JPH0136049B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0136049B2 JPH0136049B2 JP56015787A JP1578781A JPH0136049B2 JP H0136049 B2 JPH0136049 B2 JP H0136049B2 JP 56015787 A JP56015787 A JP 56015787A JP 1578781 A JP1578781 A JP 1578781A JP H0136049 B2 JPH0136049 B2 JP H0136049B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- radiation
- cavity
- control device
- perfect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
- G01J5/53—Reference sources, e.g. standard lamps; Black bodies
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
黒体炉は、黒体放射を得る装置であり、放射温
度計や光高温計などの校正に欠くことのできない
重要なものである。
度計や光高温計などの校正に欠くことのできない
重要なものである。
完全な黒体があれば、その表面から放出される
放射が黒体放射であるから、黒体炉の必要はない
が、完全黒体は実在しない。また、表面に到達す
る放射を完全に反射する完全反射体も実在しな
い。実在する物体は、すべて、完全黒体でもなく
完全反射体でもなく、あらゆる波の放射を多少は
放出し、また、反射する性質を有している。
放射が黒体放射であるから、黒体炉の必要はない
が、完全黒体は実在しない。また、表面に到達す
る放射を完全に反射する完全反射体も実在しな
い。実在する物体は、すべて、完全黒体でもなく
完全反射体でもなく、あらゆる波の放射を多少は
放出し、また、反射する性質を有している。
空洞の壁の内面及びその空洞内に物体が存在す
るときにはその物体の温度が一様にt℃であり、
壁の内面の一部あるいは空洞内の一物体があらゆ
る波長の放射を多少は放出する性質のものであれ
ば、その空洞内にある放射は、温度がt℃の黒体
放射体であることが、熱力学で知られている。
るときにはその物体の温度が一様にt℃であり、
壁の内面の一部あるいは空洞内の一物体があらゆ
る波長の放射を多少は放出する性質のものであれ
ば、その空洞内にある放射は、温度がt℃の黒体
放射体であることが、熱力学で知られている。
このような空洞にあけられている小孔から放出
される放射は、その小孔から出入する放射による
空洞内の放射の変化が無視されるならば、その小
孔と同形同大の完全黒体表面からの放射と同等で
あることも公知のことである。このように、黒体
放射が得られる小孔のついた空洞が黒体炉であ
る。従つて、黒体炉であるためには、適宜の実在
物体で構成された空洞に上記の条件が充たされて
いる小孔をあけて、それを所定の一様な温度に保
てばよい。
される放射は、その小孔から出入する放射による
空洞内の放射の変化が無視されるならば、その小
孔と同形同大の完全黒体表面からの放射と同等で
あることも公知のことである。このように、黒体
放射が得られる小孔のついた空洞が黒体炉であ
る。従つて、黒体炉であるためには、適宜の実在
物体で構成された空洞に上記の条件が充たされて
いる小孔をあけて、それを所定の一様な温度に保
てばよい。
空洞の壁全体を精度よく一様な温度に保つこと
は、不可能ではないが、かなり困難である。本発
明は、温度の制御が容易な黒体炉を提供する。
は、不可能ではないが、かなり困難である。本発
明は、温度の制御が容易な黒体炉を提供する。
仮りに、完全反射体があるとして、空洞の大部
分を完全反射体で構成し、一部をあらゆる波長の
放射を放出する物体(完全黒体でも実在の物体で
もよい)で構成すれば、完全反射体は放射の吸
収、放出に無関係であるから、完全反射体の部分
の温度がどうであつても、一部の完全反射体でな
い部分の温度t℃の黒体炉となる。
分を完全反射体で構成し、一部をあらゆる波長の
放射を放出する物体(完全黒体でも実在の物体で
もよい)で構成すれば、完全反射体は放射の吸
収、放出に無関係であるから、完全反射体の部分
の温度がどうであつても、一部の完全反射体でな
い部分の温度t℃の黒体炉となる。
これから類推して、空洞の壁の内面の一部ある
いは空洞内の一物体は、なるべく放射率の大きい
ものとし、空洞の内面のその他の部分をなるべく
放射率の小さいものとすると、前者の黒体に近い
部分の温度を精度よく所定の温度t℃に保てば、
後者の反射性のよい部分の温度を一応その温度に
保つだけで、t℃の黒体炉になると考えられる。
事実もその通りである。
いは空洞内の一物体は、なるべく放射率の大きい
ものとし、空洞の内面のその他の部分をなるべく
放射率の小さいものとすると、前者の黒体に近い
部分の温度を精度よく所定の温度t℃に保てば、
後者の反射性のよい部分の温度を一応その温度に
保つだけで、t℃の黒体炉になると考えられる。
事実もその通りである。
放射率の大きい物体の表面に凹凸をつけると、
さらに有効放射率が多少増すので、できれば凹凸
をつける。
さらに有効放射率が多少増すので、できれば凹凸
をつける。
放射率の大きいものとしては、酸化鉄、酸化
銅、酸化ニツケルなどが考えられ、放射率の小さ
いものとして、金メツキ、酸化アルミニウム、磁
器などが考えられる。
銅、酸化ニツケルなどが考えられ、放射率の小さ
いものとして、金メツキ、酸化アルミニウム、磁
器などが考えられる。
図面は本発明にかゝる黒体炉の一実施例を示す
断面図であり、1は放射率の大きい物体で構成さ
れた放射体、2は放射率の小さい物質で形成され
た内壁、3は黒体放射が外部に放出される小孔で
あり、4は上記放射体1の温度を検出するための
熱電対、5は放射体1を加熱するための導線、6
は上記内壁2の温度を検出するための熱電対、7
は内壁2を加熱するための導線(但し、5,7は
断面で示されている。)、8は比較的低精度の第一
の温度制御装置、9は上記第一の温度制御装置8
より精度の高い第二の温度制御装置である。
断面図であり、1は放射率の大きい物体で構成さ
れた放射体、2は放射率の小さい物質で形成され
た内壁、3は黒体放射が外部に放出される小孔で
あり、4は上記放射体1の温度を検出するための
熱電対、5は放射体1を加熱するための導線、6
は上記内壁2の温度を検出するための熱電対、7
は内壁2を加熱するための導線(但し、5,7は
断面で示されている。)、8は比較的低精度の第一
の温度制御装置、9は上記第一の温度制御装置8
より精度の高い第二の温度制御装置である。
この実施例では、放射体1の温度は、高精度の
第二の温度制御装置9により厳密に所定の温度と
なるよう制御され、内壁2の温度は、比較的安価
で低精度の第一の温度制御装置8により略所定の
温度範囲内に制御されるよう構成されている。
第二の温度制御装置9により厳密に所定の温度と
なるよう制御され、内壁2の温度は、比較的安価
で低精度の第一の温度制御装置8により略所定の
温度範囲内に制御されるよう構成されている。
なお、黒体炉の空洞の形状、大きさは、適宜の
ものでよい。
ものでよい。
図面は本発明にかゝる黒体炉の一実施例を示す
断面図である。 1……放射率の大きい物質で構成された放射
体、2……放射率の小さい物質で形成された内
壁、3……小孔、4,6……熱電対、5,7……
加熱導線、8……第一の温度制御装置、9……第
二の温度制御装置。
断面図である。 1……放射率の大きい物質で構成された放射
体、2……放射率の小さい物質で形成された内
壁、3……小孔、4,6……熱電対、5,7……
加熱導線、8……第一の温度制御装置、9……第
二の温度制御装置。
Claims (1)
- 1 黒体炉の内壁を放射率の小さい物質で構成す
ると共に、黒体炉の空洞内に表面の放射率の大き
い物質から成る放射体を設置し、上記黒体炉の内
壁を温度を制御する第一の温度制御装置と、上記
放射体の温度を制御する上記第一の温度制御装置
より高精度の第二の温度制御装置とを設けたこと
を特徴とする黒体炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56015787A JPS57131027A (en) | 1981-02-06 | 1981-02-06 | Black body furnace |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56015787A JPS57131027A (en) | 1981-02-06 | 1981-02-06 | Black body furnace |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57131027A JPS57131027A (en) | 1982-08-13 |
| JPH0136049B2 true JPH0136049B2 (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=11898537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56015787A Granted JPS57131027A (en) | 1981-02-06 | 1981-02-06 | Black body furnace |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57131027A (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60263818A (ja) * | 1984-06-12 | 1985-12-27 | Shisaka Kenkyusho:Kk | 黒体炉 |
| JPS6280524A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-14 | Chino Corp | 黒体炉の製造方法 |
| US5762419A (en) * | 1995-07-26 | 1998-06-09 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system |
| US5820261A (en) * | 1995-07-26 | 1998-10-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a rapid thermal processing system |
| US6179465B1 (en) | 1996-03-28 | 2001-01-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources |
| US5938335A (en) * | 1996-04-08 | 1999-08-17 | Applied Materials, Inc. | Self-calibrating temperature probe |
| JP2987459B1 (ja) * | 1998-12-11 | 1999-12-06 | 工業技術院長 | 温度定点るつぼ、温度定点装置及び温度計校正方法 |
| US6447160B1 (en) | 1999-11-02 | 2002-09-10 | Advanced Monitors Corp. | Blackbody cavity for calibration of infrared thermometers |
| TWI312861B (en) * | 2007-02-13 | 2009-08-01 | Ind Tech Res Inst | Standard radiation source |
| JP5425444B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2014-02-26 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放射計 |
| KR101389003B1 (ko) * | 2013-02-05 | 2014-04-24 | 에이피시스템 주식회사 | 온도측정 파이로미터의 교정 장치 |
| JP7162835B2 (ja) * | 2018-09-19 | 2022-10-31 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 黒体炉 |
| EP4121728B1 (en) * | 2020-03-17 | 2025-12-24 | Seek Thermal, Inc. | Cost effective, mass producible temperature controlled thermal imaging calibration source |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1103960A (en) * | 1977-11-23 | 1981-06-30 | William J. Glazier | Variable throw eccentric |
-
1981
- 1981-02-06 JP JP56015787A patent/JPS57131027A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57131027A (en) | 1982-08-13 |
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