JPH0140383Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、化学産業プラントや半導体製造プラ
ントに於いて使用される低圧微少流量制御器の改
良に関するものである。

（従来の技術） 出願人は、先きに低圧微少流量用の制御器とし
て、第２図に示す如き構造のものを開発してい
る。即ち、この低圧微少流量制御器は、筐体１に
断面円形の深孔状の栓室２を穿設し、通路３によ
つて栓室２の底部と流体入口４を、また通路５に
より栓室２の下方側部と流体出口６とを夫々連通
すると共に、前記深孔状の栓室２内に、その底壁
に通路３と連通するオリフイス７及び栓座８をま
たその下方側壁に通路５と連通する通孔９を夫々
形成した円筒状のオリフイス体１０を挿着し、該
オリフイス体１０内に昇降自在に配設したスピン
ドル１１を上下動されることにより、これと一体
に形成したニードル栓体１２により開度を調整す
るよう構成されている。

又、前記スピンドル１１のシールは、栓室２の
上方に挿着したグランドパツキン１３をボンネツ
トナツト１４で押し込むことにより確保されてお
り、またオリフイス体１０と栓室２間のシールは
Ｏリング１５により確保されている。尚、第２図
に於いて１６はバルブ取付用ナツト、１７はスピ
ンドル回動用ハンドル、１８は開度目盛、１９は
ねじ部である。

上記第２図に示した微少流量制御器は、低圧微
少流量を比較的精度よく制御することができ、秀
れた実用的効用を有するものである。

しかし、前記微少流量制御器にも、未だ解決す
べき問題点が残されている。即ち、第１の問題は
制御器の加工・組立上の問題であり、第２の問題
は流量特性上の問題である。

前述した如く、オリフイス体１０は、微少流量
制御用のオリフイス７及び栓座８の機能と、スピ
ンドルガイドとしての機能と、グランドパツキン
１３の受金具としての機能を併有するものである
ため、外径に比較して長さが相当長いうえ、極め
て小さな内径のオリフイス７を必要とする。例え
ば、第２図の弁に於いては外径7.5mmφ、長さ20
mm、オリフイス内径1.5mmφのステンレス鋼
（SUS 316）製のオリフイス体１０が使用されて
いる。

しかし乍ら、前述の如き栓座とスピンドルガイ
ドとグランドパツキン受けとの機能を併備するオ
リフイス体１０を高精度で加工することは、現実
に極めて困難なことであり、特に低圧小流量用オ
リフイス体の加工に於いては、加工歩留りが著し
く低下する。その結果、製造コストの引下げが困
難になると共に、流量特性にばばらつきを生じた
り、流体の漏洩を生じるという問題を起生する。

一方、低圧微少流量制御器に於いて、スピンド
ル１１を回転させることにより開度を調整する弁
に於いては、オリフイス体１０等の加工精度と流
量制御器の組立精度との関連に於いて、その流量
特性Ａが第３図に示す如く断続した状態となり易
い。特に、弁出入口側の差圧が0.1Kgｆ／cm²以下
で且つ流量が２／min以下の低圧微少流量制御
器に於いては、前記流量特性Ａの非連続性が顕著
になり易く、スピンドル１１のねじピツチに応じ
た断続Ｑが流量特性上に表われる。尚、この流量
特性Ａ上の断続Ｑは、オリフイス体１０自体の長
さ寸法が比較的長いため、その加工精度や組付精
度が僅かに狂つただけでも、スピンドル１１の回
動時に於けるオリフイス７とニードル栓体１２間
の間隙の変化が大きくなり、これによつて生ずる
ものと想定される。

（考案が解決しようとする問題点） 本考案は、従前のこの種低圧微少流量制御器に
於ける上述の如き問題、即ちオリフイス体の高精
度な加工が困難で加工歩留りが悪いうえ、流量特
性のばらつきや流体の漏洩を生じ易いという問題
を解決せんとするものであり、オリフイス体を二
分割してその間に合成樹脂製のガスケツトを介設
することにより、オリフイス体の加工の容易化を
図ると共に、流量特性のばらつきや漏洩の発生を
略完全に防止した低圧微少流量用制御器を提供す
るものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、栓室２の底部と流体入口４間を流体
通路３により、また栓室２の側部と流体出口６間
を流体通路５により連通して成る筐体１と；栓室
２内へ挿着され、底壁に前記通路３に連通するオ
リフイス７及び栓座８を、また側壁に通路５に連
通する通孔９を穿設すると共に、下方部の外径に
僅かに縮径せしめた筒状のオリフイス体２０と；
前記栓室２の底部とオリフイス体２０の底部間に
配設したＯリング１５と；前記オリフイス体２０
の上方に配設した合成樹脂製のガスケツト２２
と；ガスケツト２２の上方に配設した筒状のスピ
ンドルガイド体２１と；ニードル１２ａをオリフ
イス７内へ挿入せしめたニードル栓体１２と；上
方部に雄ねじ２３が形成されたニードル栓体１２
と一体のスピンドル１１と；スピンドル１１を挿
通して筐体１に螺着され、スピンドル１１の雄ね
じ２３をその雌ねじ２４へ螺合せしめたボンネツ
トナツト１４とを考案の基本構成とするものであ
る。

（作用） スピンドル１１の先端部を回動すると、スピン
ドル１１の雄ねじ２３とボンネツトナツト１４の
雌ねじ２４の螺合によりスピンドル１１が昇降
し、弁の開・閉が行なわれる。

スピンドルのガイド体２１はオリフイス体２０
が別体となつており、且つ両者の間に合成樹脂製
のガスケツト２２が介設されているため、オリフ
イス体２０の加工が容易になると共に、ガスケツ
ト２２によりスピンドルのシールが増強される。

又、ガイド体２１とオリフイス体２０が別体と
なつているため、万一、スピンドル１１の回動時
にガイド体２１に無理がかかつても、これがオリ
フイス体２０に直接及ぶことは無く、その結果流
量特性のばらつきや流量特性の断続、流体の漏洩
等が皆無になる。

（実施例） 第１図は本考案の実施例に係る微少流量制御器
の縦断面図であり、前記第２図と共通する部位に
は同一参照番号が付されている。

図に於いて１はステンレス鋼（SUS 316）製
の筐体であり、断面円形の深孔状の栓室２、流体
入口４、流体出口６、栓室２の底部と流体出口４
間を連絡する流体通路３及び栓室２の側部と流体
出口６間を連絡する流体通路５が夫々穿設されて
いる。

２０は栓室２の底部に挿着されたステンレス鋼
（SUS 316）製のオリフイス体であり、２１はオ
リフイス体２０の上方に配設したスピンドルガイ
ド体、２２はオリフイス体２０とスピンドルガイ
ド体２１の間に介設した合成樹脂製のガスケツト
である。

前記オリフイス体２０は、底壁にオリフイス７
が穿設された細径の比較的短かい円筒体であり、
その側壁には前記オリフイス７と流体通路５を連
通する通孔９が穿設されている。

また、オリフイス体２０の下方部の外径は、栓
室２の内径よりやや縮径されており、栓室２の内
壁との間に通路間隙Ｇが形成されている。

尚、本実施例は圧力0.1Kg／cm²、最大流量（空
気）２／minのニードル弁を示すものである
が、前記オリフイス７の内径は1.5mmφに設定さ
れている。

前記スピンドルガイド体２１は、オリフイス体
２０と内径及び外径の等しい筒体であり、略オリ
フイス体２０と等しい長さを有している。

１１は、先端にニードル栓体１２を形成したス
ピンドルであり、オリフイス体２０及びスピンド
ルガイド体２１を挿通して、ニードル１２ａがオ
リフイス７内へ挿入されている。

当該制御器の組立に際しては、栓室２の底壁内
へＯリング１５を配設し、オリフイス体２０、ガ
スケツト２２、スピンドルガイド体２１の順にこ
れ等を栓室２内へ配設する。次に、スピンドル１
１をオリフイス体２０内へ挿着し、ニードル１２
ａをオリフイス７内へ挿入する。その後グランド
パツキン１３を挿着し、ボンネツトナツト１４に
よりパツキン１３を締付ける。

スピンドル１１の上端部に固着したハンドル１
７を回動すると、ボンネツトナツト１４の上方に
形成した雌ねじ２４とスピンドル１１の上方部に
形成した雄ねじ２３の螺合により、スピンドル１
１は昇降動され、ニードル栓体１２と栓座８が
当・離座する。

（効果） 本考案に於いては、オリフイス体２０とスピン
ドルガイド体２１とを別体にすると共に、両者の
間に合成樹脂製のガスケツト２２を配設する構成
としているため、従前のオリフイス体２０とスピ
ンドルガイド体２１とを一体的に形成する場合に
比較してオリフイス体２０の加工が容易になり、
加工精度を高め得る。その結果、オリフイス体の
加工歩留りが向上して弁の製造コストの引下げが
可能になると共に、流量特性等のばらつきも大幅
に減少する。

また、オリフイス体２０とスピンドルガイド体
２１の間に合成樹脂製のガスケツト２２を介設し
ているため、スピンドル１１のシール性がより向
上すると共に、流量制御器の組立時に於ける柔軟
性が確保され、オリフイス体２０やガイド体２１
の組付けを極めて円滑に行なえると共に、流量制
御器の作動時に於いてもスピンドルガイド体２１
の変位が直接オリフイス体２０に及ぶことが無い
ため、流量特性の断続や流体の漏洩が大幅に減少
する。

本考案は上述の通り、簡単な構成にも拘わらず
秀れた実用的効用を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る微少流量制御器の縦断面
図である。第２図は従前の微少流量制御器の縦断
面図である。第３図は従前の低圧微少流量制御器
の流量特性曲線である。 １……筐体、２……栓室、３，５……流体通
路、４……流体入口、６……流体出口、７……オ
リフイス、８……栓座、９……通孔、１１……ス
ピンドル、１２……ニードル栓体、１３……グラ
ンドパツキン、１４……ボンネツトナツト、１５
……Ｏリング、２０……オリフイス体、２１……
スピンドルガイド体、２２……合成樹脂製ガスケ
ツト、２３……雄ねじ、２４……雌ねじ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 栓室２の底部と流体入口４間を流体通路３によ
   り、また栓室２の側部と流体出口６間を流体通路
   ５により連通して成る筐体１と；前記栓室２内へ
   挿着され、底壁に前記通路３に連通するオリフイ
   ス７及び栓座８を、また側壁に通路５に連通する
   通孔９を穿設すると共に、下方部外径を僅かに縮
   径せしめた筒状のオリフイス体２０と；前記栓室
   ２の底部とオリフイス体２０の底部間に配設した
   Ｏリング１５と；前記オリフイス体２０の上方に
   配設した合成樹脂製のガスケツト２２と；該ガス
   ケツト２２の上方に配設した筒状のスピンドルガ
   イド体２１と；ニードル12aを前記オリフイス７
   内へ挿入せしめたニードル栓体１２と；上方部に
   雄ねじ２３が形成された前記ニードル栓体１２と
   一体のスピンドル１１と；スピンドル１１を挿通
   して筐体１に螺着され、スピンドル１１の雄ねじ
   ２３をその雌ねじ２４へ螺合せしめたボンネツト
   ナツト１４とより構成した微少流量制御器。