JPH0158664U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0158664U JPH0158664U JP15366787U JP15366787U JPH0158664U JP H0158664 U JPH0158664 U JP H0158664U JP 15366787 U JP15366787 U JP 15366787U JP 15366787 U JP15366787 U JP 15366787U JP H0158664 U JPH0158664 U JP H0158664U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- sealing device
- thin film
- processed
- forming apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 239000002783 friction material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ないし第３図はこの考案の第１実施例を
示すもので、第１図はこの実施例のシール装置が
付設された薄膜形成装置の全体概略構成図、第２
図はシール装置の概略構成を示す断面図、第３図
は第２図の―線視図である。第４図および第
５図はこの考案の第２実施例を示すもので、第４
図はシール装置の部分正面図、第５図は第４図の
―線視図である。第６図および第７図はこの
考案の他の構成例を示すもので、第６図はシール
装置の断面図、第７図は第６図の―線視図で
ある。第８図は従来のシール装置を備えた薄膜形
成装置の概略構成図、第９図は従来のシール装置
の部分正断面図である。 １０……コーテイング室、１６……被処理物、
２０……シール装置、２１……導出口、２２，２
３……シール部材、３０……リツプ部、３２……
滑り部。
示すもので、第１図はこの実施例のシール装置が
付設された薄膜形成装置の全体概略構成図、第２
図はシール装置の概略構成を示す断面図、第３図
は第２図の―線視図である。第４図および第
５図はこの考案の第２実施例を示すもので、第４
図はシール装置の部分正面図、第５図は第４図の
―線視図である。第６図および第７図はこの
考案の他の構成例を示すもので、第６図はシール
装置の断面図、第７図は第６図の―線視図で
ある。第８図は従来のシール装置を備えた薄膜形
成装置の概略構成図、第９図は従来のシール装置
の部分正断面図である。 １０……コーテイング室、１６……被処理物、
２０……シール装置、２１……導出口、２２，２
３……シール部材、３０……リツプ部、３２……
滑り部。
Claims (1)
- 長尺帯板状の被処理物を連続的にコーテイング
室内に移送しつつ、そのコーテイング室内におい
て被処理物の表面に薄膜を形成するように構成さ
れた薄膜形成装置に付設されて、前記被処理物と
その被処理物の導入口および導出口との間の隙間
を塞ぐシール装置において、被処理物の幅方向に
沿つて延びその長さが被処理物の幅寸法より長く
されたゴム等の弾性材からなる一対のシール部材
を、被処理物の両面に押し付けてその被処理物を
両面側から挾むようになし、前記シール部材には
その長手方向に沿うリツプ部を形成し、かつ、そ
のリツプ部の先端部には弾性を有しているととも
に被処理物との間の摺動抵抗を低減させ得る低摩
擦性材料からなる滑り部を形成してなることを特
徴とする連続式薄膜形成装置におけるシール装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15366787U JPH0158664U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15366787U JPH0158664U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158664U true JPH0158664U (ja) | 1989-04-12 |
Family
ID=31429715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15366787U Pending JPH0158664U (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0158664U (ja) |
-
1987
- 1987-10-07 JP JP15366787U patent/JPH0158664U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58166409U (ja) | 帯状品を加圧処理するためのロ−ル | |
| JPS62194215U (ja) | ||
| JPS6152660U (ja) | ||
| JPS60183762U (ja) | シ−ルテ−プ接着装置 | |
| JPH0325559U (ja) | ||
| JPS6265312U (ja) | ||
| JPS61122249U (ja) | ||
| JPH01139526U (ja) | ||
| JPH0274356U (ja) | ||
| JPH02124371U (ja) | ||
| JPS6314563U (ja) | ||
| FR2362949A1 (fr) | Dispositif pour appliquer en regime continu, des configurations metalliques sur une bande | |
| JPS62159358U (ja) | ||
| JPH0240471U (ja) | ||
| JPH0243341U (ja) | ||
| JPS61169708U (ja) | ||
| JPH0240485U (ja) | ||
| JPS6246063U (ja) | ||
| JPH032963U (ja) | ||
| JPS6254911U (ja) | ||
| JPS6271110U (ja) | ||
| JPH0161606U (ja) | ||
| JPS6246365U (ja) | ||
| FR2319754A1 (fr) | Moulure d'angle | |
| JPS6314559U (ja) |