JPH0145737B2

JPH0145737B2 -

Info

Publication number: JPH0145737B2
Application number: JP58015146A
Authority: JP
Inventors: Fujio Komata; Kiichi Takamoto
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: NTT Inc
Priority date: 1983-02-01
Filing date: 1983-02-01
Publication date: 1989-10-04
Also published as: JPS59141224A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、LSI等の微細パタンを描画する荷電
ビーム露光装置に係わり、特に、高精度な形状寸
法の矩形成形ビームを形成するための成形絞りに
関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

周知のように、成形絞りは小さな矩形孔が設け
られた導電性の薄板を荷電ビーム露光装置の電子
光学系の光軸上に挿入し、電子源より放射された
荷電ビームがこの矩形孔を通過するとき荷電ビー
ムの一部を遮ぎつて矩形孔形状の光源像を作るも
のである。

第１図、第２図は従来の成形絞りを示すもので
あり、第１図において、１は成形絞り、２は成形
絞りの矩形孔である。また、第２図は矩形孔を有
する成形絞りを２枚重ねた図である。

１１，１２は成形絞り、２１は成形絞り１１の
短冊形の孔、２２は成形絞り１２の短冊形の孔、
２３はこれら短冊形の孔２１，２２によつて形成
される矩形孔、３０は複数個の位置決め用フラン
ジである。

第３図ａ，ｂ，ｃは上記成形絞りを用いるため
の固定方法を示すものである。５０は成形絞り固
定台、５１は成形絞り挿入溝、５２は位置決め用
円弧溝、６０は押えリング、７０は締付けねじで
ある。

第４図は成形絞りを用いた露光装置の電子光学
鏡体の一例を示すものである。８０は電子銃、８
１はコンデンスレンズ、８２，８３はビーム成形
用レンズ、８４は縮小レンズ、８５は対物レン
ズ、８６はビームブランカー、８７はビーム成形
用偏向器、８８はビーム偏向器、８６はビーム電
流制限絞り、９０は試料面、１３は第１成形絞
り、１４は第２成形絞り、９１は第１成形絞り１
３で形成された成形電子ビームの断面形状、１５
は第２成形絞り１４の矩形孔、９２は第２成形絞
り１４上に結像偏向された第１成形絞り１３で形
成された成形電子ビーム像、９３は試料面上に結
像した成形電子ビームである。

ところで、第３図において成形絞り１の固定方
法は、成形絞り固定台５０の成形絞り挿入溝５１
内に成形絞り１を入れ、成形絞り１を均等の締付
け力で押えるために押えリング６０を介在させて
締付けねじ７０をねじ込んで固定している。

第２図の成形絞り１１，１２は前述した如く成
形絞り１１の短冊形孔２１と１２の短冊形孔２２
を相直交するように成形絞１１と１２を重ね合わ
せて矩形孔２３を形成するものである。この成形
絞り１１，１２の固定方法も、第１図の成形絞り
１の場合と同じ方法である。矩形孔２３の形状精
度を保つため、成形絞り１１と１２の回転や側辺
の位置ずれを防ぐ目的で第３図ｃに示す如く成形
絞り挿入溝５１の外周を４等分する位置に位置決
め用の円弧溝５２がある。この円弧溝５２に前記
成形絞り１１，１２の位置決め用フランジ３０を
挿入することにより、成形絞り１１と１２の重ね
合わせの位置決めがなされる。このように、成形
絞り１あるいは成形絞り１１，１２が固定された
成形絞り固定台５０は第４図に示す電子光学鏡体
の第１成形絞り１３、第２成形絞り１４の位置に
装着される。

電子光学鏡体においては、電子銃８０から発生
される電子ビームが形成するクロスオーバ像、お
よび成形絞り像によつて作られる矩形の電子ビー
ム像が所定の状態に結像される。成形ビームは、
第１成形絞り１３によつて矩形に形成された電子
ビーム像９１が成形レンズ８２，８３によつて第
２成形絞り１４上に結像されると同時に、ビーム
成形用偏向器８７で偏向される。この偏向された
ビーム９２が第２成形絞り１４の矩形孔１５を通
過することによつて所定の矩形形状寸法になるよ
うに成形される。このようにして形成されたビー
ムは縮小レンズ８４、対物レンズ８５によつて試
料面９０上に所定の形状寸法で結像される。

このような構成のもとで用いられる成形絞り１
あるいは成形絞り１１，１２において、成形絞り
１の矩形孔、成形絞り１１，１２の短冊形孔は写
植によるエツチングあるいはエレクトロホーミン
グで加工される。これらの加工において成形絞り
の材質の結晶粒度、圧延方向および写植加工精度
の限界によつて製作上、第１図、第２図に示す如
く４角のコーナの丸みＲ、直角度、４辺のエツジ
の凹凸δ等の形状誤差を生じる。このうち、コー
ナの丸みＲは板厚の約1/10の誤差量を生じ、エツ
ジの凹凸δは結晶粒度、圧延方向に大きく依存す
る。

第１図、第２図において成形絞りをモリブデン
Moでエツチング加工により作製した場合、板厚
を30μｍとすると、コーナの丸み量は約3μｍ、エ
ツジの凹凸は圧延方向と同方向の矩形辺で２〜
4μｍ、圧延方向と直角方向の矩形辺で３〜5μｍ
の凹凸量を生じる。直角度は90゜±30′程度の加工
精度で、このとき矩形辺の平行度は一辺200μｍ
とすると約±1.75μｍとなる。

また、銅をエレクトロホーミングで加工し、金
メツキ（メツキ厚１〜2μｍ）を施した成形絞り
では、銅板厚を20μｍとすると、コーナの丸み量
は約2μｍ、エツジの凹凸は約2μｍ、直角度は90゜
±30′程度である。

ここで、電子光学鏡体に使用している成形絞り
を、第１成形絞りが２mm、第２成形絞りが200μ
ｍとし、この電子光学鏡体の縮小レンズ８４と対
物レンズ８５を合わせた倍率を、1/20とする。
今、試料面上に第２成形絞り矩形孔の像がそのま
ま結像したとすると、10μｍのビームとなり、モ
リブデン絞りの場合、コーナの丸みは約0.15μｍ、
エツジの凹凸は約0.25μｍの形状誤差となる。ま
た、銅に金メツキを施した絞りの場合、コーナの
丸みは約0.1μｍ、エツジの凹凸は約0.1μｍの形状
誤差となる。また、矩形の辺の平行度は約±
0.18μｍとなる。これは、サブミクロン領域のパ
タン描画においては無視することのできないパタ
ン誤差となる。

一方、コーナの丸みと材質の圧延方向による形
状誤差を無くすため第２図に示す如く２枚の成形
絞りの短冊形の孔を組合めて矩形孔を形成した成
形絞り１１，１２においては、第３図に示す成形
絞り固定台５０に装着するとき、重ね合せの位置
決め誤差、および締付けねじ７０の回転による位
置ずれによつて角度誤差θ₁〜θ₄を生じる。さら
に、エツジ凹凸の周期によつて重ね合わせる位置
を選択しなければならない煩雑さがある。

このように従来の成形絞りは、サブミクロンを
対象とする微細パタンの描画において、矩形ビー
ム形状精度、ビームシヨツト間の接続精度の低下
を生じ、パタン品質を悪くする欠点を有してい
た。

〔発明の目的〕

本発明はこれらの欠点を解決するためになされ
たもので、その目的とするところはエツジ精度の
良好な細線を直交するように組合わせて成形絞り
を構成することにより、矩形の直角度、平行度お
よびエツジの凹凸形状誤差に起因する成形ビーム
形状誤差を除去することができ、品質の優れたパ
タンを描画し得る荷電ビーム露光装置用成形絞り
を提供しようとするものである。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例について図面を参照
して説明する。

第５図ａ，ｂにおいて、金細線１０１，１０
１′，１０２，１０２′は成形絞りのエツジを形成
するものであり、この金細線１０１，１０１′，
１０２，１０２′は円筒形状で、表面は凹凸（表
面あらさ）が0.1μｍ以下の円滑な面である。この
ような金細線は市販されており、入手は容易であ
る。この凹凸量は倍率が1/10〜1/20の電子光学系
において、0.01μｍ以下となるのでパタン形成上
問題とならない。したがつて、金細線に張力を加
えて張ることにより直線性の良いエツジを得るこ
とができる。また、コーナの丸みは直線を直交さ
せるのが皆無である。

矩形孔１００は金細線１０１，１０１′，１０
２，１０２′に張力を加えて井桁状に組んで形成
したものである。矩形孔１００が高精度な平行度
および直角度の形状精度を有するように金細線１
０１，１０１′，１０２，１０２′を組み立てるに
は、矩形孔寸法と同じ外径寸法の円筒ピン２１
０，２１１，２２０，２２１を成形絞り台４００
上に設け、互いに対向する円筒ピン２１０と２１
１，２２０と２２１の外周面に沿つて金細線１０
１，１０１′，１０２，１０２′を張ることで得
る。すなわち、一体の金細線を円筒ピン２１０，
２１１に添設し、他の一本の金細線を円筒ピン，
２２０，２２１に添設してそれぞれ平行な金細線
１０１，１０１′，１０２，１０２′とする。ここ
で、円筒ピン２１０，２１１，２２０，２２１は
研削加工によつて直径寸法誤差1μｍと高精度に
加工できる。矩形孔１００の直角度は成形絞り用
基台４００上に円筒ピン２１０，２１１，２２
０，２２１をＸ、Ｙ方向に配置するときの機械加
工における位置決め精度で得る。ここで、円筒ピ
ン２１０，２１１，２２０，２２１の配置は、２
１０と２１１がＸ方向、２２０と２２１がＹ方向
とする。４本の円筒ピン２１０，２１１，２２
０，２２１のそれぞれの配置精度は加工機に高精
度なジグボーラを使用することにより約3μｍの
位置決め精度を得ることができる。円筒ピン２１
０，２１１，２２０，２２１は成形絞り用基台４
００に圧入している。２１０′，２１１′が圧入部
である。

円筒ピン２１０，２１１，２２０，２２１に巻
き付け、張力を加えて直線に張つた金細線１０
１，１０１′，１０２，１０２′の固定は金細線の
両端を成形絞り用基台４００上に接着して行な
い。１１１，１１１′，１１２，１１２′はそれぞ
れ銀ペーストあるいは瞬間接着剤で接着した固定
部である。

ところで、金細線１０１，１０１′，１０２，
１０２′による矩形孔１００の形成において、対
向する円筒ピン２１０と２１１、２２０と２２１
の間を10mmとして、200μｍの矩形孔を形成した
場合、10mmの間隔に対して金細線の平行度（金細
線１０１，１０１′間、１０２，１０２′間）は円
筒ピンの直径寸法誤差の1μｍである。直角度に
ついては、前述したように円筒ピン２１０，２１
１，２２０，２２１が3μｍの位置決め精度で配
置されるから、角度誤差は±0.3ｍrad（3μｍ／10
mm）であり、直角度は90゜±1′となる。これより、
200μｍの矩形孔においては、金細線の平行度は
0.02μｍ／200μｍ、直角度は90゜±1′となる。

ここで、第５図において、１３０，１３１は金
細線１０１，１０１′，１０２，１０２′で形成さ
れた矩形孔１００以外を照射するビームを遮断す
るモリブデン薄板で、矩形孔１００よりもわずか
に大きな矩形孔１３０′，１３１′を有している。
モリブデン薄板１３０は金細線１０１，１０１′，
１０２，１０２′を張る前にあらかじめ成形絞り
用基台４００に固定して置く。モリブデン薄板１
３０の位置決めは、成形絞り用基台４００に位置
決め用ノツクピン４１０，４１１を設け、このノ
ツクピン４１０，４１１にモリブデン薄板１３０
に設けた位置決め用孔４２０，４２１を嵌合して
行なう。モリブデン薄板１３１は金細線１０１，
１０１′，１０２，１０２′を覆うものでカバー５
００との間に介在させて金細線１０１，１０１′，
１０２，１０２′の保護を兼ねている。このモリ
ブデン薄板１３１の位置決めはモリブデン薄板１
３０と同様に同一のノツクピン４１０，４１１を
用いて行なう。

前記カバー５００は締付ねじ５１０で成形絞り
用基台４００に固定する。カバー５００と成形絞
り用基台４００の位置決めは前記モリブデン薄板
１３０，１３１と同様にノツクピン４１０，４１
１で行なう。

ところで、本実施例では、モリブデン薄板１３
０，１３１が金細線１０１，１０１′，１０２，
１０２′を上下に挾む構造としたが、上方、下方
のいずれか一方だけでも良い。また、金細線１０
１，１０１′，１０２，１０２′の固定は金細線の
両端としたが、モリブデン薄板１３０，１３１や
カバー５００の組み立て時の金細線１０１，１０
１′，１０２，１０２′の位置ずれや緩みを防ぐた
め、下側のモリブデン薄板１３０、あるいは円筒
ピン２１０，２１１，２２０，２２１に接着剤で
固定しても良い。さらに、矩形孔１００を形成す
るための基準ピンとして円筒ピンを用いたが、こ
れを矩形ピンとしても良い。

電子光学鏡体内へは成形絞り用基台４００を第
４図に示す成形絞り位置１３，１４に装着する。
金細線１０１，１０１′，１０２，１０２′を＃桁
状に組立てたときに生ずる線径による矩形エツジ
の段差については、従来技術の２枚重ねの成形絞
り１１，１２において、成形絞りの板厚30μｍに
よる段差が在つても成形ビームへの影響がないこ
とより、成形ビームの形成に問題を生じない。

このような構造としたことにより、電子光学鏡
体に装着し、成形ビームを形成しパタン描画を行
なう場合、倍率を1/20とすると、形成された矩形
ビーム10μｍにおいて、エツジの凹凸量は0.01μｍ
以下、コーナの丸みは無く、矩形の辺の平行度は
±0.001μｍ／10μｍ以下となり形状精度の良い成
形ビームを得ることができる。

矩形を形成する金細線は強度的に20μｍ程度が
限度であるが、タングステン、グラスフアイバを
用いれば10数μｍの細線で成形絞りを構成するこ
とができる。グラスフアイバの場合は表面を金被
覆して導体とする。

次に、本発明の他の実施例について説明する。

第６図は、矩形孔が例えば100μｍ以下と微小
で、矩形孔と同寸法の円筒ピンが製作できない場
合の実施例である。尚、第６図において、第５図
と同一部分には同一符号を付す。

この場合、成形絞り用基台４００上に矩形孔６
００の形成基準となる円筒ピン７０１，７０１′，
７０２，７０２′，７０３，７０３′，７０４，７
０４′をＸ、Ｙ方向に４本づつ配置する。ここで、
Ｘ方向に配置する円筒ピンは７０１，７０１′，
７０２，７０２′、Ｙ方向に配置する円筒ピンは
７０３，７０３′，７０４，７０４′である。各ピ
ンは成形絞り用基台４００に圧入する。この円筒
ピン配置において、Ｘ方向の円筒ピン７０１と７
０２間、７０１′と７０２′間、Ｙ方向の円筒ピン
７０３と７０４間、７０３′と７０４′間は形成し
ようとする矩形孔６００の矩形孔寸法と２本の金
細線径を加えた分だけ離し、Ｘ方向の円筒ピンは
７０１と７０１′、７０２と７０２′、Ｙ方向の円
筒ピンは７０３と７０３′、７０４と７０４′の中
心を結ぶ線分が平行で、かつ、Ｘ方向とＹ方向に
関しては直交するように設置する。ここで円筒ピ
ン７０１，７０１′，７０２，７０２′，７０３，
７０３′，７０４，７０４′は同一寸法である。

金細線６０１，６０２，６０３，６０４はＸ、
Ｙ方向に配置した対向する円筒ピンＸ方向７０１
と７０１′、７０２と７０２′、Ｙ方向７０３と７
０３′、７０４と７０４′に添設して＃桁状に組み
矩形孔６００を形成する。金細線６０１，６０
２，６０３，６０４はそれぞれ両端を接着剤で固
定する。６０１′，６０２′，６０３′，６０４′は
接着個所である。

ここで、円筒ピン７０１，７０１′，７０２，
７０２′，７０３，７０３′，７０４，７０４′の
配置は第５図に示す実施例と同じく3μｍの位置
決め精度が可能である。これより、円筒ピン間隔
７０１と７０１′、７０２と７０２′、７０３と７
０３′、７０４と７０４′を10mmとし、40μｍの矩
形孔を形成した場合、平行度は±0.012μｍ／40μ
ｍ程度となり、高精度な矩形孔を得ることができ
る。

金細線で矩形孔を形成するときの基準となるピ
ンについては、第５図に示す実施例では高精度な
平行度および直角度を有する矩形孔とするため、
全て矩形孔寸法と同一寸法の円筒ピンを用いた
が、この実施例では円筒ピンの直径が異なるピ
ン、あるいは偏心ピンを用いて金細線の平行性、
直交性を変えることができる。

一方、第７図は直径の異なる円筒ピンを用い
て、矩形孔を形成する金細線の一辺を傾むけた場
合の実施例である。第７図において、８１０，８
１１，８２０は同径D₁の円筒ピンである。８２
１はD₁よりも大きな径D₂の円筒ピンである。こ
こで円筒ピン８２１はD₁より小さな径でもよい。
金細線８０１，８０１′は同径寸法D₁の円筒ピン
８１０，８１１を基準として平行に張る。この金
細線８０１，８０１′に対して、金細線８０２が
直交するように、円筒ピン８２１は、円筒ピン８
２０より円筒ピンの半径の差分（D₂／２−D₁／
２）だけ円筒ピンの中心位置をずらして配置す
る。この結果、金細線８０２′は金細線を張つた
円筒ピン８２０と８２１の間隔に対して（D₂−
D₁）だけ傾斜する。したがつて、円筒ピン８２
０と８２１の間隔をｌとして、D₁の矩形孔８０
０を形成する場合、矩形孔８００の金細線８０１
と８０２′、８０１′と８０２′が交差してなす２
つの角の直角度をα₁（tanα₁＝（D₂−D₁）／ｌ）だ
け変えることができる。角度変化量α₁について
は、第５図に示す矩形孔と同一寸法の円筒ピンで
構成した実施例において、金細線を平行度1μ
ｍ／10mm、直角度90゜±1′の精度で張ることがで
きるので、α₁の角度誤差は±1′となり、正確な角
度を与えることができる。１３０ａは第５図の実
施例と同じくモリブデン薄板である。モリブデン
薄板１３０ａの矩形孔８３０は金細線８０１，８
０１′，８０２，８０２′で形成した矩形孔８００
を通過するビーム以外を遮断するため矩形孔８０
０と同形状で、寸法はわずかに大きくなつてい
る。４１０，４１１はモリブデン薄板１３０ａの
位置決め用のノツクピンである。

このような構造とすることにより、第５図に示
す実施例の成形絞りを用いてパタンを描画する場
合において、非点収差による像の歪によつて矩形
パタンの直角度が変化しているとき、この直角度
の変化量を測定し、矩形パタンの直角度が変化し
ている辺に対応する矩形孔の辺を測定結果の変化
量だけ逆に傾斜させることによつて描画パタンを
補正することができる。

第８図は金細線を斜めに張り、台形の孔を形成
した場合の実施例である。同径の基準となる円筒
ピン９１０と９１１に一本の金細線を添設して平
行する二本の金細線９０１，９０１′を張る。こ
の金細線９０１，９０１′に対して、金細線９０
２は直交するように円筒ピン９２０と９２１を配
置して張り、もう一つの金細線９０３は前記金細
線９０１′に対して角度α₂＝45゜を成すように円筒
ピン９２２と９２３を配置して張る。角度α₂は荷
電ビーム９１０，９１１，９２２，９２３の配置
精度により決まるので、前記実施例と同様に±
1′の角度誤差で形成することができる。このた
め、金細線９０１，９０１′，９０２，９０３で
正確な角度α₂＝45゜を有する台形孔９００を構成
することができる。１３０ｂはモリブデン薄板で
あり、金細線９０１，９０１′，９０２，９０３
で形成した台形孔９００よりわずかに大きな台形
孔９３０を有している。

本実施例では角度α₂が45゜の場合を示したが、
α₂は0゜＜α₂＜180゜であれば何度とすることも可能
である。

このような構造とすることにより、従来、斜辺
を有するパタンは斜辺部を短冊状にパタン分解し
て描画を行なつていたが、斜辺部をパタン分解せ
ずに描画することができ、例えば、第４図に示す
ような電子光学系内に斜辺を有する図形の絞りを
装着して、斜辺を有する成形ビームを形成する場
合の成形絞りとして利用することができる。

第９図は金細線をメツシユ状に張つて矩形孔を
構成した実施例である。

成形絞り用基台４００（本実施例の第９図には
図示していない）上のＸ、Ｙ方向に、形成しよう
とする複数個の矩形孔１０００と同寸法の円筒ピ
ン１０１０，１０１０′，１０１１，１０１１′，
１０１２，１０１２′，１０１３，１０１３′，１
０１４，１０１４′，１０１５，１０１５′を配置
する。このＸ、Ｙ方向に配置した基準となる一対
の円筒ピンそれぞれに一本の金細線を添設し、平
行する二本の金細線からなるメツシユを構成す
る。即ち、Ｘ方向の円筒ピン１０１０と１０１
０′には金細線１０２１，１０２１′を張り、円筒
ピン１０１１と１０１１′には金細線１０２２，
１０２２′、円筒ピン１０１２と１０１２′には金
細線１０２３，１０２３′を張る。また、Ｙ方向
の円筒ピン１０１３と１０１３′には金細線１０
２４，１０２４′を張り、円筒ピン１０１４と１
０１４′には金細線１０２５，１０２５′、円筒ピ
ン１０１５と１０１５′には金細線１０２６，１
０２６′を張る。Ｘ方向およびＹ方向に配置した
円筒ピンの間隔（Ｘ方向が１０１０，１０１１，
１０１２間および１０１０′，１０１１′，１０１
２′間、Ｙ方向が１０１３，１０１４，１０１５
間および１０１３′，１０１４′，１０１５′間）
は成形絞りを照射するビーム径が第４図の電子光
学系においては約500μｍであるので、隣接する
矩形孔を照射してビーム漏れを生じさせたり、コ
ンタミネーシヨンを生じさせたりしないように
500μｍ以上離す。１３００は金細線の下側に配
置したモリブデン薄板であり、金細線で形成され
た複数個の矩形孔１０００以外を照射するビーム
を遮断する。このため、モリブデン薄板１３００
には矩形孔１０００よりもわずかに大きな矩形孔
１３０１が形成されている。このモリブデン薄板
１３００の矩形孔１３０１は金細線で形成された
矩形孔１０００と同数個設けられている。１３１
０は金細線の上側に配置したモリブデン薄板であ
り、モリブデン薄板１３００と同様に矩形孔１３
１１を有し、余分なビームの遮断を行なうととも
に、金細線の保護を行なつている。モリブデン薄
板１３００と１３１０の位置決めは成形絞り用基
台４００（ここでは図示していない）上に配置し
た位置決め用ノツクピン４１０と４１１とにより
行なう。

ここで、本実施例においては、矩形孔１０００
は一辺が円筒ピンの直径によつて規定されている
が、これに限らず、Ｘ、Ｙ方向に配置した円筒ピ
ンの間隔で一辺の長さが規定される矩形部１１０
０を用いて構成してもよい。また、成形絞り面上
を照射するビーム径を考慮し、ビームが隣接する
矩形孔を照射しないように、矩形孔の間隔を空け
て、同径のピンで形成した矩形孔とピン間隔で形
成した矩形孔の両者を同一成形絞り台上に構成
し、寸法の異なる矩形孔を作製してもよい。

このような構造とすることにより、一つの矩形
孔を長時間使用してコンタミネーシヨンが生じた
場合、他の矩形孔を使用することができるため、
成形絞りの交換、成形絞りの洗浄、および成形絞
り交換後の軸調整等煩雑な保守作業を軽減でき
る。また、軸調整においては、平行度および直角
度の形状精度のばらつきの無い矩形孔を提供する
ことができるとともに、成形絞り上の矩形孔の配
置方向が揃つているため、Ｘ、Ｙ方向への移動だ
けでよく、鏡体のアライメント条件を変えること
なく容易に調整を行なうことができる。

尚、この発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、例えば、前記導電性細線は金、白金、
銀、タングステンあるいは金を被覆したタングス
テンおよび金を被覆したグラスフアイバの内のい
ずれか１つの材料、前記導電性薄板はモリブデ
ン、チタン、タングステン、ステンレス、銅、ア
ルミニウム、金、さらに、以上の材料に加えて、
金被覆を施したモリブデン、チタン、タングステ
ン、ステンレス、銅およびアルミニウムの内のい
ずれか１つの材料、前記成形絞り用基台はチタ
ン、ステンレス、銅、リン青銅、黄銅、ベリリウ
ム銅、アルミニウム、アルミニウム合金および金
被覆したセラミツクスの内のいずれか１つの材料
で構成することが可能である。

その他、この発明の要旨を変えない範囲で種種
変形実施可能なことは勿論である。

〔発明の効果〕

以上、詳述したようにこの発明によれば、成形
絞りの矩形孔を直線性の良い細線および、高精度
なピンとその配置を基準として構成したことによ
り、矩形の直角度、平行度およびエツジの凹凸の
形状誤差に起因する成形ビーム形状誤差を除去す
ることができ、品質の勝れたパタンを描画できる
という利点がある。

また、組立ての基準をピンとその配置としたた
め、高精度な矩形孔を容易に形成することができ
るとともに、正確な角度を設定することができる
ため、矩形パタンの補正が可能である。さらに、
台形孔を形成することができるため、この成形絞
りを斜辺を有するパタンの描画に利用することが
できる。

また、金細線のメツシユを構成し、多数の矩形
孔を形成することによつて、形状精度にバラツキ
の無い矩形孔を提供することができ、矩形孔のコ
ンタミネーシヨンに対して、他の使用していない
正常な矩形孔に移動するだけで、鏡体のアライメ
ント条件を変えずに矩形孔を交換することができ
るため、鏡体の保守・調整が容易となる利点を有
している。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図はそれぞれ従来の成形絞りを示
す構成、第３図は成形絞りの固定台を示すもので
あり、同図ａは平面図、同図ｂは同図ａの−
線に沿う断面図、同図ｃは挿入溝を拡大して示す
平面図、第４図は成形絞りを用いた露光装置の電
子光学鏡体を示す構成図、第５図は本発明に係わ
る荷電ビーム露光装置用成形絞りの一実施例を示
すもので、同図ａは一部切除した平面図、同図ｂ
は同図ａの−線に沿う断面図、第６図乃至第
９図はそれぞれこの発明の他の実施例を示すもの
であり、第６図ａは一部切除した平面図、同図ｂ
は同図ａの−線に沿う断面図、第７図乃至第
９図はそれぞれ要部のみを示す平面図である。４００……成形絞り用基台、２１０，２１１，
２２０，２２１，７０１，７０１′，７０２，７
０２′，７０３，７０３′，７０４，７０４′，８
１０，８１１，８２０，８２１，９１０，９１
１，９２０，９２１，９２２，９２３，１０１
０，１０１０′，１０１１，１０１１′，１０１
２，１０１２′，１０１３，１０１３′，１０１
４，１０１４′，１０１５，１０１５′……円筒ピ
ン、１０１，１０１′，１０２，１０２′，６０
１，６０２，６０３，６０４，８０１，８０１′，
８０２，８０２′，９０１，９０１′，９０２，９
０３，１０２１，１０２１′，１０２２，１０２
２′，１０２３，１０２３′，１０２４，１０２
４′，１０２５，１０２５′，１０２６，１０２
６′……金細線、１００，６００，８００，１０
００，１３０′，８３０，１３０１……矩形孔、
９００，９３０……台形孔、１３０，１３１，１
３０ａ，１３０ｂ，１３００，１３１０……モリ
ブデン薄板。

Claims

【特許請求の範囲】１ビーム成形絞りを通過した荷電ビームを試料
面上に結像させてパタンを露光する荷電ビーム露
光装置において、この装置の所定位置に設けられ
る成形絞り用基台と、この基台に配設され透孔を
有する導電性薄板と、前記透孔の形状に対応して
前記基台に配設された複数個のピンと、このピン
に添設された導電性細線の側面を前記透孔の周辺
より内側に配置し、この細線によつて絞りエツジ
を構成したことを特徴とする荷電ビーム露光装置
用成形絞り。２前記導電性薄板の透孔を矩形孔とし、前記複
数個のピンをこの矩形孔の一辺より若干小さな直
径の円筒形とし、このピンの外周面に前記導電性
細線を添設して矩形孔の絞りエツジを形成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の荷電
ビーム露光装置用成形絞り。３前記導電性薄板の透孔を矩形孔とし、前記複
数個のピンのうち所定のピンの直径を他のピンと
変え、添設される導電性細線の少なくとも一本を
他の細線に対して傾斜させたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の荷電ビーム露光装置用
成形絞り。４前記導電性薄板の透孔を１つの角が直角とさ
れた多角形孔とし、この多角形孔の周辺より内側
に前記複数個のピンによつて添設される導電性細
線の側面を配設して絞りエツジを構成したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の荷電ビー
ム露光装置用成形絞り。５前記導電性薄板に複数個の矩形孔を設け、こ
の各矩形孔の周辺より内側にそれぞれ前記複数個
のピンによつて添設される導電性細線の側面を配
設し、複数個の絞りを形成したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の荷電ビーム露光装置
用成形絞り。６前記導電性細線は金、白金、銀、タングステ
ンあるいは金を被覆したタングステンおよび金を
被覆したグラスフアイバの内のいずれか１つの材
料、前記導電性薄板はモリブデン、チタン、タン
グステン、ステンレス、銅、アルミニウム、金、
さらに、以上の材料に加えて金被覆を施したモリ
ブデン、チタン、タングステン、ステンレス、銅
およびアルミニウムの内のいずれか１つの材料、
前記成形絞り用基台はチタン、ステンレス、銅、
リン青銅、黄銅、ベリリウム銅、アルミニウム、
アルミニウム合金および金被覆したセラミツクス
の内のいずれか１つの材料で構成したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の荷電ビーム露
光装置用成形絞り。