JPH0132373Y2 - - Google Patents

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JPH0132373Y2
JPH0132373Y2 JP12560882U JP12560882U JPH0132373Y2 JP H0132373 Y2 JPH0132373 Y2 JP H0132373Y2 JP 12560882 U JP12560882 U JP 12560882U JP 12560882 U JP12560882 U JP 12560882U JP H0132373 Y2 JPH0132373 Y2 JP H0132373Y2
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output
switching regulator
rectifier circuit
cathode
regulator type
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【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 この考案は連続及びパルス動作を行なう炭酸ガ
スレーザ装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] This invention relates to a carbon dioxide laser device that performs continuous and pulsed operation.

〔考案の技術的背景〕[Technical background of the invention]

従来、連続及びパルス動作を行なう炭酸ガスレ
ーザ装置は第1図に示すように構成され、放電管
1の陽極2は定電流高圧電源3に接続されてい
る。叉、上記放電管1の陰極4は多数個にして数
個の陰極群に分けられているが、各々の陰極群は
安定化抵抗5及び送信管等の大出力の真空管6を
介して、上記定電流高圧電源3に接続されてい
る。そして、上記真空管6を同期スイツチングさ
せて、パルス放電を得ている。
Conventionally, a carbon dioxide laser device that performs continuous or pulsed operation is constructed as shown in FIG. 1, and an anode 2 of a discharge tube 1 is connected to a constant current high voltage power source 3. Further, the cathode 4 of the discharge tube 1 is divided into a large number of cathode groups, and each cathode group is connected to the above-mentioned cathode via a stabilizing resistor 5 and a high-output vacuum tube 6 such as a transmitting tube. It is connected to a constant current high voltage power supply 3. Then, the vacuum tube 6 is synchronously switched to obtain a pulse discharge.

〔背景技術の問題点〕[Problems with background technology]

上記のような従来の炭酸ガスレーザ装置では、
真空管6を用いるため装置全体が大形となる。
叉、真空管6を用いるため、可成りのヒータ電力
を消費するし、ドライブ信号も高電圧信号を必要
とする。
In the conventional carbon dioxide laser device as mentioned above,
Since the vacuum tube 6 is used, the entire device becomes large in size.
Furthermore, since the vacuum tube 6 is used, a considerable amount of heater power is consumed and a high voltage drive signal is required.

〔考案の目的〕[Purpose of invention]

この考案の目的は、小形にして高効率であり、
ドライブ信号が低電圧、低電力で済み、スイツチ
ングレギユレータ方式電源に電流帰還系を必要と
しない炭酸ガスレーザ装置を提供することであ
る。
The purpose of this invention is to be compact and highly efficient.
It is an object of the present invention to provide a carbon dioxide laser device which requires a low voltage and low power drive signal and does not require a current feedback system in a switching regulator type power source.

〔考案の概要〕[Summary of the idea]

この考案は、三相交流の商用電源例えば200V、
3相の商用電源に接続される移相制御形サイリス
タ整流回路と、この整流回路に接続された平滑回
路と、この平滑回路に接続されスイツチングレギ
ユレータ方式の複数の電源と、陰極叉は陽極のど
ちらか一方が多数個の素子からなつて数個の群に
分けられ、各々の群が上記スイツチングレギユレ
ータ方式の複数の電源に接続されている放電管と
を具備し、他方の共通電極を流れる電流を検出し
て上記整流回路に帰還し、上記スイツチングレギ
ユレータ方式の電源の出力キヤリアパルスの同期
をとることにより上記陰極と陽極間に放電を起
し、出力キヤリアパルスを所定の時間間隔で断続
することによりパルスレーザ光を得、出力キヤリ
アパルスを連続出力することにより連続発振レー
ザ光をそれぞれ得るようにした炭酸ガスレーザ装
置である。
This idea is based on a three-phase AC commercial power source such as 200V.
A phase-shift controlled thyristor rectifier circuit connected to a three-phase commercial power supply, a smoothing circuit connected to this rectifier circuit, multiple switching regulator type power supplies connected to this smoothing circuit, and a cathode or Either one of the anodes is made up of a large number of elements and is divided into several groups, and each group is equipped with a discharge tube connected to a plurality of power supplies of the above-mentioned switching regulator type, and the other one is The current flowing through the common electrode is detected and fed back to the rectifier circuit, and by synchronizing the output carrier pulse of the switching regulator type power supply, a discharge is generated between the cathode and the anode, and the output carrier pulse is generated. This carbon dioxide laser device obtains pulsed laser light by intermittent pulses at predetermined time intervals, and continuous wave laser light by continuously outputting output carrier pulses.

〔考案の実施例〕[Example of idea]

この考案の炭酸ガスレーザ装置は第2図に示す
ように構成され、200V、3相の商用電源(図示
せず)には移相制御形サイリスタ整流回路7が接
続されている。この整流回路7の出力側には平滑
回路8が接続されている。この平滑回路8の出力
側には、スイツチングレギユレータ方式の複数の
電源即ちコンバータ9〜13が並列に接続されて
いる。そして、各コンバータ9〜13の出力は
共通化され、放電管14の陽極15に接続されて
いる。叉、出力はそれぞれ、安定化抵抗16を
介して多数の陰極17を数個の陰極群に分けたそ
の各々に接続されている。この場合、各コンバー
タ9〜13の基本回路を示すと第3図のようにな
り、1次側はトランジスタのフルブリツジ構成と
なつている。図中、18〜21はドライバ、Q1
〜Q4は主スイツチングトランジスタ、D1〜D4
整流素子、TIは昇圧トランスである。尚、各種
保護回路等は省略されている。叉、第2図から明
らかなように、電流検出用CT22により、放電
管14の陽極15に流れる電流を検出し、上記整
流回路7に帰還している。
The carbon dioxide laser device of this invention is constructed as shown in FIG. 2, and a phase shift control type thyristor rectifier circuit 7 is connected to a 200 V, three-phase commercial power source (not shown). A smoothing circuit 8 is connected to the output side of the rectifier circuit 7. A plurality of switching regulator type power supplies, that is, converters 9 to 13 are connected in parallel to the output side of the smoothing circuit 8. The outputs of the converters 9 to 13 are shared and connected to the anode 15 of the discharge tube 14. The outputs are each connected via a stabilizing resistor 16 to each of a plurality of cathodes 17 divided into several cathode groups. In this case, the basic circuit of each converter 9-13 is shown in FIG. 3, and the primary side has a full bridge configuration of transistors. In the figure, 18 to 21 are drivers, Q 1
~ Q4 is a main switching transistor, D1 ~ D4 are rectifying elements, and TI is a step-up transformer. Note that various protection circuits and the like are omitted. Furthermore, as is clear from FIG. 2, the current flowing through the anode 15 of the discharge tube 14 is detected by the current detection CT 22 and fed back to the rectifying circuit 7.

さて、動作時には200V、3相の入力電圧を移
相制御形サイリスタ整流回路7に導く。そして整
流された出力を平滑回路8にて充分に平滑する。
この平滑化された出力をコンバータ9〜13に供
給する。各コンバータ9〜13は第3図から明ら
かなように、1次側はトランジスタのフルブリツ
ジ構成であり、周波数10〜20KHzでスイツ
チングさせる。即ち、トランジスタQ1,Q2をオ
ン、トランジスタQ3,Q4をオンにして、交互に
繰り返す。この後で、昇圧トランスTIで4K.V.に
昇圧し整流する。叉、コンバータ9〜13は全て
外部から同期をとつて動作させる。そしてコンバ
ータ9〜13の出力キヤリアパルスの同期をとる
ことにより陽極15〜陰極17間に放電を起す。
更に、出力キヤリアパルスを所定の時間間隔で断
続することにより、パルスレーザ光が得られ、キ
ヤリアパルスを連続出力することにより連続発振
レーザ光が得られる。レーザ光連続発振時のコン
バータ9〜13出力電流波形を示すと第4図aの
ようになり、このときの出力レーザ光波形は同図
bのようになる。そして、レーザ光パルス発振時
のコンバータ9〜13出力電流波形を示すと第5
図aのようになり、このときの出力レーザ光波形
は同図bのようになる。叉、この考案では、放電
管14の陽極15に流れる電流を検出し、前段の
移相制御形サイリスタ整流回路7の比較入力とし
帰還をかけている。
Now, during operation, a 200V, three-phase input voltage is guided to the phase shift control type thyristor rectifier circuit 7. The rectified output is then sufficiently smoothed by a smoothing circuit 8.
This smoothed output is supplied to converters 9-13. As is clear from FIG. 3, each of the converters 9 to 13 has a full bridge configuration of transistors on the primary side, and switches at a frequency of 10 to 20 KHz. That is, the transistors Q 1 and Q 2 are turned on, and the transistors Q 3 and Q 4 are turned on, and the process is repeated alternately. After this, the voltage is boosted to 4K.V. using a step-up transformer TI and rectified. All converters 9 to 13 are operated in synchronization from the outside. By synchronizing the output carrier pulses of the converters 9 to 13, a discharge is caused between the anode 15 and the cathode 17.
Furthermore, pulsed laser light can be obtained by intermittent output carrier pulses at predetermined time intervals, and continuous wave laser light can be obtained by continuously outputting carrier pulses. The output current waveforms of converters 9 to 13 during continuous laser beam oscillation are shown in FIG. 4a, and the output laser beam waveforms at this time are shown in FIG. 4b. The output current waveforms of converters 9 to 13 during laser light pulse oscillation are shown in the fifth figure.
The output laser beam waveform at this time is as shown in Figure a, and the waveform of the output laser beam at this time is as shown in Figure b. In addition, in this invention, the current flowing through the anode 15 of the discharge tube 14 is detected and fed back as a comparison input to the phase shift control type thyristor rectifier circuit 7 in the previous stage.

〔考案の効果〕[Effect of idea]

この考案によれば、トランジスタ等を用いたス
イツチングレギユレータ方式の電源のため、小形
化が容易に実現できる。叉、ヒータ電力等の不要
な電力を必要とせず、高効率化できる。更に、主
スイツチング素子がトランジスタ等のためドライ
ブ信号が低電圧、低電力で済む。叉、この考案で
は、電流帰還をスイツチングレギユレータ方式の
電源の前段のサイリスタ整流回路8にかけている
ため、各スイツチングレギユレータ方式電源に電
流帰還系を必要とせず、単純化できる。
According to this invention, miniaturization can be easily realized because the power supply is a switching regulator type using transistors and the like. In addition, high efficiency can be achieved without requiring unnecessary power such as heater power. Furthermore, since the main switching element is a transistor or the like, the drive signal requires low voltage and low power. Furthermore, in this invention, since the current feedback is applied to the thyristor rectifier circuit 8 at the front stage of the switching regulator type power source, a current feedback system is not required for each switching regulator type power source, and the system can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の炭酸ガスレーザ装置を示すブロ
ツク線図、第2図はこの考案の一実施例に係る炭
酸ガスレーザ装置を示すブロツク線図、第3図は
この考案の装置で使用するコンバータの基本回路
を示す回路構成図、第4図a,bはこの考案の装
置におけるレーザ光連続発振時の電源出力電流波
形と出力レーザ光波形を示す波形図、第5図a,
bは同じくレーザ光パルス発振時の電源出力電流
波形と出力レーザ光波形を示す波形図である。 7……移相制御形サイリスタ、8……平滑回
路、9〜13……コンバータ、14……放電管、
15……陽極、16……安定化抵抗、17……陰
極、22……CT。
Fig. 1 is a block diagram showing a conventional carbon dioxide laser device, Fig. 2 is a block diagram showing a carbon dioxide laser device according to an embodiment of this invention, and Fig. 3 is the basics of a converter used in the device of this invention. A circuit configuration diagram showing the circuit, FIGS. 4a and 4b are waveform diagrams showing the power supply output current waveform and output laser light waveform during continuous laser beam oscillation in the device of this invention, and FIGS.
b is a waveform diagram showing a power supply output current waveform and an output laser light waveform during laser light pulse oscillation. 7... Phase shift control type thyristor, 8... Smoothing circuit, 9-13... Converter, 14... Discharge tube,
15... Anode, 16... Stabilizing resistor, 17... Cathode, 22... CT.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 3相交流の商用電源に接続される移相制御形サ
イリスタ整流回路と、この整流回路に接続された
平滑回路と、この平滑回路に接続されスイツチン
グレギユレータ方式の複数の電源と、陰極又は陽
極のどちらか一方が多数個の素子からなつて複数
の群に分けられ、各々の群が上記スイツチングレ
ギユレータ方式の複数の電源に接続されている放
電管とを具備し、他方の共通電極を流れる電流を
検出して上記整流回路に帰還し、上記スイツチン
グレギユレータ方式の複数の電源の出力キヤリア
パルスの同期をとることにより上記陰極と陽極と
の間に放電を起し、出力キヤリアパルスを所定の
時間間隔で断続することによりパルスレーザ光を
得、出力キヤリアパルスを連続出力することによ
り連続発振レーザ光を得るようにしたことを特徴
とする炭酸ガスレーザ装置。
A phase-shift controlled thyristor rectifier circuit connected to a three-phase AC commercial power supply, a smoothing circuit connected to this rectifier circuit, a plurality of switching regulator type power supplies connected to this smoothing circuit, and a cathode or Either one of the anodes is composed of a large number of elements and is divided into a plurality of groups, and each group is equipped with a discharge tube connected to the plurality of power sources of the above-mentioned switching regulator type, and the other common The current flowing through the electrode is detected and fed back to the rectifier circuit, and by synchronizing the output carrier pulses of the plurality of switching regulator type power supplies, a discharge is generated between the cathode and anode, and the output is A carbon dioxide laser device characterized in that a pulsed laser beam is obtained by intermittent carrier pulses at predetermined time intervals, and a continuous wave laser beam is obtained by continuously outputting an output carrier pulse.
JP12560882U 1982-08-20 1982-08-20 Carbon dioxide laser device Granted JPS5931255U (en)

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JPS63213984A (en) * 1987-03-03 1988-09-06 Fanuc Ltd Detector for output voltage of laser oscillator
JPS63146648U (en) * 1987-03-18 1988-09-27
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