JPH0143839B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は新規なメツキ方法及びメツキ装置に関
する。詳しくは、折り曲げに対する強度が優れて
おり、折り曲げ応力が頻繁に加わる部分に使用さ
れるのに適したメツキ膜を得ることのできる新規
なメツキ方法及びメツキ装置を提供しようとする
ものである。

背景技術とその問題点 導電性金属箔、例えば、銅箔はフレキシブルプ
リント回路板（以下、「FPC」と云う。）用の導
体としてきわめて優れた性質を有している。そし
て、FPCは近時種々の分野で広く使用されて来
ており、その中に、折り曲げ負荷が繰り返しかか
る部位に使用される場合がある。例えば、各種プ
リンターの印字ヘツドとその制御部とを連結する
FPCにあつては、印字ヘツドが可動部であり制
御部が固定部であることから、両者の間を連結し
ているFPCは折り曲げが繰り返されたり、折り
曲げ箇所が順次に移動して行く、というように、
きわめて厳しい折り曲げ負荷がかかる状況で使用
される。

そこで、このような箇所に使用されるFPCの
導体としては、屈曲による切断の生じないものが
必要である。

そこで、このようなFPC用導体として適当な
銅箔を考えてみたが、適当なものがないのが現状
である。

例えば、メツキ銅箔であるが、これは安価であ
るという利点はあるが、屈曲運動に対しては弱い
という欠点を有する。これは、メツキ法による場
合には、第１０図に示すように、銅粒子ａ，ａ，
…が柱状に堆積して銅箔が生成され、かつ、その
堆積密度も粗いため、屈曲の繰り返しに対してき
わめて弱いからである。また、銅粒子の堆積密度
が粗いことは、電気抵抗が高くなり、FPCの導
体として余り好ましいものではない。

このため、メツキ銅箔は、屈曲されたままの状
態で配置される箇所に使用するFPCの導体とし
ては何とか使用することができるが、屈曲が繰り
返されたり、屈曲位置が移動して行くような箇所
に使用されるFPCの導体としては使用すること
ができなかつた。

圧延アニール銅箔は屈曲に対して強靭であり、
電気抵抗も小さく、その点では繰り返し屈曲され
る箇所に使用されるFPCの導体として好適であ
る。

しかしながら、圧延アニール銅箔にあつては、
薄さに限界があり、18ミクロン（μ）程度しか薄
くすることができず、また、このことが銅箔部
（導体）幅を小さくすることの障害となるという
問題がある。

即ち、圧延アニール銅箔を導体としてFPCを
製造するには、まず、ベースフイルムｂ上に一面
に銅箔ｃを貼り付け、その後に不要部分をエツチ
ングにより除去するという工程を採る。そして、
エツチングをする場合、第１１図に示すように、
銅箔ｃのベースフイルムｂ側の部分ｄ，ｄ，…が
抉り取られるという問題がある。しかも、この抉
り取られる部分ｄ，ｄ，…は銅箔ｃの厚さが厚く
なる程大きくなるので、銅箔ｃの厚さを薄くする
のに限界がある圧延アニール銅箔では、かなりの
部分がエツチングにより抉り取られることにな
り、従つて、導体幅ｅは、抉り取られる部分ｄ，
ｄ，…を見込んだ幅にしなければならず、このこ
とが回路の高密度化を阻害することになる。

また、板状の銅箔をベースフイルムに接着する
必要があるため、接着強度を高める必要から、銅
箔形成後の後処理、例えば、銅箔の接着側面を表
面処理により凹凸状にする処理が必要となり、圧
延工程そのものがコスト高であるのに加えて、
益々コスト高となつてしまうという問題がある。

発明の目的 そこで、本発明は、折り曲げに対する強度が優
れており、折り曲げ応力が頻繁に加わる部分に使
用されるのに適したメツキ膜を得ることのできる
新規なメツキ方法及びメツキ装置を提供すること
を目的とする。

発明の概要 上記目的を達成するために、本発明メツキ方法
は、カソードと接触してカソード化される導電性
金属帯と複数のアノードとの間にメツキ液を流
し、前記カソードと前記各アノードとの間に一つ
の電源からパルス状のメツキ電流を順次切換えて
供給すると共に、前記カソードとアノードとの間
に前記メツキ電流の供給の休止期間において適時
にメツキ電流より大きい逆電流を供給し、これに
よつて前記導電性金属帯にメツキ膜を堆積させる
ことを特徴とし、また、本発明メツキ装置は、メ
ツキ液が入れられているメツキ液槽と、該メツキ
液槽の上方に配置され水平方向に延びる平面を有
するカソードと、前記カソードの上記平面と接触
してカソード化される導電性金属帯と、前記カソ
ードの平面と適当な間隔を置いて対向された複数
のアノードと、カソードに接触した導電性金属帯
とアノードとの間にメツキ液を供給する手段と、
前記カソードと前記各アノードとの間に一つの電
源からパルス状のメツキ電流を順次切換えて供給
するパルス電流供給手段と前記カソードとアノー
ドとの間に前記メツキ電流の供給の休止期間にお
いて適時にメツキ電流より大きい逆電流を供給す
る手段とから成ることを特徴とする。

そして、このような本発明に係るメツキ方法及
びメツキ装置によれば、折り曲げに対する強度が
優れており、折り曲げ応力が頻繁に加わる部分に
使用されるのに適していると共に電気抵抗が小さ
いメツキ膜を効率的に得ることができる。

実施例 以下に、本発明の詳細を実施例に従つて説明す
る。

先ず、メツキ装置について説明する。

先ず、第１図及び第２図によつて本発明メツキ
装置の概要を説明する。図に示されたメツキ装置
は銅箔の如き金属箔の製造に適用されたものであ
る。

１０はメツキ液槽であり、このメツキ液槽１０
の上方において、ステンレスあるいはニツケル等
から成る金属帯１２が水平方向に配置されてい
る。１４はメツキ液槽１０の上方に略固定的に配
置されたカソードで、例えば、グラフアイトから
成り、前記金属帯１２はこのカソード１４の下面
と摺接状態で第１図及び第２図の矢印方向へ移動
されるようになつている。

供給リール１６に巻回されている金属帯１２は
そこから巻き戻されてガイドロール１８を経てメ
ツキ液槽１０の上方に供給される。メツキ液槽１
０の上方において、金属帯１２がカソード１４と
摺接状態で、従つて、カソード化された状態で、
移動される間に、以下に述べるような方法で、該
金属帯１２の下面に所望の金属が電解折出され
る。メツキ液槽１０の部分を通過してメツキ膜が
堆積された金属帯１２は一対のニツプロール２
０，２０間を通され、金属帯１２からこの上に形
成された連続された金属箔２２が引き剥がされ
る。

金属箔の帯２２と分離された金属帯１２はテン
シヨンロールを兼ねたガイドロール２４を経て巻
取リール２６によつて巻き取られ、そして、金属
箔帯２２の方は、同じく、テンシヨンロールを兼
ねたガイドロール２８を経て別の巻取リール３０
によつて巻き取られる。各巻取リール２６及び３
０はそれぞれ各別のモータ駆動機構３２，３６に
よつてそれぞれチエーン伝動機構３４，３８を介
して第１図に矢印で示すように時計回り方向に回
転され、かつ、各リール２６及び３０の回転スピ
ードは同調せしめられている。

４０はメツキ液槽１０内においてメツキ液を循
環させるためのポンプであり、このポンプ４０は
モータ４２によつて駆動され、そして送出導管４
４及び戻入導管４６を有しており、これら２つの
導管４４及び４６はメツキ液槽内１０によつて連
通されている。

第２図乃至第４図から良く解るように、カソー
ド１４は、この下側を移動される金属帯１２と摺
接し得るように水平方向に位置された平らな底面
４８を有している。カソード１４の底面には円形
の凹部５０，５０，５０及び溝５２，５２，５２
が適当に配置形成されており、そして、各溝５
２，５２，５２は少なくとも一つの凹部５０と連
通されている。図示された３個の円形凹部５０，
５０，５０はカソード１４に垂直方向に貫通形成
された各別の通路５４，５４，５４と直結されて
いる。これらの通路５４，５４，５４は、導管５
６，５６，５６を介して真空ポンプ５８と連結さ
れており、真空ポンプ５８はモータ６０によつて
駆動される。

しかして、金属帯１２がカソード１４の下側に
供給されている間真空ポンプ５８を駆動すると、
カソード１４の底面４８に設けられた円形凹部５
０，５０，５０及び溝５２，５２，５２に部分的
な真空状態が生じ、これによる吸引力によつて金
属帯１２はカソード１４底面と摺接されて互いの
間の完全な電気的導通が得られる。

複数の不溶性アノード６２，６４，６６及び６
８がメツキ液槽１０内にカソード１４と平行にな
るように保持されており、カソード１４の底面４
８と摺接しながら移動する金属帯１２と各アノー
ド６２，６４，６６，６８との間には比較的小さ
な間隔Ｓが設けられるようにされている。これら
アノード６２，６４と６６，６８とは金属帯１２
の移動方向に所定の間隔を空けて配置されてい
る。そして、後述する回路によりカソード１４及
びアノード６２，６４，６６，６８はそれぞれ電
源に接続されている。

不溶性アノード６４と６６との間にはポリ塩化
ビニリデンの如き電気絶縁性物質から成るブロツ
ク７０が介挿されており、この絶縁ブロツク７０
の上面７２はアノード６２，６４，６６，６８の
上面と一致せしめられている。絶縁ブロツク７０
の上面７２には金属帯１２の送行方向を横切るよ
うに溝７４が形成されており、この溝７４はアノ
ード６２，６４，６６あるいは６８とカソード１
４の底面に沿つて走行する金属帯１２との間隔
（この間隔は絶縁ブロツク７０の上面７２と金属
帯１２との間の間隔とも等しい。）より充分に大
きな幅Ｗを有している。

孔７６が溝７４の中央部から下方に向つて垂直
に形成されており、そして、この孔７６はＬ字状
の導管７８を介してポンプ４０の送出導管４４と
連結されている。ポンプ４０の戻入導管４６は部
分８０でメツキ液槽１０の内部に開口している。

アノード６２及び６８の下流側（絶縁ブロツク
７０から遠い側）には互いに及びアノード６２又
は６８から略等間隔を空けて電気絶縁性物質、例
えば、ポリ塩化ビニリデンから成るいくつかのブ
ロツク８２，８２，…がメツキ液槽１０を横切る
ように配置されており、各ブロツク８２相互の間
及びこれらとアノード６２又は６８との間にはメ
ツキ液戻し用の通路８４，８４，…が形成され
る。

更に、絶縁ブロツク７０の溝７４内には上向き
の段部８６が形成されており、この段部８６に合
成樹脂製の板材８８が溝７４の中間部を遮断する
ように部分９０にて固定されており、そして、こ
の板材８８にはメツキ液の通過を許容する多数の
小孔９２，９２，…が配列形成されている。尚、
遮板８８はこのように形成する他、網目状の板を
もつて替えても良い。

９４，９４は絶縁板であり、アノード６２と６
４との間及び６６と６８との間に介在せしめら
れ、これによつて、各不溶性アノード６２，６
４，６６，６８は互いに電気的に絶縁されてい
る。

９６は、例えば、テフロン（商品名）のような
ものから成形されたシール帯であり、メツキ液槽
１０の両側部上端面から突出され、その上端面は
金属帯１２の両側縁下面と摺接する。このシール
帯９６はメツキ液槽１０の両側部上端面に形成さ
れた溝９８内にその下方部が摺動可能に受け入れ
られており、溝９８内においてシール帯９６下端
面と溝９８の底部との間に例えばポリ塩化ビニリ
デンや合成ゴムのような弾性のある材料から成る
チユーブ１００が介挿されている。そして、この
チユーブ１００内には空気やその他適当な流体を
出し入れすることができるようにしてあり、これ
によつてこのチユーブ１００の上に横たわるシー
ル帯９６を弾性的に上下させシール帯９６上端面
と金属帯１２との間で完全な水密性が保たれるよ
うにしてある。

尚、図示した実施例では、アノード６２，６
４，６６，６８及び絶縁ブロツク７０の両側面が
メツキ液槽１０の両側内面と密着されているため
シール帯９６はメツキ液槽１０の両側部上端に配
置されたが、アノード６２，６４，６６，６８及
び絶縁ブロツク７０の両側縁上面にシール帯９６
を受け入れる溝を形成して上記と同様に構成して
も良い。この場合でしかも絶縁ブロツク７０の両
側と槽１０内面とが密着していないときは、絶縁
ブロツク７０の溝７４はシール帯９６を受ける溝
を形成した部分の内側に形成される必要がある。

１０２及び１０４はフオワード用電源であり、
電源１０２はアノード６２及び６４に、また、電
源１０４はアノード６６及び６８に、それぞれメ
ツキ用電流を供給するためのものである。一方の
電源１０２のプラス端子は切換スイツチ１０６を
介してアノード６２に接続され、また、切換スイ
ツチ１０８を介してアノード６４に接続されてい
る。また、電源１０２の接地レベル端子はカソー
ド１４に接続されている。そして、他方の電源１
０４も、そのプラス端子は、切換スイツチ１１０
を介してアノード６６に接続され、また、切換ス
イツチ１１２を介してアノード６８に接続されて
いる。また、電源１０４の接地レベル端子はカソ
ード１４に接続されている。

１１４はリバース用電源であり、各別の切換ス
イツチ１１６，１１８，１２０，１２２を介して
アノード６２，６４，６６，６８と接続されてい
る。

しかして、メツキ液層１０内にはアノード６
２，６４，６６，６８やそして絶縁ブロツク７０
や８２よりも低いレベルまで、例えば、レベルラ
イン１２４で示されるレベルまでメツキ液で満た
される。

ポンプ４０によつて圧送されたメツキ液はＬ形
の導管７８や絶縁ブロツク７０によつて限定せし
められた通路を通つて上昇され、そして、カソー
ド１４の底面に沿つて移動する金属帯１２に突き
当つて直角に向きを変えられる。メツキ液は比較
的幅の広い溝７４から出て絶縁ブロツク７０と金
属帯１２間の狭い空間内に入り込み、そして、そ
れによつてアノード６２，６４，６６，６８とカ
ソード１４の下の金属帯１２との間の空間を乱流
状態で流れて行く。

本発明メツキ装置においては、アノード６２，
６４，６６，６８上に流れるメツキ液の乱流の程
度はメツキ液の流れ方向を横断する方向に平均化
されていることが好ましい。この目的のために、
メツキ液の流れ方向に測つて、溝７４の端からア
ノード６４，６６との接合端までの距離Ｄが各ア
ノード６４，６６とカソード１４の下を送行され
る金属帯１２との間の間隔Ｓの少なくとも５倍の
長さになるようにされている。好ましくは、間隔
Ｓは0.2〜30ミリメートルの範囲内が良く、又、
アノード６２，６４，６６，６８に沿つて流れる
メツキ液の乱流の程度は2300以上のレイノルズ数
であることが好ましい。

次に本発明メツキ装置の動作について説明す
る。

上述したメツキ装置により、例えば、銅箔を連
続的に製造する場合、モータ駆動機構３２を駆動
してステンレスその他の金属から成る金属帯１２
を供給リール１６から巻取リール２６へ一定のス
ピードで移動させメツキ液槽１０の上を水平に送
行させる。金属帯１２は、真空ポンプ５８を駆動
して金属帯１２に対して吸引力を働かせることに
よつてカソード１４の下をその平らな底面４８と
摺接しながら送行される。

又、ポンプ４０が駆動されると、硫酸銅を含ん
だメツキ液が送出されて絶縁ブロツク７０の溝７
４内に上昇され、それから絶縁ブロツク７０とカ
ソード１４の下を送行される金属帯１２との間を
通過して、乱流となつてアノード６２，６４，６
６，６８とカソード１４の下の金属帯１２との間
へ流入しそしてここを通過して行く。上述したよ
うに、各アノード６２，６４，６６，６８上を流
れるメツキ液の乱流の程度は流れ方向を横切る方
向において略均一である。又、各アノード６２，
６４，６６，６８上を流れる乱流の流速は少なく
とも約２メーター／毎秒であることが好ましい。

カソード１４と摺接して送行される金属帯１２
の下面に銅を堆積させるのに適当な電流密度でア
ノード６２，６４，６６，６８を通してパルス状
のメツキ電流が供給される。尚、このメツキ電流
の供給の詳細については後述する。各アノード６
２，６４，６６，６８とカソード化された金属帯
１２との間の約0.2〜30ミリメートルの間隔部を
メツキ液が約２メートル／毎秒以上の速度で且つ
乱流状態で流れることは、金属帯１２の近傍で銅
イオンの濃度分極が生長するのを防止し、その結
果銅の堆積速度を効果的に早めることができる。

以上のようにして、カソード１４の下を金属帯
１２が送行されると同時にその表面に銅箔の帯２
２が連続的に形成される。連続した銅箔帯２２は
一対のニツプロール２０，２０を通過するとき金
属帯１２から引き剥がされ、そして、モータ駆動
機構３６によつて回転される巻取リール３０によ
つて巻き取られる。そして、金属帯１２がそこに
銅が堆積される間正しく水平に保たれているの
で、銅箔がニツプロール２０，２０の所まで到達
する間に金属帯から分離してしまう惧れは全くな
い。

以上に記載したように、上記装置によれば、極
めて効果的に連続的にメツキを行なうことができ
るが、より上質なメツキ膜を得るためには、前記
カソードとアノードとの間に適時に逆電流を供給
することが必要である。これについて、第７図に
従つて詳述する。

第７図Ａはアノード６２に、第７図Ｂはアノー
ド６４に、第７図Ｃはアノード６６に、第７図Ｄ
はアノード６８に、それぞれ加えられるパルス状
のメツキ電流とリバース電流の状態を示すもの
で、これら各図は時間軸を対比できるように配置
してある。そして、これら電流の制御は前述した
各切換スイツチ１０６，１０８，１１０，１１
２，１１６，１１８，１２０及び１２２を適時に
オン・オフすることによつて為される。

更に詳細に述べれば、アノード６２及び６４へ
のメツキ電流の供給は一つのフオワード用電源１
０２によつて為され、切換スイツチ１０６及び１
０８を交互に、即ち、切換スイツチ１０６がオン
のとき１０８はオフ、１０６がオフのとき１０８
はオンとなるように、オン・オフすることにより
パルス状のメツキ電流が供給される。アノード６
６及び６８に関しても、同様に、一つのフオワー
ド用電源１０４から交互にオン・オフされる切換
スイツチ１１０及び１１２を介してパルス状のメ
ツキ電流が供給される。

このような方式によつてメツキ電流をパルス状
に供給すると、電流の立上がり時間が短くて済
み、メツキ効率及びメツキ品位が高くなるという
利点がある。即ち、切換スイツチ１０６オン、１
０８オフのときを考えると、アノード６４−カソ
ード１４間の回路に関してアノード６２−カソー
ド１４間が等価抵抗負荷となり、ここに電流が流
れているので、切換スイツチ１０６オフ、１０８
オンに切換えたときにアノード６４−カソード１
４間に流れる電流の立上がり時間が短くて済む。
逆に、切換スイツチ１０６オフ、１０８オンのと
きには、アノード６２−カソード１４間の回路に
関してアノード６４−カソード１４間が等価抵抗
負荷となり、ここに電流が流れているので、アノ
ード６２オン、１０８オフに切換えたときに、ア
ノード６２−カソード１４間に流れる電流の立上
り時間が短くて済むことになる。これによつて、
立上がり、立下がり共に急竣な矩形波電流を得る
ことができる。

尚、第８図に示すように、各アノードＡに対し
て各１個のフオワード用電源Ｂを用意しスイツチ
Ｓ，S′を交互にオン・オフさせてパルス電流を供
給しスイツチＳオフ時には等価抵抗負荷Ｒを通し
て電流を流しておき、スイツチＳオン時にアノー
ドに供給される電流の立上がり時間を短くする方
式も考えられるが、この方式によると前記実施例
で示した方式に比して、以下の欠点がある。

まず第１に、等価抵抗負荷Ｒに電流を流す間は
電力が無駄に消費されているという問題があり、
第２に、アノード−カソード間の抵抗値はメツキ
液の金属イオン濃度等の要素によつて変化するた
め、等価抵抗負荷Ｒの抵抗値を固定にしておくこ
とには問題があり、かといつて、これを可変にし
て、常にアノード−カソード間の抵抗値と同じ値
にしておくようにすることは不可能である。

これに対して、上記実施例で示した方式によれ
ば、一組のアノードの何れかには常に電流が供給
されているため、電力の無駄がなく、更に、一組
を為すそれぞれのアノードとカソードと間は常に
同一条件であるため、その電気抵抗も等しく、こ
れを等価抵抗負荷として利用することによつてき
わめて適切な制御を行なうことができる。

尚、上記実施例においては、２個のアノードを
一組として、これらに１個のフオワード用電源に
よつてパルス状のメツキ電流を供給するようにし
たが、３個あるいはそれ以上のアノードを一組と
しても良い。

尚、上記パルス電流のピーク値は約10×10³ア
ンペア以上、パルス幅は0.5〜9.9ミリ秒位が適当
であるが、勿論これに限定されるものではない。

しかして、各アノード６２，６４，６６及び６
８へのパルス状のメツキ電流の供給の合間に適時
にリバース用電源１１４から切換スイツチ１１
６，１１８，１２０，１２２を介してリバース電
流を供給する。このリバース電流のピーク値は約
27×10³アンペア位が適当であるが、勿論これに
限定されるものではない。

以上のようなメツキ方法及びメツキ装置によれ
ば、折り曲げに対する強度が優れており、折り曲
げ応力が頻繁に加わる部分に使用されるのに適し
たメツキ膜を得ることができる。

即ち、メツキ電流をパルス状に供給するため、
導電性金属帯１２に堆積される金属の粒子が小さ
く、従つて、堆積密度が高くなり、折り曲げに対
して強靭で、かつ、電気抵抗が小さく、FPC用
導体として好適な金属箔を得ることができる。ま
た、パルス電流であるため、メツキ電流オフ時に
金属帯１２側や堆積金属粒子間に発生するH₂や
O₂等のガスが除去され、各金属粒子間の結合強
度が強くなる。これらガスの除去は、メツキ液が
アノードとカソードとの間を乱流状態で流れるこ
とによつても為され、堆積金属粒子間の結合をよ
り強固なものとする。更に、メツキ液が流れてい
ることとパルス状のメツキ電流の供給とによつ
て、分極層の発生を抑え、金属帯に接して常に好
適濃度のメツキ液が供給されることになり、メツ
キ速度を高めることができ、かつ、品位の高いメ
ツキ膜を得ることができる。更にまた、アノード
−カソード間にメツキ電流の供給の休止期間にお
いて適時にメツキ電流より大きい逆電界をかける
ため、金属帯１２上に生成される金属箔２２表面
がそれに付着する金属酸化物（例えば、CuO）が
除去されて活性化し、かつ、金属帯１２近くに金
属イオンを発生させるため、分極層の発生を抑え
ることに寄与し、このこともメツキ速度とメツキ
品位を高めるのに寄与する。また、メツキ液をア
ノード−カソード間に流し、かつ、パルス電流を
供給するものであるため、金属帯１２上に堆積さ
れる金属の粒子１２６，１２６，…が、第９図に
示すように、横長又は横方向に傾斜した堆積とな
り、この点で屈曲に対して強い金属箔を得ること
ができる。

尚、上記装置によれば極めて効果的に連続的な
メツキを得ることができるが、このようなメツキ
装置において、アノード６２，６４，６６，６８
と金属帯１２との間をメツキ液が乱流状態で流れ
しかもその乱流の程度が金属帯１２の送行方向を
横切る方向において均一であることが必要であ
る。さもないと、金属帯の幅方向において金属が
良く堆積される部分とそうでない部分とが生じて
しまい堆積される金属箔の品質が低下することに
なる。そこで、上記実施例においては、絶縁ブロ
ツク７０に形成された溝７４の垂直方向における
略中間位置に板状部材８８を配置しこれに小孔９
２，９２，…を多数配列形成したので、このよう
なすることによつて、溝７４にまでポンプアツプ
されたメツキ液は一旦溝７４の遮板８８より下方
の部分に満たされ、それから全小孔９２，９２，
…から強制的に送出される。従つて、各アノード
６２，６４，６６，６８と金属帯１２との間を流
れるメツキ液の乱流の程度が金属帯１２の送行方
向を横切る方向においてより均一なものとなる効
果がある。

応用例 第１２図は本発明メツキ装置をフレキシブルプ
リント回路板の連続製造装置として適用した応用
例を示すものである。

１２８が前記したメツキ装置と同様のメツキ装
置であり、図面ではメツキ液槽１０とカソード１
４とが示されている。

また、供給リール１６に巻回された金属帯１２
がカソード１４の底面に接触し、カソード化され
て送行され、巻取リール２６に巻き取られてい
く。

そこで、金属帯１２のアノードに対向される側
の面に予め図示しないメツキレジスト材を付与
し、導体パターンとする箇所のみそのメツキレジ
スト材を除去しておく。すると、金属帯１２はメ
ツキ装置１２８を通過する間に、そのアノードに
対向した面に導体パターン状のメツキが施され
る。

１３０はベースフイルム供給リールであり、こ
れに巻回されているベースフイルム１３２は案内
ロール１３４の箇所で金属帯１２のパターン状導
体が形成された側の面と密着せしめられる。そし
て、このベースフイルム１３２は加圧ロール１３
６、案内ロール１３８，１３８、ヒートロール１
４０、案内ロール１３８を通つて、巻取リール１
４２に巻き取られていく。

ベースフイルム１３２の金属帯１２と接触せし
められる側の面には加熱活性型の接着剤（図示し
ない。）が塗布されており、ベースフイルム１３
２と金属帯１２とが重ね合わされた状態でヒート
ロール１４４に加圧ロール１３６によつて圧着さ
れることによつて、ベースフイルム１３２に付与
された前記接着剤が活性化し、金属帯１２上に形
成されたパターン状導体がベースフイルム１３２
に接着せしめられる。従つて、ヒートロール１４
４と加圧ロール１３６とが圧接された箇所を通り
抜けたところで、金属帯１２とベースフイルム１
３２とが互いに離れて行くようにされているの
で、パターン状導体は金属帯１２から引き剥がさ
れる。

１４６はオーバーレイフイルムであり、供給リ
ール１４８から送出され、巻取リール１４２に巻
き取られて行く。そして、この過程において、ヒ
ートロール１４０，１４０間を通過するときに、
前記ベースフイルム１３２のパターン状導体が形
成された側の面と密着せしめられる。

そして、オーバーレイフイルム１４６のベース
フイルム１３２に密着される側の面には加熱活性
型の接着剤が塗布されており、従つて、このオー
バーレイフイルム１４６とベースフイルム１３２
とがヒートロール１４０，１４０の間で加熱加圧
されることにより、オーバーレイフイルム１４６
上の接着剤が活性化し、これによつてオーバーレ
イフイルム１４６がベースフイルム１３２のパタ
ーン状導体が接着された側の面に接着され、ここ
にフレキシブルプリント回路板１５０の連続した
ものが形成され、これが巻取リール１４２に巻き
取られて行く。

以上のようにして、フレキシブルプリント回路
板１５０が連続的に形成されることになる。

発明の効果 以上に記載したところから明らかなように、本
発明メツキ方法は、カソードと接触してカソード
化される導電性金属帯と複数のアノードとの間に
メツキ液を流し、前記カソードと前記各アノード
との間に一つの電源からパルス状のメツキ電流を
順次切換えて供給すると共に、前記カソードとア
ノードとの間に前記メツキ電流の供給の休止期間
において適時にメツキ電流より大きい逆電流を供
給し、これによつて前記導電性金属帯にメツキ膜
を堆積させることを特徴とする。また、本発明メ
ツキ装置は、メツキ液が入れられているメツキ液
槽と、該メツキ液槽の上方に配置され水平方向に
延びる平面を有するカソードと、前記カソードの
上記平面と接触してカソード化される導電性金属
帯と、前記カソードの平面と適当な間隔を置いて
対向された複数のアノードと、カソードに接触し
た導電性金属帯とアノードとの間にメツキ液を供
給する手段と、前記カソードと前記各アノードと
の間に一つの電源からパルス状のメツキ電流を順
次切換えて供給するパルス電流供給手段と前記カ
ソードとアノードとの間に前記メツキ電流の供給
の休止期間において適時にメツキ電流より大きい
逆電流を供給する手段とから成ることを特徴とす
る。

そして、このような本発明に係るメツキ方法及
びメツキ装置によれば、カソードと複数のアノー
ドとを備え、カソードと各アノードとの間に一つ
の電源からパルス状のメツキ電流を順次切換えて
供給するから、一のアノードとカソードとの間の
回路がつながつているときには、他のアノードと
カソード間の回路に関して前記一のアノードとカ
ソードとの間が等価抵抗負荷となり電流が流れて
いるので、他のアノードとカソード間の回路がつ
ながれたときにその間に流れる電流の立ち上がり
時間が短くて済むことになる。そのため、メツキ
効率が高くなるという利点がある。また、アノー
ドとカソード間にメツキ電流の供給の休止期間に
おいて適時にメツキ電流より大きい逆電流を供給
するから、金属帯上に生成される金属箔の表面に
付着する金属酸化物（例えば、CuO）が除去さ
れ、電気抵抗が小さい好適な金属箔を得られる
が、メツキ電流の休止期間中に逆電流を供給する
ものであるからメツキ効率には何ら悪影響を及ぼ
さないという利点もある。要するに、折り曲げに
対する強度が優れており、折り曲げ応力が頻繁に
かわる部分に使用されるのに適していると共に電
気抵抗が小さいメツキ膜を効率的に得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明メツキ装置の実施の
一例を示すもので、第１図は一部を省略して示す
全体の側面図、第２図はメツキ液槽を拡大して示
す縦断面図、第３図は第２図の３−３線に沿う断
面図、第４図はカソードの底面図、第５図は第３
図と同じ部位で切断しシール手段の詳細を示す拡
大断面図、第６図は絶縁ブロツクを詳細に示す拡
大斜視図、第７図は本発明メツキ方法においてア
ノードに供給される電流の状態を示すタイムチヤ
ート図、第８図は電流供給手段の別の例を示す概
念図、第９図は導電性金属帯に堆積される金属粒
子の状態を示す模型図、第１０図は通常のメツキ
法による金属の堆積状態を示す模型図、第１１図
はエツチング法による問題点を示すための要部拡
大断面図、第１２図は本発明メツキ装置をフレキ
シブルプリント回路板を連続的に製造する装置に
適用した応用例を示す一部切欠側面図である。 符号の説明、１０……メツキ液槽、１２……導
電性金属帯、１４……カソード、４２，４４，７
６，７８……メツキ液を供給する手段、６２，６
４，６６，６８……アノード、１０２，１０４，
１０６，１０８，１１０，１１２……パルス電流
供給手段、１１４，１１６，１１８，１２０，１
２２……逆電流供給手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ カソードと接触してカソード化される導電性
   金属帯と複数のアノードとの間にメツキ液を流
   し、前記カソードと前記各アノードとの間に一つ
   の電源からパルス状のメツキ電流を順次切換えて
   供給すると共に、前記カソードとアノードとの間
   に前記メツキ電流の供給の休止期間において適時
   にメツキ電流より大きい逆電流を供給し、これに
   よつて前記導電性金属帯にメツキ膜を堆積させる
   ことを特徴とするメツキ方法。 ２ メツキ液が入れられているメツキ液槽と、該
   メツキ液槽の上方に配置され水平方向に延びる平
   面を有するカソードと、前記カソードの上記平面
   と接触してカソード化される導電性金属帯と、前
   記カソードの平面と適当な間隔を置いて対向され
   た複数のアノードと、カソードに接触した導電性
   金属帯とアノードとの間にメツキ液を供給する手
   段と、前記カソードと前記各アノードとの間に一
   つの電源からパルス状のメツキ電流を順次切換え
   て供給するパルス電流供給手段と前記カソードと
   アノードとの間に前記メツキ電流の供給の休止期
   間において適時にメツキ電流より大きい逆電流を
   供給する手段とから成ることを特徴とするメツキ
   装置。