JPH01320585A - Circuit parts mounted condition checking device - Google Patents

Circuit parts mounted condition checking device

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JPH01320585A
JPH01320585A JP63154206A JP15420688A JPH01320585A JP H01320585 A JPH01320585 A JP H01320585A JP 63154206 A JP63154206 A JP 63154206A JP 15420688 A JP15420688 A JP 15420688A JP H01320585 A JPH01320585 A JP H01320585A
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JP
Japan
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surface height
sensitivity
wiring board
data
brightness
Prior art date
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Pending
Application number
JP63154206A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuo Hizuka
哲男 肥塚
Masahito Nakajima
雅人 中島
Noriyuki Hiraoka
平岡 規之
Hiroyuki Tsukahara
博之 塚原
Giichi Kakigi
柿木 義一
Yoshinori Sudo
嘉規 須藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPH01320585A publication Critical patent/JPH01320585A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain the more accurate surface height data of a printed circuit board by providing a luminance detecting means, a signal value saturation discriminating means, a surface height detecting means, a surface height memory means, a sensitivity switching means and a surface height rewriting means. CONSTITUTION:A luminance detecting means 1 detects the luminance of a printed circuit board surface, and a signal value saturation discriminating means 2 determines the saturation condition of a detecting signal. Further, a surface height detecting means 3 detects the surface height of the printed circuit board, and writes it into a surface height memory means 4. In such a case, a sensitivity switching means 5 scans the same line twice in luminance detection, the detecting sensitivity in first scanning is made high, and the detecting sensitivity in the second scanning is made low. A surface height rewriting means 6 rewrites, at the time of the second scanning, the surface height data written in the means 4 only for the saturation area decided in the first scanning. Thus, for the surface height data, the data in the data saturation area at the time of the switching of the means 3 to the low sensitivity are rewritten, and the correct data can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 [目次] 概要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題 、 課題を解決するための手段(第1図) 作用 実施例 一実施例(第2〜7図) 拡張 発明の効果 [概要] プリント配線板上を照明しプリント配線板上の輝度デー
タ及び表面高さデータを取得して回路部品の実装状態を
検査する回路部品実装状態検査装置に関し、 より正確なプリント配線板表面高さデータを取得するこ
とを目的とし、 プリント配線板上に照射された光の反射光を受光して該
表面の輝度を検出する球皮検出手段と、検出された該輝
度信号を2値化して、該信号値が飽和しているかどうか
を判定する信号値飽和判定手段と、該プリント配線板上
の表面高さを検出する検出感度切換可能な表面高さ検出
手段と、検出された該表面高さが書き込まれる表面高さ
記憶手段と、該輝度検出において同一ラインを2回走査
させ、その1回目の走査においては該検出感度を高感度
にし、その2回目の走査においては該検出感度を低感度
にする感度切換手段と、該2回目の走査においては、該
1回目の走査において判定された該飽和領域のみについ
て、該表面高さ記憶手段に書き込まれている表面高さデ
ータを書き換えさせる表面高さ書換手段とを備えて構成
する。
[Detailed Description of the Invention] [Table of Contents] Overview Industrial Field of Application Conventional Technology Problems to be Solved by the Invention, Means for Solving the Problems (Fig. 1) Working Examples One Example (Second to Seventh Examples) Figure) Effects of the extended invention [Summary] More accurate circuit component mounting condition inspection equipment that illuminates the printed wiring board and acquires luminance data and surface height data on the printed wiring board to inspect the mounting condition of the circuit components. The purpose of the present invention is to obtain printed wiring board surface height data, and to detect the luminance of the printed wiring board by receiving the reflected light of the light irradiated onto the printed wiring board, and to detect the luminance of the surface of the printed wiring board, a signal value saturation determining means for binarizing a signal and determining whether the signal value is saturated; a surface height detecting means capable of switching detection sensitivity for detecting a surface height on the printed wiring board; A surface height storage means in which the detected surface height is written, and the same line is scanned twice in the brightness detection, the detection sensitivity is set to high sensitivity in the first scan, and the detection sensitivity is set to high sensitivity in the second scan. is a sensitivity switching means that lowers the detection sensitivity, and in the second scan, the surface height that is written in the surface height storage means only for the saturated region determined in the first scan. and a surface height rewriting means for rewriting the height data.

[産業上の利用分野] 本発明は、プリント配線板上を照明しプリント配線板上
の輝度データ及び表面高さデータを取得して回路部品の
実装状態を検査する回路部品実装状態検査装置に関する
[Industrial Field of Application] The present invention relates to a circuit component mounting state inspection device that illuminates a printed wiring board to acquire luminance data and surface height data on the printed wiring board to inspect the mounting state of circuit components.

[従来の技術] 近年、プリント配線板の高密度化に伴い、チップ部品の
需要が急増している。デツプ部品の実装は自動化が進ん
でいるが、実装状態の検査、特に半田付着状態の検査に
は種々の問題点がある。
[Prior Art] In recent years, demand for chip components has increased rapidly as printed wiring boards have become more dense. Although the mounting of deep parts has been increasingly automated, there are various problems in inspecting the mounting state, especially the solder adhesion state.

従来の回路部品実装状態検査装置では、プリント配線板
上を照明し、イメージセンナを用いて輝度データを読み
取り、これを2債化して明部を半田付着領域と判定し、
良品のパターンと比較することにより、半田付着状態の
良否を判定していた。
Conventional circuit component mounting condition inspection equipment illuminates the printed wiring board, reads the brightness data using an image sensor, converts it into two, and determines bright areas as solder attachment areas.
The quality of the solder adhesion was determined by comparing it with the pattern of a non-defective product.

しかし、平面的に検査を行っていたため、半田付着量が
不足していたり、逆に過多であったり、あるいは半田付
着量の分布が不均一で偏りがあっても、平面分布が正常
であれば良と判定し、半田付着状態の良否を誤判定する
ことがあった。
However, since the inspection was carried out on a flat surface, even if the amount of solder adhesion was insufficient or excessive, or the distribution of solder adhesion was uneven and biased, if the planar distribution was normal. There were cases where the solder adhesion state was incorrectly determined to be good.

そこで、輝度データのみならず表面高さデータをも取得
し、半田付着量を演算して3次元的に半田付着状態の良
否を判定する回路部品実装状態検査装置が提案されてい
る。
Therefore, a circuit component mounting state inspection apparatus has been proposed that acquires not only luminance data but also surface height data, calculates the amount of solder adhesion, and three-dimensionally determines the quality of the solder adhesion state.

[発明が解決しようとする課題] ところが、プリント配線板の表面は黒色部から鏡面に近
い半田部まであるため、その輝度範囲は表面高さ検出器
のダイナミックレンジよりも太きく、半田部での高さデ
ータ検出時には検出器の出力が飽和して高さデータが不
正確になる。特に、回路部品がデツプ部品である場合に
は、高さの最小値が0.5+n+a程度であるため、深
刻な問題とな′る。
[Problem to be solved by the invention] However, since the surface of a printed wiring board ranges from a black part to a solder part that is almost a mirror surface, the brightness range is wider than the dynamic range of the surface height detector, and When detecting height data, the output of the detector becomes saturated and the height data becomes inaccurate. In particular, when the circuit component is a deep component, this becomes a serious problem because the minimum height is approximately 0.5+n+a.

本発明の目的は、上記問題点に鑑み、より正確なプリン
ト配線板表面高さデータを取得することができる回路部
品実装状態検査装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a circuit component mounting state inspection apparatus that can obtain more accurate printed wiring board surface height data.

[課題を解決するための手段] 第1図は本発明の原理ブロック図である。[Means to solve the problem] FIG. 1 is a block diagram of the principle of the present invention.

図中、1は輝度検出手段であり、プリント配線板上に照
射された光の反射光を受光して該表面の輝度を検出する
In the figure, reference numeral 1 denotes a brightness detection means, which receives the reflected light of the light irradiated onto the printed wiring board and detects the brightness of the surface.

2は信号値飽和判定手段であり、検出された該輝度信号
を2値化して、該信号値が飽和しているかどうかを判定
する。
Reference numeral 2 denotes a signal value saturation determining means, which binarizes the detected luminance signal and determines whether the signal value is saturated.

3は表面高さ検出手段であり、該プリント配線板上の表
面高さを検出する。
3 is a surface height detection means, which detects the surface height on the printed wiring board.

4は表面高さ記憶手段であり、検出された該表面高さが
書き込まれる。
4 is a surface height storage means in which the detected surface height is written.

5は感度切換手段であり、該輝度検出において同一ライ
ンを2回走査させ、その1回目の走査においては該検出
感度を高感度にし、その2回目の走査においては該検出
感度を低感度にする。
5 is a sensitivity switching means, which scans the same line twice in the luminance detection, makes the detection sensitivity high in the first scan, and makes the detection sensitivity low in the second scan. .

6は表面高さ)!SS平手段あり、該2回目の走査にお
いては、該1回目の走査において判定された該内相領域
のるについて、該表面高さ記憶手段4に書き込まれてい
る表面高ざデータを書き換えさせる。
6 is the surface height)! With SS flat means, in the second scan, the surface height data written in the surface height storage means 4 is rewritten with respect to the internal phase region determined in the first scan.

輝度検出手段l及び表面高さ検出手段3は、例えば、プ
リント配線板」−に走査される光スポットの位置を検出
する光位置検出器を用いて構成されている。
The brightness detecting means 1 and the surface height detecting means 3 are configured using, for example, an optical position detector that detects the position of a light spot scanned on a printed wiring board.

[作用] 輝度データについては、半田部を判定できればよいので
、輝度信号値が飽和していても問題はない。
[Operation] Regarding the brightness data, since it is sufficient to be able to determine the solder portion, there is no problem even if the brightness signal value is saturated.

これに対し表面高さデータは、暗部については表面高さ
検出手段が高感度のときのデータであり、低感度のとき
に書き換えられないので、より正確である。また、高輝
度で検出信号値が飽和している部分の表面高さデータに
ついては、表面高さ検出手段が高感度のときのデータが
低感度のときのデータでIqき換えられるので、より正
確である。
On the other hand, the surface height data is more accurate for dark areas because it is data obtained when the surface height detection means has high sensitivity and cannot be rewritten when the surface height detection means has low sensitivity. In addition, regarding the surface height data of the part where the detection signal value is saturated at high brightness, the data when the surface height detection means is high sensitivity is replaced by the data when the surface height detection means is low sensitivity, so it is more accurate. It is.

[実施例] (1)一実施例 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。[Example] (1) One example Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.

第2図は回路部品実装状態検査装置の光学系の基本構成
を示す。− X−、Yテーブル!0上に載置されたプリント配線板1
2上には、回路部品としてのチップ部品14が半田16
λ、16Bにより多数実装されている。
FIG. 2 shows the basic configuration of the optical system of the circuit component mounting state inspection device. -X-,Y table! Printed wiring board 1 placed on 0
2, a chip component 14 as a circuit component is soldered 16
λ, 16B are implemented in large numbers.

一方、x−yステージ10の上方にはポリゴンミラー1
8が配設され、ポリゴンミラー18の側方には半導体レ
ーザ20がその先軸をポリゴンミラー18へ向けて配設
され、ポリゴンミラー18と半導体レーザ20との間に
はコリメートレンズ22がその先軸を半導体レー・ザ2
0の光軸に一致させて配設されている。また、この先軸
と略直交する方向の、ポリゴンミラー18の側方には、
r0レンズ24を介してミラー25が配設され、ミラー
25の側方には光センサ26がその先軸をポリゴンミラ
ー18へ向けて配設されている。ポリゴンミラー18の
回転軸にはステッピングモータ18λが連結され、ステ
ッピングモータ18aの回転軸にはパルスジェネレータ
18bが連結されている。
On the other hand, above the x-y stage 10 is a polygon mirror 1.
A semiconductor laser 20 is disposed on the side of the polygon mirror 18 with its tip axis facing the polygon mirror 18, and a collimating lens 22 is disposed between the polygon mirror 18 and the semiconductor laser 20 with its tip pointing toward the polygon mirror 18. The axis is a semiconductor laser 2
It is arranged to coincide with the optical axis of 0. Further, on the side of the polygon mirror 18 in a direction substantially orthogonal to the front axis,
A mirror 25 is disposed through an r0 lens 24, and an optical sensor 26 is disposed on the side of the mirror 25 with its front axis directed toward the polygon mirror 18. A stepping motor 18λ is connected to the rotation axis of the polygon mirror 18, and a pulse generator 18b is connected to the rotation axis of the stepping motor 18a.

したがって、半導体レーザ20から射出されたレーザビ
ームは、コリメートレンズ22で平行化され、ポリゴン
ミラー18の一面で反射され、fθレンズ24を通り、
次いで、ミラー25で下方に反射されてプリント配線板
12の表面を照射し、光スポットを形成する。ステッピ
ングモータ181によりポリゴンミラーI8を回転させ
ると、し゛−ザビーム1.Bが第2図X方向に周期的に
振られ、各周期におけるポリゴンミラー18の所定回転
角でレーザビームLBが光センサ26により検出され、
ポリゴンミラー18の回転速度に応じた周期的な同期パ
ルスSfが光センサ26から出力される。(第5図参照
)また、ポリゴンミラー18が一定微少角回転ず′る毎
にパルスジェネレータ18bから1個の回転パルスS、
が出力される(第5図参照)。
Therefore, the laser beam emitted from the semiconductor laser 20 is collimated by the collimating lens 22, reflected by one surface of the polygon mirror 18, passes through the fθ lens 24,
Next, the light is reflected downward by the mirror 25 and illuminates the surface of the printed wiring board 12 to form a light spot. When the polygon mirror I8 is rotated by the stepping motor 181, the laser beam 1. B is periodically swung in the X direction in FIG.
A periodic synchronizing pulse Sf corresponding to the rotational speed of the polygon mirror 18 is output from the optical sensor 26. (See FIG. 5) Also, each time the polygon mirror 18 rotates by a certain minute angle, one rotation pulse S is generated from the pulse generator 18b.
is output (see Figure 5).

プリント配線板12上の上記光スポットのx−Y平面位
置座標は次のようにして得られる。
The x-y plane position coordinates of the light spot on the printed wiring board 12 are obtained as follows.

すなわち、ボリゴンミ、ラー18が静止し、x−Yステ
ージ10が移動している場合には、X−Yステージ10
から構成される装置室16(X、Y)を光スポットの位
置座標とすることができる。ここに、X軸方向は光スポ
ットの走査方向に平行であり、Y軸方向は光スポットの
走査方向に垂直であるとする。
That is, when the polygon mirror 18 is stationary and the x-y stage 10 is moving, the x-y stage 10
The device chamber 16 (X, Y) consisting of the following can be used as the position coordinates of the light spot. Here, it is assumed that the X-axis direction is parallel to the scanning direction of the light spot, and the Y-axis direction is perpendicular to the scanning direction of the light spot.

実際にはポリゴンミラー18が例えば第2図矢印へ方向
に回転し、光スポットがプリント配線板12上を一走杏
する毎にX−YステージIOがY軸方向へ1ステツプ、
例えば10μm移動する。したがって、X−Yステージ
位置座標(X、Y)の座標値Xを、第5図に示す如く回
転パルスS、のうち同期パルスS、の面後の所定数のパ
ルスを無視した走査パルスS、の計数値Cxで置き換え
ることにより、光スポットの位置座標を得る。この計数
値Cxは、同期パルスS、でクリアされる。
In reality, the polygon mirror 18 rotates, for example, in the direction of the arrow in FIG.
For example, it moves by 10 μm. Therefore, as shown in FIG. 5, the coordinate value X of the X-Y stage position coordinate (X, Y) is set by a scanning pulse S, which ignores a predetermined number of pulses after the synchronizing pulse S among the rotating pulses S, as shown in FIG. By replacing Cx with the count value Cx, the position coordinates of the light spot are obtained. This count value Cx is cleared by the synchronization pulse S.

光スポットの一走査におけるデータサンプリング範囲が
プリント配線板12のX方向幅より小さい場合には、x
−Yステージ10をX方向へ一定距離ブロック移動させ
る必要があり、X−Yステージ[0の座標値Xと上記計
数値Cxとを組み合わせて光スポットのX座標を得る。
If the data sampling range in one scan of the light spot is smaller than the width of the printed wiring board 12 in the X direction,
- It is necessary to move the Y stage 10 a certain distance block in the X direction, and the X coordinate of the light spot is obtained by combining the coordinate value X of the XY stage [0 and the above count value Cx.

次に、光スポットのZ軸方向(X−Y平面に直交する方
向)位置及び光スポツト面の輝度について説明する。
Next, the position of the light spot in the Z-axis direction (direction perpendicular to the X-Y plane) and the brightness of the light spot surface will be explained.

x−YステージIOの斜め上方には結像レンズ28を介
して光位置検出A (PSD) 30が配設されている
。第4A図に示す如く、光位置検出器30の出力端子3
0a、30bから取り出される電流値を++vltとす
ると、プリント配線板12の表面に照射されたレーザビ
ーム!、Bの光スポットのZ軸方向位置が(+ +  
i t)/(i ++ i z)に対応し、光スポツト
面の輝度が(i 、+i *)に対応する。
A light position detection device A (PSD) 30 is disposed diagonally above the x-y stage IO via an imaging lens 28. As shown in FIG. 4A, the output terminal 3 of the optical position detector 30
If the current value taken out from 0a and 30b is ++vlt, then the laser beam irradiated on the surface of the printed wiring board 12! , the Z-axis direction position of the light spot of B is (+ +
i t)/(i ++ i z), and the brightness of the light spot surface corresponds to (i, +i*).

基板+ 41の光スポットA、B、Cは、それぞれ光位
置検出器30の受光面上の位置A°、Bo、C゛に結像
される。したがって、両者の対応関係から光スポットの
Z方向位置を知得することができる。
The optical spots A, B, and C on the substrate +41 are imaged at positions A°, Bo, and C′ on the light receiving surface of the optical position detector 30, respectively. Therefore, the Z-direction position of the light spot can be determined from the correspondence between the two.

第4B図は、これらの位置と(i+ −it)/(i+
+ it)との関係を示す。
Figure 4B shows these positions and (i+ -it)/(i+
+ it).

なお、本実施例では簡単化のために先位f5検出器30
を1個配設した場合を説明するが、第2図において光位
置検出器をY−Z面に対象に配設し、両検出器の出力信
号を切り換えて取得してもよい。
Note that in this embodiment, for the sake of simplicity, the leading f5 detector 30 is
A case will be described in which one optical position detector is provided, but in FIG. 2, the optical position detectors may be arranged symmetrically on the Y-Z plane and the output signals of both detectors may be switched and acquired.

次に、第3図に基づいて回路部品実装状態検査装置全体
のハードウェア構成を説明する。
Next, the overall hardware configuration of the circuit component mounting state inspection apparatus will be explained based on FIG.

光位置検出器30の2つの出力端子から取り出される電
流i1、i、は、それぞれアンプ32.34により増幅
されて、It、Itとなり、これらが加算器36、減算
器38へ供給されて、それぞれ■。
Currents i1 and i taken out from the two output terminals of the optical position detector 30 are amplified by amplifiers 32 and 34, respectively, to become It and It, which are supplied to an adder 36 and a subtracter 38, respectively. ■.

+I t、X +−I 、が作成されるall”Itは
光スポツト面の輝度に対応しており、2値化回路40に
より半田部で“l”に変換され、DMA制御により輝度
メモリ42の所定アドレスへ書き込まれる。
+I t, Written to a predetermined address.

このアドレスは、上述した光スポットのx−Y平面位置
座標に等しく、後述するアドレス作成回路43により指
定される。
This address is equal to the x-y plane position coordinates of the light spot described above, and is specified by an address generation circuit 43, which will be described later.

一方、加算器36及び減算器38の出力が除算器44へ
供給されて(r I−I t) /(r 、+ 1 り
が作成される。この値は、光位置検出器3oの受光面に
結像された光位置に対応しており、A/D変換器45で
デジタル変換され、DMA制御により高さメモリ46の
上記指定アドレスに書き込まれる。
On the other hand, the outputs of the adder 36 and the subtracter 38 are supplied to the divider 44 to create (r I - I t) / (r , + 1 ). It corresponds to the optical position imaged on the image, is digitally converted by the A/D converter 45, and is written to the specified address in the height memory 46 under DMA control.

加算器3Gの出力端子には、2値化回路4oと並列に2
値化回路48が接続されている。この2値化回路48は
! 、+ 1 、の飽和を検出するものであり、第6図
に示す如く、その閾値■、は飽和レベルよりも僅かに低
く、2値化回路4oの閾値■。
The output terminal of the adder 3G has two
A value conversion circuit 48 is connected. This binarization circuit 48! , +1, and as shown in FIG. 6, its threshold value ■ is slightly lower than the saturation level, which is the threshold value ■ of the binarization circuit 4o.

よりも高く設定されている。2値化回路48の出力値は
、アドレス作成回路43により指定されたアドレスのラ
インメモリ50上に書き込まれる。
is set higher than. The output value of the binarization circuit 48 is written onto the line memory 50 at the address specified by the address generation circuit 43.

ラインメモリ50は光スポットの1走査分の容量を有し
ており、これに書き込まれたデーダl”が半田領域の高
輝度部に対応している。
The line memory 50 has a capacity for one scan of the light spot, and the data l'' written therein corresponds to the high brightness portion of the solder area.

ラインメモリ50のデータはコントローラ52により読
み込まれる。コントローラ52はアンプ32.34の感
度を2段階に切り換え、また、輝度メモリ42、高さメ
モリ46及びラインメモリ50に対し書き込み許可また
は書き込み禁止の制御信号を供給する。
Data in line memory 50 is read by controller 52. The controller 52 switches the sensitivity of the amplifiers 32 and 34 into two levels, and also supplies a control signal for writing permission or writing inhibition to the brightness memory 42, height memory 46, and line memory 50.

アドレス作成回路43はパルスジェネレータ18aから
供給される回転パルスS1及び光センサ26から供給さ
れる同期パルスS、を用いて上述の如くサンプリングパ
ルスS、を作成し、このサンプリング信号S3の計数値
Cx及びx−YテーブルIOから構成される装置座標(
X、Y)を用いて上述の如く光スポットのXY平面位置
座標を作成し、これをアドレスとして輝度メモリ42及
び高さメモリ46に対し出力する。また、アドレス作成
回路43は、このサンプリングパルスS、をA/D変換
器45へ供給してデータサンプリング及びデジタル変換
のタイミングを制御する。さらに、ラインメモリ50に
対しこのサンプリング信号S、の計数値Cxをビットア
ドレスとして供給する。
The address creation circuit 43 creates the sampling pulse S as described above using the rotational pulse S1 supplied from the pulse generator 18a and the synchronization pulse S supplied from the optical sensor 26, and the count value Cx of this sampling signal S3 and Device coordinates constructed from x-Y table IO (
X, Y) is used to create the XY plane position coordinates of the light spot as described above, and these are output as addresses to the brightness memory 42 and height memory 46. Further, the address generation circuit 43 supplies this sampling pulse S to the A/D converter 45 to control the timing of data sampling and digital conversion. Furthermore, the count value Cx of this sampling signal S is supplied to the line memory 50 as a bit address.

次に、第8図に基づいてコントローラ52の処理手順を
説明する。
Next, the processing procedure of the controller 52 will be explained based on FIG.

(100)最初に、アンプ32.34のゲインを高い方
に切り換えて、すなわち高感度にして、プリント配線板
12上の最も低い輝度部分の高さを検出できる状態にし
ておく。
(100) First, the gain of the amplifiers 32 and 34 is switched to a high side, that is, the sensitivity is set to high, so that the height of the lowest luminance portion on the printed wiring board 12 can be detected.

(102)次に、輝度メモリ42、高さメモリ4G及び
ラインメモリ50を書き込み許可状態にする。
(102) Next, the brightness memory 42, height memory 4G, and line memory 50 are set to a write-enabled state.

(104)この状態で、光スポットのl走査分について
輝度メモリ42、高さメモリ46へそれぞれ輝度データ
及び高さデータが全て書き込まれるのを待つ。光センサ
26から同期パルスS、が供給されると、1走査が終了
したと判定し、 (1(16)アンプ32.34のゲインを低い方に切り
換え、すなわち低感度にし、最も高い輝度が検出されて
もアンプ32.34が飽和しない状態にしておく。
(104) In this state, wait until all the brightness data and height data are written into the brightness memory 42 and the height memory 46 for l scanning of the light spot, respectively. When the synchronization pulse S is supplied from the optical sensor 26, it is determined that one scan is completed, and (1 (16) the gain of the amplifier 32 and 34 is switched to the lower side, that is, the sensitivity is lowered, and the highest brightness is detected. The amplifiers 32 and 34 are kept in a state where they will not be saturated even if

(108)次に、111度メモリ42、高さメモリ4G
及びラインメモリ50を書き込み禁止状態にしておく。
(108) Next, 111 degree memory 42, height memory 4G
And the line memory 50 is set in a write-inhibited state.

(110)アドレス、作成回路43によりアドレス指定
されるラインメモリ50のビットデータが°0“であれ
ば、すなわち、このアドレスに対応した高さメモリ46
内のデータが信頼できる場合には、換言すればこれを書
き換えると低感度であるため逆に信頼性がなくなる場合
に、は、 (112)高さメモリ4Gを書き込み禁止状態にする。
(110) Address: If the bit data of the line memory 50 addressed by the creation circuit 43 is “0”, that is, the height memory 46 corresponding to this address
If the data in is reliable, in other words, if it is rewritten, it will be unreliable due to low sensitivity, (112) Set the height memory 4G to a write-inhibited state.

(114)逆にラインメモリ50からのビットデータが
“I”であれば、すなわち、このアドレスに対応した高
さメモリ4−6内の高さデータの信頼性が無い場合には
、高さメモリ46を書き込み許可状態にする。これによ
り、第7図に示す如く、アンプ32.34応(飽和して
いない状態での正確な高さデータが高さメモリ46にお
いて書き換えられる。
(114) Conversely, if the bit data from the line memory 50 is "I", that is, if the height data in the height memory 4-6 corresponding to this address is unreliable, the height memory 46 into a write-enabled state. As a result, as shown in FIG. 7, accurate height data corresponding to the amplifiers 32 and 34 (in a non-saturated state) is rewritten in the height memory 46.

(116) l走査分の処理が終了していなければステ
ップ110へ戻り上記処理を繰り返す、l走査分の処理
が終了した場合には、 (11g)X−Yテーブル10をY軸方向へ1ステツプ
移動させ、」二足ステップ100へ戻る。
(116) If the processing for l scans has not been completed, return to step 110 and repeat the above processing; if the processing for l scans has been completed, (11g) move the X-Y table 10 one step in the Y-axis direction; ” and return to step 100.

(2)拡張 なお、本発明には外にら種々の変形例が含まれる。(2) Expansion Note that the present invention includes various modifications.

例えば、輝度検出手段及び表面高さ検出手段はイメージ
センサを用いて構成してもよい。
For example, the brightness detection means and the surface height detection means may be configured using an image sensor.

また、信号値飽和判別手段は、輝度をA/D変換器でデ
ジタル変換し、ソフトウェアで2値化して、すなわち基
準値と比較して輝度信号値が飽和しているかどうかを判
別する構成であってもよい。
Further, the signal value saturation determination means is configured to digitally convert the brightness using an A/D converter, convert it into a binary value using software, and compare it with a reference value to determine whether or not the brightness signal value is saturated. You can.

さらに、感度切換手段は、例えば光位置検出器30の前
に半円形フィルタを配設し、該フィルタを回転させて該
フィルタを通さないことにより高感度にし、通すことに
より低感度にする構成であってもよい。
Furthermore, the sensitivity switching means may have a configuration in which, for example, a semicircular filter is disposed in front of the optical position detector 30, and the filter is rotated to increase the sensitivity by not allowing the filter to pass through the filter, and to lower the sensitivity by passing the filter through the filter. There may be.

[発明の効果] 以」−説明したように、本発明によれば、半田部の高輝
度部で検出信号値が飽和しても、表面高さデータについ
ては、表面高さ検出子・段が低感度に切り換えられたと
のときのデータで飽和領域のデータが書き換えられるの
で、プリント配線板の輝度範囲が表面高さ検出手段のダ
イナミックレンジより大きくてら、正確な表面高さデー
タを取得することができるという優れた効果を奏し、半
田付若状態の検査の質向上に寄与するところが大きい。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, even if the detection signal value is saturated in the high-brightness part of the solder part, the surface height detector/stage can still detect the surface height data. Since the data in the saturated region is rewritten with the data when the sensitivity is switched to low sensitivity, accurate surface height data cannot be obtained even if the brightness range of the printed wiring board is larger than the dynamic range of the surface height detection means. It has an excellent effect in that it can be used, and it greatly contributes to improving the quality of inspection of young solder joints.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の原理ブロック図である。 第2図乃至第8図は本発明の一実施例に係り、第2図は
回路部品実装状態検査装置の光学系配置図、 第3図は回路部品実装状態検査装置の要部構成を示すブ
ロック図、 第4A図及び第4B図は光位置検出器による高さ検出の
説明図、 第5図は光スポットの平面位置座標説明図、第6図は2
値化回路40.48の閾値を示ず図、第7図は表面高さ
データ書換説明図、 第8図はコントローラ52の処理手順を示すフローヂャ
ートである。 図中、 10はx−Yテーブル 12はプリント配線板 14はチップ部品 16A、16Bは半田 18aはパルスジェネレータ 26は光センサ 30は光位置検出器 32.34はアンプ 36は加算器 38は減算器 40.48は2値化回路 42は輝度メモリ 44は除算器 45はA/D変換器 46は高さメモリ 50はラインメモリ 52はコントローラ 発明の原理ブロック図 第1図 キ一体し−サ゛20 ノ 回路部品実装状態検査装置の光学系 第2図 高さ検出説明図 第4A図 第4B図 表面高さデータ書換説明図 第7図 [F] コントローラ52の処理手製 第8図
FIG. 1 is a block diagram of the principle of the present invention. 2 to 8 relate to an embodiment of the present invention, in which FIG. 2 is an optical system layout diagram of a circuit component mounting state inspection device, and FIG. 3 is a block diagram showing the main part configuration of the circuit component mounting state inspection device. Figures 4A and 4B are explanatory diagrams of height detection by the optical position detector, Figure 5 is an explanatory diagram of the planar position coordinates of the optical spot, and Figure 6 is 2
7 is an explanatory diagram for rewriting surface height data, and FIG. 8 is a flowchart showing the processing procedure of the controller 52. In the figure, 10 is the x-y table 12, the printed wiring board 14 is the chip component 16A, 16B is the solder 18a, the pulse generator 26 is the optical sensor 30, the optical position detector 32, 34 is the amplifier 36, the adder 38 is the subtracter 40.48 is the binarization circuit 42, the brightness memory 44, the divider 45, the A/D converter 46, the height memory 50, the line memory 52, and the controller, which is integrated with the principle block diagram of the invention shown in FIG. 1. Optical system of circuit component mounting state inspection device Fig. 2 Height detection explanatory diagram Fig. 4A Fig. 4B explanatory diagram for rewriting surface height data Fig. 7 [F] Processing of controller 52 Handmade Fig. 8

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)、プリント配線板上に実装された回路部品の実装状
態を検査する回路部品実装状態検査装置において、 プリント配線板上に照射された光の反射光を受光して該
表面の輝度を検出する輝度検出手段(1)と、 検出された該輝度信号を2値化して、該信号値が飽和し
ているかどうかを判定する信号値飽和判定手段(2)と
、 該プリント配線板上の表面高さを検出する検出感度切換
可能な表面高さ検出手段(3)と、検出された該表面高
さが書き込まれる表面高さ記憶手段(4)と、 該輝度検出において同一ラインを2回走査させ、その1
回目の走査においては該検出感度を高感度にし、その2
回目の走査においては該検出感度を低感度にする感度切
換手段(5)と、 該2回目の走査においては、該1回目の走査において判
定された該飽和領域のみについて、該表面高さ記憶手段
(4)に書き込まれている表面高さデータを書き換えさ
せる表面高さ書換手段(6)と、を有することを特徴と
する回路部品実装状態検査装置。 2)、前記輝度検出手段(1)及び前記表面高さ検出手
段(3)を、前記プリント配線板上に走査される光スポ
ットの位置を検出する光位置検出器を用いて構成したこ
とを特徴とする請求項1記載の回路部品実装状態検査装
置。
[Scope of Claims] 1) A circuit component mounting condition inspection device for inspecting the mounting condition of circuit components mounted on a printed wiring board, which receives reflected light of light irradiated onto the printed wiring board and detects the reflected light of the circuit components mounted on the printed wiring board. Brightness detection means (1) that detects the brightness of the surface; Signal value saturation determination means (2) that binarizes the detected brightness signal and determines whether the signal value is saturated; A surface height detection means (3) with switchable detection sensitivity for detecting the surface height on the wiring board, and a surface height storage means (4) in which the detected surface height is written, which are the same in the brightness detection. Scan the line twice, part 1
In the second scan, the detection sensitivity is set to high sensitivity, and
Sensitivity switching means (5) for reducing the detection sensitivity in the second scan, and surface height storage means for only the saturated region determined in the first scan in the second scan. A circuit component mounting state inspection device comprising: (4) surface height rewriting means (6) for rewriting the surface height data written in the circuit component mounting state inspection device. 2) The brightness detection means (1) and the surface height detection means (3) are configured using an optical position detector that detects the position of a light spot scanned on the printed wiring board. The circuit component mounting state inspection device according to claim 1.
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