JPH0149018B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0149018B2 JPH0149018B2 JP60178656A JP17865685A JPH0149018B2 JP H0149018 B2 JPH0149018 B2 JP H0149018B2 JP 60178656 A JP60178656 A JP 60178656A JP 17865685 A JP17865685 A JP 17865685A JP H0149018 B2 JPH0149018 B2 JP H0149018B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- jig
- pellets
- row
- taken out
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Die Bonding (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体製造工程等においてペレツト
治具からペレツトを１個ずつ取り出して次工程へ
順次供給する際のペレツト治具の移動操作方法に
関し、特に最後のペレツトを取り出した後にペレ
ツト治具が移し換え原点まで戻る時間を短縮でき
るペレツト治具の移動操作方法に関する。
治具からペレツトを１個ずつ取り出して次工程へ
順次供給する際のペレツト治具の移動操作方法に
関し、特に最後のペレツトを取り出した後にペレ
ツト治具が移し換え原点まで戻る時間を短縮でき
るペレツト治具の移動操作方法に関する。
従来の技術
半導体製造工程等におけるペレツト治具１は、
第３図に示すように、矩形状部材の上面に適宜の
間隔でマトリクス状に配置形成された複数個のポ
ケツトを有し、このポケツトを利用して例えば
100個のペレツト２，２，……を搭載している。
そして、上記ペレツト２，２，……をある加工工
程等に供給するには、上記ペレツト治具１を図示
外のセツトテーブル上に載置固定し、該セツトテ
ーブルを二次元平面内でＸ、Ｙ方向に適宜移動す
ると共に、このセツトテーブル上の所定位置に設
けたコレツト（図示せず）で１個ずつペレツト２
を吸着して取り出し、次工程へ順次供給してい
た。
第３図に示すように、矩形状部材の上面に適宜の
間隔でマトリクス状に配置形成された複数個のポ
ケツトを有し、このポケツトを利用して例えば
100個のペレツト２，２，……を搭載している。
そして、上記ペレツト２，２，……をある加工工
程等に供給するには、上記ペレツト治具１を図示
外のセツトテーブル上に載置固定し、該セツトテ
ーブルを二次元平面内でＸ、Ｙ方向に適宜移動す
ると共に、このセツトテーブル上の所定位置に設
けたコレツト（図示せず）で１個ずつペレツト２
を吸着して取り出し、次工程へ順次供給してい
た。
この場合における従来のペレツト治具の移動操
作方法は、第３図においてペレツト治具１を固定
しておき、これに対して相対的にコレツトが移動
したとすると、その移動軌跡は矢印Ａ，Ｂ，Ｃ，
……Ｎで示す経路をたどるものであつた。すなわ
ち、上記ペレツト治具１から最初のペレツト２を
取り出す第１行目の左端の第一ペレツト位置２ａ
より矢印Ａ方向に横移動しながら第１行目のペレ
ツト２を順次取り出し、その行末ペレツト位置２
ｂより矢印Ｂ方向に縦移動して第２行目に移り、
この第２行目のペレツト２を矢印Ｃ方向に逆移動
しながら順次取り出してその行頭ペレツト位置２
ｃまで至り、以下同様にして、最終行のペレツト
２を矢印Ｎ方向に横移動しながら順次取り出し、
最後のペレツト２を取り出す右端の最終ペレツト
位置２ｎまで移動していた。なお、第３図におい
て、符号３は、ペレツト治具１の供給ラインにお
いて該ペレツト治具１のポケツトにペレツト２が
満杯に搭載されたものと、該ペレツト治具１から
ペレツト２を全部取り出した後の空のペレツト治
具１とを移し換える際の基準点となる移し換え原
点である。
作方法は、第３図においてペレツト治具１を固定
しておき、これに対して相対的にコレツトが移動
したとすると、その移動軌跡は矢印Ａ，Ｂ，Ｃ，
……Ｎで示す経路をたどるものであつた。すなわ
ち、上記ペレツト治具１から最初のペレツト２を
取り出す第１行目の左端の第一ペレツト位置２ａ
より矢印Ａ方向に横移動しながら第１行目のペレ
ツト２を順次取り出し、その行末ペレツト位置２
ｂより矢印Ｂ方向に縦移動して第２行目に移り、
この第２行目のペレツト２を矢印Ｃ方向に逆移動
しながら順次取り出してその行頭ペレツト位置２
ｃまで至り、以下同様にして、最終行のペレツト
２を矢印Ｎ方向に横移動しながら順次取り出し、
最後のペレツト２を取り出す右端の最終ペレツト
位置２ｎまで移動していた。なお、第３図におい
て、符号３は、ペレツト治具１の供給ラインにお
いて該ペレツト治具１のポケツトにペレツト２が
満杯に搭載されたものと、該ペレツト治具１から
ペレツト２を全部取り出した後の空のペレツト治
具１とを移し換える際の基準点となる移し換え原
点である。
発明が解決しようとする問題点
しかし、このようなペレツト治具の移動操作方
法においては、第３図から明らかなように、第一
ペレツト位置２ａと最終ペレツト位置２ｎとが、
第１行目の左端と最終行の右端とにまたがつてお
り両位置２ａ，２ｎが離れているので、第４図に
実線で示すように最初のペレツト２を取り出すと
きの満杯のペレツト治具１ａに対して、第４図に
破線で示すように最後のペレツト２を取り出し終
わつたときの空のペレツト治具１ｂは、第４図上
で矢印Ｐのように左斜上の位置まで大きく移動し
ているものであつた。従つて、この空のペレツト
治具１ｂを次なる満杯のペレツト治具１ｃと移し
換えるには、第３図に示す移し換え原点３を基準
として、矢印Ｑのように大きく移動して元の位置
１ａまで戻さなければならなかつた。そして、こ
の状態で新たなペレツト治具１ｃを矢印Ｒ方向に
押し出すことにより、上記空のペレツト治具１ｂ
を矢印Ｓのように収納位置に収納すると共に、次
なる満杯のペレツト治具１ｃをセツトしていた。
法においては、第３図から明らかなように、第一
ペレツト位置２ａと最終ペレツト位置２ｎとが、
第１行目の左端と最終行の右端とにまたがつてお
り両位置２ａ，２ｎが離れているので、第４図に
実線で示すように最初のペレツト２を取り出すと
きの満杯のペレツト治具１ａに対して、第４図に
破線で示すように最後のペレツト２を取り出し終
わつたときの空のペレツト治具１ｂは、第４図上
で矢印Ｐのように左斜上の位置まで大きく移動し
ているものであつた。従つて、この空のペレツト
治具１ｂを次なる満杯のペレツト治具１ｃと移し
換えるには、第３図に示す移し換え原点３を基準
として、矢印Ｑのように大きく移動して元の位置
１ａまで戻さなければならなかつた。そして、こ
の状態で新たなペレツト治具１ｃを矢印Ｒ方向に
押し出すことにより、上記空のペレツト治具１ｂ
を矢印Ｓのように収納位置に収納すると共に、次
なる満杯のペレツト治具１ｃをセツトしていた。
ここで、上記空のペレツト治具１ｂが元の位置
１ａまで戻る距離が長いことから、それに要する
時間も長くなるものであつた。そして、この戻る
ための時間中は半導体製造装置等は何も作業はで
きず、全くのロス時間となるため、装置全体とし
てはその稼働率が低下するものであつた。また、
リードフレームにペレツトをボンデイングする工
程においては、上記ロス時間の間もヒートブロツ
クやホツトジエツトの加熱をとめるわけではない
ので、上記ヒートブロツク上に置かれたリードフ
レームが過熱状態となり、酸化することがあつ
た。この場合、リードフレームのタブとペレツト
との共晶が起こりずらくなり、製品の品質が低下
することがあつた。そこで、本発明はこのような
問題点を解決することを目的とする。
１ａまで戻る距離が長いことから、それに要する
時間も長くなるものであつた。そして、この戻る
ための時間中は半導体製造装置等は何も作業はで
きず、全くのロス時間となるため、装置全体とし
てはその稼働率が低下するものであつた。また、
リードフレームにペレツトをボンデイングする工
程においては、上記ロス時間の間もヒートブロツ
クやホツトジエツトの加熱をとめるわけではない
ので、上記ヒートブロツク上に置かれたリードフ
レームが過熱状態となり、酸化することがあつ
た。この場合、リードフレームのタブとペレツト
との共晶が起こりずらくなり、製品の品質が低下
することがあつた。そこで、本発明はこのような
問題点を解決することを目的とする。
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決する本発明の手段は、複数
個のペレツトが上面の所定箇所にそれぞれ搭載さ
れたペレツト治具を二次元平面内で適宜移動さ
せ、該ペレツト治具からペレツトを１個ずつ取り
出して次工程へ順次供給する際のペレツト治具の
移動操作方法において、上記ペレツト治具から最
初のペレツトを取り出す第一ペレツト位置と、最
後のペレツトを取り出す最終ペレツト位置とが互
いに隣り合う位置になるようにペレツト治具を移
動させることによつてなされる。
個のペレツトが上面の所定箇所にそれぞれ搭載さ
れたペレツト治具を二次元平面内で適宜移動さ
せ、該ペレツト治具からペレツトを１個ずつ取り
出して次工程へ順次供給する際のペレツト治具の
移動操作方法において、上記ペレツト治具から最
初のペレツトを取り出す第一ペレツト位置と、最
後のペレツトを取り出す最終ペレツト位置とが互
いに隣り合う位置になるようにペレツト治具を移
動させることによつてなされる。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は本発明によるペレツト治具の移動操作
方法を、ペレツト治具１を固定した場合の相対的
な移動軌跡として示す説明図である。ペレツト治
具１は、半導体製造工程等においてIC（集積回
路）等を構成するペレツトを搭載し次工程へ供給
する際の治具となるもので、第１図に示すよう
に、矩形状部材の上面に適宜の間隔でマトリクス
状に配置形成された複数個のポケツトを有し、こ
のポケツトを利用して例えば100個のペレツト２，
２，……を搭載している。そして、上記ペレツト
２，２，……をある加工工程等に供給するには、
上記ペレツト治具１を図示外のセツトテーブル上
に載置固定し、該セツトテーブルを二次元平面内
でＸ、Ｙ方向に適宜移動すると共に、このセツト
テーブル上の所定位置に設けたコレツト（図示せ
ず）で１個ずつペレツト２を吸着して取り出し、
順次供給する。
方法を、ペレツト治具１を固定した場合の相対的
な移動軌跡として示す説明図である。ペレツト治
具１は、半導体製造工程等においてIC（集積回
路）等を構成するペレツトを搭載し次工程へ供給
する際の治具となるもので、第１図に示すよう
に、矩形状部材の上面に適宜の間隔でマトリクス
状に配置形成された複数個のポケツトを有し、こ
のポケツトを利用して例えば100個のペレツト２，
２，……を搭載している。そして、上記ペレツト
２，２，……をある加工工程等に供給するには、
上記ペレツト治具１を図示外のセツトテーブル上
に載置固定し、該セツトテーブルを二次元平面内
でＸ、Ｙ方向に適宜移動すると共に、このセツト
テーブル上の所定位置に設けたコレツト（図示せ
ず）で１個ずつペレツト２を吸着して取り出し、
順次供給する。
ここで、本発明におけるペレツト治具の移動操
作方法は、第１図に示すように、上記ペレツト治
具１から最初のペレツト２を取り出す第一ペレツ
ト位置２ａと、最後のペレツト２を取り出す最終
ペレツト位置２ｎとが互いに隣合う位置になるよ
うに該ペレツト治具１を移動させるものである。
すなわち、例えば第１図において矢印A′，B′，
C′，……N′で示す移動軌跡をたどるものとなる。
さらに詳しく説明すると、まず、移し換え原点３
の位置において、ペレツト２が満杯に搭載された
ペレツト治具１と交換してセツトされる。次に、
上記移し換え原点３を基準として上記ペレツト治
具１から最初のペレツト２を取り出す第２行目の
左端の第一ペレツト位置２ａに移動する。その
後、上記第一ペレツト位置２ａより矢印A′方向
に縦移動しながら第１列目のペレツト２を順次取
り出し、その列の末尾ペレツト位置２ｂより矢印
B′方向に横移動して第２列目に移り、この第２
列目のペレツト２を矢印C′方向に逆移動しながら
順次取り出してその列の２番ペレツト位置２ｃま
で至り、そこで矢印D′方向に横移動して第３列
目の２番ペレツト位置２ｄに移り、この第３列目
のペレツト２を矢印E′方向に縦移動しながら順次
取り出し、以下同様にして、最終列のペレツト２
を矢印O′方向に逆移動しながら順次取り出し、
その最終列の１番ペレツト位置２0まで至る。こ
の１番ペレツト位置２0は、第１行目の行末ペレ
ツト位置であり、ここから第１行目のペレツト２
を矢印N′方向に逆移動しながら順次取り出し、
最後のペレツト２を取り出す左端の最終ペレツト
位置２ｎまで移動する。これにより、上記ペレツ
ト治具１に満杯に搭載されたペレツト２，２，…
…が全て取り出される。
作方法は、第１図に示すように、上記ペレツト治
具１から最初のペレツト２を取り出す第一ペレツ
ト位置２ａと、最後のペレツト２を取り出す最終
ペレツト位置２ｎとが互いに隣合う位置になるよ
うに該ペレツト治具１を移動させるものである。
すなわち、例えば第１図において矢印A′，B′，
C′，……N′で示す移動軌跡をたどるものとなる。
さらに詳しく説明すると、まず、移し換え原点３
の位置において、ペレツト２が満杯に搭載された
ペレツト治具１と交換してセツトされる。次に、
上記移し換え原点３を基準として上記ペレツト治
具１から最初のペレツト２を取り出す第２行目の
左端の第一ペレツト位置２ａに移動する。その
後、上記第一ペレツト位置２ａより矢印A′方向
に縦移動しながら第１列目のペレツト２を順次取
り出し、その列の末尾ペレツト位置２ｂより矢印
B′方向に横移動して第２列目に移り、この第２
列目のペレツト２を矢印C′方向に逆移動しながら
順次取り出してその列の２番ペレツト位置２ｃま
で至り、そこで矢印D′方向に横移動して第３列
目の２番ペレツト位置２ｄに移り、この第３列目
のペレツト２を矢印E′方向に縦移動しながら順次
取り出し、以下同様にして、最終列のペレツト２
を矢印O′方向に逆移動しながら順次取り出し、
その最終列の１番ペレツト位置２0まで至る。こ
の１番ペレツト位置２0は、第１行目の行末ペレ
ツト位置であり、ここから第１行目のペレツト２
を矢印N′方向に逆移動しながら順次取り出し、
最後のペレツト２を取り出す左端の最終ペレツト
位置２ｎまで移動する。これにより、上記ペレツ
ト治具１に満杯に搭載されたペレツト２，２，…
…が全て取り出される。
この場合、第１図から明らかなように、第一ペ
レツト位置２ａと最終ペレツト位置２ｎとは、第
２行目の左端と第１行目の左端とにあり、互いに
隣合う位置になる。従つて、第２図に実線で示す
ように最初のペレツト２を取り出すときの満杯の
ペレツト治具１ａに対して、第２図に破線で示す
ように最後のペレツト２を取り出し終わつたとき
の空のペレツト治具１ｂは、第２図上で矢印P′の
ようにペレツトのポケツトの１ピツチ分だけわず
かに移動するだけとなる。そして、この空のペレ
ツト治具１ｂを次なる満杯のペレツト治具１ｃと
移し換えるには、第１図に示す移し換え原点３を
基準として、矢印Q′のようにわずかの距離だけ
移動して元の位置１ａまで戻せばよい。この状態
で新たなペレツト治具１ｃを矢印Ｒ方向に押し出
すことにより、上記空のペレツト治具１ｂを矢印
Ｓのように収納位置に収納すると共に、次なる満
杯のペレツト治具１ｃがセツトされる。
レツト位置２ａと最終ペレツト位置２ｎとは、第
２行目の左端と第１行目の左端とにあり、互いに
隣合う位置になる。従つて、第２図に実線で示す
ように最初のペレツト２を取り出すときの満杯の
ペレツト治具１ａに対して、第２図に破線で示す
ように最後のペレツト２を取り出し終わつたとき
の空のペレツト治具１ｂは、第２図上で矢印P′の
ようにペレツトのポケツトの１ピツチ分だけわず
かに移動するだけとなる。そして、この空のペレ
ツト治具１ｂを次なる満杯のペレツト治具１ｃと
移し換えるには、第１図に示す移し換え原点３を
基準として、矢印Q′のようにわずかの距離だけ
移動して元の位置１ａまで戻せばよい。この状態
で新たなペレツト治具１ｃを矢印Ｒ方向に押し出
すことにより、上記空のペレツト治具１ｂを矢印
Ｓのように収納位置に収納すると共に、次なる満
杯のペレツト治具１ｃがセツトされる。
なお、第１図においては、第一ペレツト位置２
ａを第２行目の左端のペレツトとし、最終ペレツ
ト位置２ｎを第１行目の左端のペレツトとして示
したが、本発明はこれに限らず、両位置２ａ，２
ｎが互いに隣り合う位置となるならば、ペレツト
治具１上のどの位置であつてもよい。また、ペレ
ツト２を順次取り出すときの移動軌跡は、第１図
ひ矢印A′，B′，C′，……N′で示すものに限らず、
どのような経路をたどつてもよい。
ａを第２行目の左端のペレツトとし、最終ペレツ
ト位置２ｎを第１行目の左端のペレツトとして示
したが、本発明はこれに限らず、両位置２ａ，２
ｎが互いに隣り合う位置となるならば、ペレツト
治具１上のどの位置であつてもよい。また、ペレ
ツト２を順次取り出すときの移動軌跡は、第１図
ひ矢印A′，B′，C′，……N′で示すものに限らず、
どのような経路をたどつてもよい。
発明の効果
本発明は以上説明したように、ペレツト治具１
から最初のペレツト２を取り出す第一ペレツト位
置２ａと、最後のペレツト２を取り出す最終ペレ
ツト位置２ｎとが互いに隣り合う位置になるよう
に該ペレツト治具１を移動させるようにしたの
で、満杯のペレツト治具１ａに対して最後のペレ
ツト２を取り出し終わつたときの空のペレツト治
具１ｂは、わずかにペレツトのポケツトの１ピツ
チ分だけの移動距離におさめることができる。従
つて、上記空のペレツト治具１ｂを次なる満杯の
ペレツト治具１ｃと移し換える際に、移し換え原
点３を基準として元の位置１ａまで戻す移動距離
が短くなると共に、それに要する時間も大幅に短
縮できる。このことから、半導体製造装置等のロ
ス時間を短くして、装置全体の稼働率を向上する
ことができる。また、加熱部分を有する工程にお
いて不要に長時間部品を加熱することがなく、製
品の品質低下を防止することができる。
から最初のペレツト２を取り出す第一ペレツト位
置２ａと、最後のペレツト２を取り出す最終ペレ
ツト位置２ｎとが互いに隣り合う位置になるよう
に該ペレツト治具１を移動させるようにしたの
で、満杯のペレツト治具１ａに対して最後のペレ
ツト２を取り出し終わつたときの空のペレツト治
具１ｂは、わずかにペレツトのポケツトの１ピツ
チ分だけの移動距離におさめることができる。従
つて、上記空のペレツト治具１ｂを次なる満杯の
ペレツト治具１ｃと移し換える際に、移し換え原
点３を基準として元の位置１ａまで戻す移動距離
が短くなると共に、それに要する時間も大幅に短
縮できる。このことから、半導体製造装置等のロ
ス時間を短くして、装置全体の稼働率を向上する
ことができる。また、加熱部分を有する工程にお
いて不要に長時間部品を加熱することがなく、製
品の品質低下を防止することができる。
第１図は本発明によるペレツト治具の移動操作
方法をペレツト治具を固定した場合の相対的な移
動軌跡として示す説明図、第２図は本発明におけ
る空のペレツト治具と満杯のペレツト治具とを移
し換える動作を示す説明図、第３図は従来のペレ
ツト治具の移動走査方法を第１図と同様な移動軌
跡として示す説明図、第４図は従来における空の
ペレツト治具と満杯のペレツト治具とを移し換え
る動作を示す説明図である。 １……ペレツト治具、１ａ，１ｃ……満杯のペ
レツト治具、１ｂ……空のペレツト治具、２……
ペレツト、２ａ……第一ペレツト位置、２ｎ……
最終ペレツト位置、３……移し換え原点。
方法をペレツト治具を固定した場合の相対的な移
動軌跡として示す説明図、第２図は本発明におけ
る空のペレツト治具と満杯のペレツト治具とを移
し換える動作を示す説明図、第３図は従来のペレ
ツト治具の移動走査方法を第１図と同様な移動軌
跡として示す説明図、第４図は従来における空の
ペレツト治具と満杯のペレツト治具とを移し換え
る動作を示す説明図である。 １……ペレツト治具、１ａ，１ｃ……満杯のペ
レツト治具、１ｂ……空のペレツト治具、２……
ペレツト、２ａ……第一ペレツト位置、２ｎ……
最終ペレツト位置、３……移し換え原点。
Claims (1)
- １ 複数個のペレツトが上面の所定箇所にそれぞ
れ搭載されたペレツト治具を二次元平面内で適宜
移動させ、該ペレツト治具からペレツトを１個ず
つ取り出して次工程へ順次供給する際のペレツト
治具の移動操作方法において、上記ペレツト治具
から最初のペレツトを取り出す第一ペレツト位置
と、最後のペレツトを取り出す最終ペレツト位置
とが互いに隣り合う位置になるようにペレツト治
具を移動させることを特徴とするペレツト治具の
移動操作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178656A JPS6240736A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | ペレツト治具の移動操作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178656A JPS6240736A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | ペレツト治具の移動操作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6240736A JPS6240736A (ja) | 1987-02-21 |
| JPH0149018B2 true JPH0149018B2 (ja) | 1989-10-23 |
Family
ID=16052272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60178656A Granted JPS6240736A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | ペレツト治具の移動操作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6240736A (ja) |
-
1985
- 1985-08-15 JP JP60178656A patent/JPS6240736A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6240736A (ja) | 1987-02-21 |
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