明において設定される洗油温度は上記実施例に限ら
れるものではな（，３０℃以上であれば良い。
れるものではな（，３０℃以上であれば良い。
本発明に使用される被加工物は、シリコンに限定される
ものではなく、ワイヤソーで切削可能な全ての材料であ
る。
ものではなく、ワイヤソーで切削可能な全ての材料であ
る。
本発明に使用される洗油はラッピングオイルに限定され
ない、灯油など他の油でも実施例と同様の効果が得られ
る。
ない、灯油など他の油でも実施例と同様の効果が得られ
る。
本発明のワイヤソーマシンにおいて使用される洗油加熱
手段は、実施例の如き電熱ヒータに限定されない。例え
ば、温水、温油、上記などの流体でも可能である。
手段は、実施例の如き電熱ヒータに限定されない。例え
ば、温水、温油、上記などの流体でも可能である。
〔発明の効果］
本発明の切削製品の製法およびワイヤソーマシンによれ
ば、切削加工後の被加工物に対して３０℃以上の洗油に
よる油洗浄を行った後ワイヤを引き抜くようにして取り
出し得るため、切削加工後の一次洗浄効果の高さにより
、ワイヤ引抜き時に発生する被加工物切削面の疵付きを
抑えて面積度を向上させることができる。かつ、洗浄に
費やす時間を短縮させ得るので作業全体の時間短縮を実
現できる。また、−次以降の洗浄を簡略化し手間と労力
を省くことができる。
ば、切削加工後の被加工物に対して３０℃以上の洗油に
よる油洗浄を行った後ワイヤを引き抜くようにして取り
出し得るため、切削加工後の一次洗浄効果の高さにより
、ワイヤ引抜き時に発生する被加工物切削面の疵付きを
抑えて面積度を向上させることができる。かつ、洗浄に
費やす時間を短縮させ得るので作業全体の時間短縮を実
現できる。また、−次以降の洗浄を簡略化し手間と労力
を省くことができる。
第１図は本発明のワイヤソーマシンの一実施例を示すモ
デル図、第２図は本発明の詳細な説明するためのグラフ
である。 図中、ｌ：被加工物、３：ワイヤ、４：ローラ、５、
５’ ：洗油、８：加工テーブル、２３：電熱ヒータ
、２５：温度センサ、３０：切削ヘッド、５０：洗油ノ
ズル。
デル図、第２図は本発明の詳細な説明するためのグラフ
である。 図中、ｌ：被加工物、３：ワイヤ、４：ローラ、５、
５’ ：洗油、８：加工テーブル、２３：電熱ヒータ
、２５：温度センサ、３０：切削ヘッド、５０：洗油ノ
ズル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被加工物に対して複数のローラ間に切削用ワイヤを
多数同巻回させてなる加工ワイヤ列をワイヤに沿う方向
に摺動させ、被加工物とワイヤの摺動部に砥液を供給し
て切削を行い、油洗浄を行った後被加工物からワイヤを
取り外して製品を得る切削製品の製法において、被加工
物に対して３０℃以上の洗油による油洗浄を行った後ワ
イヤを被加工物から取り外すことを特徴とする切削製品
の製法。 ２、複数のローラ間に切削用ワイヤを多数回巻回させて
加工ワイヤ列を形成した切削ヘッド、切削ヘッド下方に
設置され被加工物を載置固定させる昇降可能な加工テー
ブル、被加工物とワイヤの摺接部に砥液を供給する砥液
供給システム、被加工物に対して切削加工後に洗油を供
給する洗油供給システム、前記切削ヘッドの加工ワイヤ
列にワイヤ平行方向の摺動を行わしめる往復動付与手段
を備えるワイヤソーマシンにおいて、前記洗油供給シス
テムに洗油を所定温度に保持する温度調節機構を具備さ
せたことを特徴とするワイヤソーマシン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14541088A JPH01316164A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 切削製品の製法およびワイヤソーマシン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14541088A JPH01316164A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 切削製品の製法およびワイヤソーマシン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316164A true JPH01316164A (ja) | 1989-12-21 |
Family
ID=15384614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14541088A Pending JPH01316164A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 切削製品の製法およびワイヤソーマシン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01316164A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06114828A (ja) * | 1992-10-02 | 1994-04-26 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ワイヤソーによる切断方法 |
| JP2009142986A (ja) * | 2003-10-27 | 2009-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | マルチワイヤソー |
| JP2009142912A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワイヤソーによるワークの切断方法およびワイヤソー |
| JP2010194706A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-09-09 | Kyocera Corp | 基板の製造方法 |
| CN107042463A (zh) * | 2017-05-05 | 2017-08-15 | 中航沈飞民用飞机有限责任公司 | 一种管材绳锯超声切割设备 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP14541088A patent/JPH01316164A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06114828A (ja) * | 1992-10-02 | 1994-04-26 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ワイヤソーによる切断方法 |
| JP2009142986A (ja) * | 2003-10-27 | 2009-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | マルチワイヤソー |
| JP2009142912A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワイヤソーによるワークの切断方法およびワイヤソー |
| JP2010194706A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-09-09 | Kyocera Corp | 基板の製造方法 |
| CN107042463A (zh) * | 2017-05-05 | 2017-08-15 | 中航沈飞民用飞机有限责任公司 | 一种管材绳锯超声切割设备 |
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