JPH01320445A - 微小孔検出装置 - Google Patents

微小孔検出装置

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JPH01320445A
JPH01320445A JP15551488A JP15551488A JPH01320445A JP H01320445 A JPH01320445 A JP H01320445A JP 15551488 A JP15551488 A JP 15551488A JP 15551488 A JP15551488 A JP 15551488A JP H01320445 A JPH01320445 A JP H01320445A
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JP
Japan
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micropore
air bubble
difference
cover
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Application number
JP15551488A
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English (en)
Inventor
Tsutomu Kunida
国田 勉
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、微小孔検出装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の気密性のある管や箱に生じた微小孔を検
出する技術としては、管の内部に特定の気体を一定圧を
かけて充てんし、微小孔からの外部への漏れを検知する
ものや、管の内部の圧力を高くしておき、石ケン水を塗
布し、発生する気泡を検出する手段などがある。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の検出技術中、特定の気体を検出する技術
は、装置が複雑になることや、微小孔の位置が特定でき
ないという欠点がある。
石ケン水を塗布する技術は、簡便でありガス管の漏れ検
出等に用いられているが、発生する気泡の自動検出が困
難であり、従来気泡の認識は人間の目視によっているた
め、自動化できないという欠点がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の微小孔検出装置は、検査面に対して均一に石ケ
ン水を塗布するための石ケン水吐出機構と、石ケン水の
塗布された検査面の画像データを入力する画像入力装置
と、入力した画像データを処理し、検査面に発生した気
泡を検出するデータ処理装置とを有している6 〔実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例の模式図である。
検査面1に対して、カバー2をおしつけ、石ケン水塗布
機構3により、石ケン水を塗布する。塗布直後の画像を
気泡発生のない基準画像として、カメラ4から入力し、
画像入力装置5により多値デジタルデータとした後、デ
ータ処理装置6で記憶する。
次に真空ポンプ7を作動させ、カバー2の内部の気圧を
下げることにより、カバー2におおわれた検査面内に微
小孔があった場合は、そこからもれる空気により気泡が
発生する。その画像を上記と同様に画像入力装置により
入力し、既に記憶しである基準画像との差を求めると、
変化分すなわち気泡のデータのみが求められる。
気泡は発生、消滅をくり返すため、差分を求める処理を
複数回行い、差分を累積して一定のしきい値以上であり
、かつ一定の面積以上のものを気泡と判断し、出力する
第2図(a)〜(c)は、上記検出の過程を画像により
示すものである。8は、気泡発生前の基準画像、9は気
泡の発生した画像、1oはその差分画像である。
本発明の検出方法は対象物の形状に無関係のため、板状
のものや、複雑な形状のものにも対応できる。
本実施例では、外部を真空ポンプでひいて気圧を下げて
検出する例を説明したが、ガス管等のように内面の気圧
がもともと大気圧より高いものの場合は、カバーと真空
ポンプは不用である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、石ケン水塗布機構により
自動的に石ケン水を塗布した後、気泡発生前と気泡発生
後の画像を画像入力装置により入力し、データ処理装置
により差分を求めてデータ処理することにより、従来目
視によっていた微小孔の検出を自動的に行なえるという
効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例の模式図、第2図(a)〜
(C)は、画像の一例を示す模式図である。 1・・・検査対象面、2・・・カバー、3・・・石ケン
水塗布機構、4・・・カメラ、5・・・画像入力装置、
6・・・データ処理装置、7・・・真空ポンプ、8・・
・気泡発生前の基準画像、9・・・気泡の発生した画像
、10・・・差分画像。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 微小孔の有無を検査すべき特定の面に石ケン水を塗布す
    る装置と、該検査面の画像情報を多値デジタルデータと
    して入力できる画像入力装置と、該画像情報を演算処理
    するデータ処理装置を具備し、石ケン水塗布前の画像と
    、石ケン水塗布後の画像の差分を演算することにより、
    微小孔から発生する気泡を検出し、気泡の有無により微
    小孔の有無を判定することを特徴する微小孔検出装置。
JP15551488A 1988-06-22 1988-06-22 微小孔検出装置 Pending JPH01320445A (ja)

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