JPH0143193Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0143193Y2 JPH0143193Y2 JP1984010866U JP1086684U JPH0143193Y2 JP H0143193 Y2 JPH0143193 Y2 JP H0143193Y2 JP 1984010866 U JP1984010866 U JP 1984010866U JP 1086684 U JP1086684 U JP 1086684U JP H0143193 Y2 JPH0143193 Y2 JP H0143193Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- coating
- substrate
- liquid
- surplus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Coating Apparatus (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、ロールによる薄板状の基板への塗布
液のコーテイング装置、すなわちロールコータに
関するものである。
液のコーテイング装置、すなわちロールコータに
関するものである。
周知のように、ロールコータと呼ばれる塗布装
置はスピンコート装置やスプレー装置や浸漬装置
とともに、半導体やその他の基板、例えば、サー
マルヘツドの製造等に用いられるガラス基板のよ
うに、その表面に金属膜が蒸着された基板表面
に、パターンの作成のため、フオトレジスト液を
塗布する目的で使用されている。
置はスピンコート装置やスプレー装置や浸漬装置
とともに、半導体やその他の基板、例えば、サー
マルヘツドの製造等に用いられるガラス基板のよ
うに、その表面に金属膜が蒸着された基板表面
に、パターンの作成のため、フオトレジスト液を
塗布する目的で使用されている。
かかるロールコータは、例えば、第１図および
第２図に示すように、図示しない適当な駆動装置
と連結され、かつ、回転自在に支承されたコーテ
イングロール２と、このコーテイングロール２に
対し、接離自在に並設されたドクターロール３
と、当該コーテイングロール２とその軸線方向に
所定の間隔をもつて対向配置されたバツクアツプ
ロール４と、当該コーテイングロール２とドクタ
ーロール３との間に形成された凹部に所要の塗布
液を供給するノズル５と、これらのロール２，
３，４群の下方に設けられたドレンバツト６とか
ら構成されている。
第２図に示すように、図示しない適当な駆動装置
と連結され、かつ、回転自在に支承されたコーテ
イングロール２と、このコーテイングロール２に
対し、接離自在に並設されたドクターロール３
と、当該コーテイングロール２とその軸線方向に
所定の間隔をもつて対向配置されたバツクアツプ
ロール４と、当該コーテイングロール２とドクタ
ーロール３との間に形成された凹部に所要の塗布
液を供給するノズル５と、これらのロール２，
３，４群の下方に設けられたドレンバツト６とか
ら構成されている。
かかるロールコータでは、コーテイングロール
２およびバツクアツプロール４との間に、基板１
を通し、ドクターロール３とコーテイングロール
２との間の当接圧力、または、バツクアツプロー
ル４とコーテイングロール２の間の間隔を調整す
ることにより、基板１上に所要の膜厚の塗布液を
塗布している。このとき、余剰の塗布液はコーテ
イングロール２の両端部周面に刻設された溝９に
より、次いで、バツクアツプロール４の両端部周
面に刻設された溝９′を経てドレンバツト６に落
下し、排水管７を通り、排液処分または循環使用
されているが、バツクアツプロール４の両端部の
溝９′よりドレンバツト６に落下するとき、塗布
液がドレンバツト６で符号８で示すように、はね
返り、そのとき発生する微細なミストが基板１の
裏面に付着することがあつた。そして、かかる微
細なミストの付着を少なくするため液供給用のノ
ズル５からの液量を、基板１の処理枚数にあわせ
て調整した場合においても、基板１の処理枚数
は、常に一定でなく変動するため、塗布液の落下
を完全になくすることはできなかつた。
２およびバツクアツプロール４との間に、基板１
を通し、ドクターロール３とコーテイングロール
２との間の当接圧力、または、バツクアツプロー
ル４とコーテイングロール２の間の間隔を調整す
ることにより、基板１上に所要の膜厚の塗布液を
塗布している。このとき、余剰の塗布液はコーテ
イングロール２の両端部周面に刻設された溝９に
より、次いで、バツクアツプロール４の両端部周
面に刻設された溝９′を経てドレンバツト６に落
下し、排水管７を通り、排液処分または循環使用
されているが、バツクアツプロール４の両端部の
溝９′よりドレンバツト６に落下するとき、塗布
液がドレンバツト６で符号８で示すように、はね
返り、そのとき発生する微細なミストが基板１の
裏面に付着することがあつた。そして、かかる微
細なミストの付着を少なくするため液供給用のノ
ズル５からの液量を、基板１の処理枚数にあわせ
て調整した場合においても、基板１の処理枚数
は、常に一定でなく変動するため、塗布液の落下
を完全になくすることはできなかつた。
更に、近年基板１の表面の加工が微細化するに
伴い、基板１表面に塗布する塗布液の膜厚をます
ます薄く、かつ、均一に仕上げねばならなくな
り、コーテイングロール２とドクターロール３と
の間の当接圧力または基板１をコーテイングロー
ル２に圧接するバツクアツプロール４の押圧力が
増し、その結果、基板１とこれらのロール２，４
間に数千ボルトの静電気が発生し、バツクアツプ
ロール４より落下する糸状の塗布液や、ドレンバ
ツト６ではねかえる塗布液の微細ミスト（以下、
ミスト等と称する）が基板１に引きよせられ、基
板１の裏面にこのミスト等が付着するという問題
を生じていた。
伴い、基板１表面に塗布する塗布液の膜厚をます
ます薄く、かつ、均一に仕上げねばならなくな
り、コーテイングロール２とドクターロール３と
の間の当接圧力または基板１をコーテイングロー
ル２に圧接するバツクアツプロール４の押圧力が
増し、その結果、基板１とこれらのロール２，４
間に数千ボルトの静電気が発生し、バツクアツプ
ロール４より落下する糸状の塗布液や、ドレンバ
ツト６ではねかえる塗布液の微細ミスト（以下、
ミスト等と称する）が基板１に引きよせられ、基
板１の裏面にこのミスト等が付着するという問題
を生じていた。
殊に、ガラス等の基板１がゴム製のコーテイン
グロール２およびバツクアツプロール４の間を通
り、加圧されながら送り出された瞬間に、これら
のロール２，４と基板１との間に、実測では
6000V以上の静電気を発生し、送り出される基板
１の末端部に最も多くミスト等が付着することが
判明した。
グロール２およびバツクアツプロール４の間を通
り、加圧されながら送り出された瞬間に、これら
のロール２，４と基板１との間に、実測では
6000V以上の静電気を発生し、送り出される基板
１の末端部に最も多くミスト等が付着することが
判明した。
また近年、基板１の幅寸法が従来より広くな
り、既存のロールコータを使用すると、基板１の
両端部が各ロール２および４の両端部の溝９およ
び９′に近くなることにより、各ロール２および
４の溝９および９′から落下する糸状の塗布液
８′と基板１との距離が近くなり、静電気により
基板１裏面へのミスト付着の問題は無視できなく
なつている。
り、既存のロールコータを使用すると、基板１の
両端部が各ロール２および４の両端部の溝９およ
び９′に近くなることにより、各ロール２および
４の溝９および９′から落下する糸状の塗布液
８′と基板１との距離が近くなり、静電気により
基板１裏面へのミスト付着の問題は無視できなく
なつている。
そのため、静電気除去の対策として、ロールに
導電性のゴムを使用することも考えられるが、溶
剤等を使用する関係で、耐蝕性および加工性の面
で問題があり、かかる対策は採用できない難点が
あつた。
導電性のゴムを使用することも考えられるが、溶
剤等を使用する関係で、耐蝕性および加工性の面
で問題があり、かかる対策は採用できない難点が
あつた。
また、静電気を除去するための方法として、針
状電極に高電圧を印加し、コロナ放電を起こして
イオンを生成し、イオン化したエアを吹き付ける
ことにより静電気を除去することが知られている
が、引火点の低い溶剤を使用するため、かかる方
法を採用することもできなかつた。
状電極に高電圧を印加し、コロナ放電を起こして
イオンを生成し、イオン化したエアを吹き付ける
ことにより静電気を除去することが知られている
が、引火点の低い溶剤を使用するため、かかる方
法を採用することもできなかつた。
そこで本考案はこれらの諸問題を全面的に解消
するために案出されたもので、その要旨とすると
ころは、回転自在に機枠に取付けられたバツクア
ツプロールと、該バツクアツプロールの上方に回
転自在に配設され、かつ、当該バツクアツプロー
ルとの間に挟持、搬送される基板上に塗布液を転
写、供給するコーテイングロールと、該コーテイ
ングロールと当接し、当該コーテイングロールと
の間に塗布液を貯溜するドクターと、を具備した
ロールコータにおいて、前記コーテイングロール
もしくはバツクアツプロールの少なくとも一方の
両端部付近周面に余剰液流下溝を刻設し、該余剰
液流下溝にその上端が遊嵌し、これらのロールの
回転に支障がない程度に摺接する余剰液流下用部
材を立設した基板用ロールコータにある。
するために案出されたもので、その要旨とすると
ころは、回転自在に機枠に取付けられたバツクア
ツプロールと、該バツクアツプロールの上方に回
転自在に配設され、かつ、当該バツクアツプロー
ルとの間に挟持、搬送される基板上に塗布液を転
写、供給するコーテイングロールと、該コーテイ
ングロールと当接し、当該コーテイングロールと
の間に塗布液を貯溜するドクターと、を具備した
ロールコータにおいて、前記コーテイングロール
もしくはバツクアツプロールの少なくとも一方の
両端部付近周面に余剰液流下溝を刻設し、該余剰
液流下溝にその上端が遊嵌し、これらのロールの
回転に支障がない程度に摺接する余剰液流下用部
材を立設した基板用ロールコータにある。
以下、本考案の構成を添付図面に示す実施例に
もとづき詳細に説明する。第３図および第４図
は、本考案の第１の実施例であり、従来例である
第１図および第２図と共通する部分は同一符号で
示し、その説明を省略する。
もとづき詳細に説明する。第３図および第４図
は、本考案の第１の実施例であり、従来例である
第１図および第２図と共通する部分は同一符号で
示し、その説明を省略する。
第１の実施例では、バツクアツプロール４の両
端部付近の周面に刻設した余剰液流下溝９′にそ
れぞれ遊嵌しバツクアツプロール４の回転に支障
がない程度に摺接する余剰液流下用部材１０をド
レンバツト６に立設したものである。そして、こ
の余剰液流下用部材１０は導電性材料で構成し、
アースされている。また、余剰液流下用部材１０
とバツクアツプロール４の余剰液流下溝９′との
摩擦を少なくするため、この余剰液流下用部材１
０の材質をプラスチツク等の非導電性のものを使
用しても良く、この場合にはドレンバツト６を金
属製としてアースしておけば、塗布液が導電性の
ため、帯電を防止することができる。なお、第４
図中の符号１２は送りロールを示す。
端部付近の周面に刻設した余剰液流下溝９′にそ
れぞれ遊嵌しバツクアツプロール４の回転に支障
がない程度に摺接する余剰液流下用部材１０をド
レンバツト６に立設したものである。そして、こ
の余剰液流下用部材１０は導電性材料で構成し、
アースされている。また、余剰液流下用部材１０
とバツクアツプロール４の余剰液流下溝９′との
摩擦を少なくするため、この余剰液流下用部材１
０の材質をプラスチツク等の非導電性のものを使
用しても良く、この場合にはドレンバツト６を金
属製としてアースしておけば、塗布液が導電性の
ため、帯電を防止することができる。なお、第４
図中の符号１２は送りロールを示す。
第１の実施例は、以上の構成をとるので、塗布
液がノズル５より供給され、余剰の塗布液がコー
テイングロール２の両端の余剰液流下溝９より落
下することがあつても、当該塗布液はバツクアツ
プロール４の余剰液流下溝９′を通り、余剰液流
下用部材１０を伝わつてドレンバツト６に流下す
る。したがつて、従来例のように、糸状の塗布液
８の落下やミストの発生がなく、かつ、これらロ
ール２，４がアースされているため、両ロールに
静電気が帯電することもなく、基板１にミスト等
が付着することがない。
液がノズル５より供給され、余剰の塗布液がコー
テイングロール２の両端の余剰液流下溝９より落
下することがあつても、当該塗布液はバツクアツ
プロール４の余剰液流下溝９′を通り、余剰液流
下用部材１０を伝わつてドレンバツト６に流下す
る。したがつて、従来例のように、糸状の塗布液
８の落下やミストの発生がなく、かつ、これらロ
ール２，４がアースされているため、両ロールに
静電気が帯電することもなく、基板１にミスト等
が付着することがない。
次に第５図および第６図に示すものは、本考案
の第２の実施例であり、コーテイングロール２の
両端部周面に刻設された余剰液流下溝９に余剰液
流下用部材１０を装着したものである。
の第２の実施例であり、コーテイングロール２の
両端部周面に刻設された余剰液流下溝９に余剰液
流下用部材１０を装着したものである。
この実施例では、バツクアツプロール４の軸線
方向の長さが、基板１の幅方向（基板搬送方向と
直交する方向）の寸法より長く、かつ、コーテイ
ングロール２の両端部付近に刻設された余剰液流
下溝９間の長さより短く構成されているため、バ
ツクアツプロール４の表面に余剰液が付着して汚
れることがない。
方向の長さが、基板１の幅方向（基板搬送方向と
直交する方向）の寸法より長く、かつ、コーテイ
ングロール２の両端部付近に刻設された余剰液流
下溝９間の長さより短く構成されているため、バ
ツクアツプロール４の表面に余剰液が付着して汚
れることがない。
また、第７図および第８図は、本考案の第３の
実施例であり、この実施例においては、余剰液流
下用部材１０の上端はコーテイングロール２の余
剰液流下溝９に遊嵌し、コーテイングロール２の
回転に支障がない程度に摺接し、なおかつ余剰液
流下用部材１０の一部がバツクアツプロール４の
余剰液流下溝９′に遊嵌し、バツクアツプ４の回
転に支障がない程度に摺接するように構成したも
ので、前記第１および第２の実施例と比較してそ
の構成は若干複雑となるが、ミスト等が基板１に
付着する不都合はほぼ完全に解消し得る効果を有
する。
実施例であり、この実施例においては、余剰液流
下用部材１０の上端はコーテイングロール２の余
剰液流下溝９に遊嵌し、コーテイングロール２の
回転に支障がない程度に摺接し、なおかつ余剰液
流下用部材１０の一部がバツクアツプロール４の
余剰液流下溝９′に遊嵌し、バツクアツプ４の回
転に支障がない程度に摺接するように構成したも
ので、前記第１および第２の実施例と比較してそ
の構成は若干複雑となるが、ミスト等が基板１に
付着する不都合はほぼ完全に解消し得る効果を有
する。
そして、従来例では、ガラス基板（例えば、
300×300mm）をコーテイングロール２とバツクア
ツプロール４との間に挿入し、塗布液を塗布する
と、バツクアツプロール４に帯電した静電気の電
圧は、ガラス基板通過前が−1000Vであるのに対
し、ガラス基板が数枚通過後には、−5000Vに帯
電し、その結果、このバツクアツプロール４には
相当量の塗布液が点状に付着して、ガラス基板裏
面を汚し、実用に耐えないものとなつていた。
300×300mm）をコーテイングロール２とバツクア
ツプロール４との間に挿入し、塗布液を塗布する
と、バツクアツプロール４に帯電した静電気の電
圧は、ガラス基板通過前が−1000Vであるのに対
し、ガラス基板が数枚通過後には、−5000Vに帯
電し、その結果、このバツクアツプロール４には
相当量の塗布液が点状に付着して、ガラス基板裏
面を汚し、実用に耐えないものとなつていた。
しかしながら、本考案によれば、バツクアツプ
ロール４には塗布液がほとんど付着せず、基板の
裏面に汚れが生じないことが確認できた。
ロール４には塗布液がほとんど付着せず、基板の
裏面に汚れが生じないことが確認できた。
本考案によれば、
余剰液流下用部材を、単にロールコータのロ
ールの余剰液流下溝にロールの回転に支障がな
い程度に摺接させるだけで、ロールへの帯電を
防止し、しかも、余剰塗布液が余剰液流下用部
材を伝わつて流下するため、ミストや糸状の塗
布液の発生を防止することができる。
ールの余剰液流下溝にロールの回転に支障がな
い程度に摺接させるだけで、ロールへの帯電を
防止し、しかも、余剰塗布液が余剰液流下用部
材を伝わつて流下するため、ミストや糸状の塗
布液の発生を防止することができる。
ロールに静電気が帯電しないので、空気中の
塵埃を付着することがなく、ひいては基板の表
面に塵埃転写することを防止できる。
塵埃を付着することがなく、ひいては基板の表
面に塵埃転写することを防止できる。
単なる余剰液流下用部材であるので、構造簡
単で、既存の装置にも容易に装着することがで
き、塗布液の材質によつても左右されない。
単で、既存の装置にも容易に装着することがで
き、塗布液の材質によつても左右されない。
一対の余剰液流下用部材であるので、静電気
の導電性がより完全に行われる。
の導電性がより完全に行われる。
第１図は従来例の側面図、第２図は第１図の斜
視図、第３図は本考案の第１の実施例の正面図、
第４図は第３図のＸ〜Ｘ断面図、第５図は本考案
の第２の実施例の正面図、第６図は第５図のＹ〜
Ｙ断面図、第７図は本考案の第３の実施例の正面
図、第８図は第７図のＺ〜Ｚ断面図を示す。 １……基板、２……コーテイングロール、４…
…バツクアツプロール、１０……余剰液流下用部
材。
視図、第３図は本考案の第１の実施例の正面図、
第４図は第３図のＸ〜Ｘ断面図、第５図は本考案
の第２の実施例の正面図、第６図は第５図のＹ〜
Ｙ断面図、第７図は本考案の第３の実施例の正面
図、第８図は第７図のＺ〜Ｚ断面図を示す。 １……基板、２……コーテイングロール、４…
…バツクアツプロール、１０……余剰液流下用部
材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 回転自在に機枠に取付けられたバツクアツプロ
ールと、該バツクアツプロールの上方に回転自在
に配設され、かつ、当該バツクアツプロールとの
間に挟持、搬送される基板上に塗布液を転写、供
給するコーテイングロールと、該コーテイングロ
ールと当接し、当該コーテイングロールとの間に
塗布液を貯溜するドクターと、を具備したロール
コータにおいて、 前記コーテイングロールもしくはバツクアツプ
ロールの少なくとも一方の両端部付近周面に余剰
液流下溝を刻設し、該余剰液流下溝にその上端が
遊嵌し、これらのロールの回転に支障がない程度
に摺接する余剰液流下用部材を立設した基板用ロ
ールコータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1086684U JPS60124671U (ja) | 1984-01-28 | 1984-01-28 | 基板用ロールコータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1086684U JPS60124671U (ja) | 1984-01-28 | 1984-01-28 | 基板用ロールコータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60124671U JPS60124671U (ja) | 1985-08-22 |
| JPH0143193Y2 true JPH0143193Y2 (ja) | 1989-12-14 |
Family
ID=30492443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1086684U Granted JPS60124671U (ja) | 1984-01-28 | 1984-01-28 | 基板用ロールコータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60124671U (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH049025Y2 (ja) * | 1984-08-31 | 1992-03-06 | ||
| JP2501724Y2 (ja) * | 1990-01-11 | 1996-06-19 | 石川島播磨重工業株式会社 | 塗工機のファウンテン装置 |
| JP2013071033A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-04-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53106771U (ja) * | 1977-01-31 | 1978-08-28 | ||
| JPS5732832Y2 (ja) * | 1977-02-10 | 1982-07-20 |
-
1984
- 1984-01-28 JP JP1086684U patent/JPS60124671U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60124671U (ja) | 1985-08-22 |
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