JPH0150135B2 - - Google Patents
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- JPH0150135B2 JPH0150135B2 JP21268381A JP21268381A JPH0150135B2 JP H0150135 B2 JPH0150135 B2 JP H0150135B2 JP 21268381 A JP21268381 A JP 21268381A JP 21268381 A JP21268381 A JP 21268381A JP H0150135 B2 JPH0150135 B2 JP H0150135B2
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- type vibrator
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
〔産業上の利用分野」〕
本発明は３本の振動枝を有し、面外屈曲振動モ
ードで動作する水晶振動子（以下Ｅ型振動子と略
称する）の共振周波数温度特性の改良に関する。 〔従来の技術〕 第１図は従来及び本発明に係るＥ型振動子の外
形を示す斜視図である。一様な板厚の水晶板に振
動枝１１，１２，１３が、ベース部１４と共に一
体に形成され、３本の振動枝１１，１２，１３の
長さ寸法は、ほぼ等しく、枝巾寸法については、
振動枝１１，１３が互にほぼ等しく、振動枝１２
は任意に選べる。第２図Ａ，Ｂは従来及び本発明
で利用するＥ型振動子の振動モードの概略を示す
図である。第２図Ａは第１図YY断面から見た振
動モードの断面図である。第２図Ｂは、第１図
XX断面から見た振動モードの断面図である。振
動枝１１，１２，１３は、矢印５で示す方向に変
位し、振動変位零の時刻から（1/4）周期後の時
刻には、それぞれ点線１１ａ，１２ａ，１３ａで
示される位置にくる。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のＥ型振動子の欠点は、一般に屈曲水晶振
動子が常温付近で良好な共振周波数温度特性を示
すカツト方位を採用しても、その共振周波数１次
温度係数は、大きな負の値になり、零又は正の値
にすることが困難であつた。 第４図は従来のＥ型振動子のカツト方位の説明
図である。第４図でＥ型振動子４１は振動枝４２
の枝長方向及び枝巾方向が、それぞれ水晶のＹ軸
（機械軸）及びＺ軸（光軸）に一致した状態（Ｘ
カツトの状態）から出発して、Ｘ軸のまわりに角
度θ（θの符号は反時計方向を正とする）だけ回
転されている。従来のＥ型振動子のカツト角度θ
は、通常0゜から10゜の範囲の角度から選択されて
いた。 第５図は従来のＥ型振動子の１次温度係数αと
カツト角度θの実験的に得られた関係を示すグラ
フである。 第５図から明らかなように、従来のＥ型振動子
は、カツト角度θをどのように選んでも、１次温
度係数が零又は正にならなかつた。 本発明の目的は、従来のＥ型振動子の欠点を除
去し、共振周波数温度特性が良好となるカツト方
位を提供することにある。 〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するため本発明における水晶振
動子は下記記載の構成とする。 一様な板厚の水晶板の３本の振動枝をＥ型に形
成し、中央の振動枝と両側の振動枝とは互に逆位
相で振動する水晶振動子において、振動枝の幅方
向及び長さ方向がそれぞれ水晶のＸ軸（電気軸）
及びＹ軸（機械軸）に一致した状態（Ｚカツトの
状態）をＸ軸のまわりに角度φ（φの符号は反時
計方向を正とする）だけ回転するとき、φを−
25゜から35゜の範囲の角度に設定し、さらに３本の
振動枝のそれぞれの側面に金属薄膜電極を設け、
この金属薄膜電極は振動枝の側面長手方向の中心
線で２分割し、かつ２分割した金属薄膜電極はお
のおの異なる電気的極性を備える。 〔作用〕 以下本発明を詳細に説明する。 一般に水晶振動子の共振周波数温度特性は、次
式のように表わすことができる。 Δf／f0＝α（Ｔ−T0）＋β（Ｔ−T0）2＋γ（Ｔ−T0）
3 ……(1) Δf＝ｆ−f0 ここでｆ：共振周波数 Ｔ：温度 f0：基準温度における共振周波数 T0：基準温度 α：１次温度係数 β：２次温度係数 γ：３次温度係数 α、β、γは一般に振動子のカツト方位と寸法
によつて定まる。 第３図は従来及び本発明に係るＥ型振動子の寸
法パラメーターの説明図で第３図Ａは平面図、第
３図Ｂは側面図である。ｌは振動枝１１，１２，
１３の長さ寸法を示す。ｈは振動枝１１，１３の
巾寸法を、h0は振動枝１２の巾寸法を示す。l0は
ベースの長さ寸法を示す。ｇはスリツトの巾寸法
を示す。ｔは振動子の板厚寸法を示す。 第６図は本発明のＥ型振動子のカツト方位の説
明図である。第６図でＥ型振動子６１は振動枝６
２の枝巾方向及び枝長方向が、それぞれ水晶のＸ
軸（電気軸）及びＹ軸（機械軸）に一致した状態
（Ｚカツトの状態）から出発して、Ｘ軸のまわり
に角度φ（φの符号は反時計方向を正とする）だ
け回転されている。第７図から第１１図は、本発
明のＥ型振動子の温度係数の３次元有限要素法に
よる計算値を示すグラフである。計算の際一定に
するカツト角度又は寸法パラメーターを第１表３
行目から８行目に示す。尚第１表２行目は従来の
Ｅ型振動子の寸法パラメーターの１例である。横
線はその部分のパラメーターが可変であることを
示す。計算の際(1)式の基準温度T0はT0＝25.0℃
とした。 計算値は水晶振動子の金属薄膜電極、支持部
材、水晶の圧電性等を無視したものである。
ードで動作する水晶振動子（以下Ｅ型振動子と略
称する）の共振周波数温度特性の改良に関する。 〔従来の技術〕 第１図は従来及び本発明に係るＥ型振動子の外
形を示す斜視図である。一様な板厚の水晶板に振
動枝１１，１２，１３が、ベース部１４と共に一
体に形成され、３本の振動枝１１，１２，１３の
長さ寸法は、ほぼ等しく、枝巾寸法については、
振動枝１１，１３が互にほぼ等しく、振動枝１２
は任意に選べる。第２図Ａ，Ｂは従来及び本発明
で利用するＥ型振動子の振動モードの概略を示す
図である。第２図Ａは第１図YY断面から見た振
動モードの断面図である。第２図Ｂは、第１図
XX断面から見た振動モードの断面図である。振
動枝１１，１２，１３は、矢印５で示す方向に変
位し、振動変位零の時刻から（1/4）周期後の時
刻には、それぞれ点線１１ａ，１２ａ，１３ａで
示される位置にくる。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のＥ型振動子の欠点は、一般に屈曲水晶振
動子が常温付近で良好な共振周波数温度特性を示
すカツト方位を採用しても、その共振周波数１次
温度係数は、大きな負の値になり、零又は正の値
にすることが困難であつた。 第４図は従来のＥ型振動子のカツト方位の説明
図である。第４図でＥ型振動子４１は振動枝４２
の枝長方向及び枝巾方向が、それぞれ水晶のＹ軸
（機械軸）及びＺ軸（光軸）に一致した状態（Ｘ
カツトの状態）から出発して、Ｘ軸のまわりに角
度θ（θの符号は反時計方向を正とする）だけ回
転されている。従来のＥ型振動子のカツト角度θ
は、通常0゜から10゜の範囲の角度から選択されて
いた。 第５図は従来のＥ型振動子の１次温度係数αと
カツト角度θの実験的に得られた関係を示すグラ
フである。 第５図から明らかなように、従来のＥ型振動子
は、カツト角度θをどのように選んでも、１次温
度係数が零又は正にならなかつた。 本発明の目的は、従来のＥ型振動子の欠点を除
去し、共振周波数温度特性が良好となるカツト方
位を提供することにある。 〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するため本発明における水晶振
動子は下記記載の構成とする。 一様な板厚の水晶板の３本の振動枝をＥ型に形
成し、中央の振動枝と両側の振動枝とは互に逆位
相で振動する水晶振動子において、振動枝の幅方
向及び長さ方向がそれぞれ水晶のＸ軸（電気軸）
及びＹ軸（機械軸）に一致した状態（Ｚカツトの
状態）をＸ軸のまわりに角度φ（φの符号は反時
計方向を正とする）だけ回転するとき、φを−
25゜から35゜の範囲の角度に設定し、さらに３本の
振動枝のそれぞれの側面に金属薄膜電極を設け、
この金属薄膜電極は振動枝の側面長手方向の中心
線で２分割し、かつ２分割した金属薄膜電極はお
のおの異なる電気的極性を備える。 〔作用〕 以下本発明を詳細に説明する。 一般に水晶振動子の共振周波数温度特性は、次
式のように表わすことができる。 Δf／f0＝α（Ｔ−T0）＋β（Ｔ−T0）2＋γ（Ｔ−T0）
3 ……(1) Δf＝ｆ−f0 ここでｆ：共振周波数 Ｔ：温度 f0：基準温度における共振周波数 T0：基準温度 α：１次温度係数 β：２次温度係数 γ：３次温度係数 α、β、γは一般に振動子のカツト方位と寸法
によつて定まる。 第３図は従来及び本発明に係るＥ型振動子の寸
法パラメーターの説明図で第３図Ａは平面図、第
３図Ｂは側面図である。ｌは振動枝１１，１２，
１３の長さ寸法を示す。ｈは振動枝１１，１３の
巾寸法を、h0は振動枝１２の巾寸法を示す。l0は
ベースの長さ寸法を示す。ｇはスリツトの巾寸法
を示す。ｔは振動子の板厚寸法を示す。 第６図は本発明のＥ型振動子のカツト方位の説
明図である。第６図でＥ型振動子６１は振動枝６
２の枝巾方向及び枝長方向が、それぞれ水晶のＸ
軸（電気軸）及びＹ軸（機械軸）に一致した状態
（Ｚカツトの状態）から出発して、Ｘ軸のまわり
に角度φ（φの符号は反時計方向を正とする）だ
け回転されている。第７図から第１１図は、本発
明のＥ型振動子の温度係数の３次元有限要素法に
よる計算値を示すグラフである。計算の際一定に
するカツト角度又は寸法パラメーターを第１表３
行目から８行目に示す。尚第１表２行目は従来の
Ｅ型振動子の寸法パラメーターの１例である。横
線はその部分のパラメーターが可変であることを
示す。計算の際(1)式の基準温度T0はT0＝25.0℃
とした。 計算値は水晶振動子の金属薄膜電極、支持部
材、水晶の圧電性等を無視したものである。
以下本発明の実施例について説明する。
第１２図は本発明のＥ型振動子の共振周波数温
度特性を示すグラフである。カツト角度φの値は
第１１図Ａから１次温度係数α＝０となる点とし
てφ＝−14.2゜となる。φ＝−14.2゜のときの２次
温度係数β及び３次温度係数γの値は、それぞれ
第１１図Ｂ及び第１１図Ｃから読みとるとβ＝
1.2×10-9℃-2、γ＝2.2×10-11℃-3となる。第１
２図は上記α、β、γの値を使つて(1)式から計算
された温度特性を示すグラフである。第１２図か
ら本発明のＥ型振動子の共振周波数温度特性
（Δf／f0）は、温度０℃〜40℃間で0.5ppm以内に
入り、極めて良好であることがわかる。 本発明のＥ型振動子が、従来のＥ型振動子にく
らべて、共振周波数温度特性が良くなる理由は、
定性的に次のように考えられる。Ｅ型振動子が、
第２図Ａ，Ｂに示すような振動モードで振動する
とき、振動枝部では、主として、伸びひずみ成分
が存在し、ベース部では、せん断ひずみ成分が存
在するようになる。従つて共振周波数に関与して
いる弾性定数は上記２種類のひずみ成分に対応し
て２種類となる。本発明はこれらの弾性定数の温
度係数が互にキヤンセル又は正の方向にあり、従
来のものはそうなつていないことによる。第１３
図Ａは本発明実施例の電極構造を示す斜視図であ
る。水晶からなる振動枝１３１，１３２，１３３
の側面には、金属薄膜電極１３５，１３６が蒸
着、スパツターなどの手段によつて固着されてい
る。振動枝１３１，１３２，１３３の先端部に
は、周波数調整用の付加質量として、金属膜１３
４が固着されている。第１３図Ｂは第１３図Ａで
振動枝１３１，１３２，１３３のYY断面から見
たときの金属薄膜電極の接続を示す断面図であ
る。電極端子１３７，１３８に振動子１３０の面
外屈曲１次振動の共振周波数に等しい周波数の電
圧を付加すれば、振動枝１３１，１３２，１３３
の内部には矢印で示すような交番電界成分が発生
し、振動子１３０は水晶の圧電効果によつて、第
２図Ａ，Ｂに示すような振動モードで振動する。
第１４図は１本の振動枝の中の電界分布の様子を
示す図である。端子１４１がプラス電極で、端子
１４２がマイナス電極のとき、振動枝１４３の中
には、電気力線１４４，１４５が発生し、板厚の
上半分と下半分に互に逆向きの平行電界成分が発
生する。第１５図は本発明実施例の支持構造を示
す斜視図である。振動子１５１の電極端子１５
２，１５３は、円筒形の気密端子１５４のステム
１５５，１５６に導電接着剤１５７で固着されて
いる。 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明は小型低周波で
共振周波数温度特性が極めて良好となる、２つ
の振動モードの結合を利用して、共振周波数温度
特性を改良したものではないので、共振周波数温
度特性は、振動子の寸法誤差、周波数調整工程な
どの影響をほとんど受けない、振動子のベース
部（支持部）の振動変位が広範囲にわたつて、非
常に小さくなるので、振動子の支持が極めて容易
となる、ホトリソグラフイー技術によつて製造
できるため、均一特性及び量産性の確保が容易な
ことなど、高精度、低消費電力の発振子として大
きなメリツトを有する。
度特性を示すグラフである。カツト角度φの値は
第１１図Ａから１次温度係数α＝０となる点とし
てφ＝−14.2゜となる。φ＝−14.2゜のときの２次
温度係数β及び３次温度係数γの値は、それぞれ
第１１図Ｂ及び第１１図Ｃから読みとるとβ＝
1.2×10-9℃-2、γ＝2.2×10-11℃-3となる。第１
２図は上記α、β、γの値を使つて(1)式から計算
された温度特性を示すグラフである。第１２図か
ら本発明のＥ型振動子の共振周波数温度特性
（Δf／f0）は、温度０℃〜40℃間で0.5ppm以内に
入り、極めて良好であることがわかる。 本発明のＥ型振動子が、従来のＥ型振動子にく
らべて、共振周波数温度特性が良くなる理由は、
定性的に次のように考えられる。Ｅ型振動子が、
第２図Ａ，Ｂに示すような振動モードで振動する
とき、振動枝部では、主として、伸びひずみ成分
が存在し、ベース部では、せん断ひずみ成分が存
在するようになる。従つて共振周波数に関与して
いる弾性定数は上記２種類のひずみ成分に対応し
て２種類となる。本発明はこれらの弾性定数の温
度係数が互にキヤンセル又は正の方向にあり、従
来のものはそうなつていないことによる。第１３
図Ａは本発明実施例の電極構造を示す斜視図であ
る。水晶からなる振動枝１３１，１３２，１３３
の側面には、金属薄膜電極１３５，１３６が蒸
着、スパツターなどの手段によつて固着されてい
る。振動枝１３１，１３２，１３３の先端部に
は、周波数調整用の付加質量として、金属膜１３
４が固着されている。第１３図Ｂは第１３図Ａで
振動枝１３１，１３２，１３３のYY断面から見
たときの金属薄膜電極の接続を示す断面図であ
る。電極端子１３７，１３８に振動子１３０の面
外屈曲１次振動の共振周波数に等しい周波数の電
圧を付加すれば、振動枝１３１，１３２，１３３
の内部には矢印で示すような交番電界成分が発生
し、振動子１３０は水晶の圧電効果によつて、第
２図Ａ，Ｂに示すような振動モードで振動する。
第１４図は１本の振動枝の中の電界分布の様子を
示す図である。端子１４１がプラス電極で、端子
１４２がマイナス電極のとき、振動枝１４３の中
には、電気力線１４４，１４５が発生し、板厚の
上半分と下半分に互に逆向きの平行電界成分が発
生する。第１５図は本発明実施例の支持構造を示
す斜視図である。振動子１５１の電極端子１５
２，１５３は、円筒形の気密端子１５４のステム
１５５，１５６に導電接着剤１５７で固着されて
いる。 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明は小型低周波で
共振周波数温度特性が極めて良好となる、２つ
の振動モードの結合を利用して、共振周波数温度
特性を改良したものではないので、共振周波数温
度特性は、振動子の寸法誤差、周波数調整工程な
どの影響をほとんど受けない、振動子のベース
部（支持部）の振動変位が広範囲にわたつて、非
常に小さくなるので、振動子の支持が極めて容易
となる、ホトリソグラフイー技術によつて製造
できるため、均一特性及び量産性の確保が容易な
ことなど、高精度、低消費電力の発振子として大
きなメリツトを有する。
第１図は従来及び本発明に係るＥ型振動子の形
状を示す斜視図、第２図Ａ，Ｂは従来及び本発明
で利用するＥ型振動子の振動モードの説明図であ
り、第２図Ａは第１図YY断面から見た振動モー
ドの断面図、第２図Ｂは第１図XX断面から見た
振動モードの断面図、第３図は従来及び本発明に
係るＥ型振動子の寸法パラメーターの説明図で第
３図Ａは平面図、第３図Ｂは側面図、第４図は従
来のＥ型振動子のカツト方位の説明図、第５図は
従来のＥ型振動子の１次温度係数αとカツト角度
θの関係を示すグラフ、第６図は本発明のＥ型振
動子のカツト方位の説明図、第７図は本発明のＥ
型振動子の１次温度係数αとカツト角度φの関係
を示すグラフ、第８図は本発明のＥ型振動子の１
次温度係数αと真中の振動枝の巾寸法比（h0／
ｔ）の関係を示すグラフ、第９図は本発明のＥ型
振動子の１次温度係数αとスリツト巾寸法比
（ｇ／ｔ）の関係を示すグラフ。第１０図は本発
明のＥ型振動子の１次温度係数αと振動枝の長さ
寸法比（ｌ／ｔ）の関係を示すグラフ、第１１図
Ａ，Ｂ，Ｃは本発明のＥ型振動子の１次温度係数
α、２次温度係数β、３次温度係数γとカツト角
度φの関係を示すグラフ、第１２図は本発明のＥ
型振動子の共振周波数温度特性例を示すグラフ、
第１３図Ａは本発明実施例の電極構造を示す斜視
図、第１３図Ｂは第１３図ＡのYY断面から見た
金属薄膜電極の接続を示す断面図、第１４図は振
動枝の中の電界分布を説明するための断面図、第
１５図は本発明実施例の支持構造を示す斜視図で
ある。 ５……振動変位の方向、１１，１２，１３，１
３１，１３２，１３３……振動枝、４１……従来
のＥ型振動子、６１……本発明のＥ型振動子、１
３５，１３６……金属薄膜電極、１３７，１３８
……電極端子、１３０，１５１……本発明実施例
のＥ型振動子、１５４……気密端子、１５５，１
５６……ステム、１５７……導電接着剤。
状を示す斜視図、第２図Ａ，Ｂは従来及び本発明
で利用するＥ型振動子の振動モードの説明図であ
り、第２図Ａは第１図YY断面から見た振動モー
ドの断面図、第２図Ｂは第１図XX断面から見た
振動モードの断面図、第３図は従来及び本発明に
係るＥ型振動子の寸法パラメーターの説明図で第
３図Ａは平面図、第３図Ｂは側面図、第４図は従
来のＥ型振動子のカツト方位の説明図、第５図は
従来のＥ型振動子の１次温度係数αとカツト角度
θの関係を示すグラフ、第６図は本発明のＥ型振
動子のカツト方位の説明図、第７図は本発明のＥ
型振動子の１次温度係数αとカツト角度φの関係
を示すグラフ、第８図は本発明のＥ型振動子の１
次温度係数αと真中の振動枝の巾寸法比（h0／
ｔ）の関係を示すグラフ、第９図は本発明のＥ型
振動子の１次温度係数αとスリツト巾寸法比
（ｇ／ｔ）の関係を示すグラフ。第１０図は本発
明のＥ型振動子の１次温度係数αと振動枝の長さ
寸法比（ｌ／ｔ）の関係を示すグラフ、第１１図
Ａ，Ｂ，Ｃは本発明のＥ型振動子の１次温度係数
α、２次温度係数β、３次温度係数γとカツト角
度φの関係を示すグラフ、第１２図は本発明のＥ
型振動子の共振周波数温度特性例を示すグラフ、
第１３図Ａは本発明実施例の電極構造を示す斜視
図、第１３図Ｂは第１３図ＡのYY断面から見た
金属薄膜電極の接続を示す断面図、第１４図は振
動枝の中の電界分布を説明するための断面図、第
１５図は本発明実施例の支持構造を示す斜視図で
ある。 ５……振動変位の方向、１１，１２，１３，１
３１，１３２，１３３……振動枝、４１……従来
のＥ型振動子、６１……本発明のＥ型振動子、１
３５，１３６……金属薄膜電極、１３７，１３８
……電極端子、１３０，１５１……本発明実施例
のＥ型振動子、１５４……気密端子、１５５，１
５６……ステム、１５７……導電接着剤。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一様な板厚の水晶板に３本の振動枝をＥ型に
形成し、中央の振動枝と両側の振動枝とは互に逆
位相で振動する水晶振動子において、 前記振動枝の幅方向及び長さ方向がそれぞれ水
晶のＸ軸（電気軸）及びＹ軸（機械軸）に一致し
た状態（Ｚカツトの状態）をＸ軸のまわりに角度
φ（φの符号は反時計方向を正とする）だけ回転
するときφを−25゜から35゜の範囲の角度に設定
し、さらに３本の前記振動枝のそれぞれの側面に
金属薄膜電極を設け、該金属薄膜電極は前記振動
枝の側面長手方向の中心線で２分割し、かつ２分
割した前記金属薄膜電極はおのおの異なる電気的
極性を備えていることを特徴とする水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21268381A JPS58111515A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21268381A JPS58111515A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111515A JPS58111515A (ja) | 1983-07-02 |
| JPH0150135B2 true JPH0150135B2 (ja) | 1989-10-27 |
Family
ID=16626680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21268381A Granted JPS58111515A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58111515A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002031975A1 (fr) * | 2000-10-10 | 2002-04-18 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dispositif produisant des vibrations de torsion |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0666631B2 (ja) * | 1983-10-25 | 1994-08-24 | シチズン時計株式会社 | 水晶振動子 |
| JPS60242713A (ja) * | 1984-05-17 | 1985-12-02 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電振動子の電極構造 |
| FR2634067B1 (fr) * | 1988-07-07 | 1992-04-03 | Electro Microtechn Centre | Resonateur piezoelectrique |
| WO2016175161A1 (ja) | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| JP6468350B2 (ja) | 2015-04-27 | 2019-02-13 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| WO2016175218A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
| US10812046B2 (en) | 2018-02-07 | 2020-10-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Micromechanical resonator having reduced size |
-
1981
- 1981-12-25 JP JP21268381A patent/JPS58111515A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002031975A1 (fr) * | 2000-10-10 | 2002-04-18 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dispositif produisant des vibrations de torsion |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58111515A (ja) | 1983-07-02 |
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