JPH0140324B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0140324B2 JPH0140324B2 JP56131590A JP13159081A JPH0140324B2 JP H0140324 B2 JPH0140324 B2 JP H0140324B2 JP 56131590 A JP56131590 A JP 56131590A JP 13159081 A JP13159081 A JP 13159081A JP H0140324 B2 JPH0140324 B2 JP H0140324B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- optical fiber
- laser beam
- optical
- porous glass
- Prior art date
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- Expired
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
- G02B6/3688—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier using laser ablation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3632—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
- G02B6/3636—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the mechanical coupling means being grooves
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光導波路と光フアイバとの結合におけ
る低損失で再現性に優れた方法に関する。
る低損失で再現性に優れた方法に関する。
従来、この種の方法は第１図に示すように、高
屈折率の材料からなるプリズム１０を基板１１上
の光導波路１２上に接して設け、光フアイバ１３
からの光をプリズム１０に入射し、プリズムの底
面における表面波と光導波路内モードと結合させ
て、光を光導波路内に入射する方法であるが、こ
の方法は光導波路が空間に接している必要があ
り、埋め込み形と呼ばれる光導波路には適合でき
ないばかりか、プリズム１０と光導波路１２の間
隔に厳しい条件が課せられるなどの欠点があつ
た。
屈折率の材料からなるプリズム１０を基板１１上
の光導波路１２上に接して設け、光フアイバ１３
からの光をプリズム１０に入射し、プリズムの底
面における表面波と光導波路内モードと結合させ
て、光を光導波路内に入射する方法であるが、こ
の方法は光導波路が空間に接している必要があ
り、埋め込み形と呼ばれる光導波路には適合でき
ないばかりか、プリズム１０と光導波路１２の間
隔に厳しい条件が課せられるなどの欠点があつ
た。
また、埋め込み形光導波路に光を結合する方法
として第２図に示す方法が採用されていた。すな
わち基板２０上に形成された光導波路２１は、他
の屈折率が光導波路（バツフア層）２１よりも小
さい層（クラツド層）２２で覆われた光導波路２
１の端面に、光フアイバ２３を直接接触させる、
いわゆるつきあて方式による方法がある。この方
法は埋め込み形に適用できる反面、光フアイバと
光導波路の位置合わせや、機械的安定性に欠ける
などの欠点があつた。
として第２図に示す方法が採用されていた。すな
わち基板２０上に形成された光導波路２１は、他
の屈折率が光導波路（バツフア層）２１よりも小
さい層（クラツド層）２２で覆われた光導波路２
１の端面に、光フアイバ２３を直接接触させる、
いわゆるつきあて方式による方法がある。この方
法は埋め込み形に適用できる反面、光フアイバと
光導波路の位置合わせや、機械的安定性に欠ける
などの欠点があつた。
本発明は従来方法の前述の欠点を解決するた
め、低損失で、安定な光フアイバと光導波路の結
合を得るものであり、光導波路の所望部分に光学
的な手段で溝をつけ、光フアイバを装着すること
により実現するものである。以下図面により本発
明を詳細に説明する。
め、低損失で、安定な光フアイバと光導波路の結
合を得るものであり、光導波路の所望部分に光学
的な手段で溝をつけ、光フアイバを装着すること
により実現するものである。以下図面により本発
明を詳細に説明する。
第３図は本発明の一実施例を示し、３０は光導
波路用基板、３１は光導波路を低損失にするため
設けたバツフア層、３２は光導波路、３３は光導
波路の表面を保護し低損失化のため設けたクラツ
ド層、３４は光導波路を加工するためのレーザ
光、３５はレーザ光を絞るためのレンズ、３６は
溝である。
波路用基板、３１は光導波路を低損失にするため
設けたバツフア層、３２は光導波路、３３は光導
波路の表面を保護し低損失化のため設けたクラツ
ド層、３４は光導波路を加工するためのレーザ
光、３５はレーザ光を絞るためのレンズ、３６は
溝である。
次にこれを作用させるには、あらかじめCVD
法、加水分解反応等により、ガラス基板３０上に
積層した多孔質ガラス多層膜３１，３２，３３に
対して5WのCO2レーザ光３４をレンズ３５で絞
り、多孔質膜上に照射する。多孔質膜はCO2レー
ザ光を吸収し揮散し、溝３６が形成される。次い
でガラス基板３０を約1400℃に加熱すると、多孔
質ガラス膜は透明化されて光導波膜となるが、第
３図に示す溝３６の部分は、第４図に示す４０と
して残留する。
法、加水分解反応等により、ガラス基板３０上に
積層した多孔質ガラス多層膜３１，３２，３３に
対して5WのCO2レーザ光３４をレンズ３５で絞
り、多孔質膜上に照射する。多孔質膜はCO2レー
ザ光を吸収し揮散し、溝３６が形成される。次い
でガラス基板３０を約1400℃に加熱すると、多孔
質ガラス膜は透明化されて光導波膜となるが、第
３図に示す溝３６の部分は、第４図に示す４０と
して残留する。
本発明に関連した例として第５図に示すよう
に、基板５０上に透明なガラス膜５１，５２，５
３を順次形成した後、5WのCO2レーザ光５４を
レンズ５５で絞り、所望の位置にレーザ光を照射
すると照射された部分はガラスが揮散して、溝５
６が形成される。
に、基板５０上に透明なガラス膜５１，５２，５
３を順次形成した後、5WのCO2レーザ光５４を
レンズ５５で絞り、所望の位置にレーザ光を照射
すると照射された部分はガラスが揮散して、溝５
６が形成される。
この例で述べた方法で形成された光導波路内の
溝の部分に、第６図に示すように光フアイバ６０
を設置する。光フアイバと光導波路を固定するた
め、両者の装着部分を高分子等の接着剤で固定し
てもよい。
溝の部分に、第６図に示すように光フアイバ６０
を設置する。光フアイバと光導波路を固定するた
め、両者の装着部分を高分子等の接着剤で固定し
てもよい。
このようにして、基板上に単層または複層から
なる光導波膜を形成した後、所望の部分にレーザ
光を照射し、部分的にガラス膜を除去した後、レ
ーザ光で除去した部分に光フアイバを装着するこ
とにより、第３図に示す実施例と比べて前記所望
の部分を除去する加工効率は若干下がるが、光導
波路と光フアイバを結合することができる。
なる光導波膜を形成した後、所望の部分にレーザ
光を照射し、部分的にガラス膜を除去した後、レ
ーザ光で除去した部分に光フアイバを装着するこ
とにより、第３図に示す実施例と比べて前記所望
の部分を除去する加工効率は若干下がるが、光導
波路と光フアイバを結合することができる。
他の実施例として、第７図に示すように光導波
路上にCO2レーザ光７１をレンズ７０で絞り、照
射する。照射パワーを制御して、斜方向に溝７２
が形成される。またこれに光フアイバを結合する
には、第８図に示すように、形成された溝７０に
光フアイバ８０を装着する。光導波路がガラスで
形成されている場合は、CO2レーザ（波長
10.6μm）を光源として用いれば効率が高い。
路上にCO2レーザ光７１をレンズ７０で絞り、照
射する。照射パワーを制御して、斜方向に溝７２
が形成される。またこれに光フアイバを結合する
には、第８図に示すように、形成された溝７０に
光フアイバ８０を装着する。光導波路がガラスで
形成されている場合は、CO2レーザ（波長
10.6μm）を光源として用いれば効率が高い。
以上説明したように、本発明の光導波路と光フ
アイバの結合方法によれば、ガラスを主体とした
光導波路を、CO2レーザにより所望部分を一部揮
散させるので、揮散後形成された溝の面は凹凸が
なく滑らかになり、光フアイバとの適合性が高
い。
アイバの結合方法によれば、ガラスを主体とした
光導波路を、CO2レーザにより所望部分を一部揮
散させるので、揮散後形成された溝の面は凹凸が
なく滑らかになり、光フアイバとの適合性が高
い。
また、光フアイバを光導波路の一部に装着する
ので、安定性が良く軸ずれを少なくできるなどの
利点がある。
ので、安定性が良く軸ずれを少なくできるなどの
利点がある。
また、本発明はレーザ光の照射位置、レーザ光
パワーを任意に制御すれば、任意の形に溝を形式
できる他の利点もある。
パワーを任意に制御すれば、任意の形に溝を形式
できる他の利点もある。
なお光導波路の端面からレーザ光を照射すれ
ば、より一層効率的である。
ば、より一層効率的である。
第１図は従来の光導波路と光フアイバの結合方
法を示す図、第２図は従来の光導波路と光フアイ
バの他の結合方法を示す図、第３図は本発明の一
実施例図、第４図は第３図において形成された光
導波路を透明化した後の光導波路の斜視図、第５
図は本発明に関連した例を示す図、第６図は光フ
アイバと光導波路を結合した状態を示す図、第７
図は本発明の応用例の斜視図、第８図は光フアイ
バと光導波路との結合方法を示す図である。 １０……プリズム、１１……基板、１２……光
導波路、１３……光フアイバ、２０……基板、２
１……バツフア層、２２……クラツド層、２３…
…光フアイバ、３０……ガラス基板、３１……多
孔質状態のバツフア層、３２……多孔質状態の光
導波路、３３……多孔質状態のクラツド層、３４
……レーザ光、３５……レンズ、３６……溝、４
０……透明化後の光導波路に形成された溝、５０
……基板、５１……バツフア層、５２……光導波
路、５３……クラツド層、５４……レーザ光、５
５……レンズ、５６……溝、６０……光フアイ
バ、７０……斜め構造の溝、７１……レーザ光、
７２……レンズ、８０……光フアイバ。
法を示す図、第２図は従来の光導波路と光フアイ
バの他の結合方法を示す図、第３図は本発明の一
実施例図、第４図は第３図において形成された光
導波路を透明化した後の光導波路の斜視図、第５
図は本発明に関連した例を示す図、第６図は光フ
アイバと光導波路を結合した状態を示す図、第７
図は本発明の応用例の斜視図、第８図は光フアイ
バと光導波路との結合方法を示す図である。 １０……プリズム、１１……基板、１２……光
導波路、１３……光フアイバ、２０……基板、２
１……バツフア層、２２……クラツド層、２３…
…光フアイバ、３０……ガラス基板、３１……多
孔質状態のバツフア層、３２……多孔質状態の光
導波路、３３……多孔質状態のクラツド層、３４
……レーザ光、３５……レンズ、３６……溝、４
０……透明化後の光導波路に形成された溝、５０
……基板、５１……バツフア層、５２……光導波
路、５３……クラツド層、５４……レーザ光、５
５……レンズ、５６……溝、６０……光フアイ
バ、７０……斜め構造の溝、７１……レーザ光、
７２……レンズ、８０……光フアイバ。
Claims (1)
- １ 基板上に多孔質ガラス膜を単層または複層堆
積した後、所望の部分に多孔質ガラスを構成する
材料が吸収する波長のレーザ光を照射し、部分的
に多孔質ガラス膜を除去し、残りの多孔質ガラス
膜を透明化した後、レーザ光で除去した部分に光
フアイバを装着することを特徴とする光導波路と
光フアイバの結合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13159081A JPS5834415A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 光導波路と光フアイバの結合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13159081A JPS5834415A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 光導波路と光フアイバの結合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834415A JPS5834415A (ja) | 1983-02-28 |
| JPH0140324B2 true JPH0140324B2 (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=15061602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13159081A Granted JPS5834415A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | 光導波路と光フアイバの結合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834415A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59202407A (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路の製造方法 |
| FR2574950B1 (fr) * | 1984-12-18 | 1987-09-25 | Corning Glass Works | Composants optiques integres en verre et leur fabrication |
| JPS61221629A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-10-02 | Sharp Corp | 感圧素子の製造方法 |
| JP2658064B2 (ja) * | 1987-07-17 | 1997-09-30 | 富士通株式会社 | 光導波路端部形成方法 |
| JP2581089B2 (ja) * | 1987-07-24 | 1997-02-12 | ブラザー工業株式会社 | マスクを有する光集積回路の製造方法 |
| JPH039309A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-17 | Brother Ind Ltd | レーザによる溝加工方法 |
| GB9024022D0 (en) * | 1990-11-05 | 1990-12-19 | British Telecomm | Waveguiding structure |
| JP7648955B2 (ja) * | 2021-12-09 | 2025-03-19 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路基板、光デバイス及び光デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5642204A (en) * | 1979-09-14 | 1981-04-20 | Fujitsu Ltd | Production of photocircuit |
-
1981
- 1981-08-24 JP JP13159081A patent/JPS5834415A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5834415A (ja) | 1983-02-28 |
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